本申請(qǐng)為2013年11月13日提交的美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)?zhí)?1/903,813的非臨時(shí)申請(qǐng)，并且要求該美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)的權(quán)益，該美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)的公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用整體地結(jié)合于本文中。

背景技術(shù)：

1. 技術(shù)領(lǐng)域

示例性實(shí)施例一般涉及機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器，并且更具體而言，涉及密封的機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器。

2. 相關(guān)發(fā)展的簡(jiǎn)要說(shuō)明

一般而言，例如當(dāng)直接驅(qū)動(dòng)器的磁體、結(jié)合的部件、密封件和腐蝕性材料暴露于超高真空和/或侵蝕和腐蝕性的環(huán)境時(shí)，例如將永磁體電機(jī)或可變磁阻電機(jī)用于促動(dòng)并且將光學(xué)編碼器用于位置感測(cè)的現(xiàn)有的直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)具有相當(dāng)大的限制。為了限制例如直接驅(qū)動(dòng)器的磁體、結(jié)合部件、密封件和腐蝕性材料的暴露，一般使用“罐形封閉件”。

所述罐形密封件一般通過(guò)密封的非磁性壁或“罐”將電機(jī)轉(zhuǎn)子與相對(duì)應(yīng)的電機(jī)定子隔離，所述密封的非磁性壁或“罐”也稱為“隔離壁”。罐形密封件一般使用非磁性真空隔離壁，其位于給定的電機(jī)促動(dòng)器的轉(zhuǎn)子和定子之間。這允許磁通量越過(guò)隔離壁在轉(zhuǎn)子和定子之間流動(dòng)。結(jié)果，定子能夠完全位于密封環(huán)境外。這可以允許在例如用于半導(dǎo)體應(yīng)用的真空機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器之類(lèi)的應(yīng)用中的基本上清潔和可靠的電機(jī)促動(dòng)實(shí)施方式。這樣的罐形密封件的限制在于在轉(zhuǎn)子和定子磁極之間的氣隙的尺寸可能受隔離壁厚度限制。例如，隔離壁的厚度加跳動(dòng)公差一般對(duì)轉(zhuǎn)子和定子之間可實(shí)現(xiàn)的最小氣隙施加約束。為了增加電機(jī)的效率，轉(zhuǎn)子和定子之間的間隙應(yīng)當(dāng)最小化，然而，在其中通過(guò)罐形密封件密封或以其他方式隔離的環(huán)境暴露于高真空或超高真空的情況下，隔離壁厚度必須足夠大，來(lái)提供足夠的結(jié)構(gòu)完整性，以基本上防止過(guò)度偏轉(zhuǎn)（即，隔離的偏轉(zhuǎn)可干擾電機(jī)的操作）。結(jié)果，電機(jī)的效率能夠嚴(yán)重降低，這是由于例如當(dāng)與不具有通過(guò)轉(zhuǎn)子/定子氣隙的隔離壁的機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器的解決方案相比時(shí)，在定子和轉(zhuǎn)子之間需要較大的氣隙。

在一個(gè)方面，“動(dòng)態(tài)密封”可以被用于大致將基本上整個(gè)電機(jī)與密封環(huán)境隔離。動(dòng)態(tài)密封件可以是允許電機(jī)的驅(qū)動(dòng)軸的一部分在隔離環(huán)境內(nèi)操作的密封件。動(dòng)態(tài)密封件能夠以若干方式來(lái)實(shí)現(xiàn)，包括例如唇形密封件或鐵流體密封件（ferro-fluidic seal）。然而，這些動(dòng)態(tài)密封件可能是顆粒污染（例如，來(lái)自密封件的磨損和撕裂）、固定和移動(dòng)部件之間的高摩擦、有限的使用壽命以及在密封環(huán)境和例如密封環(huán)境外的大氣環(huán)境之間的泄漏的風(fēng)險(xiǎn)的來(lái)源。

針對(duì)密封驅(qū)動(dòng)器的其他解決方案包括位于密封環(huán)境內(nèi)的定子線圈。然而，在密封環(huán)境在高真空中操作的應(yīng)用中，定子線圈可能釋出不期望的化合物以及過(guò)熱。結(jié)果，前述的密封解決方案可能是昂貴的和/或不實(shí)用的。

在其他方面，例如可變磁阻電機(jī)或開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)之類(lèi)的直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)可以利用實(shí)心的轉(zhuǎn)子。然而，常規(guī)的實(shí)心轉(zhuǎn)子可具有芯損耗的固有問(wèn)題，這是由于例如渦電流的影響，所述渦電流由開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)應(yīng)用中的相電流的變化率引起。對(duì)于芯損耗問(wèn)題其他已知的解決方案包括利用具有金屬鐵磁性顆粒結(jié)合非導(dǎo)電顆粒的材料，當(dāng)與實(shí)心或?qū)訝畹霓D(zhuǎn)子相比時(shí)，所述材料試圖維持好的磁通量。

將是有利的是，在定子和轉(zhuǎn)子之間具有隔離壁，所述隔離壁最小化定子和轉(zhuǎn)子之間的氣隙。還將是有利的是，具有真空相容的層狀的轉(zhuǎn)子，所述真空相容的層狀的轉(zhuǎn)子提供增加的磁效率和/或精確的位置控制。

附圖說(shuō)明

結(jié)合附圖，在以下描述中解釋所公開(kāi)的實(shí)施例的前述方面和其他特征，附圖中：

圖1A-1D為結(jié)合所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的處理設(shè)備的示意圖；

圖1E為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的輸送設(shè)備的示意圖；

圖1F為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的控制的示意圖；

圖1G-1K為用于根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的轉(zhuǎn)子的示意圖，并且圖1L為用于根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的定子的示意圖；

圖2A和圖2B圖示了根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的多個(gè)部分；

圖3和圖3A為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的一部分的示意圖；

圖4為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的一部分的示意圖；

圖5和圖5A為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的一部分的示意圖；

圖6為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的一部分的示意圖；

圖7-15為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的多個(gè)部分的示意圖；

圖16A和圖16B為用于根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的定子構(gòu)造的示意圖；

圖17A和圖17B分別為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的機(jī)械臂和機(jī)械臂的延伸序列的示意圖；

圖18A和圖18B分別為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的機(jī)械臂和機(jī)械臂的延伸序列的示意圖；

圖19A和圖19B分別為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的機(jī)械臂和機(jī)械臂的延伸序列的示意圖；

圖19C和圖19D分別為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的機(jī)械臂和機(jī)械臂的延伸序列的示意圖；

圖19E和圖19F分別為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的機(jī)械臂和機(jī)械臂的延伸序列的示意圖；

圖20A-20C分別為具有密封的位置反饋系統(tǒng)的代表性的驅(qū)動(dòng)器部段的局部剖視圖、為清楚而省略了部件的驅(qū)動(dòng)器部段和反饋系統(tǒng)的另一局部透視剖視圖以及位置反饋系統(tǒng)的元件的頂視透視圖，并且圖20D為位置反饋系統(tǒng)的示意性垂直投影圖，所有這些視圖都是根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面，并且圖20E-20F分別為圖示了另外的特征的透視剖視圖和擴(kuò)大的局部剖視圖；

圖20G-20K為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)器部段的示意圖；

圖21A和圖21B為位置反饋系統(tǒng)的感測(cè)元件的示意圖，并且圖21C和圖21E分別為位置反饋系統(tǒng)的編碼器軌的一部分的局部平面圖和放大平面圖，所述軌具有通過(guò)感測(cè)元件讀取多個(gè)帶并且能夠提供增量式位置反饋并按需提供絕對(duì)位置反饋，這圖示在圖21D中，所有這些視圖都是根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面；

圖22A、圖22B、圖23A和圖23B為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的位置反饋系統(tǒng)的示意圖和傳感器輸出的圖表；

圖24A和圖24B為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的多個(gè)部分的示意圖；

圖25A、圖25B和圖25C為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的多個(gè)部分的示意圖；

圖26A和圖26B為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的多個(gè)部分的示意圖；

圖27A和圖27B為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的多個(gè)部分的示意圖；

圖28A、圖28B、圖28C、圖28D、圖28E、圖28F、圖28G、圖28H和圖28I為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的多個(gè)部分的示意圖；

圖29A、圖29B和圖29C為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的多個(gè)部分的示意圖；

圖30A和圖30B為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的多個(gè)部分的示意圖；

圖31、圖32和圖33為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的多個(gè)部分的示意圖；以及

圖34、圖35、圖36和圖37為根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的驅(qū)動(dòng)電機(jī)的多個(gè)部分的示意圖。

具體實(shí)施方式

參照?qǐng)D1A-1D，其示出了結(jié)合如本文進(jìn)一步公開(kāi)的所公開(kāi)的實(shí)施例的一些方面的襯底處理設(shè)備或工具的示意圖。盡管所公開(kāi)的實(shí)施例的各方面將參照附圖來(lái)描述，但應(yīng)當(dāng)理解的是，所公開(kāi)的實(shí)施例的各方面能夠以許多形式來(lái)實(shí)施。此外，能夠使用元件或材料的任何合適的尺寸、形狀或類(lèi)型。

參照?qǐng)D1A和圖1B，根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)方面示出了例如半導(dǎo)體工具站11090之類(lèi)的處理設(shè)備。盡管在附圖中示出了半導(dǎo)體工具，但本文所述的所公開(kāi)的實(shí)施例的各方面能夠適用于采用機(jī)器人操縱器（robotic manipulator）的任何工具站或應(yīng)用。在此示例中，工具11090被示出為組合設(shè)備工具（cluster tool），然而，所公開(kāi)的實(shí)施例的各方面可以被于任何合適的工具站，例如，線性工具站，例如在圖1C和圖1D中示出并且在2013年3月19日授權(quán)的標(biāo)題為“Linearly Distributed Semiconductor Workpiece Processing Tool”的美國(guó)專利號(hào)8,398,355中描述的線性工具站，該美國(guó)專利的公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用整體地結(jié)合于本文中。工具站11090一般包括大氣前端11000、真空裝載鎖11010和真空后端11020。在其他方面，工具站可以具有任何合適的配置。前端11000、裝載鎖11010和后端11020中的每一個(gè)的部件可以被連接到控制器11091，所述控制器1091可以是例如集群架構(gòu)控制之類(lèi)的任何合適的控制架構(gòu)的一部分?？刂葡到y(tǒng)可以為閉環(huán)控制器，其具有主控制器、集群控制器和自主遠(yuǎn)程控制器，例如在2011年3月8日授權(quán)的標(biāo)題為“Scalable Motion Control System”的美國(guó)專利號(hào)7,904,182中公開(kāi)的那些控制器，該美國(guó)專利的公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用整體地結(jié)合于本文中。在其他方面，可以利用任何合適的控制器和/或控制系統(tǒng)。

在一個(gè)方面，前端11000一般包括裝載端口模塊11005和微環(huán)境11060，例如設(shè)備前端模塊（EFEM）。裝載端口模塊11005可以是用于300mm的裝載端口、前部開(kāi)口或底部開(kāi)口的盒/箱和匣的對(duì)于符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)E15.1、E47.1、E62、E19.5或E1.9的工具標(biāo)準(zhǔn)（BOLTS）接口的開(kāi)箱器/裝載器。在其他方面，裝載端口模塊可以被構(gòu)造為200mm的晶圓接口或任何其他合適的襯底接口，例如較大或較小的晶圓或用于平板顯示器的平板。盡管圖1A中示出了兩個(gè)裝載端口模塊，但在其他方面，任何合適數(shù)量的裝載端口模塊都可以被結(jié)合到前端11000中。裝載端口模塊11005可以被構(gòu)造成從高架輸送系統(tǒng)、自動(dòng)引導(dǎo)的車(chē)輛、人引導(dǎo)的車(chē)輛、軌道引導(dǎo)的車(chē)輛或由任何其他合適的輸送方法接收襯底載體或盒11050。裝載端口模塊11005可以通過(guò)裝載端口11040與微環(huán)境11060接口。裝載端口11040可允許襯底在襯底盒11050和微環(huán)境11060之間傳遞。微環(huán)境11060一般包括任何合適的傳送機(jī)器人11013，其可以采用本文所述的所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面。在一個(gè)方面，機(jī)器人11013可以是軌道安裝的機(jī)器人，諸如在例如美國(guó)專利6,002,840中描述的機(jī)器人，該美國(guó)專利的公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用整體地結(jié)合于本文中。微環(huán)境11060可以提供用于多個(gè)裝載端口模塊之間的襯底傳送的受控的干凈區(qū)域。

真空裝載鎖11010可以位于微環(huán)境11060和后端11020之間并且連接到二者。值得注意的是，如本文所用的術(shù)語(yǔ)“真空”可以表示其中處理襯底的例如10-5 Torr或之下的高真空。裝載鎖11010一般包括大氣和真空槽閥。所述槽閥可以提供環(huán)境隔離，所述環(huán)境隔離用于在從大氣前端裝載襯底之后排空裝載鎖，并且當(dāng)利用例如氮?dú)庵?lèi)的惰性氣體給鎖排氣時(shí)維持輸送室中的真空。裝載鎖11010還可以包括用于將襯底的基準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)到用于處理的期望的位置的對(duì)準(zhǔn)器11011。在其他方面，真空裝載鎖可以位于處理設(shè)備任何合適的位置和具有任何合適的配置。

真空后端11020一般包括輸送室11025、一個(gè)或多個(gè)處理站11030以及任何合適的傳送機(jī)器人11014，所述傳送機(jī)器人1014可以包括本文所述的所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面。傳送機(jī)器人11014將在下文中描述，并且可以位于輸送室11025內(nèi)，以在裝載鎖11010和各處理站11030之間輸送襯底。處理站11030可以通過(guò)各種沉積、蝕刻或其他類(lèi)型的過(guò)程對(duì)襯底進(jìn)行操作，以在襯底上形成電子電路或其他期望的結(jié)構(gòu)。典型的過(guò)程包括但不限于使用真空的薄膜過(guò)程，例如，等離子體刻蝕或其他蝕刻過(guò)程、化學(xué)氣相沉積（CVD）、等離子體汽相沉積（PVD）、例如離子注入之類(lèi)的注入法、度量衡學(xué)（metrology）、快速熱處理（RTP）、干式剝離原子層沉積（ALD）、氧化/擴(kuò)散、形成氮化物、真空光刻、外延（EPI）、引線接合和蒸發(fā)或使用真空壓力的其他薄膜過(guò)程。處理站11030被連接到輸送室11025，以允許襯底從輸送室11025傳遞到處理站11030，并且反之亦然。

現(xiàn)在參照?qǐng)D1C，其示出了線性襯底處理系統(tǒng)2010的示意性平面圖，其中，工具接口部段2012被安裝到輸送室模塊3018，使得接口部段2012大致面向（例如，向內(nèi)）輸送室3018，但與輸送室3018的縱向軸線X偏置。如先前通過(guò)引用結(jié)合于本文中的美國(guó)專利號(hào)8,398,355中所描述的，通過(guò)將其他輸送室模塊3018A、3018I、3018J附接到接口2050、2060、2070，輸送室模塊3018可以沿任何合適的方向延伸。每個(gè)輸送室模塊3018、3019A、3018I、3018J包括任何合適的襯底輸送裝置2080，所述襯底輸送裝置2080可以包括本文所述的所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述襯底輸送裝置2080用于在整個(gè)處理系統(tǒng)2010中輸送襯底，并且將襯底輸送到例如處理模塊PM中和從所述處理模塊PM中向外輸送。如可以實(shí)現(xiàn)的，每個(gè)室模塊可以有能力保持隔離的或受控的氣氛（例如，N2、潔凈空氣、真空等）。

參照?qǐng)D1D，其示出了例如可沿線性輸送室416的縱向軸線X取的示例性處理工具410的示意性垂直投影圖。在圖1D中所示的所公開(kāi)實(shí)施例的方面，工具接口部段12可以被有代表性地連接到輸送室416。在這方面，接口部段12可以限定工具輸送室416的一個(gè)端部。如在圖1D中所見(jiàn)，輸送室416例如在與接口站12相對(duì)的端部處可具有另一工件進(jìn)入/離開(kāi)站412。在其他方面，還可以設(shè)置用于從輸送室插入/移除工件的其他進(jìn)入/離開(kāi)站。在一個(gè)方面，接口部段12和進(jìn)入/離開(kāi)站412可以允許工件從工具的裝載和卸載。在其他方面，工件可以從一端裝載到工具中，并且從另一端移除。在一個(gè)方面，輸送室416可具有一個(gè)或多個(gè)傳送室模塊18B、18i。每個(gè)室模塊可以有能力保持隔離的或受控的氣氛（例如，N2、潔凈空氣、真空等）。如前所述，形成圖1D中所示的輸送室416的輸送室模塊18B、18i、裝載鎖模塊56A、56B和工件站的構(gòu)造/布置結(jié)構(gòu)僅是示例性的，并且在其他方面，輸送室可以具有按照任何期望的模塊化布置結(jié)構(gòu)設(shè)置的更多或更少的模塊。在所示方面，站412可以是裝載鎖。在其他方面，裝載鎖模塊可以位于端部進(jìn)入/離開(kāi)站（相似于站412）之間，或鄰接的輸送室模塊（相似于模塊18i）可以被構(gòu)造成作為裝載鎖操作。還如前所述，輸送室模塊18B、18i具有位于其中的一個(gè)或多個(gè)相對(duì)應(yīng)的輸送設(shè)備26B、26i，所述輸送設(shè)備26B、26i可以包括本文所述的所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面。相應(yīng)的輸送室模塊18B、18i的輸送設(shè)備26B、26i可以協(xié)作，以在輸送室中提供線性分布的工件輸送系統(tǒng)420。在這方面，輸送設(shè)備26B可以具有一般的SCARA臂構(gòu)造（不過(guò)在其他方面，輸送臂可以具有任何其他期望的布置結(jié)構(gòu)，例如，蛙腿構(gòu)造、伸縮式構(gòu)造、雙對(duì)稱構(gòu)造等）。在圖1D中所示的所公開(kāi)的實(shí)施例的方面，輸送設(shè)備26B的臂可以被布置成提供可稱為快速交換布置結(jié)構(gòu)的布置結(jié)構(gòu)，所述布置結(jié)構(gòu)允許輸送裝置從拾取/放置位置迅速交換晶圓，如下文中還將進(jìn)一步詳細(xì)描述的。輸送臂26B可具有合適的驅(qū)動(dòng)部段，例如下面描述的驅(qū)動(dòng)部段，以便給每個(gè)臂提供任何合適數(shù)量的自由度（例如，具有Z軸運(yùn)動(dòng)的繞肩部和肘關(guān)節(jié)的獨(dú)立旋轉(zhuǎn)）。如在圖1D中所見(jiàn)，在這方面，模塊56A、56、30i可以間隙地位于傳送室模塊18B、18i之間，并且可以限定合適的處理模塊、裝載鎖、緩沖站、計(jì)量站或任何其他期望的站。例如，諸如裝載鎖56A、56和工件站30i之類(lèi)的間隙模塊可以各自具有固定的工件支撐件/架56S、56S1、56S2、30S1、30S2，所述工件支撐件/架56S、56S1、56S2、30S1、30S2可以與輸送臂協(xié)作，以實(shí)現(xiàn)工件沿輸送室的線性軸線X通過(guò)輸送室的長(zhǎng)度的輸送。作為示例，工件可以通過(guò)接口部段12被裝載到輸送室416中。工件可以利用接口部段的輸送臂15被定位在裝載鎖模塊56A的支撐件上。在裝載鎖模塊56A中，工件可以通過(guò)模塊18B中的輸送臂26B在裝載鎖模塊56A和裝載鎖模塊56之間移動(dòng)，并且以相似和連續(xù)的方式，利用（模塊18i中的）臂26i在裝載鎖56和工件站30i之間移動(dòng)以及利用模塊18i中的臂26i在站30i和站412之間移動(dòng)。該過(guò)程可以整體或部分地逆轉(zhuǎn)，以沿相反的方向移動(dòng)工件。因此，在一個(gè)方面，工件可以沿軸線X在任何方向上移動(dòng)，并沿輸送室移動(dòng)到任何位置，并且可以被裝載到與輸送室連通的任何期望的模塊以及從所述任何期望的模塊卸載（處理或以其他方式）。在其他方面，具有靜態(tài)的工件支撐件或架的間隙的輸送室模塊可以不設(shè)置在輸送室模塊18B、18i之間。在這樣的方面，鄰接的輸送室模塊的輸送臂可以將工件直接從末端執(zhí)行器或一個(gè)輸送臂傳遞到另一輸送臂的末端執(zhí)行器，以移動(dòng)工件通過(guò)輸送室。處理站模塊可以通過(guò)各種沉積、蝕刻或其他類(lèi)型的過(guò)程對(duì)襯底進(jìn)行操作，以在襯底上形成電子電路或其他期望的結(jié)構(gòu)。處理站模塊被連接到輸送室模塊，以允許襯底從輸送室傳遞到處理站，并且反之亦然。先前通過(guò)引用整體地結(jié)合的美國(guó)專利號(hào)8,398,355中描述了具有與圖1D中所描繪的處理設(shè)備相似的一般特征的處理工具的合適的示例。

圖1E圖示了根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)方面的襯底輸送設(shè)備100。值得注意的是，本文所述的所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面可以被用于真空（例如，高真空，其可以低于10-5 Torr和或任何其他合適的真空）和/或大氣機(jī)器人應(yīng)用，其中，轉(zhuǎn)子和位置反饋移動(dòng)部分與它們的固定電氣對(duì)應(yīng)物（例如，讀取頭和定子）隔離。一般而言，所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面包括用于操作任何合適的機(jī)器人臂的一個(gè)或多個(gè)開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)。機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器的移動(dòng)部件可以位于一個(gè)密封或以其他方式隔離的環(huán)境，這可以是一個(gè)受控環(huán)境例如真空環(huán)境或常壓環(huán)境中。非磁性分離或隔離壁制成的（其將要描述在中更大的下面詳細(xì)地）任何合適的材料可以是設(shè)置在驅(qū)動(dòng)器的移動(dòng)部分（例如，轉(zhuǎn)子和反饋移動(dòng)部分）和固定驅(qū)動(dòng)器的部分（例如，定子和位置傳感器讀取頭）之間。然而，不同于常規(guī)的隔離壁，以下描述的隔離壁可提供定子和轉(zhuǎn)子即基本上不通過(guò)或獨(dú)立的厚度隔離壁的限制之間的最小化的空氣間隙。

如可以實(shí)現(xiàn)的，電氣部件和/或永磁體可以不位于隔離環(huán)境內(nèi)。位于所述分離的環(huán)境內(nèi)可包括具有突出的一個(gè)或多個(gè)鐵磁轉(zhuǎn)子（無(wú)磁）極，一個(gè)或多個(gè)鐵磁性位置反饋秤或軌道（無(wú)磁）中，用支承軸承的一個(gè)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)軸或在其它方面沒(méi)有驅(qū)動(dòng)元件支承軸承，其中，提供了一種自支承電機(jī)。轉(zhuǎn)子，位置反饋秤或軌道和驅(qū)動(dòng)軸可以剛性地連接到彼此和所述分離的環(huán)境中支持任何合適的方式，如與軸承或基本上不接觸（例如，如在自軸承電機(jī)）。驅(qū)動(dòng)組件的一個(gè)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)軸可以以任何合適的方式的機(jī)器人手臂的各鍵被連接到所述機(jī)器人臂以提供直接驅(qū)動(dòng)能力。

定子和位置傳感器讀取頭可以位于隔離環(huán)境外。讀取頭可以是任何合適類(lèi)型的傳感器例如，例如，磁傳感器。在一個(gè)方面，讀出頭可以提供讀出頭和設(shè)置在隔離的環(huán)境內(nèi)的鐵磁秤或軌道之間流動(dòng)的磁通的磁場(chǎng)源和感測(cè)。在一個(gè)方面，本文所述的位置反饋?zhàn)x取頭和軌可以包括可變磁阻回路，所述可變磁阻回路基本上相似于在標(biāo)題為“Position Sensor System”并且于2010年11月16日授權(quán)的美國(guó)專利7,834,618中描述的可變磁阻回路，該美國(guó)專利的公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用整體地結(jié)合于本文中。在其他方面，位置反饋裝置可以是任何合適類(lèi)型的位置反饋裝置，如光學(xué)，電容，電感或其它類(lèi)型的位置編碼裝置。

驅(qū)動(dòng)組件的所述一個(gè)或多個(gè)定子可以通過(guò)與合適的序列和相電流幅度導(dǎo)致通過(guò)任何合適的控制器所指定，如控制器190，其在一個(gè)方面可以是轉(zhuǎn)矩的所需量的增力各自相提供一個(gè)磁場(chǎng)基本上類(lèi)似于或控制器11091結(jié)合到本文中。如可以實(shí)現(xiàn)的，磁阻電機(jī)可以表現(xiàn)出非線性和轉(zhuǎn)矩脈動(dòng)，例如當(dāng)在三相構(gòu)造中?？刂破?90可以被構(gòu)造成在本文所述的機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器的操作期間顧及非線性和扭矩波動(dòng)。參照?qǐng)D1F，控制器190的控制結(jié)構(gòu)可以包括運(yùn)動(dòng)控制模塊190A，通信算法模塊190B和設(shè)置在電流控制模塊190，例如，以級(jí)聯(lián)方式。在其它方面，控制器190可以包括以任何合適的方式布置的任何合適的計(jì)算/控制模塊。運(yùn)動(dòng)控制模塊190A可以被配置為確定所指令的轉(zhuǎn)矩T_cmdi（其中，i= 1，2，...，M和M是機(jī)器人驅(qū)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)軸的總數(shù)）為從機(jī)器人電機(jī)或基于該指令用于機(jī)器人電機(jī)θ_cmdi和機(jī)器人電機(jī)的實(shí)際位置的位置θi從一個(gè)或多個(gè)編碼器177（其可以包括本文所描述的讀取頭和軌跡）而獲得的。

換向算法模塊190B可以被配置為計(jì)算所指令的相電流i_cmdj（其中j =1，2，...，N，而N是每個(gè)電機(jī)的相的總數(shù)目），用于從每個(gè)電機(jī)或基于該指令轉(zhuǎn)矩Tcmdi為每個(gè)機(jī)器人電機(jī)。為了示例性的目的，單個(gè)電機(jī)177M在圖1F示出，但在其它方面中，可以采用電機(jī)的任何適當(dāng)?shù)臄?shù)目。換向算法模塊190B可以被配置為確定所指令的相電流i_cmdj，作為指令轉(zhuǎn)矩T_cmdi和電動(dòng)機(jī)θ_i的實(shí)際位置，從一個(gè)功能或基于式的轉(zhuǎn)矩相位關(guān)系[1]。如可以實(shí)現(xiàn)的，在一個(gè)方面，查找表可以被用來(lái)確定所指令的相電流i_cmdj。

[1]

電流控制器190可經(jīng)配置以計(jì)算電壓為電機(jī)相位UJ以產(chǎn)生相電流IJ是緊跟i_cmdj的指令值?；谀Ｐ偷姆椒ɑ蛉魏纹渌线m的方法可用于提高控制器190的電流控制部的性能。

再次參照?qǐng)D1E，基板輸送裝置100可包括具有直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)結(jié)構(gòu)中，例如，基于磁阻致動(dòng)（例如，可變/開(kāi)關(guān)磁阻電動(dòng)機(jī)）和基于磁阻傳感（例如位置反饋）。在其他方面，可以使用任何合適的促動(dòng)器和傳感器。在開(kāi)關(guān)磁阻電動(dòng)機(jī)可基本上消除或以其它方式減少?gòu)臋C(jī)器人驅(qū)動(dòng)的轉(zhuǎn)子磁體和粘結(jié)接頭的存在?；诖抛栉恢梅答?，這可以基本上類(lèi)似于美國(guó)專利7,834,618（其公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用整體地結(jié)合到本文中）中所述，可提供用于通過(guò)感測(cè)在一個(gè)非侵入方式的轉(zhuǎn)子的位置例如，電動(dòng)機(jī)的隔離壁，使得傳感器讀頭沒(méi)有如將在下面更詳細(xì)地描述暴露于真空和/或侵蝕性和腐蝕性環(huán)境。如上所述，在基板輸送裝置100中，以及在此描述的其它輸送裝置，可包括配置成減少開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)以實(shí)現(xiàn)的轉(zhuǎn)矩脈動(dòng)的控制器190，例如，為一個(gè)平滑的（例如未經(jīng)抽搐）運(yùn)動(dòng)直接驅(qū)動(dòng)基板傳輸應(yīng)用。值得注意的是，這里描述的電機(jī)和位置感測(cè)安排與任何其他合適的致動(dòng)或位置感測(cè)技術(shù)本文和/或獨(dú)立地所述組合可以一起使用。

本文所描述的磁阻基于致動(dòng)和位置感測(cè)安排可能在與運(yùn)動(dòng)的一個(gè)或更多個(gè)軸的任何合適的機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)中使用（例如自由度）。一個(gè)和兩個(gè)軸的機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器配置（例如，包括但不限于平面/煎餅驅(qū)動(dòng)器配置，堆疊驅(qū)動(dòng)器配置，軸承驅(qū)動(dòng)器配置和集成驅(qū)動(dòng)器/泵結(jié)構(gòu)），其適于驅(qū)動(dòng)單和雙端部執(zhí)行器的機(jī)器人臂本文描述了用于僅示例性的目的，但是應(yīng)當(dāng)理解，所描述的發(fā)明的各方面在此也適用于具有用于驅(qū)動(dòng)機(jī)器人手臂的任何適當(dāng)數(shù)量的運(yùn)動(dòng)的軸的任何期望數(shù)量的任何合適的襯底輸送驅(qū)動(dòng)器。

在一個(gè)方面，基板輸送裝置100被示出為具有低輪廓的平面或“薄餅”樣式機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器配置基本上類(lèi)似于在2011年8月30授權(quán)的標(biāo)題為“Substrate Processing Apparatus with Motors Integral to Chamber Walls”的美國(guó)專利號(hào)8,008,884中以及2012年10月9日授權(quán)的標(biāo)題為“Robot Drive with Magnetic Spindle Bearings”的美國(guó)專利號(hào)8,283,813中所描述的機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器配置，上述美國(guó)專利的公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用整體地結(jié)合于本文中。值得注意的是，例如由于較大的轉(zhuǎn)輪直徑和高扭矩能力煎餅式的驅(qū)動(dòng)器配置可能會(huì)提供直接驅(qū)動(dòng)替代諧波傳動(dòng)機(jī)器人，用于高/重負(fù)載應(yīng)用。在其他方面，任何合適的諧波驅(qū)動(dòng)可以耦接到用于驅(qū)動(dòng)一個(gè)或多個(gè)機(jī)器人手臂本文所述的電動(dòng)機(jī)的輸出。煎餅式驅(qū)動(dòng)器配置也可以允許一個(gè)空心中央驅(qū)動(dòng)部，其可容納一個(gè)真空泵入口和/或支持機(jī)器人驅(qū)動(dòng)內(nèi)真空抽吸裝置的部分或全部一體化，如在緊湊的真空室與機(jī)械手周?chē)邢薜目臻g驅(qū)動(dòng)或任何其他適當(dāng)?shù)那皇?，其中，機(jī)械手驅(qū)動(dòng)器是至少部分地設(shè)置。

襯底輸送設(shè)備100可以包括磁阻驅(qū)動(dòng)器100D，其具有一個(gè)或多個(gè)定子和相對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)子（其在這方面包括外轉(zhuǎn)子101和內(nèi)轉(zhuǎn)子102）。基于本文所描述的磁阻電動(dòng)機(jī)原理，轉(zhuǎn)子101、102可以通過(guò)相應(yīng)的定子通過(guò)外殼或隔離壁103（其將在下面更詳細(xì)地描述）被致動(dòng)。

在一個(gè)方面，參照?qǐng)D1G和圖1H，圖示了根據(jù)轉(zhuǎn)子166的頂部和側(cè)面橫截面圖所公開(kāi)的實(shí)施方案的各方面中，轉(zhuǎn)子166可以被層壓轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子166可基本上類(lèi)似于本文所述的轉(zhuǎn)子和包括一組在本實(shí)施例中沿著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)（例如，使得軸線層疊鐵磁材料層167和非導(dǎo)電層168的交替堆疊的疊片的疊片從旋轉(zhuǎn)軸線徑向延伸），以形成一個(gè)徑向?qū)盈B轉(zhuǎn)子，其中磁通沿疊片流動(dòng)。在其他方面，疊片可以布置在任何合適的方式，例如沿著旋轉(zhuǎn)軸線以形成一個(gè)軸向轉(zhuǎn)子疊層如圖1K示出了沿軸向?qū)盈B轉(zhuǎn)子的俯視圖。這里，在基本類(lèi)似于下面相對(duì)于所述徑向?qū)盈B轉(zhuǎn)子所描述的方式，軸向?qū)盈B轉(zhuǎn)子也可以具有鐵磁交替排列的鐵磁性層167'和非導(dǎo)電層168'。軸向布置的疊片可對(duì)準(zhǔn)并固定到輪轂或驅(qū)動(dòng)任何合適的方式軸169'，如與任何合適的對(duì)準(zhǔn)特征171和任何適當(dāng)?shù)木o固件172，其方式大致類(lèi)似于相對(duì)于下面描述的徑向?qū)盈B轉(zhuǎn)子166。如此，本文所描述的公開(kāi)的實(shí)施方案的各方面可以應(yīng)用到軸向磁通機(jī)和/或徑向磁通機(jī)。每個(gè)材料層可以具有任何合適的厚度，例如，從約0.014英寸至約0.025英寸，或從約0.35毫米至約0.65毫米。在其他方面，各疊片的厚度可以比上述的厚度的大致范圍更大或更小。如可以實(shí)現(xiàn)的，該材料的各層（即，磁場(chǎng)流過(guò)）是較薄的，較低的渦流效應(yīng)是在開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)。鐵磁材料可以被沖壓（或任何合適的方式形成的）的任何合適的材料制成的片材，如，例如，300系列或400系列的不銹鋼。所述非導(dǎo)電層可以由任何合適的材料形成，如電絕緣真空兼容的環(huán)氧樹(shù)脂和/或真空兼容或其它材料，包括薄片，但不限于玻璃，陶瓷，特氟綸和聚酯薄膜帶。的疊壓鐵心片167、168可為裝配在任何合適的方式排列，如具有對(duì)準(zhǔn)特征171被安裝到，例如，轂169。在一個(gè)方面，對(duì)準(zhǔn)特征171可以包括一組銷(xiāo)和輪轂169可以是或組成部分的驅(qū)動(dòng)軸，例如，以使轉(zhuǎn)子被固定基本上直接向驅(qū)動(dòng)軸本文所述的驅(qū)動(dòng)軸。疊壓鐵心片167、168可被夾緊或以任何合適的方式，否則保持在一起，如夾緊特征172。在一個(gè)方面，夾緊特征可以被配置為在校準(zhǔn)安裝設(shè)有171螺母。在其他方面，對(duì)準(zhǔn)特征可被移除并用夾緊功能，如穿過(guò)層壓交該轉(zhuǎn)子安裝在輪轂或驅(qū)動(dòng)軸接口螺栓代替。在再其他的方面，堆疊疊片可以與外部裝置對(duì)準(zhǔn)和/或與真空兼容或其他合適的粘合劑粘合在一起。還參照?qǐng)D1I和圖1J，在另一個(gè)方面的疊壓鐵心片167、168可以完全嵌入（例如全封閉的所有面和密封）由任何合適的材料制成的外殼174，諸如例如，真空兼容鍵合劑以這樣的方式，該疊片是絕緣或從，例如，真空環(huán)境，腐蝕性環(huán)境中或在其中所述機(jī)器人臂的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)從動(dòng)操作其他環(huán)境密封。在轉(zhuǎn)子是絕緣轉(zhuǎn)子的情況下，鐵磁性層167可以由任何合適的材料構(gòu)成，例如，硅鋼通過(guò)任何合適的電絕緣材料（其可以是相同或比其材料不同嵌入堆疊疊片分離167、168）。

在另一方面，如可以實(shí)現(xiàn)的，開(kāi)關(guān)頻率可以是直接驅(qū)動(dòng)的應(yīng)用，這可以允許使用固體定子的基本上無(wú)因損失含量過(guò)高，例如，渦流相對(duì)較低。如圖1L所示的定子206'的直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)可被層疊，與疊片（例如鐵磁材料層167的交替堆疊的疊片'和非導(dǎo)電層168'），被配置和形成大致相似于上述轉(zhuǎn)子的所述疊片。疊片可定位相對(duì)于作為最佳功率和例如由于最小損耗，渦流所述力或轉(zhuǎn)矩軸。如可以實(shí)現(xiàn)的，在密封邊界或窗戶（例如，在圖1E含有密封的環(huán)境示出壁103）的疊層定子的外部的部分可以不被密封，并且可以暴露于外部大氣。因此，按照一個(gè)方面，電機(jī)驅(qū)動(dòng)可包括層壓轉(zhuǎn)子或?qū)嵭霓D(zhuǎn)子經(jīng)由固體或?qū)訅海ㄈ炕虿糠郑┑亩ㄗ佑砷_(kāi)關(guān)磁阻驅(qū)動(dòng)。

驅(qū)動(dòng)100D可以攜帶任何合適的機(jī)器人臂104配置用于傳輸，例如半導(dǎo)體晶片，平板用于平板顯示器，太陽(yáng)能電池板，中間掩?；蚱渌魏魏线m的有效載荷。在這方面，機(jī)器人臂104被示出為雙向?qū)ΨQ型機(jī)器人手臂（例如，具有相對(duì)的在延伸和縮回掛鉤末端效應(yīng)）上臂104U1的其中一個(gè)，104U1'被連接到外轉(zhuǎn)子101和其他上臂104U2，104U2''被連接到內(nèi)轉(zhuǎn)子102。在其他方面，所述機(jī)械臂可以是SCARA（選擇性符合關(guān)節(jié)型機(jī)器人手臂）臂，伸縮臂或任何其它合適的臂。臂的操作可以彼此獨(dú)立（例如每個(gè)臂的延伸/縮回是獨(dú)立于其他臂），可以通過(guò)空動(dòng)開(kāi)關(guān)被操作（如將在下面描述），或者可以以任何合適的有效連接這樣使得武器共享至少一個(gè)共同的驅(qū)動(dòng)軸。作為一個(gè)示例，該雙對(duì)稱臂的任一末端執(zhí)行104E1、104E2的徑向延伸舉動(dòng)可以通過(guò)基本上以同樣的速度大致同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)外轉(zhuǎn)子101與內(nèi)轉(zhuǎn)子102以相反的方向來(lái)進(jìn)行。臂104作為一個(gè)單元的旋轉(zhuǎn)可以通過(guò)在相同的方向大致相同的速率外轉(zhuǎn)子101與內(nèi)轉(zhuǎn)子102的旋轉(zhuǎn)來(lái)執(zhí)行。

如可以實(shí)現(xiàn)的，在隔離壁103分離時(shí)，例如，大氣（例如真空或其他合適的可控氣氛），其中所述臂104從周?chē)諝庵胁僮鳎ɡ纾髿猸h(huán)境通?；旧显诖髿鈮毫ο拢Ｖ档米⒁獾氖?，雖然外和內(nèi)轉(zhuǎn)子101、102和機(jī)器人手臂104的電機(jī)的位于例如真空環(huán)境內(nèi)，但致動(dòng)線圈（例如定子）和位置傳感器位于大氣環(huán)境中。驅(qū)動(dòng)器100D和/或基于磁阻反饋位置傳感器的磁阻電機(jī)的配置可以提供用于隔離壁103從開(kāi)口，視口免費(fèi)或通過(guò)安排飼料。隔離壁103將在下面更詳細(xì)地描述并且可以被構(gòu)造一個(gè)非鐵磁或其它合適的材料，其允許與致動(dòng)和位置感測(cè)安排相關(guān)穿過(guò)隔離壁103的磁場(chǎng)。

圖2A和圖2B示例性地圖示了圖1E的示例性機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器的剖視圖。在一個(gè)方面，以任何合適的方式例如通過(guò)軸承205，內(nèi)轉(zhuǎn)子101和外轉(zhuǎn)子102可以從例如電機(jī)殼體懸掛。在其他方面，驅(qū)動(dòng)器100D可以是自我承載驅(qū)動(dòng)器，其中轉(zhuǎn)子101、102被懸掛而基本上沒(méi)有以任何合適的方式接觸。推進(jìn)線圈或定子206與位置感測(cè)讀頭207、208可以與相應(yīng)的轉(zhuǎn)子101、102位于不同的角扇區(qū)上隔離壁103（例如，在大氣環(huán)境中）的相反側(cè)。讀取頭207可以與任何合適的絕對(duì)刻度相互作用或軌道209，以提供，例如，相應(yīng)的轉(zhuǎn)子101、102的絕對(duì)位置粗測(cè)量。讀出頭208可以與任何合適的增量刻度或軌道210相互作用，以確定相應(yīng)的轉(zhuǎn)子101、102的高分辨率位置。軌道209、210可以由鐵磁或其它合適的材料制成，使得磁跡209、210，例如，接近或以其他方式影響磁路與相應(yīng)的讀出頭207、208。從軌道209，210（絕對(duì)和增量）獲得的測(cè)量的組合為轉(zhuǎn)子101，102提供高分辨率的絕對(duì)位置信息。

圖3是圖1E的機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器100D的截面，以舉例說(shuō)明的驅(qū)動(dòng)器架構(gòu)的示意圖。如可以實(shí)現(xiàn)的。定子206、轉(zhuǎn)子101、102、位置傳感器讀磁頭207、208和軌209、210可以如上關(guān)于圖2A和圖2B描述的來(lái)布置。在其他方面，定子，轉(zhuǎn)子和位置傳感器可以具有任何合適的布置結(jié)構(gòu)。如在圖3中能夠看到的，轉(zhuǎn)子101包括第一軸、支柱或延伸部301，上臂104U1（圖1E）中的一個(gè)被附接和支撐到所述第一軸、支柱或延伸部301。轉(zhuǎn)子102包括第二軸、支柱或延伸部302，另一上臂104U2（圖1E）被附接和支撐到其。如從圖3A中可以看出兩個(gè)軸301,302和驅(qū)動(dòng)電機(jī)布置可以允許的，例如，一個(gè)真空源370（或其它合適的外圍處理設(shè)備的入口用于傳輸?shù)牟僮魈峁?qū)動(dòng)100D具有中空中心室，其臂104時(shí)）在驅(qū)動(dòng)器的中心放置和/或機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器中支持的抽真空安排部分或全部整合。兩個(gè)軸301、302還可以支持臂104的臂作為一個(gè)單元和/或用于末端執(zhí)行如上所述104E1、104E2的延伸/縮回的旋轉(zhuǎn)。

圖4是一個(gè)機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器100D'基本上類(lèi)似于驅(qū)動(dòng)上述100D的截面的示意圖。然而，在該方面，驅(qū)動(dòng)器包括一個(gè)基本上集中（例如，位于基本上同心的定子/轉(zhuǎn)子裝置內(nèi)）的同軸驅(qū)動(dòng)軸組件400，其可以包括驅(qū)動(dòng)軸的任何適當(dāng)數(shù)量的其可對(duì)應(yīng)于電機(jī)的數(shù)量包括在機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器。在這方面，同軸驅(qū)動(dòng)軸組件400包括被以任何合適的方式支撐，諸如通過(guò)軸承內(nèi)的驅(qū)動(dòng)軸402和外驅(qū)動(dòng)軸401。在其他方面，如上面所提到的，驅(qū)動(dòng)器可以是自支承的驅(qū)動(dòng)器，使得所述驅(qū)動(dòng)軸組件400可被支撐（例如，通過(guò)與轉(zhuǎn)子連接）基本上不接觸。在這方面，外驅(qū)動(dòng)軸401可以以任何合適的方式連接到外轉(zhuǎn)子101，例如通過(guò)驅(qū)動(dòng)構(gòu)件401D而內(nèi)驅(qū)動(dòng)軸402可連接到任何合適的方式的內(nèi)轉(zhuǎn)子102例如由驅(qū)動(dòng)構(gòu)件402D。如可以實(shí)現(xiàn)的，該驅(qū)動(dòng)裝置可推動(dòng)一雙向?qū)ΨQ機(jī)器人臂組件的連接，SCARA型機(jī)器人臂組件，伸縮機(jī)器人臂組件，機(jī)器人臂組件具有一個(gè)空動(dòng)開(kāi)關(guān)或任何其它合適的機(jī)器人手臂組件，其包括一個(gè)或多個(gè)機(jī)器人臂，并利用一個(gè)同軸驅(qū)動(dòng)軸裝置為所述一個(gè)或多個(gè)機(jī)器人手臂的動(dòng)作。

圖5為機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器500的剖面的示意圖，其可以基本上相似于驅(qū)動(dòng)器100D，然而，在這方面，定子206/轉(zhuǎn)子101、102對(duì)可以一個(gè)疊置在另一個(gè)之上。在這方面，如可在圖5中可以看出，轉(zhuǎn)子101包括第一軸301'臂104U1（圖1E）中的一個(gè)附接并支持到其。轉(zhuǎn)子102包括向其中其它上臂104U2（圖1E）被連接和支持的第二軸302'。此外，如可以在圖5A中可以看出兩個(gè)軸301'，302'和驅(qū)動(dòng)電機(jī)布置可以用于提供真空源370'的入口提供驅(qū)動(dòng)的中空中心（或其它合適的外圍處理裝置的操作在該臂104操作傳送室）和/或支持在基本上類(lèi)似于以上所述的方式的機(jī)械手驅(qū)動(dòng)內(nèi)的抽真空裝置的部分或全部集成。

圖6為機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器600的剖面的示意圖，其可以基本上相似于驅(qū)動(dòng)器100D’，然而，在這方面，定子206/轉(zhuǎn)子101、102對(duì)可以一個(gè)疊置在另一個(gè)之上。在這方面，同軸驅(qū)動(dòng)軸組件400’包括被以任何合適的方式支撐，諸如所述軸承內(nèi)的驅(qū)動(dòng)軸402’和外驅(qū)動(dòng)軸401’。所述外驅(qū)動(dòng)軸401’可以以任何合適的方式連接到外轉(zhuǎn)子101，例如通過(guò)驅(qū)動(dòng)構(gòu)件401D’而內(nèi)驅(qū)動(dòng)軸402’可連接到任何合適的方式的內(nèi)轉(zhuǎn)子102例如由驅(qū)動(dòng)構(gòu)件402D’。

圖7-15圖示了根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的附加的電機(jī)構(gòu)造。參照?qǐng)D7，圖示了單軸驅(qū)動(dòng)器1590。在這方面，傳送室1500的一部分被示出，使得在隔離壁103或與傳送室1500殼體，其中所述接口是一個(gè)隔離接口1520的驅(qū)動(dòng)器外殼的接口的其它部分。隔離接口可以是用于隔離環(huán)境的任何合適的密封的接口，例如，O形環(huán)。這里，但驅(qū)動(dòng)軸1509被耦接到轉(zhuǎn)子1501。定子1506位于轉(zhuǎn)子1501外，使得定子1506基本上圍繞轉(zhuǎn)子1501。圖8還圖示了單軸驅(qū)動(dòng)器1690，其基本上相似于圖7中所示的驅(qū)動(dòng)器1590。然而，驅(qū)動(dòng)器1690被布置成使得定子1606被設(shè)置在轉(zhuǎn)子1601內(nèi)，使得轉(zhuǎn)子1601基本上圍繞定子1606。

值得注意的是，附加的驅(qū)動(dòng)軸（例如自由度）可通過(guò)堆疊驅(qū)動(dòng)器要么在垂直和/或徑向和利用同軸驅(qū)動(dòng)軸裝置傳遞扭矩給一個(gè)或多個(gè)機(jī)械手臂加入。這里，轉(zhuǎn)子，定子和位置反饋?zhàn)x取頭和軌對(duì)于每個(gè)運(yùn)動(dòng)軸線可以基本上是相同的。例如，參照?qǐng)D9，煎餅型驅(qū)動(dòng)1790，基本上類(lèi)似于驅(qū)動(dòng)器100D'如上所述，示出了具有同軸驅(qū)動(dòng)軸1509A、1509B。如從圖9中可以看出，驅(qū)動(dòng)1790被布置為使得每個(gè)定子1506被設(shè)置在其相應(yīng)的轉(zhuǎn)子1501，1502外，使得定子1506基本上圍繞相應(yīng)的轉(zhuǎn)子1501、1502和一個(gè)電機(jī)基本上圍繞電機(jī)中的另一個(gè)（例如一個(gè)電機(jī)嵌套在另一個(gè)所述電動(dòng)機(jī)的）。圖10示出了驅(qū)動(dòng)器1890，其基本上類(lèi)似于驅(qū)動(dòng)器1790，然而，在這方面，定子1506被布置在相應(yīng)的轉(zhuǎn)子的1501、1502內(nèi)，使得轉(zhuǎn)子1501、1502基本上圍繞相應(yīng)的定子1506。

如可以實(shí)現(xiàn)的，Z軸驅(qū)動(dòng)可加入到本文所述的任何機(jī)械手的驅(qū)動(dòng)器。例如，圖11示出的任何合適的Z軸驅(qū)動(dòng)1900連接到驅(qū)動(dòng)1790在箭頭1910（例如，方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器1790的方向上與驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸線基本上平行。任何適當(dāng)?shù)膶?dǎo)軌、如導(dǎo)軌1930可以被提供用于引導(dǎo)驅(qū)動(dòng)器1790的Z軸移動(dòng)。Z軸驅(qū)動(dòng)器可以包括任何合適的直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)1900D諸如，例如，滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，線性磁驅(qū)動(dòng)器，剪刀式升降機(jī)或能夠沿著直線路徑平移驅(qū)動(dòng)1790的任何其它合適的機(jī)構(gòu)。任何合適的柔性密封件1940，諸如波紋件，可在定子殼體（或隔離壁103）和驅(qū)動(dòng)器殼體之間的界面處提供用于密封的驅(qū)動(dòng)器和傳送室1500外殼之間的接口。圖12示出的兩軸驅(qū)動(dòng)器2000基本上類(lèi)似于上述其中驅(qū)動(dòng)電機(jī)一個(gè)豎直堆疊在另一個(gè)之上。圖13圖示了具有Z軸驅(qū)動(dòng)器1900的兩軸驅(qū)動(dòng)器2000。此外，值得注意的是，雖然本文描述了一軸和兩軸驅(qū)動(dòng)器，但在其他方面，驅(qū)動(dòng)器可以具有任何合適數(shù)量的驅(qū)動(dòng)器軸線。如在圖11和12可以看出，垂直堆疊的電機(jī)被布置，使得定子1506被定位各自的轉(zhuǎn)子1501，1502外。圖14示出驅(qū)動(dòng)器2100，其具有其中所述定子1506設(shè)置其各自的轉(zhuǎn)子內(nèi)部1501、1502，使得轉(zhuǎn)子1501、1502基本上包圍各自定子1506豎直堆疊電動(dòng)機(jī)裝置。

在另一方面，位置反饋?zhàn)x取頭和軌可以被構(gòu)造成使得讀取頭是模塊能夠被插入和從驅(qū)動(dòng)器殼體或隔離壁103移除的模塊。例如，參照?qǐng)D15，示出了驅(qū)動(dòng)器2000’。驅(qū)動(dòng)器2000’可以基本上相似于上述驅(qū)動(dòng)器2000。然而，軌道209'可設(shè)置成使得讀出頭207'可以與從上方或下方，而不是徑向磁道接口（如例如，圖12中所示）。讀出頭207'可以設(shè)置在可移動(dòng)的讀取頭插入件中或模塊2110中，所述模塊2110可能在密封附件和移動(dòng)從隔離壁103或外殼的驅(qū)動(dòng)2000'。任何合適的密封件可以被設(shè)置在模塊2110和隔離壁103或驅(qū)動(dòng)器殼體之間的接口處。在其他方面，模塊2110或傳感器/軌分隔壁能夠被加工到驅(qū)動(dòng)器殼體中。此驅(qū)動(dòng)器外殼可與在靜密封，諸如O形環(huán)，位于該驅(qū)動(dòng)器殼體之間的另一個(gè)驅(qū)動(dòng)器殼體堆疊。在一個(gè)方面，軌道209'可以是，它包括兩個(gè)增量和絕對(duì)鞋釘組合軌道。讀出頭207'可以被配置為使得兩個(gè)絕對(duì)和增量軌道由讀出頭207'讀取。在其他方面，多個(gè)軌道可以與具有一個(gè)或多個(gè)用于讀取每個(gè)增量和絕對(duì)軌道的多讀磁頭的一個(gè)或多個(gè)模塊2110一起提供。在其它方面，可移動(dòng)讀取頭模塊和位置反饋軌道可以被配置，使得模塊的讀取頭可以相對(duì)于所述軌道（如在圖12中所示）沿徑向定位。

如上所述，在一個(gè)方面，本文所描述的開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的機(jī)器人的驅(qū)動(dòng)裝置可以是部分或以其它方式包含自支承驅(qū)動(dòng)，其中的主動(dòng)和被動(dòng)的磁力暫停機(jī)器人驅(qū)動(dòng)的代替旋轉(zhuǎn)部件（與機(jī)器人臂）如2007年6月27日提交的標(biāo)題為“Reduced-Complexity Self-Bearing Brushless DC Motor”的美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?1/769,651中描述的機(jī)械軸承，該美國(guó)專利申請(qǐng)的公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用整體地結(jié)合于本文中。在一個(gè)方面，自承驅(qū)動(dòng)器可以包括與專用定心/懸架繞組結(jié)合本文所述的切換式磁阻電動(dòng)機(jī)和感測(cè)安排。在其他方面，開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的繞組可以被劃分成單獨(dú)/獨(dú)立控制線圈部分，以形成一個(gè)集成的自軸承電機(jī)如在圖16A和16B示出。

在一個(gè)方面，如圖16A所述機(jī)器人的各電機(jī)驅(qū)動(dòng)700可以包括三個(gè)繞組組720-722，其中繞組組在轉(zhuǎn)子710的3個(gè)扇區(qū)延伸。在其他方面，任何合適數(shù)量的繞組的組可以被提供用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子710。繞組集720-722中的每個(gè)可以通過(guò)任何合適的控制器190以任何合適的方式來(lái)驅(qū)動(dòng)，如在先前以引用方式結(jié)合于本文中的美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?1/769,651所描述。雖然基本上所示的定子的繞組組720-722均等地分布（例如，彼此通過(guò)大約120度偏移），但是應(yīng)當(dāng)理解的是，也可以使用其他偏移。在其他方面，繞組組720-722可以被布置在一個(gè)配置中通常對(duì)稱期望軸線而圍繞定子圓周均勻分布。

在另一方面，如圖16B所示，機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器701的電機(jī)701可以包括具有兩個(gè)繞組組A和B，其中每個(gè)繞組組具有兩個(gè)繞組子集730、733和731、732，分別的定子（例如四段定子繞組的安排）。在每個(gè)繞組組兩個(gè)繞組子組被電耦接并通過(guò)大約90度電角度相對(duì)錯(cuò)開(kāi)。結(jié)果，當(dāng)在對(duì)中的兩個(gè)繞組子組中的一個(gè)產(chǎn)生純切向力對(duì)中的其他繞組子組產(chǎn)生純徑向力，反之亦然。在示出的示例性實(shí)施例中，每個(gè)相應(yīng)繞組組的區(qū)段可以幾何布置以大約90°的角度。在其他方面，幾何角度偏移和電角度繞組的相應(yīng)的繞組組的片段之間的偏移量可以是彼此不同的。繞組組A和B中的每一個(gè)可以以任何合適的方式通過(guò)任何合適的控制器驅(qū)動(dòng)190如在先前以引用方式并入本文中的美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?1/769,651所描述。

如可以實(shí)現(xiàn)的，在一個(gè)方面，可以提供用于懸掛所述旋轉(zhuǎn)部件的驅(qū)動(dòng)器700（例如轉(zhuǎn)子710，機(jī)器人手臂，位置反饋軌道等），在垂直方向701和/或穩(wěn)定附加度數(shù)的升力自由，如的俯仰和滾動(dòng)角，例如，（連接到驅(qū)動(dòng)軸，因此機(jī)器人手臂）的驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)軸可通過(guò)提供，在一個(gè)方面中，專用繞組或在其它方面被動(dòng)通過(guò)與設(shè)在永久磁鐵，例如，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的大氣部分磁路。

如上所述，任何合適數(shù)量和類(lèi)型的機(jī)器人臂104（圖1E）可以被附接到本文所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)布置結(jié)構(gòu)。除了雙向?qū)ΨQ臂104（圖1E），其可以與扁平型電動(dòng)機(jī)的安排或?qū)盈B電機(jī)安排包括可使用，但不限于，2008年5月8日提交的標(biāo)題為“Substrate Transport Apparatus with Multiple Movable Arms Utilizing a Mechanical Switch Mechanism”美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?2/117,415中描述的臂構(gòu)臂配置，其公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用在此全文并入。例如，臂可以由一個(gè)常規(guī)的SCARA型的設(shè)計(jì)，其包括上臂，帶驅(qū)動(dòng)前臂和帶約束端部執(zhí)行，通過(guò)消除上臂導(dǎo)出。在例如圖17A-14B中所示的方面中，上臂的結(jié)構(gòu)性作用可以直接通過(guò)一個(gè)或多個(gè)轉(zhuǎn)子呈現(xiàn)。

參照?qǐng)D17A和圖17B，示出了通過(guò)聯(lián)接裝置驅(qū)動(dòng)的單末端執(zhí)行器臂。參照?qǐng)D17A的運(yùn)動(dòng)圖，在該方面的臂1000可以在一對(duì)獨(dú)立地致動(dòng)的同軸轉(zhuǎn)子的安裝諸如轉(zhuǎn)子101、102（也參見(jiàn)圖1E）。臂1000可以包括主連桿1003、端部執(zhí)行器1004和輔助連桿1005。主連桿1003可通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)1006被聯(lián)接到轉(zhuǎn)子101。末端執(zhí)行器1004可以通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)1007被耦接到主連桿1003，并受限于由頻帶配置1008徑向指向。二次連桿1005可通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭1009和1010相應(yīng)地聯(lián)接到轉(zhuǎn)子102和末端執(zhí)行器1004。臂1000可以通過(guò)同樣移動(dòng)轉(zhuǎn)子101和102在相同的方向旋轉(zhuǎn)。臂的徑向延伸部分可通過(guò)同時(shí)移動(dòng)轉(zhuǎn)子101和102在相反的方向上進(jìn)行控制。臂1000的示例性徑向延伸移動(dòng)可以基本上相似于在美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?2/117,415（先前通過(guò)引用結(jié)合）中描述和在圖17B中的分階段形式被示出的方式執(zhí)行。

現(xiàn)在參照?qǐng)D18A和圖18B，通過(guò)直帶驅(qū)動(dòng)的單個(gè)端部執(zhí)行器臂1100示出了根據(jù)公開(kāi)的實(shí)施例的另一個(gè)方面。如同臂1000，臂1100被安裝在一對(duì)獨(dú)立地致動(dòng)同軸轉(zhuǎn)子101和102（也參見(jiàn)圖1E）。在這方面，臂1100包括連桿1103、末端執(zhí)行器1104和直帶驅(qū)動(dòng)器1105。連桿1103可連接通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)1106到轉(zhuǎn)子101，以及通過(guò)帶驅(qū)動(dòng)器1105聯(lián)接到轉(zhuǎn)子102。末端執(zhí)行器1104可通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭1107連接到連桿1103，并受限于由帶布置結(jié)構(gòu)1108點(diǎn)徑。在這方面，臂1100可以通過(guò)相同的角度在相同的方向上移動(dòng)轉(zhuǎn)子101和102旋轉(zhuǎn)。臂的徑向延伸部分可通過(guò)同時(shí)移動(dòng)轉(zhuǎn)子101和102在相反的方向進(jìn)行控制（由等量例如如果帶驅(qū)動(dòng)1105包括一個(gè)1:1的帶輪比；然而，可使用任何合適的比例）。臂1100的示例性徑向延伸移動(dòng)可以基本上相似于在美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?2/117,415（先前通過(guò)引用結(jié)合）中描述和在圖18B中的分階段形式被示出的方式執(zhí)行。

參照?qǐng)D19A和19B，通過(guò)交叉帶驅(qū)動(dòng)的單個(gè)端部執(zhí)行器臂1200是根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施方式的一個(gè)方面示出。如在圖19A中所示，臂1200可以被安裝在一對(duì)獨(dú)立地致動(dòng)同軸轉(zhuǎn)子101和102（也參見(jiàn)圖1E）。在這方面，臂1200包括連桿1203、末端執(zhí)行器1204和交叉帶驅(qū)動(dòng)器1205。連桿可連接通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)1206到轉(zhuǎn)子101，以及通過(guò)帶驅(qū)動(dòng)器1205聯(lián)接到轉(zhuǎn)子102。末端執(zhí)行器1204可通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭1207連接到連桿1203，并受限于由帶布置結(jié)構(gòu)1208點(diǎn)徑。在這方面，臂1200可以通過(guò)相同的角度在相同的方向上移動(dòng)轉(zhuǎn)子101和102旋轉(zhuǎn)。臂的徑向延伸部分可通過(guò)同時(shí)移動(dòng)轉(zhuǎn)子101和102在由不等量相同的方向進(jìn)行控制。臂1200的示例性徑向延伸移動(dòng)可以基本上相似于在美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?2/117,415（先前通過(guò)引用結(jié)合）中描述和在圖19B中的分階段形式被示出的方式執(zhí)行。

在所公開(kāi)的實(shí)施例的另一方面，參照?qǐng)D19C和圖19D，圖示了雙末端執(zhí)行器臂組件1300。臂組件1300可以被安裝在獨(dú)立促動(dòng)的同軸的轉(zhuǎn)子101和102的對(duì)上（還參見(jiàn)圖1E）。左手側(cè)臂可包括主連桿1303L、端部執(zhí)行器1304L和輔助連桿1305L。主連桿1303L可通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)1306L耦接到轉(zhuǎn)子102。末端執(zhí)行器1304L可通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭1307L連接到主連桿1303L，并受限于由帶布置結(jié)構(gòu)1308L點(diǎn)徑。二級(jí)連桿1305L被分別通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭1309L和1310L耦接到轉(zhuǎn)子101和初級(jí)連桿1303L。類(lèi)似地，右手側(cè)臂可包括伯連桿1303R、端部執(zhí)行器1304R和輔助連桿1305R。主連桿1303R可以通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)1306R耦接到轉(zhuǎn)子102。末端執(zhí)行器1304R可以通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)1307R被耦接到主連桿1303R，并受限于由頻帶配置1308R徑向指向。二級(jí)連桿1305R可以分別通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭1309R和13l0R耦接到轉(zhuǎn)子101和初級(jí)連桿1303R。當(dāng)臂之一徑向延伸，另一個(gè)臂指定回轉(zhuǎn)半徑接近其折疊構(gòu)造，使得鍵形成一個(gè)空動(dòng)機(jī)構(gòu)內(nèi)旋轉(zhuǎn)。臂組件的示例性徑向延伸移動(dòng)1300可以基本上相似于在美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?2/117,415（先前通過(guò)引用結(jié)合）中描述和在圖19D中的分階段形式被示出的方式執(zhí)行。

在所公開(kāi)的實(shí)施例的另一方面，臂組件1400示于圖。19E和19F基本上包括相同類(lèi)型和數(shù)量的部件作為臂1300。然而，臂組件被布置在不同的幾何結(jié)構(gòu)，從而在空動(dòng)機(jī)構(gòu)的基本不同的運(yùn)動(dòng)特征。如圖19E所示，左手側(cè)臂包括初級(jí)連桿1403L，端部執(zhí)行器1404L和輔助連桿1405L。主連桿3L可耦合通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)1406L到轉(zhuǎn)子101。末端執(zhí)行器1404L可通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭1407L連接到主連桿1403L，并受限于由帶布置結(jié)構(gòu)1408L點(diǎn)徑。二級(jí)這些連桿1405L可以分別通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭1409L和1410L耦接到轉(zhuǎn)子102和初級(jí)連桿1403L。類(lèi)似地，右手側(cè)臂可伯連桿1403R、端部執(zhí)行器1404R和輔助連桿1405R。主連桿1403R可通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)1406R被聯(lián)接到轉(zhuǎn)子101。末端執(zhí)行器1404R可通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭1407R連接到主連桿1403R，并受限于由帶布置結(jié)構(gòu)1408R點(diǎn)徑。二級(jí)連桿1405R可以分別通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭1409R和14l0R耦接到轉(zhuǎn)子102和初級(jí)連桿1403R。當(dāng)臂之一徑向延伸，另一個(gè)臂指定回轉(zhuǎn)半徑接近其折疊配置內(nèi)旋轉(zhuǎn)。臂1400的示例性徑向延伸移動(dòng)可以基本上相似于在美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?2/117,415（先前通過(guò)引用結(jié)合）中描述和在圖19F中的分階段形式被示出的方式執(zhí)行。

現(xiàn)在參照?qǐng)D20A，圖示了輸送設(shè)備驅(qū)動(dòng)器20200的一部分的示意圖。傳輸驅(qū)動(dòng)器可以以任何合適的大氣壓或真空機(jī)器人運(yùn)輸可以采用如上述的那些。驅(qū)動(dòng)器可以包括驅(qū)動(dòng)器殼體20200H，其具有至少部分地設(shè)置在其中的至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)軸20201。盡管圖20A中圖示了一個(gè)驅(qū)動(dòng)軸，但在其他方面，驅(qū)動(dòng)器可以包括任何合適數(shù)量的驅(qū)動(dòng)軸。驅(qū)動(dòng)軸20201可以任何合適的方式機(jī)械地懸掛或磁性地懸掛在殼體20200H內(nèi)。在這方面，驅(qū)動(dòng)軸在該殼體內(nèi)懸掛的方式的任何合適的軸承20200B，但在其它方面，驅(qū)動(dòng)軸可以磁懸掛（例如一個(gè)自支承驅(qū)動(dòng)器）基本上類(lèi)似于2012年10月9日授權(quán)的標(biāo)題為“Robot Drive with Magnetic Spindle Bearings”的美國(guó)專利號(hào)8,283,813中描述的，該美國(guó)專利的公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用在此全文并入。驅(qū)動(dòng)20200的每個(gè)驅(qū)動(dòng)軸可以由各自的電機(jī)20206驅(qū)動(dòng)，其中每個(gè)電機(jī)包括定子20206S和轉(zhuǎn)子20206R。附圖中所描繪的示例性實(shí)施例具有可稱為旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)構(gòu)造的構(gòu)造，其被示出用于促進(jìn)描述和如本文所示和所述的各方面的特征的目的。如可以實(shí)現(xiàn)的，關(guān)于所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)構(gòu)造所圖示的各方面的特征等同地適用于線性驅(qū)動(dòng)構(gòu)造。值得注意的是，驅(qū)動(dòng)電機(jī)本文所述可以是永磁體電機(jī)、可變磁阻電機(jī)（其具有：至少一個(gè)凸極，其具有相對(duì)應(yīng)的線圈單元；以及具有導(dǎo)磁材料的至少一個(gè)凸極的至少一個(gè)相應(yīng)的轉(zhuǎn)子）或任何其他合適的驅(qū)動(dòng)電機(jī)。該定子20206S可以在殼體和轉(zhuǎn)子20206R可固定在任何合適的方式向相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)軸20201內(nèi)的至少部分地固定。在一個(gè)方面，定子20206S可以位于一個(gè)從其中所述機(jī)器人臂20208操作（大氣的氣氛密封的“外部”或“非密封”的環(huán)境，其中所述機(jī)器人臂操作在此被稱為“密封”的環(huán)境可以是通過(guò)采用一種隔離壁或阻擋的真空或任何其它合適的環(huán)境）中提到，而轉(zhuǎn)子20206R以如下方式位于所述密封環(huán)境內(nèi)基本上類(lèi)似于在標(biāo)題為“SEALED ROBOT DRIVE”并且在2013年11月13日提交的具有代理人案卷號(hào)390P014939-US(-#1)的美國(guó)臨時(shí)專利中描述的，該美國(guó)臨時(shí)專利的公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用整體地結(jié)合于本文中，并且將在下面更詳細(xì)地描述。值得注意的是，術(shù)語(yǔ)非鐵磁隔離壁，密封分區(qū)或如本文所用是指制造該可設(shè)置在移動(dòng)部件之間的任何合適的非鐵磁性材料的壁隔離壁（這將在下面更詳細(xì)地描述）的機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器和/或傳感器和機(jī)械手的驅(qū)動(dòng)器和/或傳感器的相應(yīng)的固定部件。

在一個(gè)方面，驅(qū)動(dòng)器20200的殼體20200H具有大致鼓形結(jié)構(gòu)具有外20200HE和內(nèi)部20200HI（例如鼓結(jié)構(gòu)）。殼體20200H，在一個(gè)方面，是一種整體的單件的整體結(jié)構(gòu)，而在其他方面，外殼20200H是具有任何合適的方式緊固在一起的兩個(gè)或多個(gè)箍，以便形成在殼體20200H的滾筒結(jié)構(gòu)的整體組件。殼體的內(nèi)部20200HI包括定子界面表面20200HS其中可變磁阻電機(jī)20206的定子20206S的位置。定子接口表面20200HS（因此殼體20200H）被配置成用于定子20206S提供剛性和支撐。如可以實(shí)現(xiàn)的，定子界面表面20200HS（因此殼體20200H）是定位由定子支撐的定子20206S（和隔離壁2403，使得定子位于大氣環(huán)境從真空環(huán)境中分離一個(gè)基準(zhǔn)面其中轉(zhuǎn)子的位置）來(lái)控制定子20206S和轉(zhuǎn)子20206R之間的間隙。殼體20200H還包括轉(zhuǎn)子界面表面20200HR與接口并定位轉(zhuǎn)子20206R（例如軸承20200B被定位在驅(qū)動(dòng)軸20201/轉(zhuǎn)子20206R中的預(yù)定位置，并在軸承與轉(zhuǎn)子界面表面20200HR20200B接口），以便轉(zhuǎn)子20206R被定位在相對(duì)于定子20206S的預(yù)定位置。如可以實(shí)現(xiàn)的，所述定子界面表面20200HS是用于轉(zhuǎn)子接口表面20200HR基準(zhǔn)表面（并因此所述轉(zhuǎn)子20206R/驅(qū)動(dòng)軸20201），以使轉(zhuǎn)子20206R（和驅(qū)動(dòng)軸20201連接到其上）和定子20206S定位相對(duì)于和依賴從由殼體20200H形成一個(gè)共同的基準(zhǔn)。在一個(gè)方面，殼體20200H包括低于該其中一個(gè)或多個(gè)印刷電路板PCB（類(lèi)似于PCB20310描述形成于殼體20200H并進(jìn)入控制基板孔或槽PCB包括傳感器20203，與所描述的傳感器或編碼器軌道20202接口）位于下方的大氣環(huán)境，并從所述傳感器軌道20202（它是由一個(gè)真空阻擋的方式類(lèi)似于下面描述位于真空環(huán)境中）分離?？刂瓢蹇譖CB包括傳感器20203相對(duì)于所述定子界面表面20200HS（例如殼體20200H的共同基準(zhǔn)）在預(yù)定位置即位置傳感器接口表面20200HT。如可以實(shí)現(xiàn)的，該傳感器軌道20202被連接到轉(zhuǎn)子20206R使傳感器軌道20202位于預(yù)定相對(duì)于轉(zhuǎn)子界面表面20200HR的位置。如此，傳感器接口表面20200HT的相對(duì)定位，并與該定子界面表面轉(zhuǎn)子界面表面20200HR20200HS位置，并控制傳感器20203和傳感器軌道20202之間的間隙，其中該定子20206S，轉(zhuǎn)子20206R，傳感器20203和傳感器軌跡20202相對(duì)于和從屬?gòu)墓苍c(diǎn)定位。在一個(gè)方面，外殼20200H包括任何合適的狹槽或孔MLS通過(guò)任何合適的驅(qū)動(dòng)器連接器CON通行證（從和反饋信號(hào)）驅(qū)動(dòng)20200提供電力和控制信號(hào)。

參照?qǐng)D20K，應(yīng)當(dāng)理解的是，雖然僅用于示例性目的圖20G-20J圖示了具有單驅(qū)動(dòng)軸20201的驅(qū)動(dòng)器，但在其他方面，驅(qū)動(dòng)器包括具有任何合適的相對(duì)應(yīng)的數(shù)量的驅(qū)動(dòng)軸的任何合適數(shù)量的電機(jī)。例如，圖20K圖示了驅(qū)動(dòng)器20200”，其具有以疊置的或在呈直線的構(gòu)造布置的兩個(gè)電機(jī)20206A、20206B。這里，每個(gè)電機(jī)20206A，20206B包括其中外殼被彼此連接在任何合適的方式來(lái)形成多個(gè)電動(dòng)機(jī)各自的殼體20200H（基本上類(lèi)似于上文描述的）（例如，多自由度）驅(qū)動(dòng)器20200“，這樣的驅(qū)動(dòng)電機(jī)20206B的軸20201通過(guò)在電機(jī)20206A的驅(qū)動(dòng)軸20201A的孔延伸，以形成同軸驅(qū)動(dòng)主軸。

還參照?qǐng)D20B，傳輸裝置驅(qū)動(dòng)20200'基本上類(lèi)似于驅(qū)動(dòng)器20200中示出具有兩個(gè)驅(qū)動(dòng)軸20201，20210同軸驅(qū)動(dòng)軸布置。在這方面，驅(qū)動(dòng)軸20201由電機(jī)20206（具有定子20206S和轉(zhuǎn)子20206R），而軸20210由電機(jī)20216（具有定子20216S和轉(zhuǎn)子20216R）驅(qū)動(dòng)。此處，電機(jī)示于堆疊布置（例如，在線路和布置成一個(gè)以上或一個(gè)在另一個(gè)的前面）。然而，應(yīng)該理解的是，電機(jī)20206、20216可具有任何適當(dāng)?shù)牟贾?，例如通過(guò)側(cè)面或同心布置的一側(cè)。電機(jī)裝置的合適例子在2011年8月30日授權(quán)的題為“Substrate Processing Apparatus with Motors Integral to Chamber Walls”的美國(guó)專利號(hào)8,008,884以及2012年10月9日授權(quán)的題為“Robot Drive with Magnetic Spindle Bearings”的美國(guó)專利號(hào)8,283,813中描述，上述美國(guó)專利的公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用整體地結(jié)合于本文中。

再參照?qǐng)D20A和20B，也參照?qǐng)D20，各個(gè)驅(qū)動(dòng)軸20201也可能安裝在其上的傳感器或編碼器軌跡與20202位置確定標(biāo)記或設(shè)有傳感器20203該接口。值得注意的是，本文所描述的傳感器可以被配置為使得所述傳感器20203（例如，其中一個(gè)傳感件安裝在傳感器的部分）的讀出頭部分是可以插入并從驅(qū)動(dòng)器外殼或隔離移除模塊壁20204（它指出的是，隔離壁20204可以是一個(gè)共同的隔離壁也密封從密封環(huán)境中的驅(qū)動(dòng)定子）。傳感器20203可以以任何合適的方式，其允許提供位置感測(cè)元件或部件的傳感器20203讀取或以其他方式的20203H由一個(gè)或多個(gè)尺度20202S（這將在下面描述）的影響至少部分地被固定在殼體20200H內(nèi)信號(hào)，以任何合適的控制器例如控制器190（其可以是基本上相似于控制器如上所述11091）。在一個(gè)方面，至少在傳感器20203的一部分可以位于外部環(huán)境和密封或以其它方式從密封環(huán)境與隔離壁20204分離，這將在下面更詳細(xì)地描述，以使傳感器電子器件和/或磁體是布置在外部環(huán)境而傳感器軌道被設(shè)置在密封的環(huán)境。密封環(huán)境可能難以直接監(jiān)測(cè)，這是由于例如惡劣的環(huán)境條件，諸如真空環(huán)境或環(huán)境極端溫度。在密封環(huán)境內(nèi)本文所述的提供移動(dòng)物體（例如，電機(jī)轉(zhuǎn)子，連接到電機(jī)或任何其它合適的對(duì)象的機(jī)器人手臂）的非侵入性的位置測(cè)量所公開(kāi)的實(shí)施例的方面。

在一個(gè)方面，參照?qǐng)D20D，傳感器20203可利用磁路原理來(lái)檢測(cè)編碼器的軌道20202，其中該編碼器軌道具有至少一個(gè)編碼器刻度的位置（例如，其中每個(gè)所述的至少一個(gè)編碼器刻度的具有預(yù)定節(jié)距可大于位于所述密封環(huán)境內(nèi)的至少一個(gè)編碼器刻度的其他的）的間距不同。在圖20D所示的磁性傳感系統(tǒng)被示出在具有代表性的方式，并可以被配置為一個(gè)巨磁電阻傳感器（GMR）或作為差動(dòng)型的GMR（即感測(cè)多個(gè)位置之間的梯度場(chǎng)差，否則被稱為梯度計(jì)），這將在下面描述。該傳感器可以包括至少一個(gè)磁或鐵磁源20300，強(qiáng)磁性編碼器軌道20202，和至少一個(gè)磁感應(yīng)元件或構(gòu)件20203H（對(duì)應(yīng)于每一磁源）基本上設(shè)置在磁性源和鐵磁性軌道之間。編碼器軌道可被配置為使得磁道寬度（例如軌道面與編碼設(shè)有其上）可以與所述位置編碼徑向向外延伸的平面延伸設(shè)有從軌道平面（例如，上下）正交變化。在其它方面，軌道寬度可設(shè)置在平行的方向的軸向?qū)λ鲵?qū)動(dòng)軸（例如，在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)配置中的軌道面形成環(huán)繞驅(qū)動(dòng)軸線T的環(huán)狀或圓筒，例如參見(jiàn)圖20E、20F中的軌道20202S1'-S3'）用編碼功能徑向突出（用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器）或橫向從軌道平面?？商娲兀壍缹挾瓤梢栽O(shè)置在垂直于如圖20A所示的驅(qū)動(dòng)軸線的徑向方向。在該方面，所述至少一個(gè)磁傳感元件20203H可具有基本上平坦的（或以其他方式不依賴特性）基本上直接與軌道接口軌道接口20202但在其他方面，如下所述，所述至少一個(gè)磁傳感器可以是連接到鐵磁部件包括鐵磁特性與軌道上的相應(yīng)特征的界面。在一個(gè)方面，磁源和所述至少一個(gè)感測(cè)元件20203H可安裝到或以其他方式整體地形成在印刷電路板（PCB）20310，其中在印刷電路板是一種常見(jiàn)的電路板（例如常見(jiàn)于每個(gè)磁源和各所述至少一個(gè)感測(cè)元件的）。在其它方面，每個(gè)磁源和傳感構(gòu)件可以被安裝到一個(gè)或多個(gè)相應(yīng)的印刷電路板。在一個(gè)方面，磁源20300可以是位于外部環(huán)境中的永磁鐵。在其他方面，磁源20300可以是任何合適的來(lái)源，例如經(jīng)配置以被激勵(lì)以產(chǎn)生磁場(chǎng)的線圈。在一方面由磁源（在圖20D示出了用于示例目的的場(chǎng)線）所產(chǎn)生的磁場(chǎng)從一個(gè)北極N出發(fā)（例如，從磁道背向桿，在其他方面的磁極可具有任何合適的方位）源的20300（或者在通過(guò)的電流通過(guò)線圈流動(dòng)所確定的方向通電線圈的情況下）如圖所示，可以傳播，渡PCB20310，并跨越間隙中流動(dòng)（例如，感測(cè)元件20203H和之間追蹤20202）通過(guò)有色隔離壁20204，向鐵磁軌道20202和回磁源20300的相對(duì)的S極。作為鐵磁軌道相對(duì)于所述磁源產(chǎn)生20300的一個(gè)或多個(gè)磁場(chǎng)輪廓。磁場(chǎng)輪廓可具有一個(gè)或多個(gè)正弦波或余弦波的一般形狀。檢測(cè)構(gòu)件20203H被配置為檢測(cè)改變到與該鐵磁性軌道運(yùn)動(dòng)（例如磁場(chǎng)輪廓）相關(guān)的磁通。

在一個(gè)方面，檢測(cè)部件（多個(gè)）20203H可以是任何合適的巨磁電阻（GMR）傳感元件/能夠在一個(gè)或多個(gè)位置感測(cè)的磁場(chǎng)的構(gòu)件。在其他方面，感測(cè)部件（多個(gè)）可以是能夠感測(cè)的磁場(chǎng)的任何適當(dāng)?shù)母袦y(cè)元件。在一個(gè)方面，檢測(cè)構(gòu)件20203H可以被配置為產(chǎn)生可用于提供與相關(guān)聯(lián)的相位角，例如一個(gè)正弦信號(hào)，鐵磁軌道20202的增量（和/或絕對(duì)）位置。在另一方面，參照?qǐng)D21A和圖21B的檢測(cè)部件可以是差分的GMR傳感件（例如梯度計(jì)），其被配置為感測(cè)在空間中的兩個(gè)位置之間的梯度場(chǎng)。如前面提到的磁感測(cè)系統(tǒng)可以是梯度儀。在梯度儀配置中，每個(gè)感測(cè)元件的模擬輸出信號(hào)可以是正比于在空間中的兩個(gè)點(diǎn)之間的磁場(chǎng)梯度。圖21A示出了一個(gè)代表性的梯度儀檢測(cè)部件20203H'包括磁阻元件的MRE可布置成形成，例如惠斯通電橋可能影響一個(gè)差分編碼的信道。如可以實(shí)現(xiàn)的，該MRE的（例如R1-R4）的梯度計(jì)感測(cè)元件上的裝置可以是在編碼器軌道和磁性源上的編碼功能特性。圖21B示出的示例性梯度儀按照包括磁電阻元件MRE布置成提供兩個(gè)差分信號(hào)（例如正弦/余弦）和更高分辨率的編碼器信號(hào)所公開(kāi)的實(shí)施方案的另一方面?zhèn)鞲屑?0203H''。磁道間距P（圖20D），并在磁電阻元件的MRE上檢測(cè)構(gòu)件20203H、20203H'、20203H'的位置可以被匹配，使得不同的正弦和余弦輸出從各傳感件20203H、20203H'、20203H'獲得。

在這方面，印刷電路板20310可包括三個(gè)傳感件20503H1、20503H2、20503H3（每一個(gè)都能夠提供兩個(gè)差分信號(hào)），用于從一個(gè)鐵磁軌道20202獲得位置信號(hào)（參見(jiàn)例如圖20C和21C），其具有三個(gè)尺度20202S。在一個(gè)方面，感測(cè)構(gòu)件20503H1、20503H2、20503H3（以及本文描述的其他傳感器）可以被不可移動(dòng)地固定到電路板上。在其他方面，感測(cè)構(gòu)件（以及本文描述的其他傳感器）可以可移動(dòng)地安裝到所述電路板，使得所述感測(cè)部件可以相對(duì)于被調(diào)整到它們各自的軌道20202秤20202S。參照?qǐng)D20C和21C-21E，在一個(gè)方面，鱗20202S可以表示包括主刻度20202S1，一個(gè)游標(biāo)刻度202S2和段規(guī)模20202S3但在其它方面，鐵磁軌道可以包括任何合適的一個(gè)3級(jí)游標(biāo)圖案具有任何合適的相對(duì)于彼此的位置關(guān)系尺度的數(shù)目。這里，每個(gè)比例202102S可以包括各自的相等間隔圖案（例如每刻度圖案可以具有各自的間距P1、P2、P3）的鐵磁特性20202SE（例如槽、突起等）。對(duì)于每個(gè)尺度20202S，可以存在被配置成提供模擬信號(hào)輸出基本上模擬，例如，正弦和余弦波的專用感測(cè)構(gòu)件20503H1-20503H3。在一個(gè)方面，一個(gè)或多個(gè)傳感件20503H1-20503H3的可布置在任何合適的角度α1，相對(duì)于另一個(gè)傳感件20503H1-20503H3和/或一個(gè)相應(yīng)的軌道20202S1-20202S3的α2。在其他方面，傳感件20503H1-20503H3可具有任何相對(duì)于彼此和/或各個(gè)軌跡20202S1-20202S3適當(dāng)位置關(guān)系。如可以實(shí)現(xiàn)的，鐵磁特征20202SE的各刻度周期和數(shù)量可以為一個(gè)軌道的設(shè)計(jì)，可用于通過(guò)使用任何適當(dāng)?shù)挠螛?biāo)插值方法來(lái)解碼所述磁道的絕對(duì)位置。

如上所述，參照?qǐng)D22A和22B，在此描述可以基本上類(lèi)似于先前以引用方式并入本文的美國(guó)專利8,283,813所描述的基于磁阻傳感系統(tǒng)的位置反饋系統(tǒng)。例如，圖22A示出了基于磁阻傳感系統(tǒng)的操作的示例性原理。如從圖22A中可以看出的讀出頭，如讀出磁頭207（另一讀取頭，在此描述可基本上類(lèi)似于），位于，例如，在大氣環(huán)境可以包括一個(gè)磁源2205和一個(gè)感測(cè)元件2206通過(guò)背趁2209連接。磁源2205可以產(chǎn)生一個(gè)磁通量2207穿過(guò)隔離壁103中傳播，并通過(guò)持續(xù)到傳感元件2206，例如，軌209。磁路可以通過(guò)背襯2209來(lái)關(guān)閉。磁通2207的大小可以由距離2208源2205和鐵磁元件之間的影響或軌道209，并且通過(guò)感測(cè)元件2206測(cè)量。傳感元件2206可以包括一個(gè)或多個(gè)磁通傳感器，其可進(jìn)行操作的基礎(chǔ)上，例如，霍爾效應(yīng)原理，磁阻原理或適于感測(cè)磁通量2207的量值的任何其它合適的原則。

在一個(gè)方面，一個(gè)或多個(gè)讀取頭可被用來(lái)與每個(gè)絕對(duì)和/或增量軌跡209、210（參見(jiàn)例如圖2B）交互以提供的機(jī)器人驅(qū)動(dòng)的轉(zhuǎn)子的絕對(duì)位置粗略測(cè)量和/或機(jī)器人驅(qū)動(dòng)的轉(zhuǎn)子的高分辨率位置。還參照?qǐng)D22B，增量感測(cè)系統(tǒng)2250被示出，被用于任何讀出磁頭208和增量軌道210可以使用的。在這方面的增量感測(cè)系統(tǒng)2250包括兩個(gè)讀取頭2211、2212可以是基本上類(lèi)似于讀取上述頭207。在其他方面，可以使用任何合適數(shù)量的讀取頭。讀取頭2211，2212可以通過(guò)隔離壁103與增量式的軌210相互作用。增量軌道210可包括多個(gè)周期性特征2210具有任意合適的尺寸和形狀，以影響逐漸打開(kāi)和相關(guān)的讀磁頭2211、2212磁路作為軌道210的相對(duì)角位置的函數(shù)的每個(gè)讀頭2211、2212。在一個(gè)方面，軌道210可以基本上直接摻入移動(dòng)部件（如轉(zhuǎn)子），或者在其它方面中，以其他方式固定到移動(dòng)元件以任何合適的方式作為專用編碼器盤(pán)。由讀出磁頭2211產(chǎn)生的信號(hào)2212可以是相移，并且可以以任何合適的方式通過(guò)任何合適的控制器進(jìn)行處理，如控制器190，以確定對(duì)應(yīng)于一個(gè)周期的范圍內(nèi)的增量軌跡210的位置增量軌跡210的周期性特征2102。

如可以實(shí)現(xiàn)的，除了例如實(shí)時(shí)的（其中，實(shí)時(shí)指操作期限從事件到系統(tǒng)響應(yīng)）的增量位置測(cè)量能力，本文所述的位置反饋系統(tǒng)可以包括額外的裝置（見(jiàn)讀出磁頭207和追蹤209）為絕對(duì)位置檢測(cè)，它允許位置反饋系統(tǒng)（其可以包括控制器190或任何其它合適的控制器）來(lái)唯一地標(biāo)識(shí)的增量軌道210與該讀出頭在任何給定的相互作用的扇區(qū)時(shí)間點(diǎn)。此絕對(duì)位置檢測(cè)可以在機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器的啟動(dòng)，用于和/或根據(jù)需要在機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器的操作過(guò)程中的位置測(cè)量的周期性驗(yàn)證中使用。在一個(gè)方面，參照?qǐng)D23A和23B，絕對(duì)軌跡209可以包括由一個(gè)或多個(gè)讀出頭207檢測(cè)到的非均勻扇區(qū)圖案（其可包括灰類(lèi)型圖案，使得一個(gè)傳感器一次改變狀態(tài)），其中每個(gè)傳感器可以表示絕對(duì)位置字的一個(gè)位。在此方面，在圖23A所示的絕對(duì)位置軌道可以提供5位的絕對(duì)位置分辨率，但在其它方面中，可以提供任何合適的位置分辨率，其包括多于或少于5位。在相對(duì)應(yīng)的5位模式，形成通過(guò)的讀取狀態(tài)頭（在中此示例有五個(gè)讀取頭，但在其他方面，任何合適數(shù)量的讀取頭可以提供）作為軌道209旋轉(zhuǎn)說(shuō)明在圖23B中。

如上所述，在其中機(jī)器人驅(qū)動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)部件位于環(huán)境從在其中機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器的靜止部件所在的環(huán)境隔離。這種隔離是通過(guò)使用非磁性隔離壁103或“罐形密封件”。值得注意的是，在隔離壁加，例如厚度，跳動(dòng)公差可能對(duì)最小空氣間隙的轉(zhuǎn)子和定子之間實(shí)現(xiàn)約束。另外，為了提高電動(dòng)機(jī)效率的轉(zhuǎn)子和定子之間的空氣間隙應(yīng)該被最小化，但是，其中隔離壁是在轉(zhuǎn)子和定子之間使用（例如，如在真空環(huán)境中的大氣環(huán)境隔開(kāi)）上相對(duì)側(cè)的壓力差隔離壁的可施加的隔離壁的最小厚度。值得注意的是，上述的隔離壁103被集成到機(jī)器人驅(qū)動(dòng)的殼體（例如，定子殼體）然而，在公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)方面，隔離壁2403（參見(jiàn)圖24A和圖24B）可整體地形成或與定子否則集成（例如，從驅(qū)動(dòng)器外殼分離），以使定子結(jié)構(gòu)上支撐所述隔離壁。

如從圖24A可以看出，定子206包括驅(qū)動(dòng)線圈206C和被安裝（例如，在大氣環(huán)境或其它合適的環(huán)境中），例如，以任何合適的方式在定子/驅(qū)動(dòng)殼體2405。定子/驅(qū)動(dòng)殼體可以具有針對(duì)壓縮密封件的任何合適的特征或互鎖接合的壓縮構(gòu)件和偏置使得密封構(gòu)件保持就位裝配和壓縮密封件的內(nèi)部和外部之間隔離不同壓力傳動(dòng)箱。在壓力差可能造成一個(gè)隔離壁和/或外殼壓縮部件壓縮合適密封件密封該驅(qū)動(dòng)器殼體的內(nèi)部環(huán)境。定子結(jié)構(gòu)可便于密封件壓縮和密封如本文所述（參見(jiàn)例如圖24A）。轉(zhuǎn)子101被安裝在與例如大氣環(huán)境隔離的例如真空或其他合適的環(huán)境內(nèi)。這里，隔離壁2403可以是安裝到或與定子206的磁極或核心否則重合的薄膜，使得定子基本上支持隔離壁。在一個(gè)方面，隔離壁2403可以在結(jié)構(gòu)上結(jié)合例如，內(nèi)徑（或任何其它合適的部分）使用任何合適的粘合劑，以使隔離壁2403與（例如集成在任何合適的方式在定子形成一個(gè)單一的結(jié)構(gòu)或裝配用）的定子206和/或從定子206依賴。在另一個(gè)方面，隔離壁2403可以是形成或以其他方式固定到定子206的磁極或核心上的涂層。在這方面隔離壁2403可以延伸到定子206之外，以與定子/驅(qū)動(dòng)器殼體2405接口。如可以實(shí)現(xiàn)的，任何合適的密封構(gòu)件2404可在隔離壁2403和定子/驅(qū)動(dòng)殼體2405之間的接口來(lái)提供。如從圖24A可以看出，隔離壁2403可能不支持比真空和大氣環(huán)境之間的壓力差負(fù)荷之外的任何附加的結(jié)構(gòu)性載荷（即，壓力差裝載在隔離壁和定子之間共享）。圖24B示出了隔離壁2403'，其中隔離壁是與定子206進(jìn)一步集成的另一個(gè)例子。這里，隔離壁2403'可以是基本上類(lèi)似于隔離壁2403，然而，在這方面的隔離壁2403'可以基本上符合于（例如環(huán)繞或其他承擔(dān)的形狀）的部分，通過(guò)所述至少部分地延伸的定子206定子/驅(qū)動(dòng)室2405。在該方面，隔離壁2403'由定子206大致處處支持與其中轉(zhuǎn)子位于所述環(huán)境（例如真空環(huán)境）隔離壁的接口。這里，密封件2404可以位于比上述關(guān)于圖24A用于密封隔離壁2403'和定子/驅(qū)動(dòng)殼體2405之間的界面處的分離的環(huán)境隔離不同的平面。在其他方面，密封構(gòu)件可以被包括在定子到隔離壁中或能夠接口。例如，密封構(gòu)件可以位于隔離壁中或隔離壁上。

現(xiàn)在參照?qǐng)D25A和圖25B，示出了根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)方面的密封的驅(qū)動(dòng)器或促動(dòng)器2500。轉(zhuǎn)子2501可以是基本上類(lèi)似于上面所描述，并且可以在隔離環(huán)境內(nèi)完全定位。鐵磁定子2502可以是基本上類(lèi)似于上面所描述，并且可以包括一組線圈單元2503，凸極2505，兩個(gè)鐵磁板2505a和2505b（例如定子板），并設(shè)置在線圈2503被安裝鐵磁線圈芯2506的或傷口。非磁性隔離壁2508可附連到頂部和底部定子板2505a和2505b（以形成定子/隔離壁組件）以任何合適的方式，如與例如安裝螺釘2511，使得定子板延伸超出隔離壁進(jìn)入密封或以其他方式隔離的環(huán)境，并使得在線圈2506被從密封環(huán)境隔離。頂部和底部的密封構(gòu)件2509a和2509b，其可以是任何合適的密封件，如O形環(huán)，可沿沿隔離壁2508的頂面和底面的槽或其他凹部放置。頂部和底部定子板2505a和2505b可以具有特征2507a和2507b，其允許額外的定子/隔離壁組件可以一個(gè)疊在另一個(gè)的上面，如將在下面更詳細(xì)地描述。在這個(gè)方面，可能是線圈的任何適當(dāng)數(shù)量（8個(gè)線圈示為示例性的目的），它可以在對(duì)接線，使得在每對(duì)線圈直徑彼此相對(duì)的形成，例如，一個(gè)4相電機(jī)。在其他方面，電機(jī)可以具有任何合適數(shù)量的相。在圖25A所示的轉(zhuǎn)子極2504可以由任何適合的鐵磁材料制成，并且所得到的轉(zhuǎn)子/定子對(duì)可形成可變或開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)。在其它方面，本文所述的隔離壁的配置可能在無(wú)刷直流電動(dòng)機(jī)用永久磁鐵轉(zhuǎn)子磁極或者其中電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)部分從電機(jī)的靜止部分中分離的任何其他合適的電機(jī)一起使用。在該方面，磁通路徑2512表示為沿軸向方向，這可以降低渦流損耗。在其它方面，如將在下面描述的，通量可以沿徑向流動(dòng)。如可在圖25A和25B中可以看出，定子板2505a、2505b延伸超出隔離壁2508進(jìn)入密封環(huán)境，使轉(zhuǎn)子極2504和定子磁極2505之間的氣隙2510不被任何隔離壁約束（例如接口是一個(gè)基本上無(wú)干擾接口和有基本上與磁通量路徑?jīng)]有阻力在定子磁極和轉(zhuǎn)子磁極之間的接口），它可以小的部分之間的機(jī)械公差允許。其結(jié)果是，在圖中所示的電動(dòng)機(jī)結(jié)構(gòu)。圖25A和25B可以具有比其與設(shè)置在定子和轉(zhuǎn)子之間的空氣間隙2510的隔離壁對(duì)應(yīng)較高的扭矩容量。如可以實(shí)現(xiàn)的，可以通過(guò)使用位置反饋和各自的轉(zhuǎn)子/定子設(shè)計(jì)的扭矩 - 電流 - 位置曲線激勵(lì)適當(dāng)?shù)南?，以便固有開(kāi)關(guān)磁阻電機(jī)的轉(zhuǎn)矩脈動(dòng)中被最小化而產(chǎn)生的轉(zhuǎn)子2501的扭矩任何合適的方式。

現(xiàn)在參照?qǐng)D25C，兩軸密封機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器是按照使用例如公開(kāi)的實(shí)施例的各方面示出，相對(duì)于圖25A和25B上述定子/隔離壁模塊。再次，如上所述，電機(jī)的所有運(yùn)動(dòng)部分位于所述分離的環(huán)境內(nèi)。在該方面，驅(qū)動(dòng)器包括底板2514，其導(dǎo)引或以其他方式支持中心固定軸2515。內(nèi)傳動(dòng)軸2517a可以被安裝在任何合適的方式在軸2515如與軸承2516a和2522A允許固定軸2515的相對(duì)內(nèi)軸2517a的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。轉(zhuǎn)子2513c可以剛性地連接到內(nèi)軸2517a和通過(guò)，例如，電磁力由定子2513a沿旋轉(zhuǎn)方向推進(jìn)。如可以實(shí)現(xiàn)的，所述定子2513a和轉(zhuǎn)子2513c對(duì)形成產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)扭矩于內(nèi)軸2517a的電動(dòng)機(jī)。外驅(qū)動(dòng)軸2517b可以以任何合適的方式例如通過(guò)軸承2516b和2522b被安裝到內(nèi)驅(qū)動(dòng)軸2517a，例如以提供相對(duì)旋轉(zhuǎn)在軸2517a、2517b之間。外軸2517b可以以如上所述類(lèi)似的方式被推進(jìn)，使得定子2513b和轉(zhuǎn)子2513d形成第二電機(jī)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)扭矩，以旋轉(zhuǎn)外軸2517b。位置反饋傳感器用于內(nèi)和外軸2517a、2517b，這可以基本上相似于上文所述，/定位跟蹤的每個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)。這里，位置反饋系統(tǒng)被示出為光學(xué)反饋系統(tǒng)，但在其它方面中，如上所述，使位置反饋系統(tǒng)，沒(méi)有任何進(jìn)料穿通或視口操作反饋系統(tǒng)可以是基于磁阻反饋系統(tǒng)。這里，位置反饋系統(tǒng)可以包括固定于任何合適的方式將內(nèi)軸2517a如與緊固件2519A的編碼器盤(pán)2518a。讀出頭2525A（包括發(fā)射器2523a和接收器2524a），其信號(hào)通過(guò)隔離壁/定子殼體2520A以任何合適的方式路由至隔離環(huán)境的外部。外軸位置反饋操作類(lèi)似于上述的內(nèi)軸，并且可以包括讀頭2525b包括發(fā)射器2523b和接收器2524b，和編碼器盤(pán)2518b（固定到外軸2517b）。定子2513a和2513b可以被分別安裝到隔離壁/定子殼體2520A和2520B。經(jīng)由凹入特征（或等效接口）和任何合適的靜態(tài)密封元件或構(gòu)件各定子的每個(gè)隔離壁/定子殼體接口，如O形環(huán)。頂部法蘭2521和底板2514還相應(yīng)地以類(lèi)似的方式與定子2513b和隔離墻/定子外殼2520A接口。內(nèi)軸2517a和外軸2517b構(gòu)成雙度位于所述分離的環(huán)境內(nèi)，可以用來(lái)驅(qū)動(dòng)2連桿操縱器（例如，機(jī)械臂）自由體系。如可以實(shí)現(xiàn)的，附加的電機(jī)可以被堆疊以形成具有自由度的任何適當(dāng)數(shù)量的驅(qū)動(dòng)器。需要注意的是，轉(zhuǎn)子和定子鐵磁磁極之間沒(méi)有隔離壁（例如，定子板2505a、2505b之外的隔離壁2508延伸到隔離的環(huán)境），從而允許更好的扭矩容量比傳統(tǒng)的“罐形密封件”選項(xiàng)，其中隔離壁被布置在定子和轉(zhuǎn)子之間。

現(xiàn)在參照?qǐng)D26A和圖26B，示出了根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的密封的驅(qū)動(dòng)器2600。驅(qū)動(dòng)器2600可以是基本上類(lèi)似于驅(qū)動(dòng)上述2500，除非另有說(shuō)明。在這方面，定子2606的線圈2603與線圈2506安裝在不同的方向。然而，磁通路徑2612，使驅(qū)動(dòng)器2500，2600進(jìn)行操作使用類(lèi)似的原理是基本上類(lèi)似于磁路2512。

參照?qǐng)D27A和圖27B，示出了根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的密封的驅(qū)動(dòng)器2700。驅(qū)動(dòng)器2600可以是基本上類(lèi)似于驅(qū)動(dòng)上述2500，除非另有說(shuō)明。在這方面，線圈2703a和定子2706的2703b可以被安裝在徑向和軸向取向。然而，所得到的磁通路徑2712是基本上類(lèi)似于磁通路徑2512。

現(xiàn)在參照?qǐng)D28A-28C圖，示出了根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的多個(gè)方面的密封的機(jī)器人驅(qū)動(dòng)器2800。驅(qū)動(dòng)器2800可以是基本上類(lèi)似于驅(qū)動(dòng)上述2500，除非另有說(shuō)明。在這個(gè)方面，線圈單元2503可以是可拆卸地安裝基本上直接在隔離壁/定子外殼2520'從而使驅(qū)動(dòng)電機(jī)零件的數(shù)量減少，以允許不同的轉(zhuǎn)子直徑的可擴(kuò)展性上（例如，線圈單元2503形式定子模塊可固定到具有形式的任何合適的直徑對(duì)應(yīng)于所述殼體直徑的具有定子直徑）外殼。如可以實(shí)現(xiàn)的，合適的靜態(tài)密封件2809可布置之間，例如，在每個(gè)定子板2505a，2505b和隔離壁/定子殼體2520'的法蘭。在該方面，磁通2812的方向可以基本上類(lèi)似于上述磁通量2512的方向。還參照?qǐng)D28D，兩軸密封驅(qū)動(dòng)組件包括堆疊的驅(qū)動(dòng)器2500被示出。圖28D的驅(qū)動(dòng)組件可以基本上類(lèi)似于在圖25C所示的，除非另有說(shuō)明。這里，隔離壁/定子殼體2520'可以利用為每個(gè)定子2513a一個(gè)共同的安裝結(jié)構(gòu)'和2513b'。值得注意的是，在隔離壁/定子殼體2520'也可被用作一個(gè)殼體支持的驅(qū)動(dòng)器的任何合適的固定構(gòu)件，諸如，位置反饋裝置2523a、2524a、2525A和2523b、2524b、2525b。

如可以實(shí)現(xiàn)的，在定子磁極和轉(zhuǎn)子磁極可以被布置，使得位于磁極之間的氣隙是相對(duì)于徑向或軸向布置于轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)軸線。例如，在圖24A-28B的定子磁極和轉(zhuǎn)子磁極的布置是這樣的空氣間隙軸向布置（例如，使得存在通過(guò)定子和轉(zhuǎn)子磁極之間的氣隙磁通的徑向流）。在其它方面中，參照?qǐng)D28E，28F和28G的定子和轉(zhuǎn)子可以被設(shè)置，使得定子和轉(zhuǎn)子磁極之間的氣隙是徑向布置（例如，使得存在通過(guò)之間的氣隙磁通2898的軸向流定子和轉(zhuǎn)子極）。例如，參照?qǐng)D28E和28F，定子線圈單元2503可大致類(lèi)似于上文關(guān)于描述在，例如，如本文所述圖25A-28D或任何其它合適的線圈單元。線圈單元2503的尺寸可以使得轉(zhuǎn)子極2504在定子板2505a、2505b之間和/或定子的擴(kuò)展（其將在下面描述），以使定子板/擴(kuò)展軸向重疊轉(zhuǎn)子極，以形成間基本上設(shè)置徑向空氣間隙2899。在一個(gè)方面，隔離壁/密封2403'可以是基本上類(lèi)似于密封2403，其中定子板2505a、2505b不穿過(guò)定子殼體2405延伸。在其他方面，隔離壁可基本上類(lèi)似于上述其中定子板穿過(guò)定子殼體/隔離壁延伸所述隔離壁2508和/或2520'。還參照?qǐng)D28H和圖28I，轉(zhuǎn)子磁極可具有任何合適的形狀為從定子磁極接收的通量。在這方面，轉(zhuǎn)子極2504'可以是大致的“C”或槽形，使得轉(zhuǎn)子磁極具有轉(zhuǎn)子磁極芯2504C'及轉(zhuǎn)子磁極板2504P'延伸/從轉(zhuǎn)子磁極鐵心2504C根據(jù)'，使得轉(zhuǎn)子磁極板2504P'基本上與定子板2505a、2505b中相應(yīng)的一個(gè)，對(duì)準(zhǔn)。這里，有通過(guò)定子板2505a、2505b和轉(zhuǎn)子極板2504P之間的氣隙2899'，但在其他方面，轉(zhuǎn)子磁極鐵心和轉(zhuǎn)子極片可以被布置成提供通過(guò)空氣軸向磁通流動(dòng)的徑向磁通流間隙中基本上類(lèi)似于上文描述的方式。

雖然上述公開(kāi)的實(shí)施例的各方面有沿軸線方向（縱向或垂直）應(yīng)當(dāng)理解，所公開(kāi)的實(shí)施例的各方面并不由焊劑的方向所限定的磁路，使得任一軸向或徑向機(jī)器可以被利用。例如，圖29A-29C示出了根據(jù)公開(kāi)的實(shí)施例的各方面的密封驅(qū)動(dòng)2900的徑向通量。在這方面，定子2902包括鐵磁性定子芯2902C，其具有定子磁極2902P、2902P’，所述定子磁極2902P、2902P’在每個(gè)定子磁極處包括線圈2903。每個(gè)定子磁極2902P，2902P'可以包括各自的定子極延伸2902E，2902E'與接口和延伸超出在基本上類(lèi)似于以上描述的方式在隔離壁/定子殼體2520'。在一個(gè)方面，定子極延伸2902E可以是從各定子磁極2902P移除。每個(gè)定子磁極延伸2902E可安裝到任何合適的方式在隔離壁/定子殼體2520'，例如用緊固件2511，使得每個(gè)定子磁極延伸2902E與定子2902的相應(yīng)磁極2902P對(duì)準(zhǔn)。每個(gè)定子磁極延伸2902E可以與各自的定子極2902P使得存在大致與磁路沒(méi)有阻力在定子極擴(kuò)展和相應(yīng)的之間的界面基本接觸和/或緊密接觸（例如，以最小的間隙）定子磁極。在其他方面，定子極擴(kuò)展可以集成到（例如，整體的單件結(jié)構(gòu)與）各自的定子磁極。在這方面，僅用于示例性目的，定子包括具有線圈a、a’、b、b’、c、c’、d和d’的一組8個(gè)定子模塊2902，但是在其它方面中，定子可以包括任何合適數(shù)量的具有線圈的任何適當(dāng)數(shù)量的定子模塊。這里，每個(gè)直徑上相對(duì)的線圈對(duì)可以以任何合適的方式連接，例如，串聯(lián)以形成一個(gè)四相機(jī)。在其他方面，可以提供任何合適數(shù)量的相。在該方面，磁通路徑2912沿徑向方向指示時(shí)相的a-a'被激勵(lì)。如從圖29A中可以看出，磁通2912從定子磁極2902P流動(dòng)，沿桿延伸2902E，穿過(guò)氣隙2510到達(dá)轉(zhuǎn)子磁極2504A，沿轉(zhuǎn)子圓周移動(dòng)，到達(dá)徑向相對(duì)轉(zhuǎn)子磁極2504b中極延伸2902E'和定子磁極2902P“。磁通是由一組沿定子鐵磁芯2902C返回路徑“封閉”。在一個(gè)方面，定子2902可以由任何合適的層壓鐵磁薄片的堆疊制成。

參照?qǐng)D30A和圖30B，在所公開(kāi)的實(shí)施例的另一方面，它基本上類(lèi)似于相對(duì)于圖29A-29C如上所述，線圈2903可以與定子極擴(kuò)展3002E集成。在這方面，定子芯2902C可包括可預(yù)先組裝（例如對(duì)準(zhǔn)并焊接或以任何合適的方式可以是基本上類(lèi)似于相對(duì)于該轉(zhuǎn)子疊層上述貼）一個(gè)疊片。在其他方面，定子芯可以是任何合適的方式形成的固體鐵磁芯。

圖31示出了根據(jù)公開(kāi)的實(shí)施例的各方面的密封驅(qū)動(dòng)3100的徑向通量。在該方面，驅(qū)動(dòng)器包括一個(gè)分段的定子3102，但在其他方面基本上類(lèi)似于驅(qū)動(dòng)上述2900。在其他方面，定子極擴(kuò)展2902E可以基本上類(lèi)似于定子磁極延伸3002E帶整體線圈2903。在這方面，定子磁極2902P可能不能均勻地分布（例如具有不平坦的分布）圍繞定子3102的圓周。轉(zhuǎn)子極2504可以以這樣的方式即它們不是徑向相對(duì)與定子磁極2902P對(duì)齊（例如，它們是直徑相對(duì)的）彼此。此處，磁通路徑3112是是沿著轉(zhuǎn)子的平面上的徑向磁通路徑。

圖31圖示了根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的另一方面的密封的驅(qū)動(dòng)器3200。驅(qū)動(dòng)器3200可以是基本上類(lèi)似于驅(qū)動(dòng)上述3100，除非另有說(shuō)明。這里，每相a、b、c、d一個(gè)線圈2903'被供能，但在其它方面中每相一個(gè)以上的線圈可以被供能。這方面可以允許更大的線圈空間基本上不增加堆疊高度的定子2902的，例如，通過(guò)利用分段的定子元件的弧長(zhǎng)。在其它方面，例如線圈的位置，圖31和32可以被組合以最大化的線圈空間的利用率，如圖33所示。

在所公開(kāi)的實(shí)施例的另一方面，可以提供一個(gè)密封的驅(qū)動(dòng)器3400，其中所述隔離壁在結(jié)構(gòu)上支撐上，例如，通過(guò)任何合適的密封件的隔離壁的隔離環(huán)境側(cè)支承構(gòu)件。例如，參照?qǐng)D34的驅(qū)動(dòng)3400基本上類(lèi)似于上述關(guān)于圖25A-33中的驅(qū)動(dòng)器被示出，其中被利用定子極擴(kuò)展。在這方面，驅(qū)動(dòng)器3400包括密封殼體或隔離壁3451即干預(yù)或以其他方式設(shè)置在定子極3503P和定子極擴(kuò)展3503E之間。在這方面，任何合適的密封支撐構(gòu)件3450可以被布置在隔離的環(huán)境內(nèi)。密封支撐件3450可以由任何合適的材料制成，并具有任何合適的形狀。密封支承構(gòu)件3450可被構(gòu)造成容納一組鐵磁定子極擴(kuò)展3503E使得定子極擴(kuò)展3450E基本上與各自的定子磁極3503P對(duì)齊。在一個(gè)方面，定子極擴(kuò)展可以嵌入或集成到（例如形成一單件整體構(gòu)件用）的密封支承件。在其他方面，定子磁極延伸件可以可拆卸地安裝于或到密封支撐構(gòu)件。值得注意的是，所述定子極擴(kuò)展位于所述分離的環(huán)境內(nèi)，并且從各自的定子磁極由隔離壁3451是一種超薄可密封（其位于大氣環(huán)境）分隔。

在一個(gè)方面，一個(gè)或多個(gè)超薄可密封或隔離壁3451可設(shè)置圍繞密封支承構(gòu)件3450，使得隔離壁之間設(shè)置，并從分離定子磁極延伸部的外周的各個(gè)定子磁極（例如，隔離壁3451貫通定子）。如何認(rèn)識(shí)到的，在那里可以是沒(méi)有運(yùn)動(dòng)在之間定子磁極延伸部和它們的相應(yīng)的定子磁極，以及沒(méi)有運(yùn)動(dòng)在之間隔離壁和定子。在一個(gè)方面，隔離壁3451可以是任何適當(dāng)材料的一個(gè)或多個(gè)非磁性圓筒套筒諸如不銹鋼或能夠在提供密封的任何其它合適的材料，例如，在真空或其他隔離的環(huán)境。在其他方面，隔離壁可通過(guò)施加涂層或其它膜的密封支承件/定子磁極延伸組件來(lái)形成。此處，非磁性套筒可提供用于每個(gè)定子磁極為在驅(qū)動(dòng)器3400的相應(yīng)的電機(jī)的密封。例如，磁性套筒可在密封支撐件，它與各自的電動(dòng)機(jī)的定子極重合的水平外接密封支承部件的外周，使得屬于普通電機(jī)定子磁極也共享一個(gè)共同的隔離壁。當(dāng)驅(qū)動(dòng)3400包括多于一個(gè)電機(jī)，例如在堆疊布置，隔離壁可設(shè)置用于每一個(gè)電機(jī)，使得所述隔離壁形成，其設(shè)置一個(gè)在另一個(gè)上面的密封件的支承構(gòu)件的外周帶下面將描述。在其他方面，隔離壁可以是共同的驅(qū)動(dòng)組件的兩個(gè)或更多個(gè)電機(jī)。在再其他方面，隔離壁可以是分段壁，其中每個(gè)定子極可以具有一個(gè)相應(yīng)的隔離壁部分（例如設(shè)置在密封支撐件上），它是從其它定子極的隔離壁是不同的。

隔離壁3451可以是超薄的厚度為約30μm而在其它方面的隔離壁3451的厚度可大于或小于30微米。如上所述，隔離壁3451被設(shè)置圍繞密封件的外周支承件3450其中在結(jié)構(gòu)上支撐所述隔離壁3451作為壓力中的孤立的環(huán)境從一個(gè)大氣壓出發(fā)。例如，當(dāng)壓力差建立在例如在隔離環(huán)境內(nèi)真空壓力和在隔離環(huán)境外的大氣壓力之間，隔離壁3451被通過(guò)壓力差推靠密封件支撐構(gòu)件3450，使得所述密封件支撐構(gòu)件3450和定子磁極延伸部元件3503E基本上防止隔離壁3451崩潰。值得注意的是，雖然在定子和轉(zhuǎn)子之間的磁通朝向隔離壁（設(shè)置在定子磁極和定子磁極分機(jī)之間），以及在轉(zhuǎn)子/定子氣隙，凈損失由之間的小的間隙最小化定子和轉(zhuǎn)子以及隔離壁的可忽略的厚度。

參照?qǐng)D35，圖示了根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)方面的可疊置的電機(jī)模塊3400M。圖35圖示了驅(qū)動(dòng)器3400的剖視圖A-A。在一個(gè)方面，可堆疊電機(jī)模塊3400M可以包括定子極擴(kuò)展3503E容納在環(huán)形（或其他合適的形狀）密封支撐結(jié)構(gòu)3450'具有一個(gè)頂部3450T'和一個(gè)底部3450B'表面內(nèi)的陣列（注意的是，術(shù)語(yǔ)頂部和底部?jī)H用于和在其它方面中示范的目的的任何合適的空間術(shù)語(yǔ)可以被分配到表面上3450T'，3450B'）和隔離壁3451固定到密封支承表面。靜態(tài)密封件2509可以設(shè)置在每個(gè)表面3450T'、3450B'上，使得當(dāng)模塊3400M基本上堆疊的分離的環(huán)境和大氣環(huán)境之間不存在空氣流動(dòng)。隔離壁3451可以圍繞設(shè)置和'以任何適當(dāng)?shù)姆绞?，使得所述定子極延伸3503E和密封支承件3450之間的任何間隙'固定到密封支承構(gòu)件3450的外周被隔離壁覆蓋。靜態(tài)密封件3509'還可以設(shè)置在隔離壁3451和密封支承部件3450'之間，以提供隔離壁和密封支承件之間的密封。在這方面，定子3503可以位于圍繞電機(jī)模塊3400M和轉(zhuǎn)子3501可以被定位在電機(jī)模塊3400M內(nèi)以形成一個(gè)驅(qū)動(dòng)電機(jī)。在其他方面，電機(jī)模塊3400M還可以包括定子3503（其可固定到密封支撐構(gòu)件和/或以任何合適的方式將隔離壁。在再其他方面，轉(zhuǎn)子2501也可以包括在電機(jī)模塊3400M。

圖36示出的電機(jī)模塊3400M1、3400M2（其基本上類(lèi)似于電機(jī)模塊3400M）堆疊在另一個(gè)之上，以形成運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)的一個(gè)兩軸。如在圖36的每個(gè)模塊3400M1可以看出，3400M2包括各自的隔離壁3451，使得用于頻帶中的隔離壁布置成一個(gè)在另一個(gè)的上面沿密封支撐結(jié)構(gòu)3450'（的組合長(zhǎng)度可形成在密封支撐結(jié)構(gòu)3450）。這里，隔離壁3451和相應(yīng)的密封支撐件3450之間的靜態(tài)密封件3509'的數(shù)目是依賴于驅(qū)動(dòng)軸的數(shù)量。在另一方面，如圖37中，靜密封件的數(shù)量可以是獨(dú)立驅(qū)動(dòng)的軸的數(shù)量。例如，圖37示出了運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)基本上類(lèi)似于圖36所示的堆疊兩個(gè)軸。然而，這里的整體或一體的隔離壁3451'（例如，一個(gè)連續(xù)的密封外殼）設(shè)置在密封件的支撐部件3450的外周'，使得堆疊的密封支撐件3450共享共同的隔離壁3451'和共用隔離壁3451'在一個(gè)或多個(gè)電機(jī)延伸。在該方面它還應(yīng)注意，隔離壁也提供了用于密封堆疊密封支承件之間的界面，以使設(shè)置在密封支撐構(gòu)件之間的密封構(gòu)件3509也可以省略。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，提供了一種輸送設(shè)備。所述輸送設(shè)備包括殼體、安裝到所述殼體的驅(qū)動(dòng)器和連接到所述驅(qū)動(dòng)器的至少一個(gè)輸送臂。所述驅(qū)動(dòng)器包括：至少一個(gè)轉(zhuǎn)子，其具有導(dǎo)磁材料的至少一個(gè)凸極，并且設(shè)置在隔離環(huán)境中；至少一個(gè)定子，其具有至少一個(gè)凸極，并且設(shè)置在所述隔離環(huán)境外，所述至少一個(gè)凸極具有相對(duì)應(yīng)的線圈單元；其中，所述至少一個(gè)定子的所述至少一個(gè)凸極和所述轉(zhuǎn)子的所述至少一個(gè)凸極在所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子和所述至少一個(gè)定子之間形成閉合的磁通回路；以及至少一個(gè)密封件，其構(gòu)造成隔離所述隔離環(huán)境，其中，所述至少一個(gè)密封件與所述至少一個(gè)定子是一體的。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件包括安裝到所述至少一個(gè)定子的膜。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件取決于所述至少一個(gè)定子。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)定子在結(jié)構(gòu)上支撐所述至少一個(gè)密封件。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件遵循所述至少一個(gè)定子的形狀。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，其中，所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子和所述至少一個(gè)定子形成疊置的電機(jī)或在徑向上一個(gè)嵌套在另一個(gè)內(nèi)的電機(jī)。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述輸送設(shè)備還包括設(shè)置在所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子中的每一個(gè)上的至少一個(gè)基于磁阻的編碼器軌，以及配置成與所述至少一個(gè)基于磁阻的編碼器軌接口的至少一個(gè)基于磁阻的位置反饋傳感器。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子被耦接到用于驅(qū)動(dòng)所述至少一個(gè)輸送臂的同軸的驅(qū)動(dòng)軸布置結(jié)構(gòu)。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)定子為分段的定子。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述驅(qū)動(dòng)器被構(gòu)造為軸向磁通驅(qū)動(dòng)器或徑向磁通驅(qū)動(dòng)器。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子包括層狀的凸極。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)定子包括層狀的凸極。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子包括驅(qū)動(dòng)構(gòu)件接口，所述驅(qū)動(dòng)器還包括傳動(dòng)構(gòu)件，所述傳動(dòng)構(gòu)件在所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件接口處與所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子接口，使得驅(qū)動(dòng)構(gòu)件與所述層狀的凸極接口，并且將所述層狀的凸極固定到所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述層狀的凸極被固定到所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，使得所述層狀的凸極相對(duì)于所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件軸向布置。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述層狀的凸極被固定到所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，使得所述層狀的凸極相對(duì)于所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件徑向布置。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述驅(qū)動(dòng)器包括連接到所述殼體的z軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，提供了輸送設(shè)備。所述輸送設(shè)備包括殼體、安裝到所述殼體的驅(qū)動(dòng)器和連接到所述驅(qū)動(dòng)器的至少一個(gè)輸送臂。所述驅(qū)動(dòng)器包括：至少一個(gè)轉(zhuǎn)子，其具有導(dǎo)磁材料的至少一個(gè)凸極，并且位于隔離環(huán)境內(nèi)；至少一個(gè)定子，其具有凸出的定子磁極，并且位于所述隔離環(huán)境外，所述定子磁極具有相應(yīng)的線圈單元；至少一個(gè)凸出的定子磁極延伸部，其設(shè)置在所述隔離環(huán)境內(nèi)，并且與相應(yīng)的凸出的定子磁極對(duì)準(zhǔn)，使得所述至少一個(gè)凸出的定子磁極延伸部和所述轉(zhuǎn)子的所述至少一個(gè)凸極在所述至少一個(gè)定子和所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子之間形成閉合的磁通回路；以及至少一個(gè)密封件，其設(shè)置在每個(gè)定子磁極和相應(yīng)的凸出的定子磁極延伸部之間，其中，所述至少一個(gè)密封件被構(gòu)造成隔離所述隔離環(huán)境。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述驅(qū)動(dòng)器還包括密封件支撐構(gòu)件，所述密封件支撐構(gòu)件具有設(shè)置在所述隔離環(huán)境中的內(nèi)表面和背離所述隔離環(huán)境的外表面，其中，所述至少一個(gè)密封件被設(shè)置在所述外表面上或與之相鄰，并且密封件支撐表面被構(gòu)造成在結(jié)構(gòu)上支撐所述至少一個(gè)密封件。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述密封件支撐構(gòu)件被構(gòu)造成收容所述至少一個(gè)凸出的定子磁極延伸部。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)定子和所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子形成疊置的電機(jī)，并且所述至少一個(gè)密封件對(duì)于所述疊置的電機(jī)中的每一個(gè)而言是共同的。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)定子和所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子形成電機(jī)的堆疊，并且所述至少一個(gè)密封件包括用于每個(gè)電機(jī)的密封件，所述用于每個(gè)電機(jī)的密封件不同于在電機(jī)的所述堆疊中的其他電機(jī)的密封件。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)凸出的定子磁極延伸部和所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子被定位成使得所述至少一個(gè)凸出的定子磁極延伸部和所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子具有無(wú)障礙的接口。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，每個(gè)定子和相應(yīng)的轉(zhuǎn)子形成電機(jī)模塊，所述電機(jī)模塊構(gòu)造成與其他電機(jī)模塊疊置。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述驅(qū)動(dòng)器被構(gòu)造為軸向磁通驅(qū)動(dòng)器或徑向磁通驅(qū)動(dòng)器。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子包括層狀的凸極。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子包括驅(qū)動(dòng)構(gòu)件接口，所述驅(qū)動(dòng)器還包括傳動(dòng)構(gòu)件，所述傳動(dòng)構(gòu)件在所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件接口處與所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子接口，使得驅(qū)動(dòng)構(gòu)件與所述層狀的凸極接口，并且將所述層狀的凸極固定到所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述層狀的凸極被固定到所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，使得所述層狀的凸極相對(duì)于所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件軸向布置。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述層狀的凸極被固定到所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件，使得所述層狀的凸極相對(duì)于所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件徑向布置。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)定子包括層狀的凸極。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述驅(qū)動(dòng)器包括連接到所述殼體的z軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述輸送設(shè)備還包括設(shè)置在所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子中的每一個(gè)上的至少一個(gè)基于磁阻的編碼器軌，以及配置成與所述至少一個(gè)基于磁阻的編碼器軌接口的至少一個(gè)基于磁阻的位置反饋傳感器。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子被耦接到用于驅(qū)動(dòng)所述至少一個(gè)輸送臂的同軸的驅(qū)動(dòng)軸布置結(jié)構(gòu)。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，提供了一種輸送設(shè)備。所述輸送設(shè)備包括殼體、安裝到所述殼體的驅(qū)動(dòng)器和連接到所述驅(qū)動(dòng)器的至少一個(gè)輸送臂。所述驅(qū)動(dòng)器包括：至少一個(gè)轉(zhuǎn)子，其具有導(dǎo)磁材料的至少一個(gè)凸極；至少一個(gè)定子，其包括：定子芯；凸出的頂板；凸出的底板；以及線圈單元，其與每個(gè)凸出的頂板和底板對(duì)相關(guān)聯(lián)；其中，所述凸出的頂板和所述凸出的底板被連接到所述定子芯，并被所述定子芯隔開(kāi)，并且構(gòu)造成與所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子的所述至少一個(gè)凸極接口，以在所述至少一個(gè)定子和所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子之間形成閉合的磁通回路；以及隔離壁，其設(shè)置在所述頂板和所述底板之間，其中，所述隔離壁被構(gòu)造成將所述定子芯與所述至少一個(gè)輸送臂在其中操作的隔離環(huán)境隔離。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，每個(gè)轉(zhuǎn)子和相應(yīng)的定子被構(gòu)造為電機(jī)模塊，所述電機(jī)模塊被構(gòu)造成與其他電機(jī)模塊接口，以形成具有疊置的電機(jī)的驅(qū)動(dòng)器。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述驅(qū)動(dòng)器被構(gòu)造為軸向磁通驅(qū)動(dòng)器或徑向磁通驅(qū)動(dòng)器。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述驅(qū)動(dòng)器包括連接到所述殼體的z軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述輸送設(shè)備還包括設(shè)置在所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子中的每一個(gè)上的至少一個(gè)基于磁阻的編碼器軌，以及配置成與所述至少一個(gè)基于磁阻的編碼器軌接口的至少一個(gè)基于磁阻的位置反饋傳感器。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子被耦接到用于驅(qū)動(dòng)所述至少一個(gè)輸送臂的同軸的驅(qū)動(dòng)軸布置結(jié)構(gòu)。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，提供了一種輸送設(shè)備。所述輸送設(shè)備包括殼體、安裝到所述殼體的驅(qū)動(dòng)器和連接到所述驅(qū)動(dòng)器的至少一個(gè)輸送臂。所述驅(qū)動(dòng)器包括：至少一個(gè)層狀的轉(zhuǎn)子，其具有設(shè)置在隔離環(huán)境中的導(dǎo)磁材料的層狀的凸極，其中，所述至少一個(gè)層狀的轉(zhuǎn)子與所述隔離環(huán)境隔離。所述驅(qū)動(dòng)器還包括：至少一個(gè)定子，其具有至少一個(gè)凸極，所述至少一個(gè)凸極具有相應(yīng)的線圈單元，所述至少一個(gè)定子設(shè)置在所述隔離環(huán)境外，使得所述至少一個(gè)層狀的轉(zhuǎn)子的所述至少一個(gè)凸極和所述至少一個(gè)定子的凸極在所述至少一個(gè)定子和所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子之間形成閉合的磁通回路；以及至少一個(gè)密封件，其構(gòu)造成隔離所述隔離環(huán)境。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)層狀的轉(zhuǎn)子包括驅(qū)動(dòng)構(gòu)件接口，所述驅(qū)動(dòng)器還包括傳動(dòng)構(gòu)件，所述傳動(dòng)構(gòu)件在所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件接口處與所述至少一個(gè)轉(zhuǎn)子接口，使得所述驅(qū)動(dòng)構(gòu)件與所述層狀的凸極接口，并且將所述層狀的凸極固定到所述傳動(dòng)構(gòu)件。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述層狀的凸極被固定到所述傳動(dòng)構(gòu)件，使得所述層狀的凸極相對(duì)于所述傳動(dòng)構(gòu)件軸向布置。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述層狀的凸極被固定到所述傳動(dòng)構(gòu)件，使得所述層狀的凸極相對(duì)于所述傳動(dòng)構(gòu)件徑向布置。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)層狀的轉(zhuǎn)子被嵌入隔離物中，所述隔離物被構(gòu)造成使所述至少一個(gè)層狀的轉(zhuǎn)子與所述隔離環(huán)境隔離。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件與所述至少一個(gè)定子是一體的。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件包括安裝到所述至少一個(gè)定子的膜。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件取決于所述至少一個(gè)定子。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)定子在結(jié)構(gòu)上支撐所述至少一個(gè)密封件。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件遵循所述至少一個(gè)定子的形狀。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)定子包括定子芯、頂板和底板，其中，所述頂板和所述底板形成凸極，并且被連接到所述定子芯并被所述定子芯隔開(kāi)，且構(gòu)造成與所述至少一個(gè)層狀的轉(zhuǎn)子接口，并且所述至少一個(gè)密封件處于所述頂板和所述底板之間，并構(gòu)造成使所述定子芯與所述至少一個(gè)輸送臂在其中操作的隔離環(huán)境隔離。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述驅(qū)動(dòng)器還包括至少一個(gè)凸出的定子磁極延伸部，所述至少一個(gè)凸出的定子磁極延伸部設(shè)置在所述隔離環(huán)境內(nèi)，并且與所述定子的相應(yīng)的凸極對(duì)準(zhǔn)，其中，所述至少一個(gè)密封件被設(shè)置在所述定子的每個(gè)凸極和相應(yīng)的凸出的定子磁極延伸部之間。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述驅(qū)動(dòng)器還包括密封件支撐構(gòu)件，所述密封件支撐構(gòu)件具有設(shè)置在所述隔離環(huán)境中的內(nèi)表面和背離所述隔離環(huán)境的外表面，其中，所述至少一個(gè)密封件被設(shè)置在所述外表面上或與之相鄰，并且密封件支撐表面被構(gòu)造成在結(jié)構(gòu)上支撐所述至少一個(gè)密封件。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述密封件支撐構(gòu)件被構(gòu)造成收容所述至少一個(gè)凸出的定子磁極延伸部。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，提供了一種輸送設(shè)備。所述輸送設(shè)備包括殼體、安裝到所述殼體的驅(qū)動(dòng)器和連接到所述驅(qū)動(dòng)器的至少一個(gè)輸送臂。所述驅(qū)動(dòng)器包括：至少一個(gè)真空相容的層狀的轉(zhuǎn)子，其具有導(dǎo)磁材料的層狀的凸出的轉(zhuǎn)子磁極，并且被設(shè)置在隔離環(huán)境中，其中，所述至少一個(gè)真空相容的層狀的轉(zhuǎn)子包括鐵磁性層和非導(dǎo)電層的一組交替疊置的疊層。所述驅(qū)動(dòng)器還包括：至少一個(gè)定子，其具有至少一個(gè)凸出的定子磁極，所述至少一個(gè)凸出的定子磁極具有相應(yīng)的線圈單元，所述至少一個(gè)定子設(shè)置在所述隔離環(huán)境外，其中，每個(gè)層狀的凸出的轉(zhuǎn)子磁極，當(dāng)與所述至少一個(gè)凸出的轉(zhuǎn)子磁極接口時(shí)，在所述至少一個(gè)真空相容的層狀的轉(zhuǎn)子和所述至少一個(gè)定子之間形成閉合的磁通回路；以及至少一個(gè)密封件，其構(gòu)造成隔離所述隔離環(huán)境。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述驅(qū)動(dòng)器包括至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)軸和保持構(gòu)件，所述保持構(gòu)件構(gòu)造成將所述至少一個(gè)真空相容的層狀的轉(zhuǎn)子安裝到所述至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)軸，并且將所述交替疊置的疊層夾持在一起。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述交替疊置的疊層被結(jié)合在一起。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件與所述至少一個(gè)定子是一體的。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件包括安裝到所述至少一個(gè)定子的膜。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件取決于所述至少一個(gè)定子。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)定子在結(jié)構(gòu)上支撐所述至少一個(gè)密封件。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件遵循所述至少一個(gè)定子的形狀。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)定子包括定子芯、頂板和底板，其中，所述頂板和所述底板形成凸出的定子磁極，并且被連接到所述定子芯并被所述定子芯隔開(kāi)，且構(gòu)造成與所述至少一個(gè)真空相容的層狀的轉(zhuǎn)子接口，并且所述至少一個(gè)密封件處于所述頂板和所述底板之間，并構(gòu)造成使所述定子芯與所述至少一個(gè)輸送臂在其中操作的隔離環(huán)境隔離。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述驅(qū)動(dòng)器還包括至少一個(gè)凸出的定子磁極延伸部，所述至少一個(gè)凸出的定子磁極延伸部設(shè)置在所述隔離環(huán)境內(nèi)，并且與相應(yīng)的凸出的定子磁極對(duì)準(zhǔn)，其中，所述至少一個(gè)密封件被設(shè)置在每個(gè)凸出的定子磁極和相應(yīng)的凸出的定子磁極延伸部之間。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述驅(qū)動(dòng)器還包括密封件支撐構(gòu)件，所述密封件支撐構(gòu)件具有設(shè)置在所述隔離環(huán)境中的內(nèi)表面和背離所述隔離環(huán)境的外表面，其中，所述至少一個(gè)密封件被設(shè)置在所述外表面上或與之相鄰，并且密封件支撐表面被構(gòu)造成在結(jié)構(gòu)上支撐所述至少一個(gè)密封件。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述密封件支撐構(gòu)件被構(gòu)造成收容所述至少一個(gè)凸出的定子磁極延伸部。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件與所述至少一個(gè)定子的結(jié)構(gòu)一體化。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述至少一個(gè)密封件通過(guò)所述至少一個(gè)定子的結(jié)構(gòu)來(lái)支撐。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，一種可變磁阻電機(jī)組件包括：具有筒結(jié)構(gòu)的外殼；安裝在所述筒結(jié)構(gòu)內(nèi)的定子；以及安裝在所述筒結(jié)構(gòu)內(nèi)并且與所述定子接口的轉(zhuǎn)子，其中，所述外殼包括共同的基準(zhǔn)，所述共同的基準(zhǔn)形成定子接口表面，所述定子接口表面構(gòu)造成支撐所述定子，并且相對(duì)于彼此定位所述定子和所述轉(zhuǎn)子，以便在所述定子和所述轉(zhuǎn)子之間實(shí)現(xiàn)預(yù)定的間隙。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述可變磁阻電機(jī)組件還包括隔離壁2403，所述隔離壁2403通過(guò)所述定子支撐，使得所述隔離壁相對(duì)于所述共同的基準(zhǔn)和所述轉(zhuǎn)子位于預(yù)定的位置。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述可變磁阻電機(jī)組件還包括連接到所述轉(zhuǎn)子的軌道傳感器和相對(duì)于所述共同的基準(zhǔn)在預(yù)定的位置安裝到所述外殼的傳感器，使得在所述傳感器和所述軌道傳感器之間實(shí)現(xiàn)預(yù)定的間隙，其中，所述定子、轉(zhuǎn)子、傳感器和軌道傳感器相對(duì)于并且取決于所述共同的基準(zhǔn)來(lái)定位。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述外殼為形成筒結(jié)構(gòu)的整體構(gòu)件，并且槽形成到所述整體構(gòu)件中用于傳感器、控制板和驅(qū)動(dòng)器連接器中的一個(gè)或多個(gè)。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述外殼為一體化組件，其通過(guò)連接到彼此的兩個(gè)或更多個(gè)箍構(gòu)件形成，以形成所述筒結(jié)構(gòu)。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，可變磁阻電機(jī)的外殼包括外表面、內(nèi)表面，其中，所述外表面和所述內(nèi)表面形成筒結(jié)構(gòu)，所述內(nèi)表面包括共同的基準(zhǔn)，所述共同的基準(zhǔn)形成定子接口表面，所述定子接口表面構(gòu)造成支撐定子并且相對(duì)于彼此將定子和轉(zhuǎn)子定位在外殼內(nèi)，以在定子和轉(zhuǎn)子之間實(shí)現(xiàn)預(yù)定的間隙。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述內(nèi)表面包括轉(zhuǎn)子接口表面，所述轉(zhuǎn)子接口表面相對(duì)于所述共同的基準(zhǔn)定位，使得定子和轉(zhuǎn)子從所述共同的基準(zhǔn)定位并且通過(guò)所述共同的基準(zhǔn)來(lái)支撐。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述筒結(jié)構(gòu)包括構(gòu)造成相對(duì)于連接到轉(zhuǎn)子的軌道傳感器支撐傳感器的傳感器接口表面，并且在傳感器和軌道傳感器之間實(shí)現(xiàn)預(yù)定的間隙，其中，所述傳感器接口表面相對(duì)于所述共同的基準(zhǔn)定位，使得定子、轉(zhuǎn)子和傳感器從所述共同的基準(zhǔn)定位并且通過(guò)所述共同的基準(zhǔn)來(lái)支撐。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述傳感器接口表面被形成為筒結(jié)構(gòu)內(nèi)的槽。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述槽被構(gòu)造成收容所述傳感器和電機(jī)控制板。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述筒結(jié)構(gòu)為整體構(gòu)件，槽被形成到其中用于傳感器、控制板和驅(qū)動(dòng)器連接器中的一個(gè)或多個(gè)。

根據(jù)所公開(kāi)的實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面，所述筒結(jié)構(gòu)為通過(guò)連接到彼此的兩個(gè)或更多個(gè)箍構(gòu)件形成的一體化組件。

應(yīng)當(dāng)理解的是，前述描述僅說(shuō)明所公開(kāi)的實(shí)施例的各方面。本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠設(shè)計(jì)出各種替代方案和修改，而不脫離所公開(kāi)的實(shí)施例的各方面。因此，所公開(kāi)的實(shí)施例的各方面意在包含落入所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有這樣的替代方案、修改和變型。此外，僅僅不同的特征在相互不同的從屬權(quán)利要求或獨(dú)立權(quán)利要求中陳述這一事實(shí)不表示這些特征的組合不能被有利地使用，這樣的組合仍屬于本發(fā)明的各方面的范圍內(nèi)。