一種ito膜導電玻璃生產(chǎn)方法及一種真空旋涂設備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及ITO鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種ITO膜導電玻璃生產(chǎn)方法及一種真空旋涂設備。所述真空旋涂設備包括真空室，真空室內(nèi)設置有旋轉(zhuǎn)臺，旋轉(zhuǎn)臺上設置有玻璃夾具；所述真空室的右側(cè)依次設置有一級干燥室和二級干燥室，使得ITO膜的膜厚更均勻，產(chǎn)品穿透率和阻抗特性更理想。
【專利說明】—種ITO膜導電玻璃生產(chǎn)方法及一種真空旋涂設備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及ΙΤ0鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種ΙΤ0膜導電玻璃生產(chǎn)方法及一種真空旋涂設備。
【背景技術(shù)】
[0002]氧化銦錫(ΙΤ0)是一種N型半導體，常溫下具有良好的導電性能，對可見光有很好的透過率，是生產(chǎn)液晶屏及觸摸屏的關(guān)鍵材料之一。液晶顯示器之所以能顯示特定的圖形，就是利用導電玻璃上的透明導電膜，經(jīng)蝕刻制成特定外形的電極，上下導電玻璃制成液晶盒后，在這些電極上加適當電壓信號，使具有偶極矩的液晶分子在電場作用下特定的方面排列，僅而顯示出與電極波長相對應的圖形。隨著液晶屏及觸摸屏技術(shù)的高速發(fā)展，如何使得ΙΤ0膜的膜厚更均勻，產(chǎn)品穿透率和阻抗特性更理想，成為函待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種ΙΤ0膜導電玻璃生產(chǎn)方法及一種真空旋涂設備，使得ΙΤ0膜的膜厚更均勻，產(chǎn)品穿透率和阻抗特性更理想。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)。
[0005]一種ΙΤ0膜導電玻璃生產(chǎn)方法，它包括如下步驟:
第一步，將大片玻璃切割成玻璃基片；
第二步，對玻璃基片進行磨邊和倒 角，并清除所產(chǎn)生的微粒；
第三步，對玻璃基片的表面進行研磨拋光處理；
第四步，以高精密洗凈法完全洗凈玻璃基片；
第五步，配置ΙΤ0膜凝膠:將一定量的銦溶解在濃酸鹽中得到InCl3溶液，取出一定量的InCl3溶液，與乙酰丙酮按1:2 —1:3的摩爾比混合攪拌得到透明溶液；再按透明溶液與乙二醇甲醚的質(zhì)量比為80:5的比例加入乙二醇甲醚，在室溫下攪拌，得到In溶膠；按In:Sn質(zhì)量比為25:2的比例加入SnCl4.5Η20，攪拌20min得到In_Sn溶膠，然后按In_Sn溶膠與聚乙二醇的質(zhì)量比為80:20的比例加入聚乙二醇，靜置40min得到ΙΤ0膜膠液；
第六步，將ΙΤ0膜膠液涂于玻璃基片的中心處；
第七步，將玻璃基片固定放置于真空旋涂設備的旋轉(zhuǎn)臺上進行旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)臺位于真空旋涂設備的真空室內(nèi)，旋轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)速為200rpm/min，旋轉(zhuǎn)時間為80s，在玻璃基片的表面形成一層均勻的ΙΤ0凝膠；
第八步，根據(jù)ΙΤ0膜的厚度要求，重復第六步和第七步，形成多層ΙΤ0凝膠，以滿足ΙΤ0膜的厚度要求；
第九步，將玻璃基片放置于真空旋涂設備的一級干燥室中，在85° C溫度下干燥10-15分鐘；
第十步，再將玻璃基片放置于真空旋涂設備的二級干燥室中，在150° C溫度下熱處理10~15分鐘，使得多層ΙΤ0凝膠形成ΙΤ0膜；第十一步，檢查并記錄產(chǎn)品的穿透率和阻抗特性，并判斷產(chǎn)品是否為良品，良品即包裝起來。
[0006]一種真空旋涂設備，它包括真空室，真空室內(nèi)設置有旋轉(zhuǎn)臺，旋轉(zhuǎn)臺上設置有玻璃夾具；所述真空室的右側(cè)依次設置有一級干燥室和二級干燥室。
[0007]進一步的，它還包括穿透率檢驗室，透率檢驗室設置于二級干燥室的右側(cè)。
[0008]進一步的，它還包括阻抗特性檢驗室，阻抗特性檢驗室設置于透率檢驗室的右側(cè)。
[0009]本發(fā)明的有益效果為:本發(fā)明所述一種ΙΤ0膜導電玻璃生產(chǎn)方法及一種真空旋涂設備，使得ΙΤ0膜的膜厚更均勻，產(chǎn)品穿透率和阻抗特性更理想。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明的原理框圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步的說明。
[0012]一種ΙΤ0膜導電玻璃生產(chǎn)方法，它包括如下步驟:
第一步，將大片玻璃切割成玻璃基片；
第二步，對玻璃基片進行磨邊和倒角，并清除所產(chǎn)生的微粒；
第三步，對玻璃基片的表面進行研磨拋光處理；
第四步，以高精密洗凈法完全洗凈玻璃基片；第五步，配置Ι--膜凝膠:將一定量的銦溶解在濃酸鹽中得到InCl3溶液，取出一定量的InCl3溶液，與乙酰丙酮按1:2 —1:3的摩爾比混合攪拌得到透明溶液；再按透明溶液與乙二醇甲醚的質(zhì)量比為80:5的比例加入乙二醇甲醚，在室溫下攪拌，得到In溶膠；按In:Sn質(zhì)量比為25:2的比例加入SnCl4.5Η20，攪拌20min得到In_Sn溶膠，然后按In_Sn溶膠與聚乙二醇的質(zhì)量比為80:20的比例加入聚乙二醇，靜置40min得到ΙΤ0膜膠液；
第六步，將ΙΤ0膜膠液涂于玻璃基片的中心處；
第七步，將玻璃基片固定放置于真空旋涂設備的旋轉(zhuǎn)臺10上進行旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)臺10位于真空旋涂設備的真空室1內(nèi)，旋轉(zhuǎn)臺10轉(zhuǎn)速為200rpm/min，旋轉(zhuǎn)時間為80s，在玻璃基片的表面形成一層均勻的ΙΤ0凝膠；
第八步，根據(jù)ΙΤ0膜的厚度要求，重復第六步和第七步，形成多層ΙΤ0凝膠，以滿足ΙΤ0膜的厚度要求；
第九步，將玻璃基片放置于真空旋涂設備的一級干燥室2中，在85° C溫度下干燥10~15分鐘；
第十步，再將玻璃基片放置于真空旋涂設備的二級干燥室3中，在150° C溫度下熱處理10-15分鐘，使得多層ΙΤ0凝膠形成ΙΤ0膜；
第十一步，檢查并記錄產(chǎn)品的穿透率和阻抗特性，并判斷產(chǎn)品是否為良品，良品即包裝起來。
[0013]上述一種ΙΤ0膜導電玻璃生產(chǎn)方法，其特制的ΙΤ0膜凝膠使得產(chǎn)品穿透率和阻抗特性更理想，同時采用真空環(huán)境下進行旋涂，在沒有風阻和壓力差的影響下，能在玻璃基片的表面形成更為均勻的ΙΤ0凝膠，使得ΙΤ0膜的膜厚更均勻，有利于提高ΙΤ0膜導電玻璃的性能。
[0014]如圖1所示，本發(fā)明所述一種真空旋涂設備，它包括真空室1，真空室1內(nèi)設置有旋轉(zhuǎn)臺10，旋轉(zhuǎn)臺10上設置有玻璃夾具11 ;所述真空室1的右側(cè)依次設置有一級干燥室2和二級干燥室3。進一步的，它還包括穿透率檢驗室4，透率檢驗室設置于二級干燥室3的右側(cè)。進一步的，它還包括阻抗特性檢驗室5，阻抗特性檢驗室5設置于透率檢驗室的右偵t工作時，將玻璃基片固定放置于真空旋涂設備的旋轉(zhuǎn)臺10上進行旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)臺10位于真空旋涂設備的真空室1內(nèi)，旋轉(zhuǎn)臺10轉(zhuǎn)速為200rpm/min，旋轉(zhuǎn)時間為80s，在玻璃基片的表面形成一層均勻的ΙΤ0凝膠；然后將玻璃基片放置于真空旋涂設備的一級干燥室2中，在85° C溫度下干燥10-15分鐘；然后再將玻璃基片放置于真空旋涂設備的二級干燥室3中，在150° C溫度下熱處理10-15分鐘，使得多層ΙΤ0凝膠形成ΙΤ0膜；最后檢查并記錄產(chǎn)品的穿透率和阻抗特性，并判斷產(chǎn)品是否為良品。該真空旋涂設備可自動完成旋涂、干燥、穿透率檢驗和阻抗特性檢驗，大大提高了生產(chǎn)效率，同時采用真空環(huán)境下進行旋涂，在沒有風阻和壓力差的影響下，能在玻璃基片的表面形成更為均勻的ΙΤ0凝膠，使得ΙΤ0膜的膜厚更均勻，有利于提高ΙΤ0膜導電玻璃的性能，產(chǎn)品穿透率和阻抗特性更理想。
[0015]當然，本發(fā)明還可有其他多種制作方式，在不背離本發(fā)明精神及其實質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員可根據(jù)本發(fā)明作出相應的改變和變形。以上所述僅是本發(fā)明的較佳實施方式，故凡依本發(fā)明專利申請范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本發(fā)明專利保護·范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種ITO膜導電玻璃生產(chǎn)方法，其特征在于，它包括如下步驟:第一步，將大片玻璃切割成玻璃基片；第二步，對玻璃基片進行磨邊和倒角，并清除所產(chǎn)生的微粒；第三步，對玻璃基片的表面進行研磨拋光處理；第四步，以高精密洗凈法完全洗凈玻璃基片；第五步，配置ΙΤ0膜凝膠:將一定量的銦溶解在濃酸鹽中得到InCl3溶液，取出一定量的InCl3溶液，與乙酰丙酮按1:2 —1:3的摩爾比混合攪拌得到透明溶液；再按透明溶液與乙二醇甲醚的質(zhì)量比為80:5的比例加入乙二醇甲醚，在室溫下攪拌，得到In溶膠；按In:Sn質(zhì)量比為25:2的比例加入SnCl4.5Η20，攪拌20min得到In_Sn溶膠，然后按In_Sn溶膠與聚乙二醇的質(zhì)量比為80:20的比例加入聚乙二醇，靜置40min得到IT0膜膠液；第六步，將IT0膜膠液涂于玻璃基片的中心處；第七步，將玻璃基片固定放置于真空旋涂設備的旋轉(zhuǎn)臺上進行旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)臺位于真空旋涂設備的真空室內(nèi)，旋轉(zhuǎn)臺轉(zhuǎn)速為200rpm/min，旋轉(zhuǎn)時間為80s，在玻璃基片的表面形成一層均勻的IT0凝膠；第八步，根據(jù)IT0膜的厚度要求，重復第六步和第七步，形成多層IT0凝膠，以滿足IT0膜的厚度要求； 第九步，將玻璃基片放置于真空旋涂設備的一級干燥室中，在85° C溫度下干燥10-15分鐘；第十步，再將玻璃基片放置于真空旋涂設備的二級干燥室中，在150° C溫度下熱處理10~15分鐘，使得多層ΙΤ0凝膠形成ΙΤ0膜；第十一步，檢查并記錄產(chǎn)品的穿透率和阻抗特性，并判斷產(chǎn)品是否為良品，良品即包裝起來。
2.一種真空旋涂設備，其特征在于:它包括真空室，真空室內(nèi)設置有旋轉(zhuǎn)臺，旋轉(zhuǎn)臺上設置有玻璃夾具；所述真空室的右側(cè)依次設置有一級干燥室和二級干燥室。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種真空旋涂設備，其特征在于:它還包括穿透率檢驗室，透率檢驗室設置于二級干燥室的右側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種真空旋涂設備，其特征在于:它還包括阻抗特性檢驗室，阻抗特性檢驗室設置于透率檢驗室的右側(cè)。
【文檔編號】C03C17/23GK103664000SQ201310664977
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月11日
【發(fā)明者】郭衛(wèi)軍 申請人:湖北優(yōu)泰顯示技術(shù)有限公司