3 μπι。該膜 孔徑基于使用過(guò)的冷卻劑所含的混入物的平均粒徑而被設(shè)定，優(yōu)選0. 001~0. 05 μm。此 外，本實(shí)施方式的使用過(guò)的冷卻劑所含的混入物的粒徑分布約為〇. 15~5 μπι。
[0031] 此外，在本實(shí)施方式中，使用幾種標(biāo)準(zhǔn)粒徑粒子試樣進(jìn)行過(guò)濾試驗(yàn)，并將粒徑與粒 子的截留率（filtering rate)的關(guān)系圖表化，由獲得的近似曲線求出截留率為90%的粒 徑，并將該粒徑作為膜孔徑。
[0032] 殼體25具有殼主體250、被處理液導(dǎo)入部251、濃縮液排出部252以及過(guò)濾液排出 部 253。
[0033] 殼主體250具有圓筒形狀，在內(nèi)部收容過(guò)濾部21 (中空纖維膜22的束）。被處理 液導(dǎo)入部251設(shè)置在殼主體250的一端側(cè)（圖2中的左側(cè)），將從外部供給的被處理液（在 本實(shí)施方式中為過(guò)濾前的使用過(guò)的冷卻劑）引導(dǎo)至各中空纖維膜22的一端側(cè)開口。濃縮液 排出部252設(shè)置在殼主體250的另一端側(cè)（圖2中的右側(cè)），將從各中空纖維膜22的另一 端側(cè)開口排出的濃縮液（在本實(shí)施方式中為混入物被濃縮的狀態(tài)的冷卻劑）排出至外部。 過(guò)濾液排出部253從殼主體250的外周面朝徑外方向延伸，將殼主體250的中空部與外部 連通。該過(guò)濾液排出部253將通過(guò)各中空纖維膜22的周壁而到達(dá)過(guò)濾部21 (中空纖維膜 22的束）與殼主體250的內(nèi)周面之間的過(guò)濾液（在本實(shí)施方式中為過(guò)濾后的冷卻劑）排出 至外部。
[0034] 在如此構(gòu)成的殼體25的兩端部，在殼主體250與過(guò)濾部21之間設(shè)有0型環(huán)26。 該0型環(huán)26將殼主體250的內(nèi)周面與過(guò)濾部21 (中空纖維膜22的束）的外周面之間堵塞 成液密狀態(tài)。據(jù)此，能夠防止被處理液導(dǎo)入部251內(nèi)的被處理液以及濃縮液排出部252內(nèi) 的濃縮液進(jìn)入殼主體250的內(nèi)周面與過(guò)濾部21 (中空纖維膜22的束）之間。
[0035] 過(guò)濾側(cè)供給路徑141將處理槽121與過(guò)濾膜模塊20的被處理液導(dǎo)入部251連接， 將處理槽121內(nèi)的使用過(guò)的冷卻劑引導(dǎo)至過(guò)濾膜模塊20的被處理液導(dǎo)入部251。在該過(guò)濾 側(cè)供給路徑141設(shè)有泵142。通過(guò)該泵142驅(qū)動(dòng)，處理槽121內(nèi)的使用過(guò)的冷卻劑通過(guò)過(guò)濾 側(cè)供給路徑141而被供給至過(guò)濾膜模塊20。
[0036] 該過(guò)濾側(cè)供給路徑141以讓使用過(guò)的冷卻劑從一端側(cè)（圖2中的左側(cè)端部）朝向 另一端側(cè)（圖2中的右側(cè)端部）以層流狀態(tài)在各中空纖維膜22的中空部23內(nèi)流動(dòng)的方 式，調(diào)整供給至被處理液導(dǎo)入部251的使用過(guò)的冷卻劑的流量等。具體而言，過(guò)濾側(cè)供給路 徑141以如下方式將冷卻劑供給至被處理液體導(dǎo)入部251，即：在各中空纖維膜22的中空 部23內(nèi)流動(dòng)的冷卻劑的雷諾數(shù)優(yōu)選10~2000,更優(yōu)選10~500,進(jìn)一步優(yōu)選10~200。
[0037] 過(guò)濾側(cè)返送路徑143將過(guò)濾膜模塊20的濃縮液排出部252與處理槽121連接，將 在過(guò)濾膜模塊20中被濃縮的冷卻劑（廢冷卻劑）引導(dǎo)至處理槽121內(nèi)。此廢冷卻劑是通 過(guò)過(guò)濾膜模塊20的膜過(guò)濾而混入物的濃度變高（即混入物被濃縮）的狀態(tài)的冷卻劑。
[0038] 過(guò)濾液儲(chǔ)存槽144儲(chǔ)存從過(guò)濾膜模塊20的過(guò)濾液排出部253排出的處理過(guò)的冷 卻劑。
[0039] 離心分離部16具有離心分離機(jī)161、分離物儲(chǔ)存槽166、分離側(cè)供給路徑167及分 離側(cè)返送路徑169。該離心分離部16通過(guò)離心分離而從儲(chǔ)存于處理槽121內(nèi)的冷卻劑分 離（除去）該冷卻劑中所含的粒徑較大的混入物，并將該分離混入物后的冷卻劑返送處理 槽 121。
[0040] 離心分離機(jī)161具有殼體162、碗體163、馬達(dá)164以及刮板165。碗體163配置在 殼體162內(nèi)，呈上側(cè)為圓筒狀且下側(cè)為圓錐狀的形狀。該碗體163的下端開口。另外，碗體 163通過(guò)上下方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸164a與馬達(dá)164連接。馬達(dá)164驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸164a而使其 旋轉(zhuǎn)，從而使碗體163以旋轉(zhuǎn)軸164a為中心旋轉(zhuǎn)。刮板165利用其側(cè)端部刮下附著于碗體 163的內(nèi)壁面的混入物。
[0041] 該離心分離機(jī)161利用基于碗體163的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的離心力，將供給至碗體163 內(nèi)的冷卻劑與混入物（硅切削肩、線鋸本身的金屬粒、磨粒（以游離磨粒方式進(jìn)行切斷的情 況）分離。本實(shí)施方式的離心分離機(jī)161是所謂的縱型離心分離機(jī)，但也可為碗體的旋轉(zhuǎn) 軸水平或大致水平配置的所謂的橫型離心分離機(jī)。
[0042] 在該離心分離機(jī)161中，在刮取時(shí)，在使碗體163的旋轉(zhuǎn)速度降低的狀態(tài)下，以使 刮板165的側(cè)端部接近碗體163的內(nèi)壁面的方式移動(dòng)刮板165。使用刮板165刮下的混入 物通過(guò)碗體163的下端的開口被排出至分離物儲(chǔ)存槽166。
[0043] 分離側(cè)供給路徑167將處理槽121與離心分離機(jī)161的導(dǎo)入部（省略圖示）連接， 并將處理槽121內(nèi)的冷卻劑引導(dǎo)至離心分離機(jī)161。在該分離側(cè)供給路徑167設(shè)有泵168。 通過(guò)該泵168的驅(qū)動(dòng)，處理槽121內(nèi)的冷卻劑通過(guò)分離側(cè)供給路徑167被供給至離心分離 機(jī)161的所述導(dǎo)入部。
[0044] 分離側(cè)返送路徑169將離心分離機(jī)161的排出部（省略圖示）與處理槽121連接， 將在離心分離機(jī)161中已分離了較大的混入物的冷卻劑（分離過(guò)的冷卻劑）引導(dǎo)至處理槽 121 內(nèi)。
[0045] 如上所述地構(gòu)成的冷卻劑再生裝置10對(duì)例如混入物的濃度為10重量％以上的冷 卻劑進(jìn)行再生而使其能夠再利用。
[0046] 例如，該冷卻劑再生裝置10對(duì)在切斷2~3根硅晶錠時(shí)所使用的使用過(guò)的冷卻劑 進(jìn)行分批處理。在硅晶錠的大小為15CmX15CmX45cm、硅比重為2. 3、硅晶錠的損失（切 斷時(shí)成為切削肩的比例）約為50%的情況下，如果切斷2根硅晶錠，所產(chǎn)生的切削肩等約 為23kg。此時(shí)，使用的冷卻劑的量為200kg。在此情況下，使用過(guò)的冷卻劑的混入物的濃度 (重量％ )為（23/223) X 100 = 10. 3%。
[0047] 冷卻劑再生裝置10對(duì)此種使用過(guò)的冷卻劑進(jìn)行處理（除去混入物）而使其能夠 再利用。
[0048] 在該處理中，在本實(shí)施方式的冷卻劑再生裝置10中，因?yàn)槭褂眠^(guò)的冷卻劑以層流 狀態(tài)在膜過(guò)濾部14的各中空纖維膜22的中空部23內(nèi)流動(dòng)，所以，與在紊流狀態(tài)下流動(dòng)的 情況比較，使用過(guò)的冷卻劑中含有的混入物不容易沖撞于中空纖維膜22的內(nèi)周面（包圍中 空部23的過(guò)濾膜表面）。因此，在利用中空纖維膜22的過(guò)濾除去使用過(guò)的冷卻劑的混入物 時(shí)，能夠有效地防止起因于混入物的沖撞的過(guò)濾膜表面（內(nèi)周面）的磨耗等造成的中空纖 維膜22的損傷。詳述如下。
[0049] 在以往的冷卻劑再生方法中，若使用有機(jī)中空纖維膜，則容易在該有機(jī)中空纖維 膜的過(guò)濾膜表面產(chǎn)生磨耗等損傷。經(jīng)對(duì)該損傷的原因進(jìn)行研宄的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)因使用過(guò)的冷 卻劑相對(duì)于過(guò)濾膜表面的流速大，所以在過(guò)濾膜表面附近的冷卻劑的流動(dòng)成為紊流狀態(tài)， 使用過(guò)的冷卻劑中含有的混入物因該紊流而沖撞于過(guò)濾膜表面，因此，發(fā)生過(guò)濾膜表面的 損傷。對(duì)此，在冷卻劑再生裝置10中，通過(guò)讓使用過(guò)的冷卻劑以層流狀態(tài)在中空纖維膜22 的中空部23內(nèi)流動(dòng)，所述混入物向中空纖維膜22的內(nèi)周面（過(guò)濾膜表面）的沖撞得到抑 制，據(jù)此，防止中空纖維膜22的損傷。
[0050] 另外，在本實(shí)施方式的冷卻劑再生裝置10中，并行（同時(shí)）進(jìn)行利用中空纖維膜 22的膜過(guò)濾和利用離心分離器的離心分離。據(jù)此，通過(guò)離心分離有效地除去使用過(guò)的冷卻 劑中含有的較大的切削肩等，并且，利用中空纖維膜同時(shí)從含有通過(guò)離心分離難以除去的 大小的（即較小的）混入物的使用過(guò)的冷卻劑分離出處理過(guò)的冷卻劑。其結(jié)果，在本實(shí)施 方式的冷卻劑再生裝置10中，能夠在短時(shí)間內(nèi)從混入物的濃度高的冷卻劑獲得高品質(zhì)（即 混入物更少）的再生冷卻劑。詳述如下。
[0051] 在冷卻劑再生裝置10中，將各中空纖維膜22的膜孔徑設(shè)定為0. 05 μπι以下（在本 實(shí)施方式中為〇. 003 μm)，將膜孔徑設(shè)定為小于使用過(guò)的冷卻劑的混入物的粒徑分布（約 0. 15~5 ym)。另外，讓使用過(guò)的冷卻劑以層流狀態(tài)在中空部23內(nèi)流動(dòng)，以讓使用過(guò)的冷卻 劑的混入物（切削肩等）難以沖撞于中空纖維膜22的內(nèi)周面。據(jù)此，在本實(shí)施方式的冷卻 劑