專利名稱：透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法
透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法
技術(shù)區(qū)域
本發(fā)明涉及一種透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，尤其涉及一種用于制造顯示元件的保護(hù)玻璃的玻璃板層疊體的制造方法。
背景技術(shù)：
在電視、筆記本電腦、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、臺(tái)式電子計(jì)算機(jī)、移動(dòng)電話、電子記事本及 PDA (Personal Digital Assistant,個(gè)人數(shù)字助手)之類的各種電子設(shè)備的顯示裝置中， 在使用液晶顯示器(IXD)、有機(jī)EL顯示器(0ELD)、場(chǎng)致發(fā)光顯示器(ELD)、場(chǎng)致發(fā)射顯示器 (FED)及等離子體顯示器(PDP)等顯示器件。而且，為了保護(hù)顯示器件，通常與顯示器件相對(duì)地設(shè)置保護(hù)用玻璃板制品。最近，還大多在保護(hù)用玻璃板制品的表面設(shè)置施加有規(guī)定圖案的導(dǎo)電膜而使之具有觸摸屏功能。
該玻璃板制品是將玻璃板加工成適于各顯示裝置的大小及形狀而成的，但是，為了與市場(chǎng)所要求的價(jià)格水平相應(yīng)，要求以高生產(chǎn)效率加工大量的玻璃板制品。
因此，日本特開2009-256125號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)I)中提出了一種提高玻璃板制品的生產(chǎn)效率的方法。具體而言 ，是“一種玻璃板的加工方法，其特征在于，堆壘多個(gè)素材玻璃板(I)，并且將各素材玻璃板(I)形成利用介于各素材玻璃板(I)間的可剝離的粘合材料(2)—體地粘合而成的玻璃塊(A)，將該玻璃塊(A)在面方向上進(jìn)行分割，形成小面積的分割玻璃塊(B)，加工該分割玻璃塊(B)的至少外周，形成成為俯視圖制品形狀的玻璃塊制品(C)，將該玻璃塊制品(C)進(jìn)行端面加工后，將該玻璃塊制品(C)逐一地分離”(權(quán)利要求I)。 由此，記載如下“因在堆壘多個(gè)素材玻璃板的狀態(tài)下進(jìn)行分割、外形加工及端面加工，所以能夠以少的工序得到大量的玻璃板制品，生產(chǎn)率高”(第0007段)。
此外，專利文獻(xiàn)I中記載如下“介于各素材玻璃板(I)間的粘合材料(2)為若照射紫外線則固化、且若升溫則固化狀態(tài)軟化的光固化性液態(tài)粘合材料”(權(quán)利要求4)。由此，記載如下“若使光固化性液態(tài)固定劑介于上下素材玻璃板間并在上下方向上進(jìn)行加壓，則該液態(tài)固定劑在上下素材玻璃板間整面地以均等厚度膜狀擴(kuò)展，若在該狀態(tài)下照射紅外線， 則上述膜狀擴(kuò)展的液態(tài)固定劑固化，使上下的各玻璃板一體粘合。因此，可以迅速且高精度地堆壘多個(gè)素材玻璃板并一體粘合。另外,在最終加工(端面加工)后,若將玻璃塊制品收納于熱水等而進(jìn)行升溫，則在各玻璃板間固化了的固定劑發(fā)生軟化，變成膜狀而分離。因此， 不會(huì)產(chǎn)生環(huán)境污染，固定劑的回收及處理變得容易”(第0007段)。
在專利文獻(xiàn)I的“實(shí)施發(fā)明的最佳實(shí)施方式”欄中記載有如下內(nèi)容一邊使光固化性液態(tài)固定劑介于各素材玻璃板間，一邊堆魚20片素材玻璃板,接著，從堆魚了的素材玻璃板的上面照射紫外線(UV光)而使固定劑固化，形成上下的各素材玻璃板被一體粘合的玻璃塊(第0010 0011段)。
另一方面，作為玻璃板的高精度貼合方法，已知使用輥的方法，例如在日本特開 2009-40617號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)2)中記載有一種玻璃板的貼合方法，其特征在于，在接合輥從接合開始端向接合末端移動(dòng)的過程中，一邊在接合輥的接合移動(dòng)之前，使吸附體從吸附位置退避至退避位置，一邊將襯底玻璃(G)按壓接合至貼合對(duì)象(F)。認(rèn)為若依照此法，則在可靠地防止空氣被夾入兩者的貼合面間的同時(shí)，能夠使襯底玻璃G與貼合對(duì)象F總是很好地貼合。
另外，專利文獻(xiàn)2中還記載了如下內(nèi)容等用偏離檢測(cè)裝置光學(xué)檢測(cè)貼合對(duì)象(F) 與襯底玻璃(G)的位置偏離，利用位置調(diào)整裝置將貼合對(duì)象(F)與襯底玻璃(G)進(jìn)行定位； 在貼合對(duì)象的單面預(yù)先形成用剝離紙覆蓋的接合劑層，在貼合時(shí)將剝離紙剝離；可用紫外線固化樹脂形成接合劑層，此時(shí)，可用記載于專利文獻(xiàn)2的貼合裝置貼合G與F后，對(duì)接合劑層進(jìn)行固化處理。
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)I :日本特開2009-256125號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2 :日本特開2009-40617號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容
若依據(jù)專利文獻(xiàn)I所記載的玻璃板的加工方法，則能以高的生產(chǎn)效率制造規(guī)定形狀的玻璃板制品。然而，根據(jù)電子設(shè)備，有時(shí)也要求在玻璃板上形成所希望的印刷圖案(例如移動(dòng)電話的顯示畫面的設(shè)計(jì))，這種情況下，對(duì)所印刷的圖案要求高的位置精度(例如容許誤差為10 30 μ m左右)。
記載于專利文獻(xiàn)I的方法中，一邊使光固化性液態(tài)固定劑介于各素材玻璃板間， 一邊堆壘20片素材玻璃板，接著從堆壘了的素材玻璃板的上面照射紫外線(UV光)，使固定劑固化，形成上下的各素材玻璃板一體粘合的玻璃塊。然而，以這樣的步驟難以得到高的厚度精度。另外，在堆壘素材玻璃板期間固定劑不固化，玻璃面相互間容易產(chǎn)生微妙的位置偏離，因此不適合高精度的位置對(duì)合。即，用記載于專利文獻(xiàn)I的方法時(shí)，難以得到高的位置精度。
記載于專利文獻(xiàn)2的方法中，在將貼合的玻璃板相互進(jìn)行位置對(duì)合后，利用接合輥按壓而將兩者貼合。雖然專利文獻(xiàn)2中記載了還可以用紫外線固化樹脂形成作為接合劑，但是因固化前的紫外線固化樹脂為液態(tài)而具有流動(dòng)性，所以存在無法以高的厚度精度貼合玻璃板的可能性。若厚度精度不充分，則介由固定劑而層疊了的玻璃51變形(參照?qǐng)D 18)而招致形狀加工時(shí)變得容易從成型裝置脫落或加工精度下降等故障。進(jìn)而，記載于專利文獻(xiàn)2的方法中需要使玻璃彎曲，因此還存在貼合時(shí)破裂的危險(xiǎn)性。還存在利用輥貼合的過程中玻璃板發(fā)生位置偏離的可能性。
因此，本發(fā)明的課題在于提供一種可在減少破裂的危險(xiǎn)性的同時(shí)實(shí)現(xiàn)厚度精度的提高的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法。此外，本發(fā)明的另一課題在于提供利用了該透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的板狀制品的制造方法。
本發(fā)明人為了解決上述課題而進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)如下方法有效以被確定為透光性硬質(zhì)基板的貼合面相互平行的位置關(guān)系對(duì)置，在維持平行狀態(tài)的情況下，使兩片硬質(zhì)基板接近，使用光固化性固定劑進(jìn)行預(yù)貼合，對(duì)貼合了的透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行輥壓， 然后將固定劑進(jìn)行固化。
就基于以上見解而完成的本發(fā)明而言，一方面是一種透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其包括
I)準(zhǔn)備第一透光性硬質(zhì)基板的工序，
2)準(zhǔn)備第二透光性硬質(zhì)基板的工序，
3)將光固化性固定劑涂布于第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面的工序，
4)使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面成為平行的方式對(duì)置的工序，
5) 一邊維持上述平行狀態(tài)，一邊對(duì)第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加壓力而進(jìn)行貼合，將兩片透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行預(yù)接合的工序，
6)將預(yù)接合了的透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行輥壓的工序，
7 )在工序6 )之后，照射用于使被兩片透光性硬質(zhì)基板夾持而擴(kuò)展的固定劑整體進(jìn)行固化的光，形成透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序，以及
8)將上述透光性硬質(zhì)基板層疊體視為第一透光性硬質(zhì)基板，重復(fù)至少一次工序 O 7)，形成至少貼合有3片透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序。
在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的一個(gè)實(shí)施方式中，
在工序(5)與工序(6)之間實(shí)施如下工序
5’ )在維持上述壓力的狀態(tài)下，照射用于僅將被兩片透光性硬質(zhì)基板夾持而擴(kuò)展的固定劑的外周部分進(jìn)行固化的光，形成臨時(shí)固定的透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序，或者
在工序(6)與工序(7)之間實(shí)施如下工序
6’ )照射用于僅將被兩片透光性硬質(zhì)基板夾持而擴(kuò)展的固定劑的外周部分進(jìn)行固化的光，或者對(duì)固定劑整體照射與工序(7)相比低能量的光，形成臨時(shí)固定的透光性硬質(zhì)基板層置體的工序。
在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另一個(gè)實(shí)施方式中，包括在各透光性硬質(zhì)基板的表面附加用于位置對(duì)合的標(biāo)記，實(shí)施工序(5’)，且在工序4)或工序5)中一邊用攝像裝置拍攝該標(biāo)記，一邊進(jìn)行面方向的位置調(diào)整。
在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另一個(gè)實(shí)施方式中，包括在各透光性硬質(zhì)基板的表面附加用于位置對(duì)合的標(biāo)記，實(shí)施工序(6’)，且在工序(6)與工序 (6’)之間，一邊用攝像裝置拍攝該標(biāo)記，一邊進(jìn)行預(yù)接合了的透光性硬質(zhì)基板的面方向的位置調(diào)整。
在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另一個(gè)實(shí)施方式中，設(shè)置有從第一透光性硬質(zhì)基板的第二面?zhèn)扰臄z用于第一透光性硬質(zhì)基板位置對(duì)合的標(biāo)記的攝像裝置、以及從第二透光性硬質(zhì)基板的第一或第二面?zhèn)扰臄z用于第二透光性硬質(zhì)基板位置對(duì)合的標(biāo)記的攝像裝置。
在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另一個(gè)實(shí)施方式中，工序(7)是通過向第二透光性硬質(zhì)基板的表面照射光來進(jìn)行的。
在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另一個(gè)實(shí)施方式中，在各透光性硬質(zhì)基板的表面附有用于發(fā)揮板狀制品的功能之一的規(guī)定的印刷圖案和/或鍍覆圖案。
在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另一個(gè)實(shí)施方式中，上述固定劑含有粒狀物質(zhì)。
在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另一個(gè)實(shí)施方式中，在以使用了 365nm的光接收器的積算照度計(jì)進(jìn)行測(cè)定時(shí)，工序(7)中的光的照射量為lOOOmJ/cm2 5000mJ/cm2 的范圍。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另一個(gè)實(shí)施方式中，透光性硬質(zhì) 基板是玻璃板。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另一個(gè)實(shí)施方式中，工序(7)中， 一邊使入射角改變，一邊照射光。在本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的另一個(gè)實(shí)施方式中，工序(7)是 在將透光性硬質(zhì)基板層疊體用輸送機(jī)進(jìn)行運(yùn)送的過程中實(shí)施的。本發(fā)明的另一方面是一種板狀制品的制造方法，包括9)將使用上述透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法而得到的透光性硬質(zhì)基板層疊 體在厚度方向上進(jìn)行分割，形成被分割成所希望的數(shù)量的透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序，10)分別對(duì)被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)行所希望的形狀加工的工序，以及11)通過將形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)行加熱，從而使被貼合了的透 光性硬質(zhì)基板相互剝離，形成多個(gè)板狀制品的工序。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的一個(gè)實(shí)施方式中，在各透光性硬質(zhì)基板的表面 附有用于發(fā)揮板狀制品的功能之一的規(guī)定的印刷圖案和/或鍍覆圖案，在工序(9)與工序 (11)之間包括向被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體的側(cè)面照射用于使未固化的固定劑進(jìn)行 固化的光。在本發(fā)明的板狀制品的制造方法的另一個(gè)實(shí)施方式中，工序(11)包括將形狀加工 后的透光性硬質(zhì)基板層疊體浸潰于溫水，使固定劑軟化成膜狀。根據(jù)本發(fā)明，既可減少破裂的危險(xiǎn)性，又能以高的厚度精度制造透光性硬質(zhì)基板 層疊體。由此，能夠以高的尺寸精度在工業(yè)上制造板狀制品。本發(fā)明可適用于例如包括顯 示器件的觸摸屏用玻璃的保護(hù)玻璃的批量生產(chǎn)方法。


圖I是表示用于將透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行預(yù)接合的基板貼合裝置的第一例的示意 圖。圖2是表示上側(cè)平臺(tái)的下面的例子的示意圖。圖3是表示將第一片基板載置于下側(cè)平臺(tái)的狀態(tài)的圖。圖4是表示將載置于下側(cè)平臺(tái)的第一片基板運(yùn)送至上側(cè)平臺(tái)的正下方的狀態(tài)的 圖。圖5是表示使上側(cè)平臺(tái)降下并真空吸附第一片基板的狀態(tài)的圖。圖6是表示一邊將吸附了的第一片基板進(jìn)行保持，一邊使上側(cè)平臺(tái)上升的狀態(tài)的 圖。圖7是表示將第兩片基板載置于下側(cè)平臺(tái)的狀態(tài)的圖。圖8是表示將固定劑涂布于第兩片基板的上面的狀態(tài)的圖。圖9是表示將載置于下側(cè)平臺(tái)的第兩片基板運(yùn)送至上側(cè)平臺(tái)的正下方，用攝像機(jī) 拍攝附加于兩基板表面的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)的狀態(tài)的圖。圖10是表示將固定劑涂布于被保持在上側(cè)平臺(tái)的第一片基板的下面的狀態(tài)的圖。圖11是表示使上側(cè)平臺(tái)降下并貼合兩片基板，對(duì)基板的外周部照射UV的狀態(tài)的 圖。圖12是表示在照射UV后使上側(cè)平臺(tái)上升的狀態(tài)的圖。圖13是表示利用下側(cè)平臺(tái)運(yùn)送被貼合的基板，回到原位置的狀態(tài)的圖。圖14是表示用于將透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行預(yù)接合的基板貼合裝置的第二例的示意 圖。圖15是表示用于將透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行預(yù)接合的基板貼合裝置的第三例的示意 圖。圖16-1是表示攝像裝置的位置關(guān)系的示意圖的一個(gè)例子。圖16-2是表示攝像裝置的位置關(guān)系的示意圖的另一個(gè)例子。圖17是表不棍壓的原理的不意圖。圖18是表示層疊了的玻璃的厚度不均勻而成為變形的狀態(tài)的示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法的一個(gè)實(shí)施方式中，實(shí)行如下工序I)準(zhǔn)備第一透光性硬質(zhì)基板的工序，2)準(zhǔn)備第二透光性硬質(zhì)基板的工序，3)將光固化性固定劑涂布于第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬 質(zhì)基板的第一面的工序，4)使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面成為 平行的方式對(duì)置的工序，5) 一邊維持上述平行狀態(tài)，一邊對(duì)第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬 質(zhì)基板的第一面施加壓力而進(jìn)行貼合，將兩片透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行預(yù)接合的工序，6)將預(yù)接合了的透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行輥壓的工序，7 )在工序6 )之后，照射用于使被兩片透光性硬質(zhì)基板夾持而擴(kuò)展的固定劑整體進(jìn) 行固化的光，形成透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序，以及8)將上述透光性硬質(zhì)基板層疊體視為第一透光性硬質(zhì)基板，重復(fù)至少一次工序 O 7)，形成至少貼合有3片透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序。在工序(I)及工序(2)中，準(zhǔn)備作為加工對(duì)象的透光性硬質(zhì)基板。作為透光性硬 質(zhì)基板，沒有特別限制，可列舉出玻璃板(素材玻璃板，帶有透明導(dǎo)電膜的玻璃基板，形成有 電極、電路的玻璃基板等)、藍(lán)寶石基板、石英基板、塑料基板、氟化鎂基板等。作為玻璃，還 可列舉出強(qiáng)化玻璃。透光性硬質(zhì)基板的大小無特別限制，典型的是具有10000 250000mm2 左右的面積且具有O. I 2_左右的厚度。一般而言，各透光性硬質(zhì)基板為相同大小。雖 非限定，但在各透光性硬質(zhì)基板的表面可附有用于發(fā)揮板狀制品的功能之一的規(guī)定的印刷 圖案或鍍覆圖案。作為印刷圖案的例子，可列舉出移動(dòng)電話的顯示畫面的設(shè)計(jì)，作為鍍覆圖 案的例子，可列舉出Al、AlNd等的金屬配線圖案、施加有鍍鉻圖案的回轉(zhuǎn)式編碼器。工序(3)中，將光固化性固定劑涂布于第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二 透光性硬質(zhì)基板的第一面。光固化性固定劑是通過照射紫外線等光來固化且若加熱至高溫則軟化的固定劑，已知有各種固定劑。作為用于本發(fā)明的光固化性固定劑，可使用公知的任意固定劑，無特別限制?？梢詫⒐夤袒怨潭▌┩坎加谌我环降耐腹庑杂操|(zhì)基板的貼合面， 但從提高接合性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選涂布于雙方的透光性硬質(zhì)基板的貼合面。
作為適用于本發(fā)明的光固化性固定劑，可列舉出例如記載于W02008/018252的含有(A)多官能(甲基)丙烯酸酯、(B)單官能(甲基)丙烯酸酯及(C)光聚合引發(fā)劑的接合性組合物。
作為(A)多官能(甲基)丙烯酸酯，可使用在寡聚物/聚合物末端或側(cè)鏈進(jìn)行2個(gè)以上(甲基)丙烯?；亩喙倌?甲基)丙烯酸酯寡聚物/聚合物、具有2個(gè)以上(甲基)丙烯酰基的多官能(甲基)丙烯酸酯單體。例如，作為多官能(甲基)丙烯酸酯寡聚物/聚合物，可列舉出1，2-聚丁二烯末端尿烷(甲基)丙烯酸酯(例如，日本曹達(dá)公司制“TE-2000”、 “TEA-1000”)、其氫化物(例如，日本曹達(dá)公司制“TEAI-1000”)、l，4-聚丁二烯末端尿烷 (甲基)丙烯酸酯(例如，大阪有機(jī)化學(xué)公司制“BAC-45”)、聚異戊二烯末端(甲基)丙烯酸酯、聚酯系尿烷(甲基)丙烯酸酯(例如，日本合成化學(xué)公司制“ UV-2000B ”、“ UV-3000B ”、 “UV-7000B”，根上工業(yè)公司制“KHP-11”、“KHP-17”)、聚醚系尿烷(甲基)丙烯酸酯(例如，H 本合成化學(xué)公司制“UV-3700B”、“UV-6100B”)、或雙酚A型環(huán)氧(甲基)丙烯酸酯等。其中， 優(yōu)選聚酯系尿烷(甲基)丙烯酸酯。
作為2官能(甲基)丙烯酸酯單體，可列舉出1，3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、 1，4- 丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、二環(huán)戊基二(甲基)丙烯酸酯、2-乙基-2- 丁基-丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇改性三羥甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、硬脂酸改性季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、2，2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基二乙氧基苯基)丙烷、2，2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基丙氧基苯基)丙烷、或2，2-雙(4-(甲基)丙烯酰氧基四乙氧基苯基)丙烷等。作為3官能(甲基)丙烯酸酯單體，可列舉出三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三[(甲基)丙烯酰氧基乙基]異氰脲酸酯等。作為4官能以上的(甲基) 丙烯酸酯單體，可列舉出二羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇乙氧基四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、或二季戊四醇六(甲基) 丙烯酸酯等。其中，優(yōu)選二環(huán)戊基二(甲基)丙烯酸酯。
在(A)中，優(yōu)選多官能(甲基)丙烯酸酯寡聚物/聚合物和2官能(甲基)丙烯酸酯單體中的I種以上，更優(yōu)選并用多官能(甲基)丙烯酸酯寡聚物/聚合物和2官能(甲基)丙烯酸酯單體。在并用多官能(甲基)丙烯酸酯寡聚物/聚合物和2官能(甲基)丙烯酸酯單體的情況下，就其混合比率而言，優(yōu)選在總計(jì)100質(zhì)量份的多官能(甲基)丙烯酸酯寡聚物/ 聚合物和2官能(甲基)丙烯酸酯單體中，以質(zhì)量比計(jì)，多官能(甲基)丙烯酸酯寡聚物/聚合物2官能(甲基)丙烯酸酯單體=10 90 90 10，更優(yōu)選30 70 70 30。
作為(B)單官能(甲基)丙烯酸酯單體，可列舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸異辛酯、(甲基)丙烯酸異癸酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十八酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環(huán)戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異莰酯、(甲基)丙烯酸甲氧基化環(huán)癸三烯酯、(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸3-羥丙酯、(甲基)丙烯酸4-羥丁酯、(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸2-羥-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸環(huán)氧丙酯、 己內(nèi)酮改性(甲基)丙烯酸四氫糠酯、(甲基)丙烯酸3-氯-2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸N，N- 二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸N，N- 二乙氨基乙酯、(甲基)丙烯酸叔丁氨基乙酯、(甲基)丙烯酸乙氧基羰基甲酯、酚環(huán)氧乙烷改性(甲基)丙烯酸酯、酚(環(huán)氧乙烷2摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、酚(環(huán)氧乙烷4摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、對(duì)枯基酚環(huán)氧乙烷改性(甲基)丙烯酸酯、壬酚環(huán)氧乙烷改性(甲基)丙烯酸酯、壬酚(環(huán)氧乙烷4摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、壬酚(環(huán)氧乙烷8摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、壬酚(環(huán)氧丙烷2. 5摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、2-乙基己基卡必醇(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧乙烷改性鄰苯二甲酸(甲基)丙烯酸酯、環(huán)氧乙烷改性琥珀酸(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三氟乙酯、丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸、富馬酸、ω-羧基-聚己內(nèi)酯單(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸鄰苯二甲酸單羥乙酯、(甲基)丙烯酸二聚物、β-(甲基)丙烯酰氧基乙基氫化二烯琥珀酸酯、η-(甲基)丙烯酰氧基烷基六氫鄰苯二甲酰亞胺、(甲基)丙烯酸2- (1，2-環(huán)己二羧基酰亞胺)乙酯、乙氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸芐酯等。
在(B)中，優(yōu)選酚(環(huán)氧乙烷2摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2_(1，2-環(huán)己二羧基酰亞胺)乙酯、及(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯中的I種以上，更優(yōu)選并用酚(環(huán)氧乙烷2摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2- (1，2-環(huán)己二羧基酰亞胺)乙酯和/或(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯。在并用酚(環(huán)氧乙烷2摩爾改性)(甲基) 丙烯酸酯與(甲基)丙烯酸2- (I, 2-環(huán)己二羧基酰亞胺)乙酯和/或2-羥基-3-苯氧基丙基(甲基)丙烯酸酯的情況下，就其混合比率而言，優(yōu)選在總計(jì)100質(zhì)量份的酚(環(huán)氧乙烷2 摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯與(甲基)丙烯酸2- (1，2-環(huán)己二羧基酰亞胺)乙酯和/或(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯中，以質(zhì)量比計(jì)，酚(環(huán)氧乙烷2摩爾改性)(甲基)丙烯酸酯(甲基)丙烯酸2- (1，2-環(huán)己二羧基酰亞胺)乙酯和/或(甲基)丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯=10 90 90 10，更優(yōu)選30 45 70 55。
作為(A)多官能(甲基)丙烯酸酯與(B)單官能(甲基)丙烯酸酯的配合比例，優(yōu)選為(A): (B) = 5:95 95:5 (質(zhì)量份)。若(A)多官能(甲基)丙烯酸酯為5質(zhì)量份以上，則不會(huì)有降低初期接合性的可能性，若為95質(zhì)量份以下，則可確保剝離性。通過將固化了的固定劑浸潰于溫水，將其以膜狀剝離。(B)單官能(甲基)丙烯酸酯的含量在總計(jì)量100質(zhì)量份的(A)及(B)中，進(jìn)一步優(yōu)選40 80質(zhì)量份。
(C)光聚合引發(fā)劑是為了通過可見光或紫外線的活性光線進(jìn)行敏化來促進(jìn)樹脂組合物的光固化而配合的，可使用公知的各種光聚合引發(fā)劑。具體而言，可列舉出二苯甲酮或其衍生物；苯偶?；蚱溲苌?；蒽醌或其衍生物；苯偶姻；苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻丙醚、苯偶姻異丁醚、苯偶酰二甲基縮酮等苯偶姻衍生物；二乙氧基苯乙酮、4-叔丁基三氯苯乙酮等苯乙酮衍生物；苯甲酸2- 二甲氨基乙酯；苯甲酸對(duì)二甲氨基乙酯；二硫化二苯；噻噸酮或其衍生物；莰醌；7，7-二甲基-2，3-二氧雜二環(huán)[2. 2. I]庚-I-羧酸、7，7-二甲基-2，3-二氧雜二環(huán)[2. 2. I]庚-I-羧基-2-溴乙酯、7，7- 二甲基-2，3- 二氧雜二環(huán) [2. 2. I]庚-I-羧基-2-甲酯、氯化7，7- 二甲基-2，3- 二氧雜二環(huán)[2. 2. I]庚-I-羧酸等莰醌衍生物；2-甲基-I- [4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基丙-I-酮、2-芐基-2-二甲氨基-I- (4-嗎啉基苯基)-丁酮-I等α-氨基苯烷基酮衍生物；苯甲?；交趸ⅰ?2，4，6-三甲基苯甲?；交趸?、苯甲?；已趸趸?、2，4，6-三甲基苯甲?；籽趸交趸ⅰ?，4，6-三甲基苯甲?；已趸交趸⒌弱；趸⒀苌?、 氧基_苯基_乙酸2- [2-氧代-2-苯基-乙酸氧基_乙氧基]-乙酯、氧基_苯基_乙酸2-[2-羥基-乙氧基]-乙酯等。光聚合引發(fā)劑可使用I種或組合使用2種以上。其中，從效果大的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選苯偶酰二甲基縮酮、氧基-苯基-乙酸2- [2-氧代-2-苯基-乙酰氧基_乙氧基]_乙酯、及氧基-苯基-乙酸2- [2-羥基-乙氧基]-乙酯中的I種或2 種以上。
相對(duì)于總計(jì)100質(zhì)量份的(A)及(B), (C)光聚合引發(fā)劑的含量?jī)?yōu)選O. I 20質(zhì)量份，更優(yōu)選O. 5 15質(zhì)量份。若為O. I質(zhì)量份以上，則能可靠地得到促進(jìn)固化的效果，而在20質(zhì)量份以下，則可得到充分的固化速度。從可不依賴光照射量地進(jìn)行固化，進(jìn)而提高組合物固化體的交聯(lián)度，切削加工時(shí)不會(huì)產(chǎn)生位置偏離的方面或提高剝離性的方面出發(fā)， 進(jìn)一步優(yōu)選添加I質(zhì)量份以上的(C)成分。
光固化性固定劑優(yōu)選含有不溶于固定劑成分(A)、(B)及(C)的粒狀物質(zhì)(D)。由此，固化后的組合物可保持一定的厚度，因此提高加工精度。進(jìn)而，由于接合性組合物的固化體與粒狀物質(zhì)(D)的線膨脹系數(shù)不同，所以在使用上述接合劑組合物貼合透光性硬質(zhì)基板后進(jìn)行剝離時(shí)的剝離性提高。
作為粒狀物質(zhì)(D)的材質(zhì)，一般使用的有機(jī)粒子和無機(jī)粒子的任一種均可。具體而言，作為有機(jī)粒子，可列舉出聚乙烯粒子、聚丙烯粒子、交聯(lián)聚甲基丙烯酸甲酯粒子、交聯(lián)聚苯乙烯粒子等。作為無機(jī)粒子，可列舉出玻璃、二氧化硅、氧化鋁、鈦等陶瓷粒子。其中， 優(yōu)選有機(jī)粒子，更優(yōu)選交聯(lián)聚甲基丙烯酸甲酯粒子與交聯(lián)聚苯乙烯粒子中的I種以上。
從提高加工精度，即控制接合劑的膜厚的觀點(diǎn)出發(fā)，粒狀物質(zhì)(D)優(yōu)選為球狀。粒狀物質(zhì)(D)的通過激光法測(cè)定的平均粒徑優(yōu)選處于20 200 μ m的范圍。若上述粒狀物質(zhì)的平均粒徑為20 μ m以上，則剝離性優(yōu)良，若為200 μ m以下，則在加工臨時(shí)固定的部件時(shí)不易產(chǎn)生偏離，在尺寸精度方面優(yōu)異。從剝離性與尺寸精度的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選的平均粒徑 (D50)為35 μ m 150 μ m，進(jìn)一步優(yōu)選為50 μ m 120 μ m。粒徑分布是由激光衍射式粒度分布測(cè)定裝置測(cè)定的。
從接合性、加工精度、剝離性的觀點(diǎn)出發(fā)，相對(duì)于總計(jì)量100質(zhì)量份的(A)及(B)， 粒狀物質(zhì)(D)的使用量?jī)?yōu)選O. 01 20質(zhì)量份、更優(yōu)選O. I 10質(zhì)量份、最優(yōu)選O. 2 6質(zhì)量份。
在工序(4)中，使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面成為平行的方式對(duì)置。一般而言，以兩片透光性硬質(zhì)基板成為預(yù)定的面方向的位置關(guān)系的方式，例如，以兩片透光性硬質(zhì)基板在面方向上正好重疊的方式對(duì)置。作為實(shí)施其的方法，可考慮利用用于限制透光性硬質(zhì)基板的移動(dòng)方向而使其移動(dòng)至規(guī)定位置的導(dǎo)軌、擋桿或框架。在要求更高精度的定位的情況下，優(yōu)選利用具有定位機(jī)構(gòu)的貼合裝置進(jìn)行。為了以高精度定位，更優(yōu)選在各透光性硬質(zhì)基板的表面上附加用于位置對(duì)合的標(biāo)記，使用可一邊用攝像裝置拍攝該標(biāo)記，一邊進(jìn)行位置調(diào)整的貼合裝置。在進(jìn)行高精度的定位的情況下，為了防止在輥壓時(shí)產(chǎn)生位置偏離，優(yōu)選的是實(shí)施后述的工序(5’)。另外，也可以在貼合兩片透光性硬質(zhì)基板后進(jìn)行位置偏離的修正，但有可能固定劑從貼合面漏出或基板表面受損等，因此優(yōu)選在貼合前實(shí)施位置偏離的修正。
攝像裝置優(yōu)選被設(shè)置于第一透光性硬質(zhì)基板的第二面?zhèn)群偷诙腹庑杂操|(zhì)基板的第一或第二面?zhèn)取Ｔ趫D16-1中表示了被吸附于具有吸附孔33的平臺(tái)35的第一透光性硬質(zhì)基板31和第二透光性硬質(zhì)基板32分別用攝像裝置30拍攝表面所附的用于位置對(duì)合的標(biāo)記的情況。位置對(duì)合是通過移動(dòng)下面的平臺(tái)35來進(jìn)行的。此處，拍攝第二透光性硬質(zhì)基板32的攝像裝置被設(shè)置于第二透光性硬質(zhì)基板32的貼合面(第一面)側(cè)，可不妨礙貼合地移動(dòng)，但也可以設(shè)置在第二透光性硬質(zhì)基板32的與貼合面相反的面(第二面)側(cè)。根據(jù)需要可在平臺(tái)35設(shè)置拍攝用孔34。若這樣設(shè)置攝像裝置，則即便在層疊多個(gè)透光性硬質(zhì)基板的情況下，新貼合的透光性硬質(zhì)基板(即第二透光性硬質(zhì)基板)的位置調(diào)整必然能夠以最下層的透光性硬質(zhì)基板(在反復(fù)層疊的情況下，最下層的透光性硬質(zhì)基板的與貼合面相反的面成為第一透光性硬質(zhì)基板的第二面)為基準(zhǔn)進(jìn)行，所以，與拍攝貼合面彼此的位置對(duì)合相比，能以更高的位置精度實(shí)施透光性硬質(zhì)基板的層疊。
在工序(5)中，一邊維持工序(4)中確定的平行狀態(tài)，一邊對(duì)第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加壓力來進(jìn)行貼合，將兩片透光性硬質(zhì)基板預(yù)接合。由于使用光固化性固定劑，所以僅施加壓力時(shí)無法完全接合兩基材。出于該意義，將此處的接合稱作“預(yù)接合”。在預(yù)接合工序中，通過將基板平行地貼合，可得到實(shí)現(xiàn)厚度均勻化的基板，因此通過對(duì)此進(jìn)行輥壓，輥壓后的厚度精度提高。若厚度精度提高，則形狀加工時(shí)的問題也會(huì)減輕。若不實(shí)施預(yù)接合而僅實(shí)施輥壓，則接合劑厚度變得容易產(chǎn)生不均。
另外，在不進(jìn)行預(yù)接合的情況下，進(jìn)行輥壓時(shí)基板出現(xiàn)大幅偏離、或因固定劑的涂布圖案而導(dǎo)致接合劑沒有散布至整面。在固定劑沒有散布到的部分，不僅玻璃相互接觸而受損，而且還產(chǎn)生未接合的部位。未接合的部位在形狀加工時(shí)將產(chǎn)生碎屑、破裂等，成為使生產(chǎn)率下降的原因。然而，若進(jìn)行預(yù)接合，則與固定劑的涂布圖案無關(guān)地，輥壓時(shí)固定劑可容易地散布到整個(gè)貼合面，從而能減輕這種問題。
從層疊精度的觀點(diǎn)出發(fā)，固定劑優(yōu)選在貼合面整體上以一定的厚度擴(kuò)展。若被涂布的固定劑的量過少，則固定劑沒有擴(kuò)展到整個(gè)貼合面，成為在貼合面產(chǎn)生氣泡的原因。若產(chǎn)生氣泡，則位置精度會(huì)下降。若被涂布的固定劑的量過多，則固定劑會(huì)從貼合面的間隙漏出。固定劑即使多少有點(diǎn)漏出，只要擦掉即可，不是大問題，但若其量過多，則會(huì)浪費(fèi)固定劑。
貼合時(shí)的壓力也與固定劑的擴(kuò)展有關(guān)。因此，優(yōu)選在固定劑量的基礎(chǔ)上，適當(dāng)?shù)卣{(diào)整貼合壓力。作為實(shí)現(xiàn)其的方法，可考慮使用具有控制使透光性硬質(zhì)基板相互貼合時(shí)的壓力的功能的貼合裝置的方法。
就貼合時(shí)的具體壓力或時(shí)間而言，考慮上述情況適宜地設(shè)定即可，例如壓力為 10g/cm2 800g/cm2、典型的是100g/cm2 700g/cm2，時(shí)間為10秒 5分鐘、典型的是I 4分鐘。此時(shí)，也可以進(jìn)行加熱。但是，若進(jìn)行加熱，則基板有可能因內(nèi)部應(yīng)力而發(fā)生翹曲， 因此優(yōu)選不進(jìn)行加熱。
從提高層疊精度方面出發(fā)，還可以考慮進(jìn)一步控制固定劑的厚度本身。作為厚度控制方法，除了可列舉出如上所述的在固定劑中混合粒狀物質(zhì)的方法以外，還可考慮使用具有控制使透光性硬質(zhì)基板相互貼合時(shí)的透光性硬質(zhì)基板高度的功能的貼合裝置的方法。
在從工序(5 )轉(zhuǎn)移至工序(6 )為止有等待時(shí)間的情況下、在工序(6 )是在遠(yuǎn)離工序(5)的實(shí)施場(chǎng)所的場(chǎng)所進(jìn)行的情況下，可考慮將透光性硬質(zhì)基板保存于規(guī)定的保存場(chǎng)所或搬運(yùn)至照射裝置。這種情況下，優(yōu)選防止搬運(yùn)中的基板位置偏離、保管中的固定劑漏出等。因此，在工序(5)與工序(6)之間，可實(shí)施如下工序(5’)在維持在工序(5)中施加的壓力的情況下，照射用于僅使被兩片透光性硬質(zhì)基板夾持而擴(kuò)展的固定劑的外周部分進(jìn)行固化的光，形成臨時(shí)固定的透光性硬質(zhì)基板層疊體。通過將光向固定劑的外周部分照射，從而固定劑僅外周部分環(huán)狀地固化，能夠以比較弱的力貼合兩片透光性硬質(zhì)基板。臨時(shí)固定對(duì)防止輥壓時(shí)的基板位置偏離也有所幫助。
為了臨時(shí)固定而需要的光能與固化固定劑整體所需要的光相比格外少也行，所以用黑光等簡(jiǎn)單的照明裝置就足夠。由此，既可以照顧到作業(yè)者的安全，也能提高層疊精度。 若是以使貼合了的透光性硬質(zhì)基板不會(huì)容易地發(fā)生位置偏離為目的而進(jìn)行照射，則外周部分應(yīng)設(shè)為具有一定程度的寬度的區(qū)域，但若過度地照射至內(nèi)部，則不僅削弱不發(fā)生位置偏離程度的臨時(shí)固定這一目的，并且照射時(shí)間也變長(zhǎng)，因此使生產(chǎn)效率下降。典型的是用于臨時(shí)固定而照射的外周部分為5 25mm、更典型的是7 17mm左右的寬度。另外,照射光的外周部分優(yōu)選存在于不形成板狀制品的一部分的邊緣區(qū)域。對(duì)固定劑整體進(jìn)行照射時(shí)，可使形成板狀制品的部分的光照射經(jīng)歷均勻，固定劑的變形得到抑制。其結(jié)果是，也可以抑制該部分的基板變形。
就用于臨時(shí)固定而照射的光的波長(zhǎng)而言，只要根據(jù)所使用的固定劑的特性而適當(dāng)變更即可，例如可照射微波、紅外線、可見光、紫外線、X射線、Y射線、電子束等。從可簡(jiǎn)便地使用且具有較高能量方面出發(fā)，通常，照射光為紫外線。如此地，本發(fā)明中，所謂光不僅是指可見光，還包括寬范圍的波長(zhǎng)區(qū)域的電磁波(能量線)。
就用于臨時(shí)固定而照射的光而言，只要是臨時(shí)固定透光性硬質(zhì)基板所需要的程度的照射量即可，以使用了 365nm的光接收器的積算照度計(jì)測(cè)定時(shí)，通?？梢允荌 500mJ/ cm2、典型的是3 300mJ/cm2、更典型的是5 500mJ/cm2。作為照射時(shí)間，一般為I 120 秒、典型的是2 60秒左右、優(yōu)選為2. 5秒 20秒左右。
在工序(6)中，對(duì)預(yù)接合了的透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行輥壓。將輥壓的原理示于圖17。 就輥壓而言，具有被設(shè)置在上下方向上的至少一對(duì)輥41，被輥41夾持的基板42因輥的旋轉(zhuǎn)而向前方送出。在此期間基板42承受上下方向的壓力。因基板相互被預(yù)接合，因此減輕了在通過輥壓期間產(chǎn)生位置偏離的危險(xiǎn)性，另一方面固定劑因未固化而使得其流動(dòng)性得到維持。所以，通過將預(yù)接合了的透光性硬質(zhì)基板通過輥壓，從而使固定劑適度地流動(dòng)而提高了厚度均勻性。由于預(yù)接合時(shí)基板相互平行地貼合，所以固定劑的厚度均勻性與未經(jīng)預(yù)接合就輥壓的情況相比有所提高。過量的固定劑從基板外周流出。即使在預(yù)接合時(shí)基板間有氣泡產(chǎn)生的情況下，也能夠在使基板通過壓制機(jī)期間除去。
即便進(jìn)行了利用工序(5’)的臨時(shí)固定的情況下，因被固化的固定劑僅為外周，其接合力弱，可通過輥壓使固化部分潰決。不能順利進(jìn)行潰決的情況下，可以不將工序(5’)中的光照射對(duì)基板外周整體同樣地實(shí)施，而是斷續(xù)地對(duì)外周實(shí)施光照射。其結(jié)果是，基板外周的固定劑被分成未固化部分與固化部分，變得容易發(fā)生以未固化部分為起點(diǎn)的固化部分潰決。
用于輥壓的裝置本身為公知的，認(rèn)為不需要詳細(xì)說明，但在本發(fā)明中希望能注意以下幾點(diǎn)來確定運(yùn)行條件。首先，優(yōu)選輥比透光性硬質(zhì)基板的寬度長(zhǎng)。這是因?yàn)樵谳S向排列多個(gè)短輥的情況下，輥與輥之間會(huì)產(chǎn)生間隙，難以在基板寬度方向的范圍內(nèi)施加均勻的壓力。另外，輥被成對(duì)地配置成從上下夾持貼合了的基板，但若僅有一對(duì)輥，則基板容易翹曲，所以優(yōu)選在板通過的方向上設(shè)置兩對(duì)以上(例如2對(duì)、3對(duì)或4對(duì))。從防止基板翹起的觀點(diǎn)出發(fā)，輥優(yōu)選設(shè)為不加熱。
若輥壓力過高，則基板會(huì)破裂或固定劑中的粒狀物質(zhì)會(huì)被壓碎，結(jié)果無法得到所希望的厚度，另一方面若過低，則不僅無法得到厚度，而且還無法去除氣泡。優(yōu)選以能去除氣泡且得到所希望的厚度的方式適宜地調(diào)節(jié)輥壓力。例如，能夠以輥的線壓力成為O. IkN/ m 10kN/m、典型的是成為O. 2kN/m 5kN/m的方式來運(yùn)行棍壓機(jī)。還可以根據(jù)貼合片數(shù)來調(diào)整上下輥間的間隙。
若透光性硬質(zhì)基板的運(yùn)送速度過快，則不僅無法去除氣泡，還得不到所希望的厚度，另一方面，若過慢，則生產(chǎn)率會(huì)變差，因此優(yōu)選適宜地調(diào)整輥的運(yùn)送速度。例如，可以將運(yùn)送速度設(shè)成100 800mm/分鐘、典型的是150 700mm/分鐘而運(yùn)行輥壓機(jī)。
對(duì)輥的材質(zhì)無特別限制，出于不會(huì)損傷基板，不會(huì)因溢出的固定劑而溶解、可得到所希望的厚度之類的理由，優(yōu)選有機(jī)硅、聚氨酯橡膠等。
輥壓后，在工序(7 )中，照射使被兩片透光性硬質(zhì)基板夾持而擴(kuò)展的固定劑整體進(jìn)行固化的光，形成透光性硬質(zhì)基板層疊體。通過對(duì)固定劑整體照射光，可強(qiáng)有力地貼合兩片透光性硬質(zhì)基板，可發(fā)揮防止層疊透光性硬質(zhì)基板時(shí)的位置偏離的功能。
就照射的光的波長(zhǎng)而言，根據(jù)所使用的固定劑的特性而適宜地變更即可，例如可照射微波、紅外線、可見光、紫外線、X射線、Y射線、電子束等。從可簡(jiǎn)便地使用且具較高能量的觀點(diǎn)出發(fā)，通常，照射光為紫外線。如此地，本發(fā)明中，所謂光不僅是指可見光，還包括寬范圍的波長(zhǎng)區(qū)域的電磁波(能量線)。光源例如可使用黑光燈、高壓汞燈、LED燈、金屬鹵化物燈。
照射的光的照射量以使用了 365nm的光接收器的積算照度計(jì)測(cè)定時(shí)，通常為 1000 5000mJ/cm2、典型的是1200 4500mJ/cm2、更典型的是1400 4000mJ/cm2、優(yōu)選為 1500 3500mJ/cm2。作為照射時(shí)間，一般為O. I 120秒、典型的是15 75秒、更典型的是20 60秒左右。
工序(7)中，從固化固定劑整體方面出發(fā)，必須照射能量強(qiáng)度高的光，因此希望使用考慮到作業(yè)者安全的照射裝置時(shí)，在這樣的照射裝置沒有在輥壓機(jī)附近或的情況下、在照射前有等待時(shí)間的情況下，可考慮將透光性硬質(zhì)基板搬運(yùn)至照射裝置或保存于規(guī)定的保存場(chǎng)所。在這樣的情況下，優(yōu)選防止搬運(yùn)中的基板位置偏離和保存中的固定劑漏出。因此， 可在工序(6)與工序(7)之間實(shí)施如下工序(6’ ):照射僅使被兩片透光性硬質(zhì)基板夾持而擴(kuò)展的固定劑的外周部分進(jìn)行固化的光或者對(duì)固定劑整體照射與工序(7)相比低能量的光，形成臨時(shí)固定的透光性硬質(zhì)基板層疊體。除了不施加壓力以外，工序(6’)可以在與工序(5’)相同的條件下實(shí)施。工序(6’)可與工序(5’)擇一地實(shí)施。在實(shí)施工序(6’)前，優(yōu)選一邊用攝像裝置拍攝附加于基板表面的用于位置對(duì)合的標(biāo)記，一邊進(jìn)行預(yù)接合了的透光性硬質(zhì)基板的面方向的位置調(diào)整。作為用于進(jìn)行在此情況下的位置調(diào)整的方法，如圖16-2 所例示，有如下方法在第一透光性硬質(zhì)基板31的第二面?zhèn)群偷诙腹庑杂操|(zhì)基板32的第二面?zhèn)仍O(shè)置攝像裝置30，一邊利用攝像裝置30拍攝標(biāo)記，一邊用手移動(dòng)第二透光性硬質(zhì)基板32的方法?？蓪⒌谝煌腹庑杂操|(zhì)基板31利用吸附孔33吸附于平臺(tái)35。根據(jù)需要，可在平臺(tái)35設(shè)置拍攝用孔34。
工序(7)也能在以批處理方式將光的照射源固定的情況下來進(jìn)行，但在此情況下照射光的入射角成為恒定。特別是在硬質(zhì)基板的表面附有印刷圖案這樣的情況下，這會(huì)妨礙光到達(dá)存在于其背側(cè)的固定劑，而若改變照射光的入射角，則即便存在光難以從一定方向到達(dá)的固定劑部位，光也能容易地到達(dá)這樣的部位。因此，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式中， 工序(7)中，可一邊使入射角改變一邊照射光。作為改變?nèi)肷浣堑姆椒ǎ幸苿?dòng)照射源的方法、移動(dòng)基板的方法等，例如可考慮在將透光性硬質(zhì)基板層疊體用輸送機(jī)運(yùn)送的過程中實(shí)施工序(7)。
因?yàn)檎丈涞墓鈺?huì)被固定劑吸收，所以若層疊片數(shù)變多，則處于遠(yuǎn)離照射源的層中的固定劑變得難以固化。另外，若無序地確定照射光的方向，則透光性硬質(zhì)基板層疊體內(nèi)部的固定劑所受到的光照射經(jīng)歷會(huì)有差異，使層間或同一層內(nèi)的固定劑的固化程度產(chǎn)生變化。這是由于固定劑雖然因光照射而固化，但隨著光照射量的增加，會(huì)逐次軟化。在此情況下，以固化變形不同為起因，透光性硬質(zhì)基板有可能不以均勻的厚度層疊而以變形的狀態(tài)層置。
因此，優(yōu)選使存在于透光性硬質(zhì)基板層疊體的層間的固定劑的光照射經(jīng)歷均勻化。作為用于減少偏差的方法，有總是從新貼合的透光性硬質(zhì)基板側(cè)照射光的方法。換言之，在工序(7)或工序(6’)中，可向第二透光性硬質(zhì)基板的表面照射光。工序(7)和工序 (6’)中，包含因工序(8)而被重復(fù)的工序(7)和被任意重復(fù)的工序(6’)。
通過調(diào)整照射光的強(qiáng)度，可進(jìn)一步減少偏差。例如，可考慮將照射光的強(qiáng)度與固定劑的厚度的關(guān)系設(shè)定至不 透過存在未固化固定劑的新貼合面的程度。作為具體條件，可例舉以使用了 365nm的光接收器的積算照度計(jì)測(cè)定時(shí)，光的強(qiáng)度為lOOmW/cm2以下，若考慮到生產(chǎn)率，則為10 100mW/cm2、優(yōu)選為50 100mW/cm2，固定劑的厚度為75 μ m以上，從防止透光性硬質(zhì)基板層疊體加工時(shí)的尺寸偏差的觀點(diǎn)出發(fā)，設(shè)為75 120 μ m、優(yōu)選設(shè)為75 110 μ m。若如此進(jìn)行，則存在于已有的貼合面的固定劑幾乎不會(huì)受到進(jìn)一步的照射，所以所有存在于貼合面的固定劑會(huì)具有實(shí)質(zhì)上相同的照射經(jīng)歷。
在工序(8)中，將工序(7)中所得的透光性硬質(zhì)基板層疊體視為第一透光性硬質(zhì)基板，至少重復(fù)I次工序(I) (7)。由此，可得到至少貼合了 3片透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體。從提高板狀制品的生產(chǎn)效率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選制造層疊10片以上的透光性硬質(zhì)基板、典型的是10 30枚的透光性硬質(zhì)基板而成的透光性硬質(zhì)基板層疊體。通過在每次貼合透光性硬質(zhì)基板時(shí)固化固定劑，使透光性硬質(zhì)基板相互牢固地接合。因此，即便增加層疊片數(shù)，也不會(huì)發(fā)生如專利文獻(xiàn)I那樣的位置偏離的問題。
<板狀制品的制造>
可由通過上述透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法得到的透光性硬質(zhì)基板層疊體來制造板狀制品。
首先，在工序(9)中，在厚度方向上分割透光性硬質(zhì)基板層疊體，形成分割成所希望的數(shù)量的透光性硬質(zhì)基板層疊體。分割方法無特別限制，可列舉出如下方法將圓盤刀具 (金剛石磨盤、超硬合金磨盤)、固定磨粒式或游離磨粒式線鋸、激光束、蝕刻(例如，使用了氟酸、硫酸等的化學(xué)蝕刻、電解蝕刻)及加熱帶(鎳鉻線)分別單獨(dú)使用或組合使用，分割成相同尺寸的長(zhǎng)方體形狀。蝕刻也可用于分割后的截?cái)嗝娴谋砻嫣幚怼?br> 接著，在工序(10)中，對(duì)被分割了的透光性硬質(zhì)基板層疊體分別進(jìn)行所希望的形狀加工。在此工序中，因?yàn)榭蓪?duì)每個(gè)被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體一體地加工成目標(biāo)板狀制品的形狀，所以有格外提高板狀制品的生產(chǎn)速度的優(yōu)點(diǎn)。形狀加工通過公知的任意方法進(jìn)行即可，例如可列舉出利用砂輪的研削、利用超聲波振動(dòng)鉆頭的開孔、利用旋轉(zhuǎn)刷的端面加工、利用蝕刻的開孔、利用蝕刻的端面加工、利用蝕刻的外形加工、使用燃燒器的火焰加工等。加工方法可分別單獨(dú)使用或組合使用。蝕刻也可用于形狀加工后的表面處理。
在工序(11)中，通過將形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)行加熱，將被貼合的透光性硬質(zhì)基板相互剝離，形成多個(gè)板狀制品。作為加熱方法，雖無特別限制，但為了使固定劑軟化成膜狀而很好地分離各板狀制品，優(yōu)選將形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體浸潰于溫水的方法。適合的溫水溫度因所采用的固定劑不同而異，但通常為60 95°C左右，優(yōu)選為80 90°C。
在各透光性硬質(zhì)基板的表面附有用于發(fā)揮板狀制品的功能之一的規(guī)定的印刷圖案和/或鍍覆圖案的情況下，存在于這些圖案的背側(cè)的固定劑與未被這些圖案遮擋的部位相比不易固化。因此，在工序(9)與工序(11)之間，可設(shè)計(jì)向被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體的側(cè)面照射用于使未固化的固定劑固化的光的工序。因向側(cè)面照射光，所以有利于固化層疊體內(nèi)部的固定劑。
照射的光的照射量以使用了 365nm的光接收器的積算照度計(jì)測(cè)定時(shí)，對(duì)透光性硬質(zhì)基板層疊體的一個(gè)側(cè)面，通常為1000 15000mJ/cm2、典型的是1500 10000mJ/cm2、更典型的是2000 9000mJ/cm2、優(yōu)選的是4000 8000mJ/cm2。照射時(shí)間通常為O. I 120 秒、典型的是15 75秒、更典型的是20 60秒左右。
作為光源，例如可使用黑光燈(bIack I ight)、高壓汞燈、LED燈、金屬鹵化物燈等， 若為高壓汞燈或金屬鹵化物燈，則照射強(qiáng)度強(qiáng)，因此可期待更進(jìn)一步的效果。
<裝置構(gòu)成例>
對(duì)將透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行預(yù)接合時(shí)可使用的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的例子進(jìn)行說明。
圖I是表示本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的第一例的示意圖。透光性硬質(zhì)基板貼合裝置10具備架臺(tái)11、上側(cè)平臺(tái)12、加壓?jiǎn)卧?3、吸引單元14、吸引孔15、LED單元16、下側(cè)平臺(tái)17、下側(cè)平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)18、側(cè)夾持器19、下側(cè)基板用涂布單元20、上側(cè)基板用涂布單元21、攝像單元22及電裝單元(electric fitting unit) 23。
在本實(shí)施方式中具備LED單元16，以便通過對(duì)基板外周照射紫外線而進(jìn)行臨時(shí)固定。在不進(jìn)行臨時(shí)固定的實(shí)施方式中不需要LED單元16。
架臺(tái)11為裝載透光性硬質(zhì)基板貼合裝置10的各構(gòu)成設(shè)備的基座部分，在內(nèi)部配置有電裝單元23。電裝單元23通過PLC (Programmable Logic Controller,可編程邏輯控制器)進(jìn)行各構(gòu)成設(shè)備的順序控制。
上側(cè)平臺(tái)12通過真空吸附而保持上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25。因此，在上側(cè)平臺(tái)12 的下面開有多個(gè)吸引孔15，吸引孔15由配管連接于吸引單元14。圖2為上側(cè)平臺(tái)12的下面的示意圖，顯示出吸引孔15的排列例。作為吸引單元14，可使用真空泵、真空發(fā)生器等。
上側(cè)平臺(tái)12的上部連接有用于將上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25向下側(cè)透光性硬質(zhì)基板 24邊按壓邊貼合的加壓?jiǎn)卧?3。加壓?jiǎn)卧?3具有能使上側(cè)平臺(tái)12在Z方向(垂直方向) 上移動(dòng)的升降汽缸(未圖示)，可通過伺服電動(dòng)機(jī)控制加壓力、移動(dòng)速度、加壓時(shí)間、高度。
在上側(cè)平臺(tái)12的下面埋入有多個(gè)用于向下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24照射固定劑固化用紫外線的LED單元16。LED單元16以沿著吸附于上側(cè)平臺(tái)12的上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25 的外周的方式排列。圖2中表示LED單元16的排列狀態(tài)的例子。通過將LED單元16配置成不僅一列，而是并列的兩列以上，從而也可增加照射的外周部分的寬度。通過調(diào)整LED單元16的排列間隔，從而能調(diào)整未固化部分的范圍。
下側(cè)平臺(tái)17保持下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24，并且加 壓時(shí)擋住來自上側(cè)平臺(tái)12的壓力。下側(cè)平臺(tái)17利用下側(cè)平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)18而可在X軸方向、Y軸方向及Θ軸方向上移動(dòng)。 下側(cè)平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)18由可在水平方向上旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的Θ工作臺(tái)、可水平移動(dòng)的X工作臺(tái)及Y 工作臺(tái)構(gòu)成。這些工作臺(tái)由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)。下側(cè)平臺(tái)17的上面設(shè)置有將所載置的透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行位置對(duì)合的、可在X軸方向及Y軸方向移動(dòng)的由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的側(cè)夾持器19。代替?zhèn)葕A持器19，也可以將用于將透光性硬質(zhì)基板載置于規(guī)定位置的定位止動(dòng)器設(shè)置于下側(cè)平臺(tái)17的上面。在此情況下，可將透光性硬質(zhì)基板通過手動(dòng)作業(yè)而載置于利用止動(dòng)器固定透光性硬質(zhì)基板的位置。另外，為了防止透光性硬質(zhì)基板的位置偏離，與上側(cè)平臺(tái)12同樣， 下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24也可利用真空吸附來保持。
下側(cè)基板用涂布單元20具備光固化性固定劑的分配器20a以及與其連接的可在 X軸、Y軸及Z軸方向上移動(dòng)的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)械手20b，可在下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24的上面以任意圖案涂布固定劑。固定劑被裝填于注射器，被自動(dòng)地定量排出。通過數(shù)字壓力計(jì)和涂布速度來控制涂布量。
上側(cè)基板用涂布單元21在上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25被保持在上側(cè)平臺(tái)12的狀態(tài)下向上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25的下面自動(dòng)涂布光固化性固定劑。通過壓力計(jì)和涂布時(shí)間來控制涂布量。上側(cè)基板用涂布單元21在上側(cè)和下側(cè)平臺(tái)側(cè)面安裝有電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)械手 21b，其具有能沿水平方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸，在涂布時(shí)，前端的旋轉(zhuǎn)噴嘴21a被配置在上側(cè)平臺(tái)12的中央附近的下方，從噴嘴21a前端涂布固定劑。涂布結(jié)束后，以不妨礙透光性硬質(zhì)基板貼合的方式，被收納于上側(cè)和下側(cè)平臺(tái)的側(cè)面。
攝像單元22是用連接在臂狀物的前端部分的上下2個(gè)位置的數(shù)碼照相機(jī)22a，拍攝設(shè)置在上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24的各表面的用于位置對(duì)合的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)。電裝單元23基于所拍攝的圖像信息，檢測(cè)上側(cè)透光性硬質(zhì)基板25和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24的相對(duì)位置偏離狀態(tài)?；跈z測(cè)結(jié)果，實(shí)行利用下側(cè)平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)18在X軸方向、Y軸方向及Θ軸方向上微調(diào)整下側(cè)平臺(tái)17的位置而修正位置偏離的操作。修正位置偏離后，進(jìn)行兩片透光性硬質(zhì)基板的貼合。作為照相機(jī)，除了將CCD、CMOS用于攝像元件的數(shù)碼照相機(jī)以外，還可使用模擬照相機(jī)，但從高解像度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選數(shù)碼照相機(jī)。本實(shí)施方式中，攝像裝置雖然拍攝上側(cè)透光性硬質(zhì)基板和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板的各自的貼合面，但可以將攝像裝置變更至如圖16-1所示的配置。
攝像單元22具備利用X軸、Y軸方向的電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)22b，在拍攝時(shí)，數(shù)碼照相機(jī)22a移動(dòng)至使對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)進(jìn)入視野的規(guī)定位置。拍攝結(jié)束后，將數(shù)碼照相機(jī)22a以不妨礙透光性硬質(zhì)基板貼合的方式移動(dòng)。
參照?qǐng)D3 14，對(duì)使用了第一例的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置10的透光性硬質(zhì)基板的貼合步驟進(jìn)行說明。
首先，將第一片透光性硬質(zhì)基板26載置于下側(cè)平臺(tái)17，用側(cè)夾持器19 (未圖示) 固定于規(guī)定位置(圖3)。透光性硬質(zhì)基板26向下側(cè)平臺(tái)17的載置能夠通過手動(dòng)作業(yè)進(jìn)行，但是也可以將多個(gè)透光性硬質(zhì)基板26收納于專用盒，自動(dòng)地載置于下側(cè)平臺(tái)17。將被載置的透光性硬質(zhì)基板26利用下側(cè)平臺(tái)移動(dòng)機(jī)構(gòu)18 (未圖示)移動(dòng)至上側(cè)平臺(tái)12的正下方 (圖4)。接著，利用加壓?jiǎn)卧?3使上側(cè)平臺(tái)12下降。用來自吸引孔15 (未圖示)的吸引力來真空吸附透光性硬質(zhì)基板26 (圖5)。被吸附的透光性硬質(zhì)基板26—邊被保持，一邊與上側(cè)平臺(tái)12 —起上升，等待第兩片基板(圖6)。
接著，將第兩片透光性硬質(zhì)基板27載置于下側(cè)平臺(tái)17，以側(cè)夾持器19 (未圖示) 固定于規(guī)定位置(圖7)。固定劑28由下側(cè)基板用涂布單元20以規(guī)定圖案涂布于第兩片透光性硬質(zhì)基板27的上面(圖8)。涂布完成后，載置于下側(cè)平臺(tái)17的第兩片透光性硬質(zhì)基板 27移動(dòng)至上側(cè)平臺(tái)12的正下方，用被安裝在攝像單元22的臂狀物前端的照相機(jī)來拍攝對(duì)準(zhǔn)標(biāo)識(shí)，根據(jù)拍攝結(jié)果微調(diào)整下側(cè)平臺(tái)17的位置，進(jìn)行兩片透光性硬質(zhì)基板(26、27)的位置調(diào)整(圖9)。
位置調(diào)整后，被安裝在上側(cè)基板用涂布單元21的臂狀物前端的噴嘴21a移動(dòng)到被保持在上側(cè)平臺(tái)12的第一片基板26的中央附近，固定劑29由噴嘴21a涂布在第一片透光性硬質(zhì)基板26的下面(圖10)。將固定劑(28、29)涂布于上側(cè)和下側(cè)透光性硬質(zhì)基板(26、 27)后，利用加壓?jiǎn)卧?3使上側(cè)平臺(tái)12下降，加壓并貼合兩片透光性硬質(zhì)基板(26、27)，被夾持在上側(cè)及下側(cè)透光性硬質(zhì)基板間的固定劑(28、29 )因加壓而擴(kuò)展于透光性硬質(zhì)基板整面。一邊維持加壓狀態(tài)，一邊使來自LED單元16的紫外線照射到透光性硬質(zhì)基板的外周部 (圖11)。由此僅固化位于外周部的固定劑。
照射紫外線后，解除對(duì)上側(cè)的基板26的吸附，僅使上側(cè)平臺(tái)12上升(圖12)。被貼合的透光性硬質(zhì)基板由下側(cè)平臺(tái)17運(yùn)送，回到原位置(圖13)。通過以上工序完成透光性硬質(zhì)基板的預(yù)接合。
然后，使臨時(shí)固定的透光性硬質(zhì)基板層疊體通過輥壓機(jī)，接著，照射用于固化固定劑整體的光，從而能形成透光性硬質(zhì)基板層疊體。通過重復(fù)該步驟，制造貼合了多個(gè)透光性硬質(zhì)基板的層疊體。
圖14是表示本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的第二實(shí)施方式的示意圖。本實(shí)施方式中，LED單元16在下側(cè)平臺(tái)17的上面沿著下側(cè)透光性硬質(zhì)基板24的外周排列，朝上方照射紫外線。
圖15是表示本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板貼合裝置的第三實(shí)施方式的示意圖。LED單元16以包圍被貼合的兩片透光性硬質(zhì)基板的外周側(cè)面的方式進(jìn)行排列，向外周側(cè)面照射紫外線。LED單元16具有在Z軸方向上的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，可根據(jù)貼合面高度而移動(dòng)到最適當(dāng)?shù)母叨取４送?，改變了攝像單元22的配置。
以上雖然參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并非限定于這些實(shí)施方式，而可進(jìn)行各種變更。
實(shí)施例
<發(fā)明例>
I.固定劑的制作
混合以下(A) (D)的成分，制作固定劑。準(zhǔn)備了 2種固定劑。
(固定劑I)
(A)以20質(zhì)量份日本合成化學(xué)公司制“UV-3000B”(尿烷丙烯酸酯，以下簡(jiǎn)稱為“UV-3000B”)、15質(zhì)量份二環(huán)戊基二丙烯酸酯(日本化藥公司制”KAYARAD R-684”，以下簡(jiǎn)稱為” R-684 ”)，作為多官能(甲基)丙烯酸酯，
(B)以40質(zhì)量份丙烯酸2- (1，2-環(huán)己二羧基酰亞胺)乙酯(東亞合成公司制 "ARONIX M-140”，以下簡(jiǎn)稱為“M_140”)、25質(zhì)量份酚環(huán)氧乙烷2摩爾改性丙烯酸酯(東亞合成公司制“ARONIX M-101A”)，作為單官能(甲基)丙烯酸酯，
(C)5質(zhì)量份BDK :苯偶酰二甲基縮酮(BASF公司制“IRGACURE651”)作為光聚合引發(fā)劑，
(D)以I質(zhì)量份平均粒徑(D50)為102. 6μπι的球狀交聯(lián)聚苯乙烯粒子(Ganz Chemical公司制”GS-100S”)作為不溶解于(A) (C)的粒狀物質(zhì)。
(固定劑2)
(A)以20質(zhì)量份日本合成化學(xué)公司制“UV-3000B”(尿烷丙烯酸酯，以下簡(jiǎn)稱為 “UV-3000B”)、15質(zhì)量份二環(huán)戊基二丙烯酸酯(日本化藥公司制“KAYARAD R-684",以下簡(jiǎn)稱為” R-684 ”)，作為多官能(甲基)丙烯酸酯，
(B)以40質(zhì)量份丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯(東亞合成公司制“ARONIX M-5700”，以下簡(jiǎn)稱為“M-5700”)、25質(zhì)量份酚環(huán)氧乙烷2摩爾改性丙烯酸酯(東亞合成公司制“ARONIX M-101A”)，作為單官能(甲基)丙烯酸酯，
(C)以5質(zhì)量份BDK:苯偶酰二甲基縮酮(BASF公司制“IRGACURE651”)作為光聚合引發(fā)劑，
(D)以I質(zhì)量份平均粒徑(D50)為102. 6 μ m的球狀交聯(lián)聚苯乙烯粒子(Ganz化成公司制“GS-100S”)作為不溶于(A) (C)的粒狀物質(zhì)。
2.透光性硬質(zhì)基板的貼合
使用具有上述圖I的構(gòu)成的貼合裝置，對(duì)作為透光性硬質(zhì)基板的附有位置對(duì)合用標(biāo)記的玻璃板(寬530mmX長(zhǎng)420mmX厚O. 7mm的玻璃板)進(jìn)行預(yù)接合。其中，用于位置對(duì)合的攝像裝置的配置如圖16-1所示。裝置的運(yùn)行條件如下。
<貼合裝置運(yùn)行條件>
·貼合壓力400g/cm2
貼合時(shí)間180秒
對(duì)上側(cè)玻璃板的固定劑涂布量5g
對(duì)下側(cè)玻璃板的固定劑涂布量33g
·臨時(shí)固定用UV照射量20mJ/cm2 (通過使用了 365nm的光接收器的積算照度計(jì)測(cè)定)
·臨時(shí)固定用UV照射時(shí)間3秒
· UV照射的外周部分的寬度7mm
· UV 光源LED 燈
3.輥壓
對(duì)預(yù)接合了的玻璃板實(shí)施輥壓。輥壓的運(yùn)行條件如下。
<輥壓運(yùn)行條件>
輥對(duì)數(shù)2
輥有無加熱無0179] 線壓力0· 5kN/m0180] 棍寬1m0181] 運(yùn)送速度200mm/分鐘0182] 輥材質(zhì)有機(jī)硅0183]4.固定劑的固化0184]對(duì)輥壓后的玻璃板整體表面照射UV。照射條件如下。0185] UV照射量2800mJ/cm2 (通過使用了 365nm的光接收器的積算照度計(jì)測(cè)定)0186] UV照射時(shí)間40秒0187] UV光源金屬鹵化物燈0188]5.層疊的重復(fù)0189]重復(fù)上述工序2 4，層疊10片玻璃板。0190]<比較例>0191]不進(jìn)行預(yù)接合，將與發(fā)明例等量的固定劑涂布于上側(cè)和下側(cè)的玻璃板，手動(dòng)貼合后，使用如圖16-2所示的攝像裝置進(jìn)行配置，手動(dòng)進(jìn)行位置對(duì)合，除此以外，通過與發(fā)明例相同的步驟來層疊10片玻璃板。
<平面度的測(cè)定>`
對(duì)如上得到的玻璃板層疊體，以三維坐標(biāo)測(cè)定機(jī)(東京精密制“SVA600A”)測(cè)定平面度。測(cè)定點(diǎn)取160點(diǎn)。將結(jié)果示于表I?？芍l(fā)明例能得到高的平面度。
表I
[表 I]
權(quán)利要求
1.一種透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，包括1)準(zhǔn)備第一透光性硬質(zhì)基板的工序，2)準(zhǔn)備第二透光性硬質(zhì)基板的工序，3)將光固化性固定劑涂布于第一透光性硬質(zhì)基板的第一面和/或第二透光性硬質(zhì)基板的第一面的工序，4)使第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面以兩面成為平行的方式對(duì)置的工序，5)一邊維持所述平行狀態(tài)，一邊對(duì)第一透光性硬質(zhì)基板的第一面與第二透光性硬質(zhì)基板的第一面施加壓力而進(jìn)行貼合，將兩片透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行預(yù)接合的工序，6)將預(yù)接合了的透光性硬質(zhì)基板進(jìn)行輥壓的工序，7 )在工序6 )之后，照射用于將被兩片透光性硬質(zhì)基板夾持而擴(kuò)展的固定劑整體進(jìn)行固化的光，形成透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序，以及8)將所述透光性硬質(zhì)基板層疊體視為第一透光性硬質(zhì)基板，將工序I) 7)重復(fù)至少一次，形成至少貼合有3片透光性硬質(zhì)基板的透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序。
2.如權(quán)利要求I所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，在工序(5)與工序(6)之間實(shí)施如下工序5’)在維持所述壓力的狀態(tài)下，照射用于僅將被兩片透光性硬質(zhì)基板夾持而擴(kuò)展的固定劑的外周部分進(jìn)行固化的光，形成臨時(shí)固定的透光性硬質(zhì)基板層疊體的工序，或者在工序(6)與工序(7)之間實(shí)施如下工序6’ )照射用于僅將被兩片透光性硬質(zhì)基板夾持而擴(kuò)展的固定劑的外周部分進(jìn)行固化的光，或者對(duì)固定劑整體照射與工序(7)相比低能量的光，形成臨時(shí)固定的透光性硬質(zhì)基板層置體的工序。
3.如權(quán)利要求2所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，包括在各透光性硬質(zhì)基板的表面附加用于位置對(duì)合的標(biāo)記，實(shí)施工序(5’)，且在工序4)或工序5)中，一邊用攝像裝置拍攝該標(biāo)記，一邊進(jìn)行面方向的位置調(diào)整。
4.如權(quán)利要求2所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，包括在各透光性硬質(zhì)基板的表面附加用于位置對(duì)合的標(biāo)記，實(shí)施工序(6’ ),且在工序(6)與工序(6’ )之間,一邊用攝像裝置拍攝該標(biāo)記，一邊進(jìn)行預(yù)接合了的透光性硬質(zhì)基板的面方向的位置調(diào)整。
5.如權(quán)利要求3或4所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，設(shè)置有從第一透光性硬質(zhì)基板的第二面?zhèn)扰臄z用于第一透光性硬質(zhì)基板位置對(duì)合的標(biāo)記的攝像裝置，以及從第二透光性硬質(zhì)基板的第一或第二面?zhèn)扰臄z用于第二透光性硬質(zhì)基板位置對(duì)合的標(biāo)記的攝像裝置。
6.如權(quán)利要求I飛中任一項(xiàng)所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，工序(7) 是通過向第二透光性硬質(zhì)基板的表面照射光來進(jìn)行的。
7.如權(quán)利要求1飛中任一項(xiàng)所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，在各透光性硬質(zhì)基板的表面附有用于發(fā)揮板狀制品的功能之一的規(guī)定的印刷圖案和/或鍍覆圖案。
8.如權(quán)利要求廣7中任一項(xiàng)所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，所述固定劑含有粒狀物質(zhì)。
9.如權(quán)利要求廣8中任一項(xiàng)所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，在以使用了 365nm的光接收器的積算照度計(jì)進(jìn)行測(cè)定時(shí)，工序(7)中的光的照射量為IOOOmJ/ cm2 5000mJ/cm2 的范圍。
10.如權(quán)利要求I、中任一項(xiàng)所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，透光性硬質(zhì)基板是玻璃板。
11.如權(quán)利要求廣10中任一項(xiàng)所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，在工序(7 )中，一邊使入射角改變，一邊照射光。
12.如權(quán)利要求11所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其中，工序(7)是在將透光性硬質(zhì)基板層疊體用輸送機(jī)進(jìn)行運(yùn)送的過程中實(shí)施的。
13.一種板狀制品的制造方法，包括9)將使用權(quán)利要求f12中任一項(xiàng)所述的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法而得到的透光性硬質(zhì)基板層疊體在厚度方向上進(jìn)行分割，形成被分割成所希望的數(shù)量的透光性硬質(zhì)基板層置體的工序，10)分別對(duì)被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)行所希望的形狀加工的工序，以及11)通過將形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體進(jìn)行加熱，從而將被貼合了的透光性硬質(zhì)基板相互剝離，形成多個(gè)板狀制品的工序。
14.如權(quán)利要求13所述的板狀制品的制造方法，其中，在各透光性硬質(zhì)基板的表面附有用于發(fā)揮板狀制品的功能之一的規(guī)定的印刷圖案和/或鍍覆圖案，在工序(9)與工序(11)之間包括向被分割的透光性硬質(zhì)基板層疊體的側(cè)面照射用于使未固化的固定劑固化的光。
15.如權(quán)利要求13或14所述的板狀制品的制造方法，其中，工序(11)包括將形狀加工后的透光性硬質(zhì)基板層疊體浸潰于溫水，使固定劑軟化成膜狀。
全文摘要
本發(fā)明提供一種透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法，其既可減少破裂的危險(xiǎn)性，又可實(shí)現(xiàn)厚度精度的提高。本發(fā)明的透光性硬質(zhì)基板層疊體的制造方法中，以透光性硬質(zhì)基板的貼合面相互成為平行的方式對(duì)置，在維持平行狀態(tài)的情況下，使兩片硬質(zhì)基板接近，使用光固化性固定劑進(jìn)行預(yù)貼合，對(duì)貼合了的透光性硬質(zhì)基板實(shí)施輥壓，然后將固定劑固化。
文檔編號(hào)C03B33/023GK102947233SQ20118002953
公開日2013年2月27日 申請(qǐng)日期2011年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月15日
發(fā)明者栗村啟之, 金井朋之, 市川勇, 中島剛介, 宮崎隼人, 林泰則, 田中賢司 申請(qǐng)人:電氣化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社