雙噴管多晶硅片切割機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及多晶硅片切割技術(shù)領(lǐng)域，特別地，涉及一種雙噴管多晶硅片切割機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]多晶硅片的線切割原理就是導(dǎo)輪在高速運(yùn)轉(zhuǎn)中帶動鋼線，從而由鋼線將聚乙二醇和碳化硅微粉混合的砂漿液送到切割區(qū)，在鋼線的高速運(yùn)轉(zhuǎn)中與壓在線網(wǎng)上的工件連續(xù)發(fā)生摩擦完成切割的過程。在整個過程中，砂漿的流量對硅片的切割質(zhì)量以及成品率起主要作用。鋼線在高速運(yùn)動中，要完成對硅料的切割，必須由砂漿栗將砂漿從砂漿桶中打到噴砂咀，再由噴砂咀噴到鋼線上。砂漿的流量是否均勻、流量能否達(dá)到切割的要求，都對切割能力和切割效率起著很關(guān)鍵的作用。如果流量跟不上，就會出現(xiàn)切割能力下降，導(dǎo)致線痕片、斷線、甚至是機(jī)器報警。而現(xiàn)有的多晶硅片切割設(shè)備中，砂咀噴的數(shù)量較少，砂漿的流量小，在出現(xiàn)砂漿中的雜質(zhì)堵塞砂咀噴的狀況時，砂漿就會斷流，導(dǎo)致多晶硅片的成品率和切割效率降低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型目的在于提供一種雙噴管多晶硅片切割機(jī)構(gòu)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中，多晶硅片切割設(shè)備的砂漿的流量小，易出現(xiàn)砂漿斷流現(xiàn)象，導(dǎo)致多晶硅片的成品率和切割效率降低的問題。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種雙噴管多晶硅片切割機(jī)構(gòu)，包括:兩個導(dǎo)輪，兩個所述導(dǎo)輪之間設(shè)置切割鋼線連接，于所述切割鋼線上方設(shè)置待切割的晶棒；在所述切割鋼線的進(jìn)線方向，所述晶棒的一側(cè)設(shè)置有兩個砂漿噴管；在所述切割鋼線的出線方向，所述晶棒的一側(cè)設(shè)置有一個砂漿噴管；所述砂漿噴管均與砂漿供給系統(tǒng)連接。
[0005]進(jìn)一步地，所述晶棒的底部設(shè)置有兩根進(jìn)行預(yù)切割的膠條。
[0006]進(jìn)一步地，所述砂漿噴管與所述晶棒之間的間距不小于50mm。
[0007]本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0008]該切割機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)置有多個砂漿噴管，降低因雜質(zhì)等進(jìn)入砂漿噴管堵塞噴嘴，而出現(xiàn)砂漿斷流的幾率，提高切割鋼線帶砂的物理效應(yīng)，相對傳統(tǒng)的切割機(jī)構(gòu)，切片速度提升了 15%左右，切割砂漿用量上可降低原有用量的8%左右。產(chǎn)品質(zhì)量得到了提升，線痕及表面缺陷減少，使合格率從88%提高至89.5%左右，提高了多線切割的效率與質(zhì)量。
【附圖說明】
[0009]下面將參照圖，對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。構(gòu)成本申請的一部分的附圖用來提供對本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0010]圖1是本實(shí)用新型一種雙噴管多晶硅片切割機(jī)構(gòu)優(yōu)選實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]附圖標(biāo)記說明:
[0012]101、導(dǎo)輪;102、切割鋼線;103、晶棒;104、砂漿噴管;105、膠條。
【具體實(shí)施方式】
[0013]以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0014]請參閱圖1，本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例提供了一種雙噴管多晶硅片切割機(jī)構(gòu)，包括:兩個導(dǎo)輪101，兩個所述導(dǎo)輪101之間設(shè)置切割鋼線102連接，于所述切割鋼線102上方設(shè)置待切割的晶棒103 ;在所述切割鋼線102的進(jìn)線方向，所述晶棒103的一側(cè)設(shè)置有兩個砂漿噴管104 ;在所述切割鋼線102的出線方向，所述晶棒103的一側(cè)設(shè)置有一個砂漿噴管104 ;所述砂漿噴管104均與砂漿供給系統(tǒng)(圖未示)連接。
[0015]在進(jìn)行切割時，三個砂漿噴管104均流出砂漿到切割線網(wǎng)上，從而被切割鋼線102帶入晶棒103內(nèi)發(fā)生摩擦進(jìn)行切割。這種切割機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，多個砂漿噴管104的設(shè)置，降低因雜質(zhì)等進(jìn)入砂漿噴管堵塞噴嘴，而出現(xiàn)砂漿斷流的幾率，提高切割鋼線102帶砂的物理效應(yīng)，相對傳統(tǒng)的切割機(jī)構(gòu)，切片速度提升了 15%左右，切割砂漿用量上可降低原有用量的8%左右。產(chǎn)品質(zhì)量得到了提升，線痕及表面缺陷減少，使合格率從88%提高至89.5%左右，提高了多線切割的效率與質(zhì)量。
[0016]優(yōu)選地，為進(jìn)一步提尚晶片切割的良品率，所述晶棒103的底部設(shè)置有兩根進(jìn)行預(yù)切割的膠條105。切割鋼線102在進(jìn)行切割時，首先會與膠條105接觸，膠條105可以對切割鋼線102的切割位置進(jìn)行校驗(yàn)，以防止出現(xiàn)晶片切割尺寸錯誤的狀況出現(xiàn)。
[0017]為避免砂漿噴灑到晶棒103上，優(yōu)選地，所述砂漿噴管104與所述晶棒103之間的間距不小于50mm，即離晶棒103最近的砂漿噴管104，兩者間的間距不小于50mm。
[0018]以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型；對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種雙噴管多晶硅片切割機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括: 兩個導(dǎo)輪，兩個所述導(dǎo)輪之間設(shè)置切割鋼線連接，于所述切割鋼線上方設(shè)置待切割的晶棒；在所述切割鋼線的進(jìn)線方向，所述晶棒的一側(cè)設(shè)置有兩個砂漿噴管；在所述切割鋼線的出線方向，所述晶棒的一側(cè)設(shè)置有一個砂漿噴管；所述砂漿噴管均與砂漿供給系統(tǒng)連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙噴管多晶硅片切割機(jī)構(gòu)，其特征在于: 所述晶棒的底部設(shè)置有兩根進(jìn)行預(yù)切割的膠條。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙噴管多晶硅片切割機(jī)構(gòu)，其特征在于: 所述砂漿噴管與所述晶棒之間的間距不小于50mm。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種雙噴管多晶硅片切割機(jī)構(gòu)，包括：兩個導(dǎo)輪，兩個所述導(dǎo)輪之間設(shè)置切割鋼線連接，于所述切割鋼線上方設(shè)置待切割的晶棒；在所述切割鋼線的進(jìn)線方向，所述晶棒的一側(cè)設(shè)置有兩個砂漿噴管；在所述切割鋼線的出線方向，所述晶棒的一側(cè)設(shè)置有一個砂漿噴管；所述砂漿噴管均與砂漿供給系統(tǒng)連接。該切割機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)置有多個砂漿噴管，降低因雜質(zhì)等進(jìn)入砂漿噴管堵塞噴嘴，而出現(xiàn)砂漿斷流的幾率，提高切割鋼線帶砂的物理效應(yīng)，提高了多線切割的效率與質(zhì)量。
【IPC分類】B28D5/04
【公開號】CN205043989
【申請?zhí)枴緾N201520806821
【發(fā)明人】劉耀峰
【申請人】無錫榮能半導(dǎo)體材料有限公司
【公開日】2016年2月24日
【申請日】2015年10月19日