專利名稱：切斷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及覆蓋基板的覆蓋片的切斷技木。
背景技術(shù)：
玻璃基板、半導(dǎo)體晶片的那樣的基板，存在為了保護(hù)其表面而由覆蓋片覆蓋的情況。例如，在太陽能電池模塊基板中，為了保護(hù)受光面，構(gòu)成太陽能電池模塊基板的多個(gè)構(gòu)件由多層構(gòu)成，為了匯總地構(gòu)成這些構(gòu)件也使用了覆蓋片。在覆蓋片之中，因?yàn)閺幕宓闹苓吷斐龅倪吘壊渴遣恍枰?，所以需要切斷它。因此，提出了切斷覆蓋片的邊緣部的裝置(日本特公平7-49189號(hào)公報(bào)，日本特開2001-320069號(hào)公報(bào)，日本特開2001-135840號(hào)公報(bào))。在將覆蓋矩形基板的覆蓋片切斷的邊緣部的情況下，因?yàn)樾枰鼐匦位宓乃倪吳袛喔采w片，所以一般需要在正交的兩方向移動(dòng)切斷単元的機(jī)構(gòu)。另外，也需要使基板移動(dòng)到適合于切斷單元的切斷的位置的機(jī)構(gòu)。因此，存在裝置復(fù)雜化、大型化的傾向。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的課題本發(fā)明的目的在于提供ー種能夠以更簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)切斷矩形基板的四邊的覆蓋片的切斷裝置。為了解決課題的手段根據(jù)本發(fā)明，提供ー種切斷裝置，其是切斷覆蓋矩形基板的覆蓋片的邊緣部的切斷裝置，其特征在于，具備吸附上述矩形基板的單面來保持上述矩形基板的保持単元；具備切斷上述覆蓋片的邊緣部的切斷単元及轉(zhuǎn)動(dòng)上述切斷単元而變更切斷方向的轉(zhuǎn)動(dòng)單元的頭單元；將上述頭單元在與上述矩形基板的ー邊平行的第一方向移動(dòng)的第一移動(dòng)單元；將上述保持単元在與上述矩形基板的和上述一邊正交的另ー邊平行的第二方向移動(dòng)，并將上述保持單元遍及在上述第二方向連續(xù)的上述矩形基板的移載位置及切斷作業(yè)區(qū)域地移動(dòng)的第二移動(dòng)單元。本發(fā)明的其它特征將從如下的具體實(shí)施方式
(參照附圖)的說明中得到明確。


圖I是本發(fā)明的ー實(shí)施方式的切斷裝置的俯視圖。圖2是上述切斷裝置的主視圖。圖3是上述切斷裝置的分解立體圖。圖4是控制裝置的框圖。圖5 圖13是上述切斷裝置的動(dòng)作說明圖。
具體實(shí)施方式
、
(裝置的概略)圖I是本發(fā)明的ー實(shí)施方式的切斷裝置A的俯視圖，圖2是切斷裝置A的主視圖，圖3是切斷裝置A的分解立體圖。另外，在圖I中做成了由虛線表示回收單元100、110的透視圖。在各圖中，箭頭X及Y是水平方向，表示相互正交的兩方向，箭頭Z表示垂直方向。在本實(shí)施方式的情況下，X方向是由后述的輸送單元8及9進(jìn)行的基板的輸送方向。切斷裝置A具備保持單元I、移動(dòng)單元2、頭單元3、移動(dòng)單元4、輸送升降單元5及基板升降単元6、定位単元7、 輸送單元8及9、回收單元100及110。如后的所述，切斷裝置A是將覆蓋矩形的基板B(參照?qǐng)D5)的覆蓋片b(參照?qǐng)D5)的邊緣部(從基板B的周緣伸出的部分)切斷的裝置。(保持單元I)保持単元I吸附地保持基板B的單面(在本實(shí)施方式的情況下，是基板的下面)。在本實(shí)施方式的情況下，保持単元I被設(shè)置多個(gè)，其各個(gè)都具備吸附基板B的單面的多個(gè)真空吸附墊10。全部的真空吸附墊10位于共同的X-Y平面(水平面)上，能夠以水平姿勢(shì)保持基板。各真空吸附墊10與未圖示的真空泵連接，通過使此真空泵工作，吸附地保持基板。在本實(shí)施方式的情況下，保持単元I以沿基板B的四邊的方式配置，保持基板B的邊緣。通過做成保持基板B的邊緣的結(jié)構(gòu)，能夠在覆蓋片b的切斷時(shí)防止基板邊緣振動(dòng)。其結(jié)果，能夠良好地切斷覆蓋片b的邊緣部。另外，也可以以將基板B的中央部也保持的方式配設(shè)保持單元I。(移動(dòng)單元2)移動(dòng)單元2具備ー對(duì)引導(dǎo)構(gòu)件20、20、架設(shè)在ー對(duì)引導(dǎo)構(gòu)件20、20之間的移動(dòng)體21和驅(qū)動(dòng)部22、22。ー對(duì)引導(dǎo)構(gòu)件20、20，相互在Y方向離開，在X方向平行地延伸設(shè)置。移動(dòng)體21，做成框架狀，搭載并支承多個(gè)保持単元I。驅(qū)動(dòng)部22、22分別設(shè)置在移動(dòng)體21的兩端部的下面上，是分別與引導(dǎo)構(gòu)件20、20卡合而引導(dǎo)其移動(dòng)的滑塊，構(gòu)成了使移動(dòng)體21沿ー對(duì)引導(dǎo)構(gòu)件20、20在X方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。作為此移動(dòng)機(jī)構(gòu)，例如，能夠舉出滾珠絲杠機(jī)構(gòu)。在作為滾珠絲杠機(jī)構(gòu)的情況下，能夠采用在引導(dǎo)構(gòu)件20上設(shè)置了在X方向延伸設(shè)置的滾珠絲杠軸，在驅(qū)動(dòng)部22設(shè)置了與滾珠絲杠軸螺紋配合的滾珠螺母及使?jié)L珠螺母旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)(例如中空馬達(dá))的結(jié)構(gòu)。在此結(jié)構(gòu)的情況下，通過對(duì)各驅(qū)動(dòng)部22的馬達(dá)同步地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，能夠使移動(dòng)體21在X方向(基板的移送方向)平行移動(dòng)。另外，作為其它的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，能夠舉出齒條小齒輪機(jī)構(gòu)、齒型帶皮帶輪機(jī)構(gòu)、線性機(jī)構(gòu)。另外，也可以在兩個(gè)驅(qū)動(dòng)部22、22之中的一方，不設(shè)置馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)源，僅以沿引導(dǎo)構(gòu)件20從動(dòng)地移動(dòng)的方式構(gòu)成。移動(dòng)單元2，通過使移動(dòng)體21在X方向移動(dòng)，遍及在X方向連續(xù)的移載位置及切斷作業(yè)區(qū)域地移動(dòng)搭載在移動(dòng)體21上的保持単元I。移載位置，在本實(shí)施方式的情況下，包含引導(dǎo)構(gòu)件20的一方端部的輸入位置(在圖3中是左下位置)和另一方端部的輸出位置(在圖3中是右下位置)，切斷作業(yè)區(qū)域是從輸入位置到輸出位置之間的區(qū)域。即，在本實(shí)施方式的情況下，切斷作業(yè)區(qū)域，設(shè)定在保持単元I的全移動(dòng)范圍內(nèi)，其兩端部設(shè)定在輸入位置、輸出位置。這具有縮短切斷裝置A的全長(zhǎng)的效果。
輸入位置，是在引導(dǎo)構(gòu)件20的兩端部之中的輸送單元8側(cè)(一方端部側(cè))的位置，在此進(jìn)行基板B(覆蓋片b的邊緣部未切斷的基板B)的從輸送単元8向保持単元I的輸入。輸出位置，是在引導(dǎo)構(gòu)件20的兩端部之中的輸送單元9側(cè)(另一方端部)的位置，在此進(jìn)行基板B(已切斷覆蓋片b的邊緣部的基板B)的從保持単元I向輸送單元9的輸出。(頭單元3) 頭單元3具備切斷覆蓋片b的邊緣部的切斷単元30和在使切斷単元30升降的同時(shí)使其轉(zhuǎn)動(dòng)(旋轉(zhuǎn))而變更切斷方向的升降轉(zhuǎn)動(dòng)單元31。在本實(shí)施方式的情況下，設(shè)置了兩個(gè)頭単元3。由此，能夠在不同的部位中同時(shí)切斷覆蓋片b的邊緣部，能夠提高切斷效率。不用說，頭單元3也可以是ー個(gè)。切斷單元30具備圓盤刀30a、使圓盤刀30a旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),使圓盤30a旋轉(zhuǎn)來切斷覆蓋片b的邊緣部。在本實(shí)施方式的情況下，作為切斷単元30，采用了使圓盤刀30a旋轉(zhuǎn)來切斷覆蓋片b的機(jī)構(gòu)，但不限于此。例如，可以采用由固定的刀切斷覆蓋片b的機(jī)構(gòu)、由激光切斷覆蓋片b的機(jī)構(gòu)等其它種類的切斷機(jī)構(gòu)。升降轉(zhuǎn)動(dòng)單元31具備在使軸體32繞其軸心(Z方向)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)使軸體32升降的機(jī)構(gòu)(未圖示)。在本實(shí)施方式的情況下，在軸體32上連結(jié)了切斷単元30，通過使軸體32旋轉(zhuǎn)，切斷単元30能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地維持其轉(zhuǎn)動(dòng)角度，同時(shí)通過使軸體32升降，切斷単元30能夠在Z方向升降。通過使切斷単元30轉(zhuǎn)動(dòng)來變更切斷方向，能夠沿基板B的四邊進(jìn)行覆蓋片b的邊緣部的切斷。另外，能夠調(diào)整圓盤刀30a相對(duì)于基板B的各邊的方向。更具體地講，能夠調(diào)整與基板B的基板面垂直的面(在本實(shí)施方式的情況下，是Z方向的垂直面)和圓盤刀30a形成的平面(在本實(shí)施方式的情況下，是Z方向的垂直面)的角度(交叉角度)。通過調(diào)整、維持此角度，能夠使圓盤刀30a相對(duì)于基板B的邊緣以適合的角度抵接，能夠防止在覆蓋片的切斷時(shí)基板B的邊緣損傷。另外，通過使切斷単元30升降，能夠調(diào)整圓盤刀30a相對(duì)于垂直干與基板B的基板面中的法線方向平行的方向的面(在本實(shí)施方式的情況下，是Z方向的垂直面)和圓盤刀30a形成的平面(在本實(shí)施方式的情況下，是Z方向的垂直面)的切斷刀位置(高度位置)。作為使軸體32旋轉(zhuǎn)、升降的機(jī)構(gòu)，能夠采用眾所周知的機(jī)構(gòu)。例如，作為使軸體32旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，能夠舉出馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)源和齒輪機(jī)構(gòu)或者皮帶機(jī)構(gòu)等機(jī)構(gòu)的組合。作為維持軸體32的旋轉(zhuǎn)角度的機(jī)構(gòu)，例如，在將伺服馬達(dá)作為驅(qū)動(dòng)源的情況下，能夠利用伺服馬達(dá)的電磁鎖定功能，或者，也可以另外設(shè)置可解除地限制軸體32的旋轉(zhuǎn)的鎖定機(jī)構(gòu)。另外，作為使軸體32升降的機(jī)構(gòu)，能夠舉出馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)源和齒條小齒輪機(jī)構(gòu)等機(jī)構(gòu)的組合。(移動(dòng)單元4)移動(dòng)單元4在Y方向移動(dòng)頭單元3。在本實(shí)施方式的情況下，移動(dòng)單元4具備弓丨導(dǎo)構(gòu)件40、沿引導(dǎo)構(gòu)件40可移動(dòng)地安裝在引導(dǎo)構(gòu)件40上的移動(dòng)體41、使移動(dòng)體41沿引導(dǎo)構(gòu)件40移動(dòng)的未圖示的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。引導(dǎo)構(gòu)件40在Y方向延伸設(shè)置。移動(dòng)體41與頭單元3的數(shù)量對(duì)應(yīng)地設(shè)置兩個(gè)，是與引導(dǎo)構(gòu)件40卡合地引導(dǎo)其移動(dòng)的滑塊。在本實(shí)施方式的情況下，將引導(dǎo)構(gòu)件40相對(duì)于兩個(gè)移動(dòng)體41共同使用。這與在每個(gè)移動(dòng)體41上都設(shè)置引導(dǎo)構(gòu)件40的情況下相比，能夠簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)。作為未圖示的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，例如，能夠舉出滾珠絲杠機(jī)構(gòu)。在做成了滾珠絲杠機(jī)構(gòu)的情況下，能夠采用如下的結(jié)構(gòu)在引導(dǎo)構(gòu)件40上設(shè)置了在Y方向延伸設(shè)置的滾珠絲杠軸，在各移動(dòng)體41上設(shè)置了與滾珠絲杠軸螺紋配合的滾珠螺母及使?jié)L珠螺母旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)(例如中空馬達(dá))。由于各移動(dòng)體41分別具備馬達(dá)，所以能夠獨(dú)立地移動(dòng)控制各移動(dòng)體41，其結(jié)果，能夠分別獨(dú)立地移動(dòng)控制兩個(gè)頭単元3。另外，滾珠絲杠軸既可以做成共同使用在兩個(gè)移動(dòng)體41上的結(jié)構(gòu)，也可以分別設(shè)置在每個(gè)移動(dòng)體41上。在本實(shí)施方式中，移動(dòng)單元4在由移動(dòng)單元2進(jìn)行的保持單元I的移動(dòng)范圍之中，相對(duì)于保持単元I在上下方向錯(cuò)開地配置。特別是，引導(dǎo)構(gòu)件40相對(duì)于引導(dǎo)構(gòu)件20、20在上下方向離開，而且，配設(shè)在交叉的方向。根據(jù)此結(jié)構(gòu)，由于能夠上下重疊地配置引導(dǎo)構(gòu)件
20、40，所以能夠有效地利用設(shè)備空間，另外，由于能夠在引導(dǎo)構(gòu)件40的長(zhǎng)度方向的范圍內(nèi)收納移動(dòng)單元2的寬度，所以能實(shí)現(xiàn)省空間化。(輸送升降単元5)輸送升降單元5是支承輸送單元8、9中的帶式輸送機(jī)80、90的一方端部(與保持単元I相反側(cè)的端部)地分別設(shè)置的，在移載位置中相對(duì)于保持単元I升降輸送單元8、9。由此，能夠在保持単元I和輸送單元8、9之間進(jìn)行基板B的交接。輸送升降単元5，在本實(shí)施方式的情況下，具備支承輸送單元8、9的支承框架51和在Z方向移動(dòng)自由地對(duì)支承框架51進(jìn)行支承的導(dǎo)向框架52。在導(dǎo)向框架52上，例如設(shè)置了在Z方向延伸的軌道構(gòu)件，在支承框架51上設(shè)置了與軌道構(gòu)件卡合地在Z方向滑動(dòng)的滑塊。輸送升降單元5，還具備馬達(dá)53和設(shè)置在馬達(dá)53的輸出軸53a上的偏心凸輪54。偏心凸輪54的周面與支承框架51的下面抵接，通過使偏心凸輪54旋轉(zhuǎn)，能夠使支承框架51在Z方向升降。其結(jié)果，能夠升降輸送單元8、9。在本實(shí)施方式中，做成了這樣由將馬達(dá)53作為驅(qū)動(dòng)源的凸輪機(jī)構(gòu)升降輸送單元8、9的結(jié)構(gòu)，但也可以將氣缸等作為驅(qū)動(dòng)源，其機(jī)構(gòu)可以采用各種各樣的機(jī)構(gòu)。另外，在本實(shí)施方式中，做成了使輸送單元8、9升降的結(jié)構(gòu)，但也可以使保持單元I側(cè)升降，只要能夠使保持単元I和輸送單元8、9相對(duì)地升降，則既可以使任一方移動(dòng)，也可以使雙方移動(dòng)。(基板升降単元6)基板升降単元6，相對(duì)于保持単元I升降基板B。在本實(shí)施方式中，在基板從輸送單元8向保持單元I輸入時(shí)，由定位單元7進(jìn)行基板B的定位?；迳祮卧?在基板B的定位時(shí)上升而使基板B從保持単元I的各真空吸附墊10離開。如果基板B的定位結(jié)束，則使基板B下降而載置在保持単元I的各真空吸附墊10上進(jìn)行保持。在本實(shí)施方式的情況下，基板升降單元6是氣缸，但也可以采用其它的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。(定位單元7)定位單元7在輸入位置進(jìn)行基板B的Y方向的定位。定位單元7，具備相互在Y方向離開的ー對(duì)抵接構(gòu)件70、在Y方向可移動(dòng)地支承ー對(duì)抵接構(gòu)件70的引導(dǎo)構(gòu)件71、使ー對(duì)抵接構(gòu)件70移動(dòng)的未圖示的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。移動(dòng)機(jī)構(gòu)，例如，可以由使一方的抵接構(gòu)件70移動(dòng)的氣缸等驅(qū)動(dòng)源和使雙方的抵接構(gòu)件70聯(lián)動(dòng)的連桿機(jī)構(gòu)構(gòu)成。
ー對(duì)抵接構(gòu)件70，在與基板B的在Y方向相互相向的兩邊抵接而進(jìn)行基板B的定位的定位位置和與定位位置相比相互離開的退避位置之間移動(dòng)。因?yàn)椹`對(duì)抵接構(gòu)件70是在Y方向延伸設(shè)置的板狀的構(gòu)件，所以在與基板B的相互相向的兩邊抵接而進(jìn)行其Y方向的定位的同時(shí)，以使基板B的相互相向的兩邊與Y方向平行的方式將剩余的兩邊做成與X方向平行，對(duì)基板B的姿勢(shì)也能夠進(jìn)行調(diào)整。其結(jié)果，由移動(dòng)單元4進(jìn)行的頭單元3的相對(duì)于基板B的Y方向的移動(dòng)、通過由移動(dòng)單元2進(jìn)行的保持單元I的X方向的移動(dòng)產(chǎn)生的頭単元3的相對(duì)于基板B的相對(duì)移動(dòng)，都是沿著基板B的各邊的移動(dòng)。(輸送單元8及9)輸送單元8及9，在本實(shí)施方式的情況下，無論哪ー個(gè)，都做成使環(huán)形皮帶81、91在X方向行走的帶式輸送機(jī)80、90。在本實(shí)施方式的情況下，帶式輸送機(jī)80、90分別在Y方向離開地設(shè)置兩列，將基板B載置在環(huán)形皮帶81、91上進(jìn)行輸送。輸送單元8是基板B的輸入用単元，輸送單元9是基板B的輸出用単元。在本實(shí)施方式中，將輸送単元8及9做成了帶式輸送機(jī)，但也可以是輥式輸送機(jī)、多關(guān)節(jié)機(jī)械手等其它種類的輸送裝置。另外，在本實(shí) 施方式中，做成了具備輸入用、輸出用的雙方的輸送單元的結(jié)構(gòu)，但也可以是任何一方。這樣，輸送単元8、9是僅支承其一方端部的懸臂結(jié)構(gòu)，其另一方端部(保持単元I側(cè)的端部)沒有支承結(jié)構(gòu)。因此，能夠使輸送単元8、9的另一方端部側(cè)與在X方向延伸設(shè)置的保持単元I在X方向重疊地配置。具體地講，在后述的框架構(gòu)件120內(nèi)，在使輸送單元8、9的另一方端部側(cè)進(jìn)入的狀態(tài)下，設(shè)置輸送単元8、9。其結(jié)果，可以進(jìn)行輸送單元8、9和保持単元I之間的基板B的交接。(回收單元100及110)回收單元100及110回收被進(jìn)行了切斷的覆蓋片b的邊緣部。由此，能夠防止被進(jìn)行了切斷的覆蓋片b的邊緣部散亂。在本實(shí)施方式的情況下，回收單元100具備配置在沿引導(dǎo)構(gòu)件40的切斷單元30的移動(dòng)軌跡的下方的帶式輸送機(jī)101和設(shè)置在帶式輸送機(jī)101的兩側(cè)部的ー對(duì)導(dǎo)向構(gòu)件102。帶式輸送機(jī)101延伸設(shè)置在Y方向，環(huán)形皮帶在Y方向行走。ー對(duì)導(dǎo)向構(gòu)件102分別傾斜地配設(shè)，以便向上方開放(間隔變大)。在帶式輸送機(jī)101的兩端部(Y方向兩端部)分別配設(shè)了回收箱103。如果切斷単元30沿基板B的位于X方向的兩端的邊切斷覆蓋片b的邊緣部，則被進(jìn)行了切斷的邊緣部向帶式輸送機(jī)101上落下。在邊緣部落下時(shí)，一對(duì)導(dǎo)向構(gòu)件102作為將邊緣部向帶式輸送機(jī)101上引導(dǎo)的滑道(滑梯)發(fā)揮功能。通過帶式輸送機(jī)101連續(xù)或者定期地動(dòng)作，該環(huán)形皮帶行走，能夠?qū)⒈贿M(jìn)行了切斷的邊緣部向回收箱103輸送。回收單元110在切斷単元30的下方分別沿ー對(duì)引導(dǎo)構(gòu)件20設(shè)置。各回收單元110具備帶式輸送機(jī)111和設(shè)置在帶式輸送機(jī)111的兩側(cè)部的ー對(duì)導(dǎo)向構(gòu)件112。帶式輸送機(jī)111在X方向延伸設(shè)置，環(huán)形皮帶在X方向行走。ー對(duì)導(dǎo)向構(gòu)件112分別傾斜地配設(shè)，以便間隔向上方變大地開放。在帶式輸送機(jī)111的一方端部(移送方向一方端部)配設(shè)了回收箱113。如果切斷単元30沿基板B的位于Y方向的兩端的兩邊切斷覆蓋片b的邊緣部，則其切斷片分別向帶式輸送機(jī)111上落下。在切斷片落下時(shí)，一對(duì)導(dǎo)向構(gòu)件112將切斷片向帶式輸送機(jī)111上引導(dǎo)。通過使帶式輸送機(jī)111連續(xù)或者定期地動(dòng)作，能夠使其環(huán)形皮帶行走，將切斷片向各自的回收箱113輸送。另外，在本實(shí)施方式中，作為回收單元100、110利用了帶式輸送機(jī)101、111，但也可以采用其它的結(jié)構(gòu)。例如，也可以做成具備接受被切斷而落下來的切斷片的流槽狀(大致U字狀)的構(gòu)件和吸弓I流槽內(nèi)的切斷片而向回收箱排出的吸引裝置的結(jié)構(gòu)。(框架構(gòu)件120)引導(dǎo)構(gòu)件20、20、引導(dǎo)構(gòu)件40、回收單元100、110，不論哪個(gè)都被一體地支承在共同的框架構(gòu)件120上。通過由共同的框架構(gòu)件120支承它們，能夠提高它們相互間的定位精度。引導(dǎo)構(gòu)件40架設(shè)在框架構(gòu)件120的一對(duì)梁部121之間。一對(duì)梁部121相互在Y方向離開，分別在X方向延伸設(shè)置。引導(dǎo)構(gòu)件20、20被搭載在框架構(gòu)件120的支承部122上 地被支承?；厥諉卧?00，如圖2所示，被搭載在框架構(gòu)件120的支承部124、124上地被支承，各回收單元110被搭載在框架構(gòu)件120的支承部123、123上地被支承。(控制裝置)接著，對(duì)控制切斷裝置A的控制裝置200進(jìn)行說明。圖4是控制裝置200的框圖?？刂蒲b置200具備CPU等處理部201、RAM、ROM、硬盤等存儲(chǔ)部202、連接外部裝置和處理部201的接ロ部203。處理部201以存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部202中的保持単元21的切斷開始位置、切斷結(jié)束位置、切斷単元30的轉(zhuǎn)動(dòng)角度位置、由頭單元3進(jìn)行的切斷開始位置、切斷結(jié)束位置等為基礎(chǔ)執(zhí)行程序，基于各種傳感器206的檢測(cè)結(jié)果控制各種動(dòng)作執(zhí)行器207。在各種傳感器206中，例如，包含檢測(cè)頭單元3的Y方向的位置的傳感器、檢測(cè)切斷單元30的轉(zhuǎn)動(dòng)角度、Z方向的位置的傳感器、檢測(cè)由輸送單元8輸送的基板B的位置的傳感器、檢測(cè)保持単元I (移動(dòng)體21)的X方向的位置的傳感器。在各種動(dòng)作執(zhí)行器207中，包含使真空吸附墊10動(dòng)作的真空泵、控制閥、移動(dòng)單元2及4的各移動(dòng)機(jī)構(gòu)的馬達(dá)等的驅(qū)動(dòng)源、使圓盤刀30a旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)、定位単元7的驅(qū)動(dòng)源、輸送升降単元5的馬達(dá)53、基板升降単元6的驅(qū)動(dòng)源等。輸入部204是接受作業(yè)者的指示的鍵盤、鼠標(biāo)等，顯示部205是顯示各種信息的圖像顯示裝置。(動(dòng)作例)接著，參照?qǐng)D5至圖13對(duì)由切斷裝置A進(jìn)行的覆蓋片的邊緣部的切斷動(dòng)作進(jìn)行說明。成為對(duì)象的基板B，首先，由未圖示的輸送設(shè)備輸送給輸送単元8，從輸送単元8向保持単元I移載。圖5至圖7表示由覆蓋片b覆蓋的基板B從輸送単元8向保持単元I移載時(shí)的切斷裝置A的動(dòng)作。首先，如圖5的狀態(tài)STl所示，驅(qū)動(dòng)輸送單元8在X方向輸送基板B，將基板B輸送到位于輸入位置的保持単元I上。此時(shí)，如圖6的狀態(tài)STll所示，輸送單元8的帶式輸送機(jī)80處于由輸送升降単元5上升了的位置。另外，基板升降單元6也上升，處于比基板B低但從真空吸附墊10向上方突出的位置。如果基板B達(dá)到保持單元I上，則停止輸送單元8的驅(qū)動(dòng)，如圖6的狀態(tài)ST12所示，由輸送升降単元5使輸送單元8的帶式輸送機(jī)80下降。由此，將基板B從帶式輸送機(jī)80移載到基板升降単元6。接下來，如圖7的狀態(tài)ST13所示，使定位單元7動(dòng)作而將ー對(duì)抵接構(gòu)件70、70從退避位置向定位位置(在圖7中是相互接近的方向)移動(dòng)。由此，基板B被定位。接下來，如圖7的狀態(tài)ST14所示，使定位単元7動(dòng)作而將ー對(duì)抵接構(gòu)件70從定位位置向退避位置(在圖7中是相互離開的方向)移動(dòng)，使基板升降単元6動(dòng)作而使基板B下降。由此，將基板B從基板升降單元6移載到保持単元I的各真空吸附墊10上。然后，使各真空吸附墊10動(dòng)作來吸附保持基板B。接著，轉(zhuǎn)移到切斷覆蓋片b的邊緣部的動(dòng)作。邊緣部的切斷，按照基板B的X方向的一方端部的ー邊、Y方向的兩端部的兩邊、X方向的另一方端部的一邊的順序進(jìn)行。在對(duì)基板B的X方向的一方端部的一邊而言的進(jìn)行覆蓋片b的邊緣部的切斷動(dòng)作時(shí)，首先，為了進(jìn)行基板B的ー邊和切斷単元30的圓盤刀30a的對(duì)位，由移動(dòng)單元2將基板B移動(dòng)到規(guī)定的位置(第一切斷位置)。另外，設(shè)定圓盤刀30a的Y方向及Z方向的位置、方向(第一切斷開始位置)。在包含這些位置、方向在內(nèi)的控制上需要的各種信息，根據(jù)事前的試驗(yàn)結(jié)果(例如進(jìn)行試驗(yàn)的結(jié)果)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部202中，能夠按照存儲(chǔ)內(nèi)容進(jìn)行控制。接下來切斷覆蓋片b的邊緣部。圖8的狀態(tài)ST2及ST3，表示了沿基板B的X方向的一方端部的ー邊(在圖8中是右邊)移動(dòng)切斷単元30來切斷覆蓋片b的邊緣部的狀態(tài)。在本實(shí)施方式的情況下，兩個(gè)切斷單元30的一方，首先，沿基板B的ー邊的一半切斷覆蓋片b的邊緣部。詳細(xì)地講，如圖8的狀態(tài)ST2所示，使一方的切斷単元30位于基板B的ー邊的正中間的位置(第一切斷開始位置)，從此在該圖的由箭頭所示的方向(在圖8中的狀態(tài)ST2下是上方向)移動(dòng)切斷単元30來進(jìn)行邊緣部的切斷。此時(shí)，另一方的切斷単元30，預(yù)先退避到適當(dāng)?shù)奈恢?退避位置)。被進(jìn)行了切斷的切斷片由回收單元100回收。接著，如圖8的狀態(tài)ST3所示，使另一方的切斷單元30位于基板B的ー邊的正中間的位置，從此在該圖的由箭頭所示的方向(在圖8中的狀態(tài)ST3下是下方向)移動(dòng)切斷単元30，進(jìn)行剩余的邊緣部的切斷。此時(shí)，一方的切斷単元30，預(yù)先退避到適當(dāng)?shù)奈恢?。通過以上的動(dòng)作，對(duì)基板B的X方向的一方端部的一邊而言覆蓋片b的邊緣部的切斷結(jié)束。接著，進(jìn)行對(duì)基板B的Y方向的兩端部的兩邊而言的覆蓋片b的邊緣部的切斷。在本實(shí)施方式的情況下，由兩個(gè)切斷単元30同時(shí)進(jìn)行對(duì)Y方向的兩端部的兩邊而言的覆蓋片b的各邊緣部的切斷。邊緣部的切斷，在從基板B中的Y方向的兩端部的兩邊的中央向一端進(jìn)行之后，再?gòu)闹醒胂蛄硪欢诉M(jìn)行。因此，首先，如圖9的狀態(tài)ST4所示，兩個(gè)切斷單元30，分別由移動(dòng)單元2將保持單元I在X方向移動(dòng)，以便位于基板B的Y方向的兩端部的兩邊的中央的位置(第二切斷位置)。在保持単元I移動(dòng)時(shí)，預(yù)先使切斷単元30上升等退避到適宜的位置(能動(dòng)作位置)，以便切斷単元30和基板B不干渉。
接下來，如由箭頭dl表示的那樣使切斷単元30轉(zhuǎn)動(dòng)而變更其切斷方向，使其位于規(guī)定的位置(第二切斷開始位置)而開始覆蓋片b的邊緣部的切斷。首先，如圖10的狀態(tài)ST5所示,一邊由移動(dòng)單元2使保持單元I向X方向的輸送單元8側(cè)移動(dòng)ー邊將覆蓋片b的邊緣部進(jìn)行一半切斷。被進(jìn)行了切斷的切斷片由回收單元110回收。接下來如圖11的狀態(tài)ST6所示，使切斷単元30轉(zhuǎn)動(dòng)而變更其切斷方向，切斷方向變更后，一邊由移動(dòng)單元2使保持単元I向X方向的輸送單元9側(cè)移動(dòng)ー邊將覆蓋片b的邊緣部的剰余一半進(jìn)行切斷。通過以上的動(dòng)作，對(duì)于基板B中的Y方向的兩端部的兩邊而言，覆蓋片b的邊緣部的切斷結(jié)束。
接著，對(duì)基板B的X方向的另一方端部的ー邊(在圖12中是左邊)而言，進(jìn)行覆蓋片b的邊緣部的切斷。與對(duì)X方向的一方端部的一邊而言的切斷動(dòng)作的情況同樣，首先，為了進(jìn)行基板B的ー邊和切斷単元30的圓盤刀30a的對(duì)位，由移動(dòng)單元2將基板B移動(dòng)到規(guī)定的位置(第三切斷位置)。接下來使切斷単元30轉(zhuǎn)動(dòng)而變更其切斷方向，使其位于規(guī)定的位置(第三切斷開始位置)，如圖12的狀態(tài)SI7所示，兩個(gè)切斷単元30的一方，首先，沿基板B的ー邊的一半將覆蓋片b的邊緣部從中央向一端(在圖12中是上方)切斷。然后，兩個(gè)切斷単元30的另一方，將覆蓋片b的邊緣部的剰余一半從中央向另一端切斷。被進(jìn)行了切斷的切斷片由回收單元100回收。通過以上的動(dòng)作，對(duì)基板B的X方向的另一方端部的一邊而言覆蓋片b的邊緣部的切斷結(jié)束，對(duì)基板B的四邊全部而言，覆蓋片b的邊緣部的切斷結(jié)束。接下來轉(zhuǎn)移到基板B的輸出動(dòng)作。由移動(dòng)單元2將基板B向輸出位置移動(dòng)，解除由真空吸附墊10進(jìn)行的基板B的保持。然后，由設(shè)置在輸送單元9上的輸送升降単元5使帶 式輸送機(jī)90從下降的位置上升。由此，將基板B從保持単元I向帶式輸送機(jī)90移載。然后，如圖13的狀態(tài)ST8所示，驅(qū)動(dòng)帶式輸送機(jī)90而將基板B在X方向輸送，交給未圖示的輸送設(shè)備等。通過以上的動(dòng)作，一個(gè)單位的切斷動(dòng)作結(jié)束。在本實(shí)施方式中，由移動(dòng)單元2，不僅能夠?qū)⒒錌從輸送単元8移動(dòng)到適于覆蓋片b的切斷的位置，而且能夠產(chǎn)生沿基板B的Y方向兩端部的兩邊的覆蓋片b的邊緣部的切斷時(shí)的切斷単元30和基板B的X方向的相對(duì)移動(dòng)。其結(jié)果，不需要使切斷単元30在X方向移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，能夠由更簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)沿矩形基板的四邊切斷覆蓋片。另外，由于能夠在基板B的從輸送単元8向輸送單元9的輸送過程中切斷覆蓋片b的邊緣部，所以也能夠?qū)崿F(xiàn)作業(yè)效率的提高。雖然本發(fā)明根據(jù)具體實(shí)施方式
進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明不限于這些實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的宗g的范圍內(nèi)可以進(jìn)行的各種修正、變更以實(shí)現(xiàn)相同的功能等，當(dāng)然也被包括在本發(fā)明的權(quán)利要求所述的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.ー種切斷裝置，是切斷覆蓋矩形基板的覆蓋片的邊緣部的切斷裝置，其特征在于，具備: 吸附上述矩形基板的單面來保持上述矩形基板的保持単元； 具備切斷上述覆蓋片的邊緣部的切斷単元及轉(zhuǎn)動(dòng)上述切斷単元而變更切斷方向的轉(zhuǎn)動(dòng)單元的頭單元； 將上述頭單元在與上述矩形基板的ー邊平 行的第一方向移動(dòng)的第一移動(dòng)單元； 將上述保持単元在與上述矩形基板的和上述一邊正交的另ー邊平行的第二方向移動(dòng)，并將上述保持單元遍及在上述第二方向連續(xù)的上述矩形基板的移載位置及切斷作業(yè)區(qū)域地移動(dòng)的第二移動(dòng)單元。
2.如權(quán)利要求I記載的切斷裝置，其特征在干， 具備在上述移載位置進(jìn)行上述矩形基板的向上述保持単元的輸入及上述矩形基板的從上述保持単元的輸出的至少任一方的輸送單元。
3.如權(quán)利要求2記載的切斷裝置，其特征在干， 具備在上述移載位置相對(duì)地升降上述保持単元和上述輸送單元的升降単元。
4.如權(quán)利要求I記載的切斷裝置，其特征在干， 上述移載位置包含進(jìn)行上述矩形基板的向上述保持単元的輸入的輸入位置， 具備在上述輸入位置進(jìn)行上述矩形基板的上述第一方向的定位的定位単元。
5.如權(quán)利要求I記載的切斷裝置，其特征在干， 上述第一移動(dòng)單元，在通過上述第二移動(dòng)單元進(jìn)行的上述保持單元的移動(dòng)范圍之中，相對(duì)于上述保持単元在上下方向錯(cuò)開地配置。
6.如權(quán)利要求5記載的切斷裝置，其特征在干， 上述第二移動(dòng)單元具備 在上述第一方向相互離開，在上述第二方向延伸設(shè)置的ー對(duì)引導(dǎo)構(gòu)件； 架設(shè)在上述ー對(duì)引導(dǎo)構(gòu)件之間，支承上述保持単元的移動(dòng)體； 使上述移動(dòng)體沿上述ー對(duì)引導(dǎo)構(gòu)件移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求5記載的切斷裝置，其特征在干， 上述第一移動(dòng)單元具備 在上述第一方向延伸設(shè)置的引導(dǎo)構(gòu)件； 沿上述引導(dǎo)構(gòu)件可移動(dòng)地安裝在上述引導(dǎo)構(gòu)件上，支承上述頭單元的移動(dòng)體； 使上述移動(dòng)體沿上述弓I導(dǎo)構(gòu)件移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。
8.如權(quán)利要求5記載的切斷裝置，其特征在干， 上述第一移動(dòng)單元具備 在上述第一方向延伸設(shè)置的第一引導(dǎo)構(gòu)件； 沿上述第一引導(dǎo)構(gòu)件可移動(dòng)地安裝在上述第一引導(dǎo)構(gòu)件上，支承上述頭單元的第一移動(dòng)體； 使上述第一移動(dòng)體沿上述弓I導(dǎo)構(gòu)件移動(dòng)的第一移動(dòng)機(jī)構(gòu)， 上述第二移動(dòng)單元具備 在上述第一方向相互離開，在上述第二方向延伸設(shè)置的ー對(duì)第二引導(dǎo)構(gòu)件； 架設(shè)在上述ー對(duì)第二引導(dǎo)構(gòu)件之間，支承上述保持単元的第二移動(dòng)體；使上述第二移動(dòng)體沿上述ー對(duì)第二引導(dǎo)構(gòu)件移動(dòng)的第二移動(dòng)機(jī)構(gòu)， 上述第一引導(dǎo)構(gòu)件與上述ー對(duì)第二引導(dǎo)構(gòu)件在上下方向離開而且交叉地配設(shè)。
9.如權(quán)利要求8記載的切斷裝置，其特征在于，具備 在沿上述第一引導(dǎo)構(gòu)件的上述切斷単元的移動(dòng)軌跡的下方，在上述第一方向延伸設(shè)置，回收被進(jìn)行了切斷的上述覆蓋片的邊緣部的第一回收單元； 在上述切斷単元的下方，沿上述ー對(duì)第二引導(dǎo)構(gòu)件在上述第二方向延伸設(shè)置，回收被進(jìn)行了切斷的上述覆蓋片的邊緣部的ー對(duì)第二回收單元。
10.如權(quán)利要求7記載的切斷裝置，其特征在干， 設(shè)置兩組上述頭單元、上述移動(dòng)體和上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)， 將兩個(gè)上述移動(dòng)體安裝在共同的上述引導(dǎo)構(gòu)件上。
11.如權(quán)利要求9記載的切斷裝置，其特征在干， 具備一體地支承上述ー對(duì)第二引導(dǎo)構(gòu)件、上述第一引導(dǎo)構(gòu)件、上述第一及第二回收單元的框架構(gòu)件。
12.如權(quán)利要求I記載的切斷裝置，其特征在干， 上述移載位置包含 上述切斷作業(yè)區(qū)域的上述第二方向的一端的、進(jìn)行上述矩形基板的向上述保持単元的輸入的輸入位置； 上述切斷作業(yè)區(qū)域的上述第二方向的另一端的、進(jìn)行上述矩形基板的從上述保持単元的輸出的輸出位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種切斷覆蓋矩形基板的覆蓋片的邊緣部的切斷裝置。此切斷裝置具備吸附上述矩形基板的單面來保持上述矩形基板的保持單元；具備切斷上述覆蓋片的邊緣部的切斷單元及轉(zhuǎn)動(dòng)上述切斷單元而變更切斷方向的轉(zhuǎn)動(dòng)單元的頭單元；將上述頭單元在與上述矩形基板的一邊平行的第一方向移動(dòng)的第一移動(dòng)單元；將上述保持單元在與上述矩形基板的和上述一邊正交的另一邊平行的第二方向移動(dòng)，并將上述保持單元遍及在上述第二方向連續(xù)的上述矩形基板的移載位置及切斷作業(yè)區(qū)域地移動(dòng)的第二移動(dòng)單元。
文檔編號(hào)B26D1/14GK102649278SQ20121004187
公開日2012年8月29日 申請(qǐng)日期2012年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月22日
發(fā)明者古關(guān)靖久 申請(qǐng)人:平田機(jī)工株式會(huì)社