包括用于產(chǎn)生流體射流的噴嘴的半導(dǎo)體絲鋸的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本公開案涉及一種絲鋸，特別地涉及一種用于光生伏打和/或半導(dǎo)體應(yīng)用的絲鋸。本公開案特別地涉及一種絲鋸，在所述絲鋸中用切削液潤(rùn)滑和/或冷卻所述絲線，所述切削液可以經(jīng)由噴嘴輸送到絲網(wǎng)，所述噴嘴形成流體射流。
【背景技術(shù)】
[0002]絲鋸用于光生伏打和/或半導(dǎo)體工業(yè)。舉例而言，絲鋸將半導(dǎo)體工件切割成易于作進(jìn)一步處理的形狀，例如將硅錠切割成晶片、塊料或方材。所述絲鋸的絲線或切割絲線可以用于切割工件。切削液可以用于在切割期間潤(rùn)滑、冷卻和/或提供研磨顆粒。如本文所使用的，術(shù)語“半導(dǎo)體絲鋸”是指一種特別適用于切割半導(dǎo)體材料(諸如，半導(dǎo)體錠料)的絲鋸。
[0003]絲鋸的噴嘴可用于產(chǎn)生切削液的流體射流。所述流體射流可以引導(dǎo)到絲網(wǎng)處，所述絲網(wǎng)是以用于鋸切工件的絲鋸形成的。噴嘴可以定位為在絲鋸切割室中的絲網(wǎng)的正上方。噴嘴可以轉(zhuǎn)換流動(dòng)方向，例如在噴嘴出口處使切削液從軸向流動(dòng)轉(zhuǎn)換為縱向流動(dòng)，從而形成流體射流。
[0004]所希望的是所述流體射流是均勻的，特別地在所述流體射流的整個(gè)長(zhǎng)度上是均勻的，以便具有切削液對(duì)絲線的完全潤(rùn)滑、冷卻和/或均勻的研磨效果。此外，所希望的是所述流體射流在長(zhǎng)期的操作時(shí)段中是均勻的。
[0005]同樣希望的是減少噴嘴堵塞的風(fēng)險(xiǎn)。小顆?？赡軙?huì)阻塞噴嘴，所述小顆粒諸如在切割期間產(chǎn)生的工件的顆粒，以及所述切削液中的研磨顆粒。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]鑒于上述情形而提供下述。
[0007]公開了一種半導(dǎo)體絲鋸，所述絲鋸包括:支持件，所述支持件用于保持半導(dǎo)體工件；絲線導(dǎo)向器，所述絲線導(dǎo)向器用于形成絲網(wǎng)，所述絲網(wǎng)用于鋸切所述工件；以及噴嘴，噴嘴用于產(chǎn)生可引導(dǎo)到所述絲網(wǎng)處的流體射流。所述噴嘴包括出口管，所述出口管具有寬度和深度，其中所述出口管的寬度和長(zhǎng)度與所述出口管的面積剖面相符，其中(a)深度和寬度的比率大于3.5，和/或(b)所述出口管包括多個(gè)表面部分，所述表面部分用于提供切削液中的剪切應(yīng)力，其中所述表面部分設(shè)置在所述出口管的面積剖面的內(nèi)部區(qū)域中。
[0008]從從屬權(quán)利要求、說明書以及附圖，本公開案的進(jìn)一步優(yōu)點(diǎn)、特征、方面和細(xì)節(jié)將變得顯而易見。
[0009]本公開案還涉及一種用于執(zhí)行所公開的方法的裝置，所述裝置包括用于執(zhí)行所描述的每一方法步驟的裝置零件。這些方法步驟可經(jīng)由硬件元件、由適當(dāng)軟件編程的計(jì)算機(jī)、所述兩者的任意組合或以任何其他方式來執(zhí)行。此外，本公開案還涉及用于使所描述的裝置運(yùn)轉(zhuǎn)的方法。所述方法包括用于執(zhí)行所述裝置的每個(gè)功能的方法步驟。
[0010]此外，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例還涉及用于使所描述的裝置運(yùn)轉(zhuǎn)的方法。
【附圖說明】
[0011]以可詳細(xì)了解本公開案上述特征的方式，通過參考實(shí)施例可對(duì)以上簡(jiǎn)略概述的本公開案的上述特征作更具體的描述。所述附圖涉及實(shí)施例。
[0012]圖1圖示根據(jù)本文描述的實(shí)施例的包括噴嘴的絲鋸；
[0013]圖2圖示根據(jù)本文描述的實(shí)施例的絲鋸的噴嘴；
[0014]圖3圖示根據(jù)本文描述的實(shí)施例的絲鋸的噴嘴；
[0015]圖4圖示根據(jù)本文描述的實(shí)施例的絲鋸的噴嘴；
[0016]圖5圖示根據(jù)本文描述的實(shí)施例的絲鋸的噴嘴；
[0017]圖6圖示根據(jù)本文描述的實(shí)施例的噴嘴的出口管的表面部分的視圖；
[0018]圖7圖示根據(jù)本文描述的實(shí)施例的噴嘴的出口管的表面部分的視圖；
[0019]圖8圖示根據(jù)本文描述的實(shí)施例的噴嘴的出口管的表面部分的視圖；
[0020]圖9圖示根據(jù)本文描述的實(shí)施例的噴嘴的出口管的表面部分的視圖；
[0021]圖10圖示根據(jù)本文描述的實(shí)施例的噴嘴的出口管的視圖；
[0022]圖11圖示根據(jù)本文描述的實(shí)施例的噴嘴的出口管的視圖；以及
[0023]圖12圖示根據(jù)本文描述的實(shí)施例的噴嘴的視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]在這里，切削液可以例如是漿料，諸如包括研磨顆粒的漿料。在這里，“切削液簾”和“流體簾”可互換地使用。
[0025]在這里，“回旋通道(chicane) ”通常是指一種定位在噴嘴主腔室內(nèi)的結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)可以用于誘導(dǎo)流過所述噴嘴的切削液壓力下降。回旋通道可以阻止切削液的流動(dòng)，特別地通過使所述流體的運(yùn)動(dòng)方向改變而阻止切削液的流動(dòng)。例如，回旋通道可以采用兩腔室噴嘴的形式(諸如巢狀腔室)，所述兩腔室噴嘴具有在內(nèi)腔室中的開口(諸如，孔或者狹縫)，所述開口通向外腔室；所述外腔室可以通向噴嘴的出口管。巢狀腔室可以在噴嘴出口管(諸如，狹縫)處使流體減速和提供均勻壓力。在一個(gè)噴嘴中包含兩個(gè)腔室可能會(huì)導(dǎo)致所述噴嘴占據(jù)非常大的空間。而希望的是具有較小的噴嘴。
[0026]在這里，“與……相符”通常旨在表示性質(zhì)對(duì)應(yīng)，例如“相關(guān)”和/或“密切相關(guān)”，但并不一定完全對(duì)應(yīng)和/或相關(guān)。舉例而言，流體射流的面積剖面可能與噴嘴出口管的開口相符，雖然所述噴嘴的開口可能或多或少地例如由于流體射流的表面張力驅(qū)動(dòng)收縮而比所述流體射流的剖面面積大，特別在增加流體射流的剖面與所述出口管開口的距離時(shí)。換句話說，“與……相符”不一定局限于意味著在形狀、表面積和/或位置方面的完全對(duì)應(yīng)。
[0027]在這里，“濕性表面”通常旨在表示與切削液接觸的結(jié)構(gòu)的表面。由此，所述流體不一定是液體。術(shù)語“濕性表面”還可以用于論及將氣體視為流體。然而在本文描述的一些實(shí)施例中，切削液是液體。
[0028]作為解釋，噴嘴內(nèi)的“濕性表面”通常與流動(dòng)的切削液接觸并誘導(dǎo)剪切應(yīng)力。這可減少流體的壓力和/或速度。
[0029]在這里，“表面部分”通常旨在表示一個(gè)或多個(gè)表面的部分。舉例而言，在這里，表面部分可以是誘導(dǎo)流體中剪切應(yīng)力的濕性表面。
[0030]在這里，“可引導(dǎo)到……處”通常旨在表示能夠被引導(dǎo)到……。“可引導(dǎo)到……處”和“可向……引導(dǎo)”可互換地使用。舉例而言，在這里，絲鋸的噴嘴可引導(dǎo)到絲網(wǎng)處。在這里，引導(dǎo)向或引導(dǎo)到絲網(wǎng)處的噴嘴也可以向絲網(wǎng)引導(dǎo)。
[0031]在這里，術(shù)語“深度和寬度的比率”、“深度/寬度比率”、“深度/寬度”、“深寬比”等等可互換地使用。在這里，“面積的”通常旨在表示關(guān)于和/或涉及面積。
[0032]在這里，“流動(dòng)方向”可用于指示流體的虛擬流動(dòng)方向，諸如元件(例如，噴嘴出口管)處流體的常見流動(dòng)方向。元件可以具有“流動(dòng)方向”，而不論是否實(shí)際上有液體在所述元件中流動(dòng)，這是因?yàn)槔缌鲃?dòng)方向可以基于例如所述元件的幾何形狀來預(yù)測(cè)。例如，“出口管的流動(dòng)方向”旨在表示當(dāng)流體流過所述噴嘴出口管時(shí)與流體的運(yùn)動(dòng)方向相符的方向。例如，所述出口管的流動(dòng)方向可以對(duì)應(yīng)于當(dāng)切削液流過所述出口管時(shí)在所述出口管中所述切削液的平均流動(dòng)方向，諸如所述出口管的面積剖面的平均或者體積的平均。例如，噴嘴出口管中的流動(dòng)方向可以對(duì)應(yīng)于在噴嘴出口管的中部處或者噴嘴出口處所取的流動(dòng)方向的面積平均。
[0033]現(xiàn)將詳細(xì)參考本發(fā)明的各種實(shí)施例，其中所述實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)示例圖示于各個(gè)附圖中。每一個(gè)示例作為說明提供，但并不意味著作為限制。此外，圖示或者描述為一個(gè)實(shí)施例的部分的特征可用于其他實(shí)施例，或者與其他實(shí)施例結(jié)合以用于產(chǎn)生更進(jìn)一步的實(shí)施例。所述描述旨在包括此類修改和變化。
[0034]在絲鋸中，一個(gè)或多個(gè)絲線可以通過至少一個(gè)絲線導(dǎo)向器