可以通過(guò)提供另外的濕性表面而使深度和寬度的比率更小，這可以制造更緊湊的，例如節(jié)省空間的噴嘴。
[0068]在一實(shí)施例中，所述出口管112可以通過(guò)箍縮、夾箝、栓接等等而被固定到噴嘴100的框架上。所述出口管可以是可替換的。應(yīng)注意的是，可能需要密封，因?yàn)榭赡軙?huì)經(jīng)受大約0.2巴的切削液的過(guò)壓。例如可以利用密封元件，諸如O形環(huán)，所述密封元件例如在所述框架111和所述出口管112之間。
[0069]在一實(shí)施例中，所述噴嘴113是單一腔室噴嘴。預(yù)期的是，所述噴嘴出口管112可以通過(guò)例如施加剪切應(yīng)力到所述切削液而顯著地減小所述切削液的壓力。應(yīng)當(dāng)特別注意的是，本文的實(shí)施例可易于使用單一腔室噴嘴，與例如雙腔室噴嘴相比，所述單一腔室噴嘴可以有利地簡(jiǎn)化噴嘴100的構(gòu)造。例如，噴嘴100設(shè)置有入口 110，所述入口 110直接通向主腔室113，所述主腔室113可以轉(zhuǎn)而直接通向出口管112。例如，沒(méi)有回旋通道的單一腔室噴嘴可以顯著地減少所述切削液的壓力。
[0070]在所述噴嘴出口管處，所述切削液的流速，諸如垂直速度，可以很小。例如，在所述切削液遇到所述絲網(wǎng)的情況下，低流速將不會(huì)使絲網(wǎng)顯著地變形或者扭歪。小的流體速度可以減少所述絲網(wǎng)上的干擾。例如，在所述噴嘴出口管(例如，狹縫)處的壓力損失可以很低。對(duì)于噴嘴出口管處均勻分布的流體來(lái)說(shuō)，與噴嘴的其他零件相比，由于例如切削液的速度梯度、回流區(qū)、重力和空間不均勻性(例如，不均勻的厚度)導(dǎo)致的壓力干擾可以更小。這可導(dǎo)致和/或使得產(chǎn)生較大的入口剖面。有可能當(dāng)流率減少時(shí)，其他影響，像重力和漿料不均勻性可能會(huì)干擾流動(dòng)均勻性。
[0071]在一實(shí)施例中，所述流體射流的流動(dòng)方向可以與所述噴嘴的流動(dòng)方向(例如，在噴嘴100的出口管112內(nèi)的流體的流動(dòng)方向)相符。
[0072]在一實(shí)施例中，經(jīng)由噴嘴100產(chǎn)生的流體射流是切削液簾，所述切削液簾可以具有與噴嘴的長(zhǎng)度相符的長(zhǎng)尺寸和與噴嘴的寬度相符的短尺寸。
[0073]盡管上述內(nèi)容是針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例，但可在不脫離本發(fā)明的基本范圍的情況下設(shè)計(jì)本發(fā)明的其他和進(jìn)一步實(shí)施例，且本發(fā)明的范圍是由以下權(quán)利要求書(shū)來(lái)確定的。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體絲鋸(1)，包括: 支持件(150)，所述支持件(150)用于保持半導(dǎo)體工件； 絲線導(dǎo)向器(160)，所述絲線導(dǎo)向器(160)用于形成絲網(wǎng)(170)，所述絲網(wǎng)(170)用于鋸切所述工件； 噴嘴(100)，所述噴嘴(100)用于產(chǎn)生流體射流(190)，所述流體射流(190)可引導(dǎo)到所述絲網(wǎng)(170)處，其特征在于: 所述噴嘴(100)包括出口管(112)，所述出口管(112)具有寬度(202)和深度(203)，其中: 所述出口管(112)的所述寬度(202)和長(zhǎng)度(201)與所述出口管(112)的面積剖面(250)相符;其中: (a)所述深度和所述寬度的比率大于3.5 ;和/或 (b)所述出口管(112)進(jìn)一步包括多個(gè)表面部分(310)，所述表面部分(310)用于在切削液中提供剪切應(yīng)力，其中，所述表面部分(310)設(shè)置在所述出口管(112)的所述面積剖面(250)的內(nèi)部區(qū)域中。
2.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸，其特征在于: 每一表面部分(310)沿著所述出口管(112)的流動(dòng)方向(260)延伸。
3.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸，其特征在于: 所述表面部分(310)包括沿著所述出口管(112)的流動(dòng)方向(260)延伸的表面，諸如平坦的表面。
4.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于:所述表面部分(310)是配置以使得沿著所述表面部分(310)的最大面積部分的流動(dòng)方向平行于所述出口管(112)的流動(dòng)方向(260)。
5.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于: 所述出口管的流動(dòng)方向(260)是在所述出口管中的所述切削液的平均流動(dòng)方向。
6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體絲鋸(1)，其特征在于:所述出口管的所述流動(dòng)方向(260)均勻地分布在所述出口管內(nèi)；以及所述出口管(112)的所述面積剖面(250)垂直于所述出口管(112)的所述流動(dòng)方向。
7.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸，其特征在于:所述表面部分(310)包括多個(gè)鰭片。
8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體絲鋸，其特征在于:所述多個(gè)鰭片中的鰭片具有以下特征中的一個(gè)或多個(gè)特征: a)所述鰭片具有從Imm到20mm的平均間距； b)所述鰭片具有從2mm到8mm的平均間距； c)所述鰭片是均勻間隔的； d)所述鰭片彼此平行； e)所述鰭片是平坦的；以及， f)所述鰭片設(shè)置成波形、平行線、正弦形的或者三角形的剖面。
9.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于:所述噴嘴(100)進(jìn)一步包括噴嘴入口(110)，所述噴嘴入口(110)用于將所述切削液接收進(jìn)噴嘴主腔室(113)內(nèi)。
10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于:所述噴嘴主腔室(113)直接通往所述出口管(112)。
11.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于:所述噴嘴(100)是單一腔室噴嘴，用于將所述切削液引導(dǎo)到所述出口管(112)。
12.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于:所述噴嘴(100)的主腔室(113)沒(méi)有回旋通道。
13.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于:所述噴嘴(100)沒(méi)有回旋通道。
14.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于:所述噴嘴(100)適用于產(chǎn)生切削液簾。
15.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于:所述出口管(112)包括擠壓件。
16.如權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于:所述出口管(112)主要地或者完全地是所述擠壓件。
17.如權(quán)利要求15或16所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于:所述擠壓件包括聚丙烯。
18.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于:所述出口管(112)是所述噴嘴(100)的可替換元件。
19.如任何先前權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)，其特征在于:所述深度和所述寬度的比率大于4或5。
20.一種在如任何先前所述的權(quán)利要求所述的半導(dǎo)體絲鋸(I)中產(chǎn)生流體射流的方法，所述方法包括: 通過(guò)所述噴嘴的所述出口管限制所述切削液的流動(dòng)。
【專利摘要】一種半導(dǎo)體絲鋸，包括：支持件，所述支持件用于保持半導(dǎo)體工件；絲線導(dǎo)向器，所述絲線導(dǎo)向器用于形成絲網(wǎng)，所述絲網(wǎng)用于鋸切所述工件；噴嘴，所述噴嘴用于產(chǎn)生流體射流，所述流體射流可引導(dǎo)到所述絲網(wǎng)。所述噴嘴包括出口管，所述出口管具有寬度和深度。所述深度和所述寬度的比率大于3.5，和/或所述出口管包括多個(gè)表面部分以在切削液中提供剪切應(yīng)力。所述可選的表面部分設(shè)置在所述出口管的面積剖面的內(nèi)部區(qū)域中。
【IPC分類】B28D5-04
【公開(kāi)號(hào)】CN104552627
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410005746
【發(fā)明人】D·克里泰格尼, S·蘇比耶勒
【申請(qǐng)人】應(yīng)用材料瑞士有限責(zé)任公司
【公開(kāi)日】2015年4月29日
【申請(qǐng)日】2014年1月7日
【公告號(hào)】CN204160642U, EP2865502A1