專利名稱：一種多軸真空電機(jī)組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般地涉及半導(dǎo)體器件制造，更具體地，涉及用于晶片搬運(yùn)裝置的多軸電機(jī)組件。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件(諸如集成電路(IC)、動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(DRAM)等)制造中，從其制造半導(dǎo)體器件的大而薄的晶片(通常是硅)必須經(jīng)常從一個(gè)處理室傳輸?shù)搅硪粋€(gè)中。晶片的這種傳輸必須在無塵環(huán)境并且經(jīng)常在亞大氣壓下進(jìn)行。為此，已經(jīng)設(shè)計(jì)了各種機(jī)械裝置用于將晶片傳輸至一個(gè)設(shè)備中的處理室或從處理室中傳輸出，或從一個(gè)設(shè)備傳輸至另一設(shè)備。
在一般實(shí)踐中，將晶片裝載到盒子中，使得多個(gè)晶片可以在無塵室環(huán)境下安全并有效率地從一個(gè)地方運(yùn)載到另一個(gè)。裝載有晶片的盒子然后可以插入到輸入/輸出(I/O)室(“裝載鎖定室”)中，可以在裝載鎖定室中建立期望的氣壓和環(huán)境。晶片從其各個(gè)盒子一個(gè)一個(gè)地供給到進(jìn)入I/O室的各個(gè)盒子中或從離開I/O室的各個(gè)盒子中供給。
從晶片搬運(yùn)效率的角度而言，希望I/O室可以靠近多個(gè)處理室定位，以允許多于一個(gè)晶片能夠在附近同時(shí)處理。為此，兩個(gè)或更多個(gè)室設(shè)置于傳輸室周邊的位置，其中傳輸室與I/O室和處理室兩者之間氣密封并與其連通。位于傳輸室內(nèi)的是自動(dòng)控制晶片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、或機(jī)械手，其取走從I/O室供應(yīng)的晶片，然后將每個(gè)晶片傳輸?shù)竭x擇的處理室中。在一個(gè)室中處理后，晶片被機(jī)械手從室中取回，然后插入到另一個(gè)處理室中、或返回到I/O室并最終回到各個(gè)盒子中。
半導(dǎo)體晶片本身特性較脆，并且容易碎裂或刮傷。因此，它們需要高度小心搬運(yùn)，以免損壞。搬運(yùn)晶片的機(jī)械手機(jī)構(gòu)牢固地保持晶片，并且不能刮傷表面或損壞易碎晶片的邊緣。機(jī)械手平穩(wěn)而不能有震動(dòng)或急停止或顛簸地移動(dòng)晶片。機(jī)械手的震動(dòng)會(huì)引起保持晶片的機(jī)械手托板和晶片表面之間的磨損。由這樣的震動(dòng)所引起的“灰塵”或晶片的磨損微粒接著可能引起其它晶片的表面污染。因此，機(jī)械手的設(shè)計(jì)需要仔細(xì)測(cè)量，以確保機(jī)械手的可移動(dòng)部件沒有竄動(dòng)地平穩(wěn)操作并具有保持晶片所需的柔和，并且還能夠在適當(dāng)位置之間快速精確地移動(dòng)晶片。
因?yàn)閭鬏斒蚁路胶?或內(nèi)部的空間限制，希望可以減小用于驅(qū)動(dòng)機(jī)械手的電機(jī)組件的高度。還希望可以提供能夠獨(dú)立地搬運(yùn)多個(gè)晶片以增大晶片處理設(shè)備的吞吐量的機(jī)械手。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的第一方面中，提供一種第一多軸真空電機(jī)組件。該第一多軸真空電機(jī)組件包括(1)第一轉(zhuǎn)子；(2)第一定子，適于穿過真空阻擋件與所述第一轉(zhuǎn)子磁耦合，以控制真空室內(nèi)的機(jī)械手臂的第一軸的旋轉(zhuǎn)；(3)第二轉(zhuǎn)子，位于所述第一轉(zhuǎn)子下方；(4)第二定子，位于所述第一定子下方，并適于穿過所述真空阻擋件與所述第二轉(zhuǎn)子磁耦合，以控制所述真空室內(nèi)的所述機(jī)械手臂的第二軸的旋轉(zhuǎn)；(5)第一反饋器件，位于所述真空阻擋件的大氣側(cè)，并適于經(jīng)由穿過所述真空阻擋件的無源磁耦合裝置監(jiān)控所述機(jī)械手臂的所述第一軸的旋轉(zhuǎn)；以及(6)第二反饋器件，位于所述真空阻擋件的所述大氣側(cè)，并適于經(jīng)由穿過所述真空阻擋件的無源磁耦合裝置監(jiān)控所述機(jī)械手臂的所述第二軸的旋轉(zhuǎn)。
在本發(fā)明的第二方面中，提供一種第二多軸真空電機(jī)組件。該第二多軸真空電機(jī)組件包括(1)第一轉(zhuǎn)子；(2)第一定子，適于整流以穿過真空阻擋件旋轉(zhuǎn)所述第一轉(zhuǎn)子并控制真空室內(nèi)的機(jī)械手臂的第一軸的旋轉(zhuǎn)；(3)第二轉(zhuǎn)子，位于所述第一轉(zhuǎn)子下方；(4)第二定子，位于所述第一定子下方，并適于整流以穿過所述真空阻擋件旋轉(zhuǎn)所述第二轉(zhuǎn)子并控制所述真空室內(nèi)的所述機(jī)械手臂的第二軸的旋轉(zhuǎn)；(5)第一反饋器件，適于監(jiān)控所述機(jī)械手臂的所述第一軸的旋轉(zhuǎn)；以及(6)第二反饋器件，適于監(jiān)控所述機(jī)械手臂的所述第二軸的旋轉(zhuǎn)。
提供許多其它方面，包括操作使用第一和第二多軸真空電機(jī)組件的方法。根據(jù)下面詳細(xì)的說明書、權(quán)利要求書以及附圖，本發(fā)明的其它特征和方面將更加清楚。


圖1是根據(jù)本發(fā)明所設(shè)置的第一示例多軸真空電機(jī)組件的剖視圖。
圖2是根據(jù)本發(fā)明所設(shè)置的第一示例多軸真空電機(jī)組件的剖視圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明公開一種用于傳輸室或其它室中的多軸電機(jī)組件。改進(jìn)的設(shè)計(jì)允許反饋器件和/或電機(jī)元件嵌套，以減小傳輸室下的堆疊高度。另外，檢測(cè)功能裝置不需要傳遞穿過真空阻擋件。
圖1是根據(jù)本發(fā)明所設(shè)置的第一示例多軸真空電機(jī)組件的剖視圖。如下將描述的，第一多軸電機(jī)組件100利用穿過真空阻擋件的磁耦合裝置驅(qū)動(dòng)真空室中的機(jī)械手。為垂直緊湊，反饋器件和電機(jī)元件被嵌套，并位于真空室外部。
圖1的第一多軸真空電機(jī)組件100包括第一定子102(電機(jī)1(定子))，用于驅(qū)動(dòng)穿過真空室108的真空阻擋件106的第一轉(zhuǎn)子104(轉(zhuǎn)子1)。第一定子102可以充當(dāng)驅(qū)動(dòng)第一轉(zhuǎn)子104的有源磁耦合裝置。即，第一定子102的通信(例如，通過向定子的線圈適當(dāng)施加電流)穿過真空阻擋件106控制第一轉(zhuǎn)子104的旋轉(zhuǎn)。
第一定子102可以在大氣側(cè)固定到真空阻擋件106。在一個(gè)實(shí)施例中，第一定子102是固定的，并且可以固定到真空阻擋件106，使得第一定子102和真空阻擋件106之間沒有空氣間隙，從而允許最大的磁效率。也可以使用其它構(gòu)造。
第一轉(zhuǎn)子-定子對(duì)102、104例如可以包括常規(guī)無刷DC電機(jī)或任何合適的電機(jī)構(gòu)造的一部分。
第一轉(zhuǎn)子104經(jīng)由(蛙腿式或其它類型機(jī)械手)第一輪軸112耦合到機(jī)械手臂110的第一軸。還有第一無源旋轉(zhuǎn)磁耦合裝置114(M1)耦合到第一輪軸112。第一旋轉(zhuǎn)磁耦合裝置114穿過真空阻擋件106磁耦合到第二無源旋轉(zhuǎn)磁耦合裝置116(Mag 1)。第二旋轉(zhuǎn)磁耦合裝置116耦合到第一反饋器件118(編碼器1)。因?yàn)樵摲答伷骷挥谡婵帐?08外部(大氣中)，所以可用于反饋器件118的器件技術(shù)幾乎沒有限制。例如，反饋器件118可以是分解器、光學(xué)編碼器、磁編碼器或任何其它合適的器件(例如，對(duì)定位和/或整流真空電機(jī)有用)。
第一反饋器件118耦合到控制器119，并且可以將關(guān)于第一機(jī)械手臂110的位置信息通信給控制器119，控制器119用于控制由多軸真空電機(jī)組件100所驅(qū)動(dòng)的電機(jī)的操作(未分開示出)。例如，第一反饋器件118可以電路連接到控制器119或與控制器119無線通信。
上述第二反饋器件、電機(jī)定子驅(qū)動(dòng)裝置、和磁耦合系統(tǒng)與電機(jī)元件和反饋器件嵌套。如圖1中所示，第一示例性多軸真空電機(jī)組件100包括第二定子(電機(jī)2(定子))，其可以是用于穿過真空阻擋件106驅(qū)動(dòng)第二轉(zhuǎn)子122(轉(zhuǎn)子2)的電機(jī)定子。第二定子120可以充當(dāng)驅(qū)動(dòng)第二轉(zhuǎn)子122的有源磁耦合裝置。就是說，第二定子120的整流(例如，通過向定子的線圈適當(dāng)施加電流)穿過真空阻擋件106控制第二轉(zhuǎn)子122的旋轉(zhuǎn)。
第二定子120可以在大氣側(cè)固定到真空阻擋件106。在一個(gè)實(shí)施例中，第二定子120是固定的，并且可以固定到真空阻擋件106，使得第二定子120和真空阻擋件106之間沒有空氣間隙，從而允許最大的磁效率。也可以使用其它構(gòu)造。
第二轉(zhuǎn)子-定子對(duì)120、122例如可以包括常規(guī)無刷DC電機(jī)或任何合適的電機(jī)構(gòu)造的一部分。
第二轉(zhuǎn)子122經(jīng)由(蛙腿式或其它類型機(jī)械手)第二輪軸126耦合到機(jī)械手臂124的第二軸。還耦合到第二輪軸126的是第三無源旋轉(zhuǎn)磁耦合裝置128(M2)。第三旋轉(zhuǎn)磁耦合裝置128穿過真空阻擋件106磁耦合到第四無源旋轉(zhuǎn)磁耦合裝置130(Mag 2)。第三旋轉(zhuǎn)磁耦合裝置128耦合到第二反饋器件132(編碼器2)。與第一反饋器件118一樣，第二反饋器件132可以是分解器、光學(xué)編碼器、磁編碼器或任何其它合適的反饋器件。
第二反饋器件132耦合到控制器119，并且可以將關(guān)于第二機(jī)械手臂124的位置信息通信給控制器119，控制器119用于控制由多軸真空電機(jī)組件100所驅(qū)動(dòng)的電機(jī)(未分開示出)的操作。例如，第二反饋器件132可以電路連接到控制器119或與控制器119無線通信。在電路連接的實(shí)施例中，第一和/或第二反饋器件118、132可以包括空孔，該空孔允許線穿過到達(dá)控制器119或任何其它合適位置。
注意，相互移動(dòng)和/或旋轉(zhuǎn)的部件之間可以設(shè)置軸承。例如，如圖1中所示，軸承可以設(shè)置于多軸真空電機(jī)組件100的第一定子102和第二旋轉(zhuǎn)磁耦合裝置116之間、第二定子120和第四旋轉(zhuǎn)磁耦合裝置130之間、第一輪軸112和第二輪軸126之間、以及第二輪軸126和外殼體132之間等。
如圖1中還示出，多軸真空電機(jī)組件100可以包括蓋或蓋子134，蓋子134可以移除，以能夠訪問多軸真空電機(jī)組件100中的各種部件。蓋子134可以使用適當(dāng)?shù)拿芊鈽?gòu)件136(諸如，O-環(huán))真空密封。類似地，密封件138可以用于相對(duì)于真空室108密封多軸真空電機(jī)組件100的外殼體132。
圖2是根據(jù)本發(fā)明所設(shè)置的第一示例多軸真空電機(jī)組件的剖視圖。第二多軸真空電機(jī)組件200類似于第一多軸真空電機(jī)組件100。但是，在第二多軸真空電機(jī)組件200中，第二無源旋轉(zhuǎn)磁耦合裝置116(Mag 1)經(jīng)由第一旋轉(zhuǎn)軸202耦合到第一反饋器件118，并且第四無源磁耦合裝置130(Mag 2)經(jīng)由第二旋轉(zhuǎn)軸204耦合到第二反饋器件132。
在所示的實(shí)施例中，第一旋轉(zhuǎn)軸202和第二旋轉(zhuǎn)軸204是共軸的(雖然也可以使用其它構(gòu)造)。就是說，在這個(gè)示例性圖中，第一旋轉(zhuǎn)軸202容納在第二旋轉(zhuǎn)軸204內(nèi)。此設(shè)計(jì)允許類似于圖1的第一多軸電機(jī)組件100的緊湊布置。但是，第一反饋器件118和第二反饋器件132可以位于電機(jī)元件下方。在這樣的實(shí)施例中，第一反饋器件118和/或第二反饋器件132可以包括空孔(未示出)，軸204和/或204可以延伸穿過空孔。
本發(fā)明的多軸真空電機(jī)組件提供更緊湊的設(shè)計(jì)，其可以減小傳輸室(真空室108)下或內(nèi)所需的空間。另外，檢測(cè)功能裝置不需要傳遞穿過真空阻擋件106。相反地，本發(fā)明可以利用磁耦合原理將第一電機(jī)104和/或第二電機(jī)122的角位置送至真空阻擋106的大氣側(cè)并送至位于真空室108外側(cè)的反饋器件108、132。
注意，可以使用任何數(shù)量的共軸的軸(例如，諸如由聯(lián)軸節(jié)等分離的四個(gè)軸)。例如，多軸真空電機(jī)組件100和/或200可以使用美國(guó)專利號(hào)6,379,095和6,582,175中公開的多晶片搬運(yùn)機(jī)械手(例如，一次可以傳輸兩個(gè)、四個(gè)或更多襯底的多晶片搬運(yùn)機(jī)械手)，上述專利通過全文引用而包含于此。
此外，圖1和/或圖2中所示的轉(zhuǎn)子-定子位置可以顛倒(例如，使得轉(zhuǎn)子104、122位于真空室108外部，并且機(jī)械手臂由轉(zhuǎn)子驅(qū)動(dòng))。
通過使用多軸真空電機(jī)組件100和/或200，可以控制諸如蛙腿式機(jī)械手的機(jī)械手、SCARA機(jī)械手等。例如，通過使用第一定子和第二定子以旋轉(zhuǎn)機(jī)械手臂的第一軸和第二軸，機(jī)械手臂可以延伸、收縮和/或旋轉(zhuǎn)。更具體而言，整流第一定子和第二定子引起機(jī)械手臂的第一軸和第二軸旋轉(zhuǎn)，以延伸、收縮和/或旋轉(zhuǎn)機(jī)械手臂。
因此，雖然已經(jīng)針對(duì)示例性實(shí)施例描述了本發(fā)明，但是應(yīng)當(dāng)理解，如權(quán)利要求中所界定的其它實(shí)施例亦落入本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種多軸真空電機(jī)組件，包括第一轉(zhuǎn)子；第一定子，適于穿過真空阻擋件與所述第一轉(zhuǎn)子磁耦合，以控制真空室內(nèi)的機(jī)械手臂的第一軸的旋轉(zhuǎn)；第二轉(zhuǎn)子，位于所述第一轉(zhuǎn)子下方；第二定子，位于所述第一定子下方，并適于穿過所述真空阻擋件與所述第二轉(zhuǎn)子磁耦合，以控制所述真空室內(nèi)的所述機(jī)械手臂的第二軸的旋轉(zhuǎn)；第一反饋器件，位于所述真空阻擋件的大氣側(cè)，并適于經(jīng)由穿過所述真空阻擋件的無源磁耦合裝置監(jiān)控所述機(jī)械手臂的所述第一軸的旋轉(zhuǎn)；以及第二反饋器件，位于所述真空阻擋件的所述大氣側(cè)，并適于經(jīng)由穿過所述真空阻擋件的無源磁耦合裝置監(jiān)控所述機(jī)械手臂的所述第二軸的旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多軸真空電機(jī)組件，其中所述第一定子和所述第二定子位于所述真空阻擋件的所述大氣側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多軸真空電機(jī)組件，其中所述第一定子和所述第二定子豎直對(duì)齊。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多軸真空電機(jī)組件，其中所述第一定子和所述第二定子直接安裝到所述真空阻擋件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多軸真空電機(jī)組件，其中所述第一定子的整流穿過所述真空阻擋件控制所述第一轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多軸真空電機(jī)組件，其中所述第二定子的整流穿過所述真空阻擋件控制所述第二轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多軸真空電機(jī)組件，其中所述第一定子和所述第一轉(zhuǎn)子位于同一水平面內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多軸真空電機(jī)組件，其中所述第一定子、所述第二定子、所述第一反饋器件和所述第二反饋器件布置成不延伸到所述真空室的底部的下方。
9.一種多軸真空電機(jī)組件，包括第一轉(zhuǎn)子；第一定子，適于整流以穿過真空阻擋件旋轉(zhuǎn)所述第一轉(zhuǎn)子并控制真空室內(nèi)的機(jī)械手臂的第一軸的旋轉(zhuǎn)；第二轉(zhuǎn)子，位于所述第一轉(zhuǎn)子下方；第二定子，位于所述第一定子下方，并適于整流以穿過所述真空阻擋件旋轉(zhuǎn)所述第二轉(zhuǎn)子并控制所述真空室內(nèi)的所述機(jī)械手臂的第二軸的旋轉(zhuǎn)；第一反饋器件，適于監(jiān)控所述機(jī)械手臂的所述第一軸的旋轉(zhuǎn)；以及第二反饋器件，適于監(jiān)控所述機(jī)械手臂的所述第二軸的旋轉(zhuǎn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的多軸真空電機(jī)組件，其中所述第一定子和所述第二定子位于所述真空阻擋件的所述大氣側(cè)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的多軸真空電機(jī)組件，其中所述第一定子和所述第二定子豎直對(duì)齊。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的多軸真空電機(jī)組件，其中所述第一定子和所述第二定子直接安裝到所述真空阻擋件。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的多軸真空電機(jī)組件，其中所述第一定子和所述第一轉(zhuǎn)子位于同一水平面內(nèi)。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的多軸真空電機(jī)組件，其中所述第一定子、所述第二定子、所述第一反饋器件和所述第二反饋器件布置成不延伸到所述真空室的底部的下方。
15.一種操作機(jī)械手臂的方法，包括提供一種多軸真空電機(jī)組件，所述多軸真空電機(jī)組件包括第一轉(zhuǎn)子；第一定子，適于穿過真空阻擋件與所述第一轉(zhuǎn)子磁耦合，以控制真空室內(nèi)的機(jī)械手臂的第一軸的旋轉(zhuǎn)；第二轉(zhuǎn)子，位于所述第一轉(zhuǎn)子下方；第二定子，位于所述第一定子下方，并適于穿過所述真空阻擋件與所述第二轉(zhuǎn)子磁耦合，以控制所述真空室內(nèi)的所述機(jī)械手臂的第二軸的旋轉(zhuǎn)；第一反饋器件，位于所述真空阻擋件的大氣側(cè)，并適于經(jīng)由穿過所述真空阻擋件的無源磁耦合裝置監(jiān)控所述機(jī)械手臂的所述第一軸的旋轉(zhuǎn)；并且第二反饋器件，位于所述真空阻擋件的所述大氣側(cè)，并適于經(jīng)由穿過所述真空阻擋件的無源磁耦合監(jiān)控所述機(jī)械手臂的所述第二軸的旋轉(zhuǎn)；以及使用所述第一定子和所述第二定子以旋轉(zhuǎn)所述機(jī)械手臂的所述第一軸和所述第二軸，以延伸或收縮所述機(jī)械手臂。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中所述第一定子和所述第二定子位于所述真空阻擋件的所述大氣側(cè)。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述第一定子和所述第二定子豎直對(duì)齊。
18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的方法，其中所述第一定子和所述第二定子直接安裝到所述真空阻擋件。
19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中所述第一定子、所述第二定子、所述第一反饋器件和所述第二反饋器件布置成不延伸到所述真空室的底部的下方。
20.一種操作機(jī)械手臂的方法，包括提供一種多軸真空電機(jī)組件，所述多軸真空電機(jī)組件包括第一轉(zhuǎn)子；第一定子，適于整流以穿過真空阻擋件旋轉(zhuǎn)所述第一轉(zhuǎn)子并控制真空室內(nèi)的機(jī)械手臂的第一軸的旋轉(zhuǎn)；第二轉(zhuǎn)子，位于所述第一轉(zhuǎn)子下方；第二定子，位于所述第一定子下方，并適于整流以穿過所述真空阻擋件旋轉(zhuǎn)所述第二轉(zhuǎn)子并控制所述真空室內(nèi)的所述機(jī)械手臂的第二軸的旋轉(zhuǎn)；第一反饋器件，適于監(jiān)控所述機(jī)械手臂的所述第一軸的旋轉(zhuǎn)；以及第二反饋器件，適于監(jiān)控所述機(jī)械手臂的所述第二軸的旋轉(zhuǎn)；并且整流所述第一定子和所述第二定子，以旋轉(zhuǎn)所述機(jī)械手臂的所述第一軸和所述第二軸，以延伸或收縮所述機(jī)械手臂。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的方法，其中所述第一定子和所述第二定子位于所述真空阻擋件的所述大氣側(cè)。
22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中所述第一定子和所述第二定子豎直對(duì)齊。
23.根據(jù)權(quán)利要求21所述的方法，其中所述第一定子和所述第二定子直接安裝到所述真空阻擋件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種多軸真空電機(jī)組件，其包括(1)第一轉(zhuǎn)子(104)；(2)第一定子(102)，適于整流以穿過真空阻擋件(106)旋轉(zhuǎn)所述第一轉(zhuǎn)子并控制真空室(108)內(nèi)的第一機(jī)械手臂(110)的第一軸的旋轉(zhuǎn)；(3)第二轉(zhuǎn)子(122)，位于所述第一轉(zhuǎn)子下方；(4)第二定子(120)，位于所述第一定子下方，并適于整流以穿過所述真空阻擋件(106)旋轉(zhuǎn)所述第二轉(zhuǎn)子并控制所述真空室(108)內(nèi)的第二機(jī)械手臂的第二軸的旋轉(zhuǎn)；(5)第一反饋器件(118)，適于監(jiān)控所述第一機(jī)械手臂(110)的旋轉(zhuǎn)；以及第二反饋器件(132)，適于監(jiān)控所述第二機(jī)械手臂(124)的旋轉(zhuǎn)。
文檔編號(hào)B25J9/12GK1942288SQ200680000204
公開日2007年4月4日 申請(qǐng)日期2006年2月11日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月12日
發(fā)明者杰弗里·C·哈德更斯 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料公司