專利名稱：一種真空對(duì)盒設(shè)備和真空對(duì)盒系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及顯示器生產(chǎn)制造領(lǐng)域，尤其涉及顯示器成盒工藝中一種真空對(duì)盒設(shè)備和真空對(duì)盒系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器(Liquid Crystal Display，TFT-LCD)制造過程中，真空對(duì)盒是成盒 (cell)工序的核心工藝，所謂成盒即是在近真空環(huán)境下，將構(gòu)成TFT-IXD的陣列基板(TFT 基板)和彩膜基板(CF基板)貼合在一起。并且，其他的顯示器制造過程，比如電子紙等的制造，也需要將上、下基板進(jìn)行真空對(duì)盒。目前，在進(jìn)行真空對(duì)盒時(shí)，基板的受取是必不可少的處理步驟，其中，在上玻璃基板(即對(duì)盒時(shí)位于上層的基板)的受取過程中，需要搬送設(shè)備與真空對(duì)盒設(shè)備進(jìn)行相互配合。首先，搬送設(shè)備的機(jī)械手將上基板搬送至真空對(duì)盒設(shè)備的真空腔體(chamber)中，然后真空對(duì)盒設(shè)備的上機(jī)臺(tái)或上機(jī)臺(tái)上的吸附栓(吸附pin)降下，以接觸并吸附上基板，在上基板與上機(jī)臺(tái)或吸附Pin完全接觸后，上機(jī)臺(tái)或吸附pin繼續(xù)下壓，直至達(dá)到預(yù)設(shè)的基板受取位置，在檢測(cè)并確定真空對(duì)盒設(shè)備的上機(jī)臺(tái)或吸附Pin與玻璃基板之間的真空度滿足要求時(shí)，斷開搬送設(shè)備的真空吸附，上機(jī)臺(tái)或吸附Pin上升至預(yù)定的初始位置，至此，完成上基板的受取操作。在上基板的整個(gè)受取過程中，是否達(dá)到預(yù)設(shè)的基板受取位置是上機(jī)臺(tái)或吸附pin 是否繼續(xù)下降的唯一判定條件，在玻璃基板特性變化時(shí)或者搬送設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，無法進(jìn)行相應(yīng)的反應(yīng)，這就可能會(huì)造成上機(jī)臺(tái)或吸附Pin壓碎基板。同時(shí)，整個(gè)上基板的受取過程中，都無法反應(yīng)上基板的平坦度，也就無法確定對(duì)基板受取過程的影響，難以對(duì)真空吸附超時(shí)的情況進(jìn)行原因確認(rèn)。另外，在上基板的特性發(fā)生變化時(shí)，例如玻璃基板的厚度發(fā)生變化時(shí)，需要對(duì)真空對(duì)盒設(shè)備中預(yù)設(shè)的基板受取位置進(jìn)行調(diào)整，同時(shí)也需要對(duì)搬送設(shè)備的機(jī)械手位置進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整，這就需要進(jìn)行大量的測(cè)試，降低了真空對(duì)盒的效率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種真空對(duì)盒設(shè)備和真空對(duì)盒系統(tǒng)，用以避免在上基板受取過程中壓碎上基板，并能夠根據(jù)基板特性的變化實(shí)時(shí)進(jìn)行參數(shù)調(diào)整，提高真空對(duì)盒過程的適應(yīng)性，提高真空對(duì)盒的精確度和安全性，同時(shí)提高真空對(duì)盒的效率。本實(shí)用新型提供的具體技術(shù)方案如下一種真空對(duì)盒設(shè)備，包括上機(jī)臺(tái)、下機(jī)臺(tái)和控制器，還包括壓力傳感器，與所述上機(jī)臺(tái)或下機(jī)臺(tái)固定連接，用于檢測(cè)真空對(duì)盒設(shè)備上機(jī)臺(tái)與基板之間的壓力，并傳送壓力信息給所述控制器。一種真空對(duì)盒系統(tǒng)，包括真空對(duì)盒設(shè)備和進(jìn)入所述真空對(duì)盒設(shè)備的機(jī)械手，所述機(jī)械手上設(shè)有壓力傳感器，用于檢測(cè)真空對(duì)盒設(shè)備上機(jī)臺(tái)與基板之間的壓力，并傳送壓力信息給所述真空對(duì)盒設(shè)備的控制器。[0010]基于上述技術(shù)方案，通過在真空對(duì)盒設(shè)備的上機(jī)臺(tái)或下機(jī)臺(tái)設(shè)置壓力傳感器，或者在進(jìn)入真空對(duì)盒設(shè)備的機(jī)械手上設(shè)置壓力傳感器，在TFT-LCD的制造過程中，在真空對(duì)盒受取上基板的過程中，真空對(duì)盒設(shè)備中的控制器能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)上機(jī)臺(tái)和上基板之間的壓力值，并在上機(jī)臺(tái)和上基板之間的壓力值大于或等于預(yù)設(shè)的壓力上限值時(shí)，指示上機(jī)臺(tái)停止下降，從而能夠有效避免壓碎上基板，并且，在上基板的特性變化時(shí)(如基板厚度改變)， 僅需對(duì)真空對(duì)盒設(shè)備的個(gè)別控制參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，而無需改動(dòng)設(shè)備的硬件參數(shù)，也可進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)控制參數(shù)和產(chǎn)品型號(hào)的綁定，避免了上基板特性變化時(shí)繁瑣的測(cè)試和參數(shù)設(shè)定過程， 能夠根據(jù)基板特性的變化實(shí)時(shí)進(jìn)行參數(shù)調(diào)整，提高了生產(chǎn)安全性，并提高了真空對(duì)盒的效率和真空對(duì)盒過程的適應(yīng)性及精確度。

圖1為本實(shí)施例中真空對(duì)盒設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)施例中真空對(duì)盒設(shè)備的另一結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
在真空對(duì)盒工藝中，為了避免在上基板的受取過程中壓碎上基板，并能夠根據(jù)基板特性的變化實(shí)時(shí)進(jìn)行參數(shù)調(diào)整，提高真空對(duì)盒過程的適應(yīng)性，提高真空對(duì)盒的精確度和安全性，同時(shí)提高真空對(duì)盒的效率，本實(shí)用新型提供了一種真空對(duì)盒設(shè)備和真空對(duì)盒系統(tǒng)。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型所提供的優(yōu)選的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。以下實(shí)施例中，以玻璃基板為例對(duì)本實(shí)用新型的方案進(jìn)行具體說明，實(shí)際應(yīng)用中，若存在其它形式的基板，能夠應(yīng)用于本實(shí)用新型的，本實(shí)施例也將其包括在內(nèi)。如附圖1所示，本實(shí)施例提供的真空對(duì)盒設(shè)備中設(shè)置壓力傳感器11，該真空對(duì)盒設(shè)備包括上機(jī)臺(tái)12、下機(jī)臺(tái)13和控制器，其中，壓力傳感器11與上機(jī)臺(tái)12或下機(jī)臺(tái)13固定連接，用于檢測(cè)真空對(duì)盒設(shè)備上機(jī)臺(tái)12與玻璃基板15之間的壓力，并傳送壓力信息給控制器。本實(shí)施例中，壓力傳感器11用于測(cè)量上機(jī)臺(tái)12和上玻璃基板15之間的壓力，并將該壓力信息傳送給控制器。壓力傳感器11通過連接線與真空對(duì)盒設(shè)備的控制器相連接，以使控制器能夠獲得壓力傳感器測(cè)得的壓力信息(如壓力值)，控制器根據(jù)從壓力傳感器11獲得的壓力信息進(jìn)行進(jìn)一步的控制操作。具體地，控制器接收壓力傳感器11發(fā)送的壓力信息，并在確定壓力信息大于或等于預(yù)設(shè)的壓力上限值時(shí)，向上機(jī)臺(tái)發(fā)送停止下降的指示信息。其中，壓力傳感器11可以設(shè)置在真空對(duì)盒設(shè)備的上機(jī)臺(tái)12或下機(jī)臺(tái)13上，附圖 1所示為壓力傳感器11設(shè)置在下機(jī)臺(tái)13上的示意圖，附圖2所示為壓力傳感器11設(shè)置在真空對(duì)盒設(shè)備的上機(jī)臺(tái)12時(shí)的示意圖。實(shí)際應(yīng)用中，根據(jù)真空對(duì)盒設(shè)備采用的工藝不同上機(jī)臺(tái)12可能會(huì)設(shè)有吸附栓14，通過吸附栓14可以吸附上玻璃基板。壓力傳感器11設(shè)置于上機(jī)臺(tái)12，上機(jī)臺(tái)12下降并貼近玻璃基板15和機(jī)械手16 時(shí)，壓力傳感器11可以測(cè)得上機(jī)臺(tái)12和玻璃基板之間的壓力值，較佳地，真空對(duì)盒設(shè)備的控制器按照預(yù)定的時(shí)間間隔獲取壓力傳感器11測(cè)得的壓力值，并將該壓力值與預(yù)設(shè)的壓力上限值進(jìn)行比較，若測(cè)得的壓力值大于或等于壓力上限值，則指示上機(jī)臺(tái)12停止下降，以避免上機(jī)臺(tái)12壓碎玻璃基板。本實(shí)施例中，真空對(duì)盒設(shè)備中設(shè)置的壓力傳感器11的個(gè)數(shù)可以是一個(gè)或多個(gè)。其中，在壓力傳感器11設(shè)置在真空對(duì)盒設(shè)備的下機(jī)臺(tái)13，且壓力傳感器為多個(gè)時(shí)，較佳地，壓力傳感器11的數(shù)目與進(jìn)入所述真空對(duì)盒設(shè)備的機(jī)械手(即搬運(yùn)設(shè)備的機(jī)械手16)的手指數(shù)目相同。具體設(shè)置時(shí)，固定于下機(jī)臺(tái)13的壓力傳感器11與機(jī)械手16的手指一一對(duì)應(yīng)，從而能夠分別測(cè)得機(jī)械手每根手指對(duì)應(yīng)的壓力值，控制器獲得機(jī)械手16每根手指對(duì)應(yīng)的壓力值后進(jìn)行比較，獲得各手指之間的壓力差，再根據(jù)該壓力差采取相應(yīng)的控制操作，例如，根據(jù)各手指之間的壓力差調(diào)整各手指的位置，以使得各手指對(duì)應(yīng)的壓力值相同，消除壓力差，進(jìn)而調(diào)整了位于機(jī)械手上的玻璃基板的平坦度。壓力傳感器11設(shè)置于下機(jī)臺(tái)13，上機(jī)臺(tái)12下降貼合玻璃基板和機(jī)械手后繼續(xù)下降，在上機(jī)臺(tái)12下降并使機(jī)械手接觸固定于下機(jī)臺(tái)13的壓力傳感器11后，可以通過壓力傳感器11測(cè)得機(jī)械手和壓力傳感器之間的壓力值，從而間接測(cè)得上機(jī)臺(tái)12和玻璃基板之間的壓力值，控制器按照預(yù)定的時(shí)間間隔獲得壓力傳感器11測(cè)得的壓力值，并將該壓力值與預(yù)設(shè)的壓力上限值進(jìn)行比較，若測(cè)得的壓力值大于或等于壓力上限值，則指示上機(jī)臺(tái)12 停止下降，以避免上機(jī)臺(tái)12壓碎玻璃基板。實(shí)際應(yīng)用中，可以在控制器中設(shè)定上機(jī)臺(tái)下壓力和上機(jī)臺(tái)下降速度之間的關(guān)系系數(shù)，以根據(jù)測(cè)得的上機(jī)臺(tái)下壓力的大小來調(diào)整上機(jī)臺(tái)的下降速度，即按照上機(jī)臺(tái)與玻璃基板的接觸狀態(tài)來調(diào)整上機(jī)臺(tái)的下降速度，例如下壓力越大，速度越小，并可以在控制器中關(guān)系系數(shù)進(jìn)行調(diào)整，以獲得更高的控制精度。本實(shí)施例中，還提供了一種真空對(duì)盒系統(tǒng)，主要包括真空對(duì)盒設(shè)備和進(jìn)入真空對(duì)盒設(shè)備的機(jī)械手。其中，真空對(duì)盒設(shè)備，可以是上述的帶有壓力傳感器的真空對(duì)盒設(shè)備；進(jìn)入真空對(duì)盒設(shè)備的機(jī)械手，即搬運(yùn)設(shè)備的機(jī)械手。該機(jī)械手上設(shè)有壓力傳感器，用于檢測(cè)真空對(duì)盒設(shè)備上機(jī)臺(tái)與玻璃基板之間的壓力，并傳送壓力信息給真空對(duì)盒設(shè)備的控制器。實(shí)際應(yīng)用中，上機(jī)臺(tái)與玻璃基板之間的壓力是通過檢測(cè)機(jī)械手和玻璃基板之間的壓力獲得， 實(shí)際上也是上機(jī)臺(tái)和機(jī)械手之間的壓力。其中，機(jī)械手上設(shè)有的壓力傳感器通過連接線連接真空對(duì)盒設(shè)備的控制器，以將壓力傳感器測(cè)得的壓力值反饋給控制器，控制器根據(jù)從壓力傳感器獲得的壓力值進(jìn)行進(jìn)一步的控制操作。具體地，控制器接收壓力傳感器發(fā)送的壓力信息，并確定該壓力信息大于或等于預(yù)設(shè)的壓力上限值時(shí)，向真空對(duì)盒設(shè)備的上機(jī)臺(tái)發(fā)送停止下降的指示信息。較佳地，機(jī)械手上設(shè)有的壓力傳感器可以為一個(gè)或多個(gè)。較佳地，機(jī)械手每個(gè)手指上均設(shè)有一個(gè)壓力傳感器，從而能夠測(cè)得每個(gè)手指上的壓力值，控制器獲得各個(gè)手指上的壓力值后進(jìn)行比較并通過調(diào)整每個(gè)手指的位置消除壓力差，進(jìn)而調(diào)整玻璃基板的平坦度，以有利于真空吸附的順利進(jìn)行。機(jī)械手在搬送玻璃基板時(shí)，玻璃基板接觸壓力傳感器后放置于機(jī)械手上，機(jī)械手將玻璃基板送入真空對(duì)盒設(shè)備的真空腔體內(nèi)，真空對(duì)盒設(shè)備的上機(jī)臺(tái)下降并貼合玻璃基板后繼續(xù)下降，壓力傳感器通過測(cè)得玻璃基板和機(jī)械手之間的壓力值間接測(cè)得上機(jī)臺(tái)和玻璃基板之間的壓力值，真空對(duì)盒設(shè)備的控制器按照預(yù)定的時(shí)間間隔獲得壓力傳感器測(cè)得的壓力值，并將該壓力值與預(yù)設(shè)的壓力上限值進(jìn)行比較，在確定大于或等于壓力上限值時(shí)，指示上機(jī)臺(tái)停止下降，并在測(cè)得上機(jī)臺(tái)和玻璃基板之間的吸附真空度達(dá)到或超過預(yù)設(shè)門限值
5時(shí)，玻璃基板受取完成，上機(jī)臺(tái)吸附上玻璃基板上升，機(jī)械手撤出。基于上述技術(shù)方案，本實(shí)施例中，通過在真空對(duì)盒設(shè)備的上機(jī)臺(tái)或下機(jī)臺(tái)設(shè)置壓力傳感器，或者在進(jìn)入真空對(duì)盒設(shè)備的機(jī)械手上設(shè)置壓力傳感器，在TFT-LCD的制造過程中，在真空對(duì)盒受取上基板的過程中，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)上機(jī)臺(tái)和上基板之間的壓力值，并在上機(jī)臺(tái)和上基板之間的壓力值大于或等于預(yù)設(shè)的壓力上限值時(shí)，指示上機(jī)臺(tái)停止下降，從而能夠有效避免壓碎上基板，并且，在上基板的特性變化時(shí)(如基板厚度改變)，僅需對(duì)真空對(duì)盒設(shè)備的個(gè)別控制參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，而無需改動(dòng)設(shè)備的硬件參數(shù)，也可進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)控制參數(shù)和產(chǎn)品型號(hào)的綁定，避免了上基板特性變化時(shí)繁瑣的測(cè)試和參數(shù)設(shè)定過程，提高了生產(chǎn)安全性，并提高了真空對(duì)盒的效率和真空對(duì)盒過程的適應(yīng)性及精確度。同時(shí)，通過對(duì)應(yīng)機(jī)械手的手指設(shè)定多個(gè)壓力傳感器，從而通過比較各個(gè)手指對(duì)應(yīng)的壓力值，調(diào)整每個(gè)手指的位置，以消除各手指間的壓力差，進(jìn)而能夠調(diào)整上基板的平坦度，進(jìn)一步提高了真空對(duì)盒過程的安全性，提高了真空對(duì)盒的成功率，進(jìn)一步提升了生產(chǎn)效率。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種真空對(duì)盒設(shè)備，包括上機(jī)臺(tái)、下機(jī)臺(tái)和控制器，其特征在于，還包括壓力傳感器，與所述上機(jī)臺(tái)或下機(jī)臺(tái)固定連接，用于檢測(cè)真空對(duì)盒設(shè)備上機(jī)臺(tái)與基板之間的壓力，并傳送壓力信息給所述控制器。
2.如權(quán)利要求1所述的真空對(duì)盒設(shè)備，其特征在于，所述壓力傳感器通過連接線連接所述控制器。
3.如權(quán)利要求2所述的真空對(duì)盒設(shè)備，其特征在于，所述控制器接收所述壓力傳感器發(fā)送的壓力信息，并在確定所述壓力信息大于或等于預(yù)設(shè)的壓力上限值時(shí)，向所述上機(jī)臺(tái)發(fā)送停止下降的指示信息。
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的真空對(duì)盒設(shè)備，其特征在于，所述壓力傳感器為一個(gè)或多個(gè)。
5.如權(quán)利要求4所述的真空對(duì)盒設(shè)備，其特征在于，所述壓力傳感器設(shè)置在所述真空對(duì)盒設(shè)備的下機(jī)臺(tái)，且所述壓力傳感器為多個(gè)時(shí)，所述壓力傳感器與進(jìn)入所述真空對(duì)盒設(shè)備的機(jī)械手的手指數(shù)目上相同，且位置上一一對(duì)應(yīng)。
6.一種真空對(duì)盒系統(tǒng)，包括真空對(duì)盒設(shè)備和進(jìn)入所述真空對(duì)盒設(shè)備的機(jī)械手，其特征在于，所述機(jī)械手上設(shè)有壓力傳感器，用于檢測(cè)真空對(duì)盒設(shè)備上機(jī)臺(tái)與基板之間的壓力，并傳送壓力信息給所述真空對(duì)盒設(shè)備的控制器。
7.如權(quán)利要求6所述的真空對(duì)盒系統(tǒng)，其特征在于，所述機(jī)械手上設(shè)有的壓力傳感器通過連接線連接所述真空對(duì)盒設(shè)備的控制器。
8.如權(quán)利要求7所述的真空對(duì)盒系統(tǒng)，其特征在于，所述控制器接收所述壓力傳感器發(fā)送的壓力信息，并在確定所述壓力信息大于或等于預(yù)設(shè)的壓力上限值時(shí)，向所述真空對(duì)盒設(shè)備中的上機(jī)臺(tái)發(fā)送停止下降的指示信息。
9.如權(quán)利要求6、7或8所述的真空對(duì)盒系統(tǒng)，其特征在于，所述機(jī)械手上設(shè)有的壓力傳感器為一個(gè)或多個(gè)。
10.如權(quán)利要求6所述的真空對(duì)盒系統(tǒng)，其特征在于，所述機(jī)械手每個(gè)手指上均設(shè)有一個(gè)壓力傳感器。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種真空對(duì)盒設(shè)備和真空對(duì)盒系統(tǒng)，用以避免在上基板受取過程中壓碎上基板，并能夠根據(jù)基板特性的變化及時(shí)進(jìn)行參數(shù)調(diào)整，提高真空對(duì)盒過程的適應(yīng)性，并提高真空對(duì)盒的精確度和安全性，同時(shí)提高真空對(duì)盒的效率。該真空對(duì)盒設(shè)備包括上機(jī)臺(tái)、下機(jī)臺(tái)和控制器，還包括壓力傳感器。本實(shí)用新型還公開了一種真空對(duì)盒系統(tǒng)。
文檔編號(hào)B25J19/00GK202057930SQ20112018451
公開日2011年11月30日 申請(qǐng)日期2011年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月2日
發(fā)明者何偉, 張明亮, 李韡, 馬博 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司