引導(dǎo)，所述絲線導(dǎo)向器旋轉(zhuǎn)并引起/允許絲線的運動，所述運動實質(zhì)上沿著絲線的長度。圍繞圓柱軸旋轉(zhuǎn)的絲線導(dǎo)向器有時被稱為輥、滾筒、以及絲線導(dǎo)向滾筒。
[0035]由所述絲線導(dǎo)向器形成的絲網(wǎng)可以用切削液潤滑、冷卻，和/或用切削液供應(yīng)研磨流體到所述絲網(wǎng)。噴嘴可以產(chǎn)生可引導(dǎo)到所述絲網(wǎng)處的流體射流。流體射流可以例如是離開所述噴嘴的切削液的層狀構(gòu)成，諸如切削液簾。所述流體射流的分布中的縫隙和/或不連續(xù)可能會導(dǎo)致絲網(wǎng)的一部分潤滑得不好和/或冷卻得不好。所希望的是，噴嘴產(chǎn)生均勻的流體射流，特別地產(chǎn)生連續(xù)的、沒有縫隙的流體射流。流體射流在絲鋸絲網(wǎng)上的分布均勻性可對晶片質(zhì)量具有顯著的影響。
[0036]在本文公開的實施例中，單一長腔室噴嘴具有出口管，所述出口管將切削液(例如，漿料)直接輸送到所述絲網(wǎng)。所述噴嘴，特別是所述噴嘴的出口管，可以具有大的“濕性表面”。在出口管112的一個或多個壁和/或所述出口管的“表面部分”處的剪切應(yīng)力可產(chǎn)生壓力損失。例如，在不具有大的流體速度的情況下，壓力損失會增加。增加的在所述噴嘴出口管處的壓力損失可以有利地減少對流體回路向上(例如，朝向所述噴嘴的入口)的設(shè)計約束，并且特別地減少對所述噴嘴的入口剖面的設(shè)計約束。例如，所述噴嘴的入口剖面可以更小，但不影響沿所述出口管112的流動分布。替代地或另外，改變流率對流體回路中壓力損失的分布可以具有較小的影響，因為主要的壓力損失可以保持在噴嘴出口管處。這可以在流率變化情況下提供所述噴嘴的較大功能范圍。進(jìn)一步的優(yōu)點可以是部分載荷狀態(tài)中擴(kuò)大的流動范圍。
[0037]圖1圖示根據(jù)本文描述的實施例的絲鋸I。例如，絲鋸I包括用于保持半導(dǎo)體工件的支持件150，以及諸如絲線導(dǎo)向元件162、164的絲線導(dǎo)向器160，所述絲線導(dǎo)向元件162、164是有槽滾筒。絲線導(dǎo)向器160可形成用于鋸切工件的絲網(wǎng)。例如，所述滾筒162、164的槽引導(dǎo)絲線，以便平行絲線段構(gòu)成的刨工網(wǎng)170形成為垂直于圖1所示的平面。
[0038]絲鋸I還可以包括噴嘴100，所述噴嘴100包括噴嘴出口管112。切削液可以離開所述噴嘴的出口管并形成流體射流190 (諸如，切削液簾)，所述流體射流190可引導(dǎo)到/朝向所述絲網(wǎng)。流體射流190可以潤滑和/或冷卻絲線，所述絲線當(dāng)沿著工件滑動而進(jìn)行切割時會遇到粗糙的條件。在一實施例(所述實施例可以與本文公開的任何其他實施例結(jié)合)中，所述流體射流190可以是切削液簾。
[0039]在半導(dǎo)體絲鋸100的操作期間，可以例如通過用噴嘴100的出口管112限制切削液的流動來產(chǎn)生流體射流190。例如，所述切削液通過所述噴嘴出口管112。當(dāng)所述流體通過時，所述噴嘴出口管112可以向所述流體提供剪切力，并且可引起所述流體的壓降。例如，所述噴嘴出口管112的內(nèi)部可以提供所述噴嘴的一個或多個濕性表面，所述噴嘴中的流體與所述一個或多個濕性表面接觸。所述噴嘴100可以產(chǎn)生流體射流190，所述流體射流190能夠被引導(dǎo)向所述絲網(wǎng)170。
[0040]圖2圖不根據(jù)本文描述的實施例的噴嘴出口管112。所述噴嘴出口管112,特別是所述噴嘴出口管112的內(nèi)周邊，具有例如長度、寬度和深度，所述長度、寬度和深度分別與在圖2中所示的坐標(biāo)軸:軸201、202和203相符。所述長度可以至少等于所述噴嘴出口管112的寬度，且可以比所述噴嘴出口管112的寬度大很多，如圖所示。所述深度可以沿著所述噴嘴出口管112內(nèi)所述切削液的流動方向(即，所述出口管112的流動方向260)或與所述噴嘴出口管112內(nèi)所述切削液的流動方向相符。在一實施例(所述實施例可以與其他實施例結(jié)合)中，所述噴嘴出口管112的所述寬度以及選擇性地所述長度沿著噴嘴出口管112的深度是恒定的。沿著所述深度具有恒定寬度的噴嘴出口管112可以減小流體射流190中不連續(xù)的風(fēng)險。
[0041 ] 所述切削液可以經(jīng)由噴嘴出口管112通過和離開所述噴嘴，例如在方向203上，沿著所述深度方向(諸如平行于所述深度方向)。所述切削液可以通過離開所述噴嘴100，特別地離開所述噴嘴出口管112，而形成流體射流190。如圖2所描繪的，所述出口管112的面積剖面250可以垂直于所述出口管的流動方向260。
[0042]所述出口管的流動方向260可以均勻地分布在所述出口管的面積剖面內(nèi)(選擇性地排除與設(shè)置在所述面積剖面的內(nèi)部中的表面部分相符的點)。此外，所述流動方向可以均勻地分布在所述出口管的空間內(nèi)，諸如在所述出口管的整個空間內(nèi)(選擇性地排除與設(shè)置在所述面積剖面的內(nèi)部中的表面部分相符的點)。此外選擇性地，所述出口管112的流動方向垂直于所述出口管112的面積剖面250。此外選擇性地，所述出口管112的所述流動方向260配置成至少大體上(諸如完全地)平行于所述流體射流的流動方向。
[0043]所述噴嘴(特別地，所述噴嘴的出口管)的寬度202可以從I到5mm，或者從Imm到2mm ;所述噴嘴的所述長度201可以從350mm到700mm。
[0044]根據(jù)一實施例，所述出口管112的內(nèi)周邊的深度與寬度的比率(深度/寬度比)大于3.5。高的深度/寬度比(大于3.5、4，或者5)對于當(dāng)流體橫穿所述噴嘴(特別地，所述噴嘴出口管)時增加所述流體的壓力損失是理想的，例如，當(dāng)切削液橫穿所述噴嘴出口管112時通過所述噴嘴出口管的內(nèi)壁施加到所述切削液的剪切應(yīng)力來增加所述流體的壓力損失?？梢愿永硐氲氖?，通過將深度/寬度比增加到4或更高，或者甚至5或更高而施加更大的剪切應(yīng)力，這可以理想地增加橫穿所述噴嘴的切削液的壓力損失，例如通過增加施加到所述切削液的剪切應(yīng)力。更高的深度/寬度比值，諸如4或更高，或者5或更高，可以允許更高的間隙開口，或?qū)挾?02。更高的間隙開口可以具有降低的堵塞風(fēng)險。
[0045]在一實施例中，所述絲鋸，特別是所述絲鋸的噴嘴，不設(shè)置有回旋通道(諸如，將兩腔室噴嘴的內(nèi)腔室連接到噴嘴的外腔室的多個孔或通道)。本發(fā)明人已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，當(dāng)如本文所描述的元件用于施加剪切應(yīng)力到切削液和/或誘導(dǎo)切削液的壓力損失時，并不需要兩腔室噴嘴和/或具有回旋通道的噴嘴。因此，在沒有回旋通道的各實施例中，有可能減小所述噴嘴的大小和/或降低所述噴嘴的堵塞風(fēng)險。在一些實施例中，回旋通道可通過阻礙在切削液中顆粒物質(zhì)的流動而增加堵塞風(fēng)險。本文描述的實施例可以提供切削液在流體射流190(諸如流體簾)上的均勻分布。
[0046]圖3圖不根據(jù)本文描述的實施例的噴嘴出口管112,其中所述噴嘴出口管112包括兩個板220、230，所述板220、230由寬度202分隔，所述寬度202可對應(yīng)于當(dāng)流體射流190離開所述噴嘴出口管112時所述流體射流190的寬度，和/或間隙、隙縫寬度或縫隙距離。所述噴嘴出口管可設(shè)置成兩個分隔開的板，或者所述板可跨所述寬度連接，例如具有跨寬度方向定位的周圍壁構(gòu)件。所述板220、230可具有長度201和深度203。如上所述，可實現(xiàn)大于3.5、大于4、和/或大于5的深度/寬度比。預(yù)期在圖3中描繪的實施例可具有易凈化的優(yōu)點，例如自動地被凈化。大于3.5、4或者5的深度與寬度比率可以有利于向切削液提供高剪切應(yīng)力。
[0047]所述噴嘴出口管112可以另外或替代地設(shè)置有表面部分，例如向流動中的切削液呈現(xiàn)濕性表面的結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)(表面部分)可以設(shè)置在所述噴嘴的內(nèi)部區(qū)域內(nèi)，諸如在所述出口管的面積剖面的內(nèi)部區(qū)域中。所述結(jié)構(gòu)(表面部分)可以在所述切削液中提供剪切應(yīng)力和/或誘導(dǎo)壓力損失。本文描述的實施例可以產(chǎn)生均勻的和/或穩(wěn)定的流體