一種多線切割機的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及切割設備領(lǐng)域，尤其是一種多線切割機。
【背景技術(shù)】
[0002]多線切割是切割硅片非常有效的方法之一。多線切割機以其極高的生產(chǎn)效率和出片率，所切硅片具有彎曲度小、翹曲度小、平行度好、總厚度公差(TTV)離散性小、刃口切割損耗小、表面損傷層淺、硅片表面粗糙度小等特點；其切割材料涵蓋各類半導體材料，如硅、鍺、鈮酸鋰、砷化鎵、磷化銦、人造寶石、碳化硅等，因此多線切割技術(shù)的應用也越來越廣泛。
[0003]多線切割中必須使用一種具有流動性的混合研磨劑-切割砂漿(以下簡稱砂漿)。實際切割過程中，砂漿被往復運動的鋼線帶到切割區(qū)，被帶入的砂漿決定硅片的切割質(zhì)量；而鋼線所帶砂漿中所含有碳化硅微粉的粒型及粒度，是決定切割材料成品片表面光潔程度和切割能力的關(guān)鍵。若碳化硅微粉的粒型規(guī)則，切出來的成品片表面光潔度就會很好；碳化硅微粉的粒度分布均勻，會提高切割機的切割能力。
[0004]現(xiàn)有的多線切割機，包括切割箱體、砂漿桶、熱交換器、金屬線，砂漿桶與熱交換器的進口之間通過第一砂漿管連通，熱交換器的出口連接有第二砂漿管，所述第一砂漿管上設置有第一砂漿栗，所述切割箱體內(nèi)設置有兩根互相平行的線輥，線輥表面設置有多個環(huán)形線槽，金屬線設置在環(huán)形線槽內(nèi)并先后繞過兩個線輥繃緊，所述第二砂漿管的末端連接有用于將砂漿附著到金屬線表面的砂漿供給裝置，切割箱底部設置有砂漿收集口，砂漿收集口上連接有砂漿收集管，砂漿收集管的末端與砂漿桶相連，在切割時，砂漿桶內(nèi)的砂漿在砂漿栗的作用下先進入熱交換器中進行換熱使其砂漿的溫度達到一定的溫度，然后砂漿沿第二砂漿管進入砂漿供給裝置，砂漿供給裝置將砂漿附著到金屬線表面以便切割硅棒，切割硅棒后產(chǎn)生的廢砂漿通過切割箱底部的砂漿收集孔沿砂漿收集孔流回砂漿桶以便再次利用，由于金屬線在切割硅棒的過程中會產(chǎn)生大量的廢砂漿，這些廢砂漿中含有的雜質(zhì)主要為切割硅棒時產(chǎn)生的硅粉顆粒，砂漿中含有的這些硅粉顆粒較多就會對嚴重影響切割硅片的質(zhì)量，因此，必須保證砂漿桶內(nèi)的硅粉含量不能超過一定的比例，目前，為了避免砂漿桶內(nèi)的硅粉含量超標通常都是采用更換砂漿桶內(nèi)砂漿的方法，具體的，現(xiàn)有的砂漿桶都是統(tǒng)一規(guī)格的，其內(nèi)盛裝的砂漿一般為270公斤，當多線切割機切割完一刀以后，產(chǎn)生的廢砂漿被回收到砂漿桶內(nèi)，此時，砂漿桶內(nèi)硅粉的含量已達到臨界線，為此利用砂漿栗將砂漿桶內(nèi)的砂漿抽走80公斤，然后再補入80公斤新的砂漿，便可以降低砂漿內(nèi)硅粉的百分比含量，之后切割機再進行第二刀的切割，當多線切割機切割完第二刀以后，砂漿桶內(nèi)的硅粉已嚴重超標無法再重復使用，此時就必須更換新的砂漿桶，再重復上述步驟，由此可以看出，現(xiàn)有的多線切割機切割兩刀需消耗350公斤的砂漿，砂漿的消耗量巨大，導致硅片的切割成本較高，而且切割兩刀后的廢砂漿內(nèi)還含有大量的可以利用的砂漿，但是由于現(xiàn)有的多線切割機沒有相應的分離設備，無法分離砂漿中含有的硅粉雜質(zhì)，因此，為了保證硅片的切割質(zhì)量，只能將廢砂漿排出，造成浪費?！緦嵱眯滦蛢?nèi)容】
[0005]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠降低硅片切割成本的多線切割機。
[0006]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:該多線切割機，包括切割箱體、砂漿桶、熱交換器、金屬線，砂漿桶與熱交換器的進口之間通過第一砂漿管連通，熱交換器的出口連接有第二砂漿管，所述第一砂漿管上設置有第一砂漿栗，所述切割箱體內(nèi)設置有兩根互相平行的線輥，線輥表面設置有多個環(huán)形線槽，金屬線設置在環(huán)形線槽內(nèi)并先后繞過兩個線輥繃緊，所述第二砂漿管的末端連接有用于將砂漿附著到金屬線表面的砂漿供給裝置，切割箱底部設置有砂漿收集口，砂漿收集口上連接有砂漿收集管，砂漿收集管的末端與砂漿桶相連，所述砂漿收集管與砂漿桶之間設置有至少一個用于分離砂漿和硅粉的旋流器，所述每個旋流器的進口與砂漿收集管通過第一分離管連通，所述每個旋流器的用于排出砂漿的出口與砂漿桶之間通過第二分離管連通，所述旋流器的用于排出硅粉的出口連接有第三分離管，第三分離管的末端連接有硅粉雜質(zhì)收集桶。
[0007]進一步的是，所述砂漿桶上連接有砂漿補充管與砂漿排放管，所述砂漿補充管的末端連接有砂漿補充桶，所述砂漿補充管上設置有第二砂漿栗，砂漿排放管上設置有第三砂漿栗。
[0008]進一步的是，所述砂漿供給裝置包括設置在兩個線輥之間的盒體，所述盒體由底板和位于底板四周的側(cè)板組成，所述盒體上連接有砂漿供給管，所述砂漿供給管的末端與第二砂漿管連通，所述盒體的左右兩側(cè)的側(cè)板頂端分別設置有第一支撐輥、第二支撐輥，所述盒體上方設置有壓輥，所述壓輥和盒體分別位于上層金屬線的上下兩側(cè)，所述第一支撐輥、第二支撐輥分別位于壓輥的左右兩側(cè)，所述盒體長度方向與金屬線的運動方向互相垂直且盒體的長度大于線輥的長度，所述金屬線依次繞過第一支撐輥、壓輥、第二支撐輥呈V形，所述金屬線與壓輥的接觸點與底板之間的距離小于側(cè)板的高度。
[0009]進一步的是，所述盒體內(nèi)設置有微型攪拌器。
[0010]進一步的是，所述砂漿桶內(nèi)設置有攪拌裝置，所述攪拌裝置包括設置在砂漿桶中央的旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸上設置有多個攪拌葉片。
[0011]進一步的是，所述金屬線的直徑為0.1mm。
[0012]進一步的是，所述金屬線為鋼線。
[0013]本實用新型的有益效果是:通過在砂漿收集管與砂漿桶之間設置至少一個用于分離砂漿和硅粉的旋流器，所述每個旋流器的進口與砂漿收集管通過第一分離管連通，所述每個旋流器的用于排出砂漿的出口與砂漿桶之間通過第二分離管連通，所述旋流器的用于排出硅粉的出口連接有第三分離管，第三分離管的末端連接有硅粉雜質(zhì)收集桶，在多線切割機工作的整個過程中，切割完產(chǎn)生的砂漿廢液先沿第一分離管進入旋流器內(nèi)，由于砂漿和硅粉的比重不一樣，因此在旋流器內(nèi)砂漿和硅粉被分離，砂漿沿第二分離管重新回到砂漿桶內(nèi)，分離出的硅粉沿第三分離管進入硅粉雜質(zhì)收集桶內(nèi)，這樣整個砂漿桶就不會流入硅粉，砂漿便可以多次重復利用，只需適當?shù)难a充一些新的砂漿以補充消耗即可，砂漿的使用量大大減小，大大降低了硅片的切割成本。
【附圖說明】
[0014]圖1本實用新型多線切割機的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2本圖1的A局部放大圖；
[0016]圖中標記說明:切割箱體1、砂漿桶2、熱交換器3、金屬線4、第一砂漿管5、第二砂漿管6、第一砂漿栗7、線輥8、砂漿供給裝置9、盒體901、底板9011、側(cè)板9012、砂漿供給管902、第一支撐輥903、第二支撐輥904、壓輥905、微型攪拌器906、砂漿收集口 10、砂漿收集管11、第一分離管12、旋流器13、第二分離管14、第三分離管15、硅粉雜質(zhì)收集桶16、砂漿補充管17、砂漿排放管18、砂漿補充桶19、第二砂漿栗20、第三砂漿栗21、攪拌裝置22、旋轉(zhuǎn)軸2201、攪拌葉片2202。
【具體實施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步說明。
[0018]如圖1、2所示，該多線切割機，包括切割箱體1、砂漿桶2、熱交換器3、金屬線4，砂漿桶2與熱交換器3的進口之間通過第一砂漿管5連通，熱交換器3的出口連接有第二砂漿管6，所述第一砂漿管5上設置有第一砂漿栗7，所述切割箱體I內(nèi)設置有兩根互相平行的線輥8，線輥8表面設置有多個環(huán)形線槽，金屬線4設置在環(huán)形線槽內(nèi)并先后繞過兩個線輥8繃緊，所述第二砂漿管6的末端連接有用于將砂漿附著到金屬線4表面的砂漿供給裝置9，切割箱底部設置有砂漿收集口 10，砂漿收集口 10上連接有砂漿收集管11，砂漿收集管11的末端與砂漿桶2相連，所述砂漿收集管11與砂漿桶2之間設置有至少一個用于分離砂漿和硅粉的旋流器13，所述每個旋流器13的進口與砂漿收集管11通過第一分離管12連通，所述每個旋流器13的用于排出砂漿的出口與砂漿桶2之間通過第二分離管14連通，所述旋流器13的用于排出硅粉的出口連接有第三分離管15，第三分離管15的末端連接有硅粉雜質(zhì)收集桶16。在切割時，砂漿桶2內(nèi)的砂漿在第一砂漿栗7的作用下先進入熱交換器3中進行換熱使其砂漿的溫度達到一定的溫度，然后砂漿沿第二砂漿管6進入砂漿供給裝置9，砂漿供給裝置9將砂漿附著到金屬線4表面以便切割硅棒，切割硅棒后產(chǎn)生的廢砂漿通過切割箱底部的砂漿收集孔沿砂漿收集孔流回砂漿桶2以便再次利用，通過在砂漿收集管11與砂漿桶2之間設置有至少一個用于分離砂漿和硅粉的旋流器13，所述每個旋流器13的進口與砂漿收集管11通過第一分離管12連通，所述每個旋流器13的用于排出砂漿的出口與砂漿桶2之間通過第二分離管14連通，所述旋流器13的用于排出硅粉的出口連接有第三分離管15，第三分離管15的末端連接有硅粉雜質(zhì)收集桶16，在多線切