專利名稱：真空壓印裝置、真空壓合裝置及層狀光學(xué)元件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種層狀光學(xué)元件的制造方法及其使用的壓印裝置、壓合裝置，特別是ー種利用真空エ藝的層狀光學(xué)元件制造方法及其使用的真空壓印裝置、真空壓合裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)的層狀光學(xué)元件于一基板上形成多層光學(xué)層制作，此多層光學(xué)層依序利用光學(xué)膠固化形成，其中，光學(xué)層上可依需要利用模板印制圖案。于現(xiàn)有技術(shù)的エ藝中，該層狀光學(xué)元件于大氣環(huán)境下經(jīng)由涂布、滾壓、固化等エ序依序分別制作形成。于滾壓エ序中，操作人工需將模板或保護(hù)膜以與光學(xué)膠層進(jìn)行貼合對(duì)位，再以滾壓輪進(jìn)行滾壓，此易造成貼合精度不足、貼合及滾壓易引入氣泡、滾壓不易控制壓合間隙、及固化前需移轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)易造成光學(xué)膠層厚度變異。此外，于采用使用模板的滾壓エ序以形成光學(xué)層流程中，該模板于光學(xué)膠層固化后，尚需人工脫摸，但由于人工脫模作業(yè)存在著較大的不確定因素，容易產(chǎn)生エ藝不穩(wěn)定性的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供ー種真空壓印裝置，利用真空環(huán)境及機(jī)器精密定位的特性，以有效控制光學(xué)層的厚度尺寸并抑制固化后于各光學(xué)層間產(chǎn)生的氣泡現(xiàn)象。本發(fā)明的另一目的在于提供ー種真空壓合裝置，利用真空環(huán)境及機(jī)器精密定位的特性，以有效控制光學(xué)層的厚度尺寸并抑制固化后于光學(xué)層與保護(hù)膜間產(chǎn)生的氣泡現(xiàn)象。本發(fā)明的又一目的在于提供一種制造方法，利用本發(fā)明的真空壓印裝置及真空壓合裝置以制造ー層狀光學(xué)元件，故該制造方法亦利用真空環(huán)境及機(jī)器精密定位的特性，以有效控制該層狀光學(xué)元件的各光學(xué)層的厚度尺寸并抑制固化后于該層狀光學(xué)元件的層狀結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生的氣泡現(xiàn)象。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了ー種真空壓印裝置，其中，包含一真空室；ー下載臺(tái)，設(shè)置于該真空室內(nèi)，用以承載一基板，其上設(shè)置有一光學(xué)膠層；ー上載臺(tái)，相對(duì)于該下載臺(tái)設(shè)置于該真空室內(nèi)，用以承載ー模板，該上載臺(tái)能朝向該下載臺(tái)移動(dòng)以使該模板壓印ー圖案于該光學(xué)膠層上；以及一固化裝置，用以固化該壓印的光學(xué)膠層以形成一光學(xué)層于該基板上。上述的真空壓印裝置，其中，還包含多個(gè)L形夾持件，設(shè)置于該上載臺(tái)上以形成一滑槽，用以夾持該模板。上述的真空壓印裝置，其中，還包含一磁鐵，可移動(dòng)地設(shè)置于該上載臺(tái)中，用以吸附該模板于該上載臺(tái)上。上述的真空壓印裝置，其中，還包含三伺服軸，與該上載臺(tái)連接，用以驅(qū)動(dòng)該上載臺(tái)相對(duì)于該下載臺(tái)移動(dòng)。上述的真空壓印裝置，其中，還包含三間隙感測(cè)裝置，對(duì)應(yīng)該三伺服軸設(shè)置于該下、載臺(tái)，用以控制該上載臺(tái)的移動(dòng)。上述的真空壓印裝置，其中，該固化裝置包含一紫外光燈，用以照射紫外光于該光學(xué)膠層以固化形成該光學(xué)層。上述的真空壓印裝置，其中，該下載臺(tái)為透明結(jié)構(gòu)，該紫外光燈設(shè)置于該下載臺(tái)下方。上述的真空壓印裝置，其中，還包含一頂針，貫穿該上載臺(tái)設(shè)置，用以頂彎該模板。上述的真空壓印裝置，其中，還包含ニ折板機(jī)構(gòu)，設(shè)置于該上載臺(tái)并能勾持該模板的相對(duì)兩側(cè)，其中當(dāng)該ニ折板機(jī)構(gòu)相對(duì)該上載臺(tái)遠(yuǎn)離該下載臺(tái)移動(dòng)時(shí)，該ニ折板機(jī)構(gòu)彎曲
該模板。上述的真空壓印裝置，其中，還包含多個(gè)固定件，固定于該上載臺(tái)，其中該模板具有多個(gè)固定孔，對(duì)應(yīng)該多個(gè)固定件，該模板通過該多個(gè)固定件穿過該多個(gè)固定孔以設(shè)置于該上載臺(tái)，該固定孔的載面大于該對(duì)應(yīng)的固定件穿過該固定孔部位的載面。上述的真空壓印裝置，其中，該上載臺(tái)包含一突臺(tái)，該模板設(shè)置于該突臺(tái)上，該ニ折板機(jī)構(gòu)相對(duì)設(shè)置于該突臺(tái)的兩側(cè)。上述的真空壓印裝置，其中，該突臺(tái)對(duì)應(yīng)該ニ折板機(jī)構(gòu)的ニ邊緣上分別形成ー導(dǎo)角，該模板于彎曲時(shí)緊貼該導(dǎo)角。上述的真空壓印裝置，其中，還包含一吹氣裝置，設(shè)置于該下載臺(tái)旁，用以朝向該模板與該光學(xué)層吹氣。為了實(shí)現(xiàn)上述另ー目的，本發(fā)明提供了ー種真空壓合裝置，其中，包含一真空室；—下載臺(tái)，設(shè)置于該真空室內(nèi)，用以承載一基板，其上形成有一第一光學(xué)層，該第一光學(xué)層上設(shè)置有一光學(xué)膠層；ー上載臺(tái)，相對(duì)于該下載臺(tái)設(shè)置于該真空室內(nèi)，用以承載一保護(hù)膜，該上載臺(tái)能朝向該下載臺(tái)移動(dòng)以使該保護(hù)膜平鋪于該光學(xué)膠層上；以及—固化裝置，用以固化該光學(xué)膠層以形成一第二光學(xué)層于該第一光學(xué)層上。上述的真空壓合裝置，其中，還包含ニ磁鐵及ニ固定板，該磁鐵設(shè)置于該上載臺(tái)內(nèi)，該固定板對(duì)應(yīng)該磁鐵吸附于該上載臺(tái)上，用以固定該保護(hù)膜。上述的真空壓合裝置，其中，還包含一工具，該工具包含ニ真空吸盤，用以利用該真空吸盤吸附該保護(hù)膜，再伸入該真空室中以固定該保護(hù)膜于該上載臺(tái)上。上述的真空壓合裝置，其中，該上載臺(tái)包含多個(gè)通氣孔，用以對(duì)該通氣孔抽氣以真空吸附該保護(hù)膜于該上載臺(tái)上，以及用以對(duì)該通氣孔通氣以自該上載臺(tái)分離該保護(hù)膜。上述的真空壓合裝置，其中，還包含三伺服軸，與該上載臺(tái)連接，用以驅(qū)動(dòng)該上載臺(tái)相對(duì)于該下載臺(tái)移動(dòng)。上述的真空壓合裝置，其中，還包含三間隙感測(cè)裝置，對(duì)應(yīng)該三伺服軸設(shè)置于該下載臺(tái)，用以控制該上載臺(tái)的移動(dòng)。上述的真空壓合裝置，其中，該固化裝置包含一紫外光燈，用以照射紫外光于該光學(xué)膠層以固化形成該第二光學(xué)層。上述的真空壓合裝置，其中，該上載臺(tái)為透明結(jié)構(gòu)，該紫外光燈設(shè)置于該上載臺(tái)上方。
上述的真空壓合裝置，其中，該下載臺(tái)還包含ー加熱裝置，用以加熱該光學(xué)膠層。上述的真空壓合裝置，其中，該保護(hù)膜具有一配向結(jié)構(gòu)，用以壓印該配向結(jié)構(gòu)于該光學(xué)膠層上。為了實(shí)現(xiàn)上述的又一目的，本發(fā)明還提供了一種層狀光學(xué)元件的制造方法，利用
一真空壓印裝置及一真空壓合裝置以制造ー層狀光學(xué)元件，其中，該真空壓印裝置包含一第一真空室、一第一下載臺(tái)、一第一上載臺(tái)及一第一固化裝置，該真空壓合裝置包含一第二真空室、一第二下載臺(tái)、一第二上載臺(tái)及一第二固化裝置，該第一下載臺(tái)及該第一上載臺(tái)設(shè)置于該第一真空室內(nèi)，該第二下載臺(tái)及該第二上載臺(tái)設(shè)置于該第二真空室內(nèi)，該制造方法包含下列步驟a、準(zhǔn)備一基板，放置于該第一下載臺(tái)上；
b、于該基板上涂布ー第一光學(xué)膠層；C、準(zhǔn)備ー模板，固定于該第一上載臺(tái)上；d、對(duì)該第一真空室抽真空；e、使該第一上載臺(tái)朝向該第一下載臺(tái)移動(dòng)以使該模板壓印ー圖案于該第一光學(xué)膠層上；f、利用該第一固化裝置固化該壓印的第一光學(xué)膠層以形成一第一光學(xué)層于該基板上；g、取出該基板及該第一光學(xué)層；h、放置該基板及該第一光學(xué)層于該第二下載臺(tái)上；i、于該第一光學(xué)層上涂布一第二光學(xué)膠層；j、準(zhǔn)備一保護(hù)膜，固定于該第二上載臺(tái)上；k、對(duì)該第二真空室抽真空；I、使該第一上載臺(tái)朝向該第二下載臺(tái)移動(dòng)以使該保護(hù)膜平鋪于該第二光學(xué)膠層上；以及m、利用該第二固化裝置固化該第二光學(xué)膠層以形成一第二光學(xué)層于該第一光學(xué)層上，進(jìn)而形成該層狀光學(xué)元件。上述的制造方法，其中，該真空壓印裝置還包含多個(gè)L形夾持件，設(shè)置于該第一下載臺(tái)上以形成ー滑槽，步驟c還包含下列步驟將該模板滑入該滑槽中。上述的制造方法，其中，該真空壓印裝置包含ー磁鐵，可移動(dòng)地設(shè)置于該第一上載臺(tái)中，步驟c由下列步驟實(shí)施使該磁鐵朝向該第一下載臺(tái)移動(dòng)；以及通過該磁鐵將該模板吸附于該第一上載臺(tái)上。上述的制造方法，其中，該真空壓印裝置包含三伺服軸，與該第一上載臺(tái)連接，步驟e還包含下列步驟獨(dú)立控制該三伺服軸，以驅(qū)動(dòng)該第一上載臺(tái)朝向該第一下載臺(tái)移動(dòng)。上述的制造方法，其中，該真空壓印裝置還包含三間隙感測(cè)裝置，對(duì)應(yīng)該三伺服軸設(shè)置于該第一下載臺(tái)，步驟e由下列步驟實(shí)施獨(dú)立控制該三伺服軸，以驅(qū)動(dòng)該第一上載臺(tái)朝向該第一下載臺(tái)移動(dòng)，以使該模板接觸該第一光學(xué)膠層；以及根據(jù)該三間隙感測(cè)裝置的反饋信號(hào)，控制該移動(dòng)的第一上載臺(tái)的停止位置，以使該模板壓印該圖案于該第一光學(xué)膠層上。上述的制造方法，其中，該第一固化裝置包含一紫外光燈，步驟f 由下列步驟實(shí)施對(duì)該第一真空室破真空；以及利用該紫外光燈照射紫外光于該壓印的第一光學(xué)膠層，以使該壓印的第一光學(xué)膠層固化形成該第一光學(xué)層。上述的制造方法，其中，該第一下載臺(tái)為透明結(jié)構(gòu)，該紫外光燈設(shè)置于該第一下載臺(tái)下方，于步驟f 中，該紫外光燈自該第一下載臺(tái)下方朝向該第一上載臺(tái)照射該紫外光。
上述的制造方法，其中，該真空壓印裝置還包含一頂針，貫穿該第一上載臺(tái)設(shè)置，步驟g還包含下列步驟使該第一上載臺(tái)遠(yuǎn)離該第一下載臺(tái)移動(dòng)，同時(shí)使該頂針突出于該第一上載臺(tái)，以頂彎該模板。上述的制造方法，其中，該真空壓印裝置還包含ー吹氣裝置，設(shè)置于該第一下載臺(tái)旁，步驟g還包含下列步驟使該第一上載臺(tái)遠(yuǎn)離該第一下載臺(tái)移動(dòng)，同時(shí)利用該吹氣裝置朝向該模板與該第
一光學(xué)層吹氣。上述的制造方法，其中，該真空壓印裝置還包含ニ折板機(jī)構(gòu)，設(shè)置于該第一上載臺(tái)井能勾持該模板的相對(duì)兩側(cè)，步驟g還包含下列步驟使該ニ折板機(jī)構(gòu)相對(duì)該第一上載臺(tái)遠(yuǎn)離該第一下載臺(tái)移動(dòng)以彎曲該模板。上述的制造方法，其中，該真空壓印裝置還包含多個(gè)固定件，該模板具有多個(gè)固定孔，對(duì)應(yīng)該多個(gè)固定件，步驟c由下列步驟實(shí)施將該多個(gè)固定件穿過該多個(gè)固定孔并固定于該第一上載臺(tái)以使該模板設(shè)置于該第一上載臺(tái)，固定孔的載面大于該對(duì)應(yīng)的固定件穿過該固定孔部位的載面。上述的制造方法，其中，該第一上載臺(tái)包含一突臺(tái)，該ニ折板機(jī)構(gòu)相對(duì)設(shè)置于該突臺(tái)的兩側(cè)，該突臺(tái)對(duì)應(yīng)該ニ折板機(jī)構(gòu)的ニ邊緣上分別形成ー導(dǎo)角，于步驟c中，該模板設(shè)置于該突臺(tái)上，于步驟g中，該模板于彎曲時(shí)緊貼該導(dǎo)角。上述的制造方法，其中，該真空壓合裝置還包含ニ磁鐵及ニ固定板，該磁鐵設(shè)置于該第二上載臺(tái)內(nèi)，步驟j由下列步驟實(shí)施通過該固定板對(duì)應(yīng)該磁鐵吸附于該第二上載臺(tái)上，以固定該保護(hù)膜于該第二上載臺(tái)上。上述的制造方法，其中，該真空壓合裝置還包含一工具，該工具包含ニ真空吸盤，該真空壓合裝置還包含ニ磁鐵及ニ固定板，該磁鐵設(shè)置于該第二上載臺(tái)內(nèi)，步驟j由下列步驟實(shí)施將該ニ固定板設(shè)置于該ニ真空吸盤旁；將該保護(hù)膜平鋪于該工具上；利用該真空吸盤吸附該保護(hù)膜；將該工具伸入該第二真空室中；
使該保護(hù)膜貼附于該第二上載臺(tái)上，并使該固定板通過該磁鐵吸附于該第二上載臺(tái)上;釋放該真空吸盤；以及移出該工具。上述的制造方法，其中，該第二上載臺(tái)包含多個(gè)通氣孔，步驟j還包含下列步驟對(duì)該通氣孔抽氣以真空吸附該保護(hù)膜于該第二上載臺(tái)上。上述的制造方法，其中，該真空壓合裝置包含三伺服軸，與該第二上載臺(tái)連接，步驟I還包含下列步驟獨(dú)立控制該三伺服軸，以驅(qū)動(dòng)該第二上載臺(tái)朝向該第二下載臺(tái)移動(dòng)。
上述的制造方法，其中，該真空壓合裝置還包含三間隙感測(cè)裝置，對(duì)應(yīng)該三伺服軸設(shè)置于該第二下載臺(tái)，步驟I由下列步驟實(shí)施獨(dú)立控制該三伺服軸，以驅(qū)動(dòng)該第二上載臺(tái)朝向該第二下載臺(tái)移動(dòng)，以使該保護(hù)膜接觸于該第二光學(xué)膠層上；以及根據(jù)該三間隙感測(cè)裝置的反饋信號(hào)，控制該移動(dòng)的第二上載臺(tái)的停止位置，以使該保護(hù)膜平壓于該第二光學(xué)膠層上。上述的制造方法，其中，該第二固化裝置包含一紫外光燈，步驟m由下列步驟實(shí)施對(duì)該第二真空室破真空；以及利用該紫外光燈照射紫外光于該第二光學(xué)膠層，以使該第二光學(xué)膠層固化形成該
第二光學(xué)層。上述的制造方法，其中，該第二上載臺(tái)為透明結(jié)構(gòu)，該紫外光燈設(shè)置于該第二上載臺(tái)上方，于步驟m中，該紫外光燈自該第二上載臺(tái)上方朝向該第二下載臺(tái)照射該紫外光。上述的制造方法，其中，該第二下載臺(tái)還包含ー加熱裝置，步驟I還包含下列步驟利用該加熱裝置以加熱該第二光學(xué)膠層。上述的制造方法，其中，該保護(hù)膜具有一配向結(jié)構(gòu)，步驟I還包含下列步驟利用該保護(hù)膜壓印該配向結(jié)構(gòu)于該第二光學(xué)膠層上。本發(fā)明的真空壓印裝置，包含一真空室、ー下載臺(tái)、一上載臺(tái)及一固化裝置。該下載臺(tái)設(shè)置于該真空室內(nèi)，用以承載一基板，其上設(shè)置有一光學(xué)膠層。該上載臺(tái)相對(duì)于該下載臺(tái)設(shè)置于該真空室內(nèi)，用以承載ー模板，該上載臺(tái)能朝向該下載臺(tái)移動(dòng)以使該模板壓印ー圖案于該光學(xué)膠層上。該固化裝置用以固化該壓印的光學(xué)膠層以形成一光學(xué)層于該基板上。該真空壓印裝置利用真空抑制該模板壓印該光學(xué)膠層時(shí)引入空隙的可能性，并且可平穩(wěn)且精確地控制該上載臺(tái)下壓，使得該固化后的光學(xué)層厚度均勻且無氣泡。本發(fā)明的真空壓合裝置包含一真空室、ー下載臺(tái)、一上載臺(tái)及一固化裝置。該下載臺(tái)設(shè)置于該真空室內(nèi)，用以承載一基板，其上形成有一第一光學(xué)層，該第一光學(xué)層上設(shè)置有一光學(xué)膠層。該上載臺(tái)相對(duì)于該下載臺(tái)設(shè)置于該真空室內(nèi)，用以承載一保護(hù)膜，該上載臺(tái)能朝向該下載臺(tái)移動(dòng)以使該保護(hù)膜平鋪于該光學(xué)膠層上。該固化裝置用以固化該光學(xué)膠層以形成一第二光學(xué)層于該第一光學(xué)層上。該真空壓合裝置亦利用真空抑制該保護(hù)膜平鋪于該光學(xué)膠層上時(shí)引入空隙的可能性，并且可平穩(wěn)且精確地控制該上載臺(tái)下壓，使得該固化后的第二光學(xué)層厚度均勻且無氣泡。本發(fā)明的制造方法利用本發(fā)明的真空壓印裝置及真空壓合裝置以制造一層狀光學(xué)元件，該真空壓印裝置包含一第一真空室、一第一下載臺(tái)、一第一上載臺(tái)及一第一固化裝置，該真空壓合裝置包含一第二真空室、一第二下載臺(tái)、一第二上載臺(tái)及一第二固化裝置，該第一下載臺(tái)及該第一上載臺(tái)設(shè)置于該第一真空室內(nèi)，該第二下載臺(tái)及該第二上載臺(tái)設(shè)置于該第二真空室內(nèi)；其他進(jìn)ー步說明，請(qǐng)參閱前述說明，不再贅述。該制造方法包含準(zhǔn)備一基板，放置于該第一下載臺(tái)上；于該基板上涂布ー第一光學(xué)膠層；準(zhǔn)備ー模板，固定于該第一上載臺(tái)上；對(duì)該第一真空室抽真空；使該第一上載臺(tái)朝向該第一下載臺(tái)移動(dòng)以使該模板壓印ー圖案于該第一光學(xué)膠層上；利用該第一固化裝置固化該壓印的第一光學(xué)膠層以形成一第一光學(xué)層于該基板上；取出該基板及該第一光學(xué)層；放置該基板及該第一光學(xué)層于該第二下載臺(tái)上；于該第一光學(xué)層上涂布一第二光學(xué)膠層；準(zhǔn)備一保護(hù)膜，固定于該第二上載臺(tái)上；對(duì)該第二真空室抽真空；使該第一上載臺(tái)朝向該第二下載臺(tái)移動(dòng)以使該保護(hù)膜平鋪于該第二光學(xué)膠層上；以及利用該第二固化裝置固化該第二光學(xué)膠層以形成一第二光學(xué)層于該第一光學(xué)層上，進(jìn)而形成該層狀光學(xué)元件。該層狀光學(xué)元件的該基板、該第一光學(xué)層、該第二光學(xué)層及該保護(hù)膜可被精確地定位，該第一光學(xué)層及該第二光學(xué)層的厚度能被精確控制，該第一光學(xué)層、該第二光學(xué)層及該保護(hù)膜間亦可緊密貼合。 本發(fā)明的技術(shù)效果在于本發(fā)明于真空環(huán)境中形成光學(xué)膠層，以有效抑制固化后于該光學(xué)層形成的層狀結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生的氣泡現(xiàn)象，并且采用機(jī)具以提升エ藝精度，排除人工操作的不穩(wěn)定性，故本發(fā)明能有效解決現(xiàn)有技術(shù)存在的問題。以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。
圖I為根據(jù)本發(fā)明的一較佳實(shí)施例的真空壓印裝置的示意圖；圖2為圖I中真空壓印裝置于另ー狀態(tài)的示意圖；圖3為上載臺(tái)、伺服軸及間隙感測(cè)裝置的相對(duì)設(shè)置位置的示意圖；圖4為頂針、模板及夾持件的相對(duì)設(shè)置位置的示意圖；圖5為光學(xué)層自模板脫模的示意圖；圖6為根據(jù)本發(fā)明的另ー較佳實(shí)施例的真空壓合裝置的示意圖；圖7為圖6中真空壓合裝置于另ー狀態(tài)的示意圖；圖8為工具的不意圖；圖9為根據(jù)本發(fā)明的一較佳實(shí)施例的層狀光學(xué)元件的制造方法的流程圖；圖10為層狀光學(xué)元件的示意圖；圖11為根據(jù)本發(fā)明的另ー實(shí)施例的真空壓印裝置的示意圖；圖12為圖11的真空壓印裝置的模板的固定孔的示意圖；圖13為圖11的真空壓印裝置的脫模示意圖。其中，附圖標(biāo)記1、3真空壓印裝置4層狀光學(xué)元件5真空壓合裝置12、52真空室14,54 下載臺(tái)16、17、56 上載臺(tái)
18,58固化裝置19固定件20、21模板22夾持件23折板機(jī)構(gòu)24磁鐵26、68伺服軸28、70間隙感測(cè)裝置30頂針32吹氣裝置42基板44、46光學(xué)膠層45第一光學(xué)層47第二光學(xué)層60保護(hù)膜62磁鐵
64固定板66工具72加熱裝置122、522底板124,524 罩體162 重心182,582紫外光燈172突臺(tái)212 固定孔222滑槽262夾角232至動(dòng)桿234 固持件322 噴嘴562通氣孔662支架664固定部666真空吸盤1722導(dǎo)角2122通道部2124卡持部SlOO S124步驟
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)原理和工作原理作具體的描述請(qǐng)參閱圖I及圖2，圖I為根據(jù)本發(fā)明的一較佳實(shí)施例的真空壓印裝置I的示意圖，圖2為圖I中真空壓印裝置I于另ー狀態(tài)的示意圖。真空壓印裝置I包含一真空室12、一下載臺(tái)14、一上載臺(tái)16及一固化裝置18。真空室12主要由一底板122及ー罩體124組成，罩體124可相對(duì)于底板122分離，以供物件置入操作；當(dāng)?shù)装?22及罩體124閉合時(shí)，如圖2所示，即可對(duì)真空室12進(jìn)行抽真空操作，其中抽氣裝置為現(xiàn)有技木，不再另外說明及于圖中繪示。下載臺(tái)14設(shè)置于真空室12內(nèi)、底板122上，用以承載一基板42，其上設(shè)置有一光學(xué)膠層44。上載臺(tái)16相對(duì)于下載臺(tái)14設(shè)置于真空室12內(nèi)，用以承載ー模板20，上載臺(tái)16能朝向下載臺(tái)14移動(dòng)以使模板20壓印ー圖案于光學(xué)膠層44上。固化裝置18用以固化壓印的光學(xué)膠層44以形成一光學(xué)層于基板42上。進(jìn)ー步來說，真空壓印裝置I包含多個(gè)L形夾持件22，設(shè)置于上載臺(tái)16上以形成ー滑槽222，模板20可滑入滑槽222中并被夾持件22夾持。實(shí)踐中，模板20可為ー鎳板，此時(shí)真空壓印裝置I還可包含多個(gè)磁鐵24，可移動(dòng)地設(shè)置于上載臺(tái)16中，用以吸附模板20于上載臺(tái)16上；藉此，當(dāng)磁鐵24朝向下載臺(tái)14移動(dòng)時(shí)，磁鐵24可磁吸模板20于上載臺(tái)16上，且當(dāng)磁鐵24遠(yuǎn)離下載臺(tái)14移動(dòng)時(shí)，可解除對(duì)模板20的磁吸作用，以將模板20自上載臺(tái)16移開。補(bǔ)充說明的是，前述L形夾持件22與磁鐵24可擇ー使用，本發(fā)明不以同時(shí)使用為限。真空壓印裝置I包含三個(gè)伺服軸26 (請(qǐng)同時(shí)參閱圖3，于圖I及圖2中，僅繪示其中二個(gè)伺服軸26)，穿過罩體124與上載臺(tái)16連接，伺服軸26可各自獨(dú)立控制以驅(qū)動(dòng)上載臺(tái)16相對(duì)于下載臺(tái)14移動(dòng)。此三伺服軸26可控制上載臺(tái)16與下載臺(tái)14間的平面度，亦即控制基板42與模板20間的平面度，以使光學(xué)膠層44的厚度均勻。于本實(shí)施例中，真空壓印裝置I包含三個(gè)間隙感測(cè)裝置28 (請(qǐng)同時(shí)參閱圖3，于圖I及圖2中，僅繪示其中二個(gè)間隙感測(cè)裝置28)，對(duì)應(yīng)伺服軸26設(shè)置于下載臺(tái)14，用以控制上載臺(tái)16的移動(dòng)。間隙感測(cè)裝置28可感測(cè)上載臺(tái)16與下載臺(tái)14間的距離，以回饋控制伺服軸26的運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而控制光學(xué)膠層44的厚度。于本實(shí)施例中，間隙感測(cè)裝置28直接對(duì)應(yīng)伺服軸26設(shè)置可直接對(duì)應(yīng)控制伺服軸26的運(yùn)動(dòng)，簡(jiǎn)化控制，但本發(fā)明不以此為限；并且，本發(fā)明亦不以設(shè)置多個(gè)伺服軸26以驅(qū)動(dòng)上載臺(tái)16的移動(dòng)為限。另外，伺服軸26相對(duì)于上載臺(tái)16的設(shè)置位置以考慮上載臺(tái)16的有效控制移動(dòng)且平均支撐為原則，例如圖3的上載臺(tái)16、伺服軸26及間隙感測(cè)裝置28的相對(duì)設(shè)置位置的示意圖所示，其中以矩形框表示上載臺(tái)16的輪廓位置，大圓圈表示伺服軸26的位置，小圓圈表示間隙感測(cè)裝置28，十字標(biāo)記表示上載臺(tái)16重心162的位置。伺服軸26的位置至重心162的連線形成三個(gè)大致相等的夾角262，且伺服軸26的位置至重心162的距離亦相差不 大。間隙感測(cè)裝置28則接近對(duì)應(yīng)的伺服軸26設(shè)置，以簡(jiǎn)化回饋控制復(fù)雜度。但本發(fā)明仍不以前述設(shè)置方式為限。請(qǐng)回到圖I及圖2。于本實(shí)施例中，光學(xué)膠層44為ー UV膠，故固化裝置18包含一紫外光燈182，用以照射紫外光于光學(xué)膠層44以固化形成該光學(xué)層。又，于本實(shí)施例中，下載臺(tái)14為透明結(jié)構(gòu)，紫外光燈182設(shè)置于下載臺(tái)14下方，以直接且均勻地照射紫外光于光學(xué)膠層44。但本發(fā)明均不以此為限，實(shí)踐中自可配合不同的光學(xué)膠層特性采用不同的固化裝置以實(shí)現(xiàn)光學(xué)膠層的固化。于本實(shí)施例中，真空壓印裝置I包含ニ頂針30，貫穿上載臺(tái)16設(shè)置，用以于該光學(xué)層脫模吋，頂彎模板20。頂針30可由ー氣壓缸驅(qū)動(dòng)，頂針30相對(duì)模板20的設(shè)置位置可參閱圖4中所示，其中以矩形表示模板20的輪廓位置，四個(gè)虛線方框表示夾持件22的位置，小圓圈表示頂針30的位置，其大致位于夾持件22中間。于該光學(xué)層(即后文中第一光學(xué)層45)脫模時(shí)，上載臺(tái)16向上移動(dòng)，并使頂針30相對(duì)上載臺(tái)16突出即可頂彎模板20，如圖5所示，此有助于該光學(xué)層脫摸。請(qǐng)回到圖I及圖2。于本實(shí)施例中，真空壓印裝置I包含ー吹氣裝置32，設(shè)置于下載臺(tái)14旁，用以于該光學(xué)層脫模時(shí)，利用噴嘴322朝向模板20與該光學(xué)層吹氣。此吹氣裝置32可設(shè)置于罩體124外側(cè)，有利于吹氣裝置32的設(shè)置；但本發(fā)明不以此為限。補(bǔ)充說明的是，于圖I及圖2中僅繪示吹氣裝置32的噴嘴322及部分管線，以簡(jiǎn)化繪圖，其設(shè)置(包含氣源)為現(xiàn)有技術(shù)，不另贅述。另外，于本實(shí)施例中，該光學(xué)層自模板20脫模同時(shí)采用頂針30及吹氣裝置32輔助，如圖5所示；但本發(fā)明不以此為限。請(qǐng)參閱圖6及圖7，圖6為根據(jù)本發(fā)明的另ー較佳實(shí)施例的真空壓合裝置5的示意圖，圖7為圖6中真空壓合裝置5于另ー狀態(tài)的示意圖。真空壓合裝置5包含一真空室52、一下載臺(tái)54、一上載臺(tái)56及一固化裝置58。真空室52主要由一底板522及ー罩體524組成，罩體524可相對(duì)于底板522分離，以供物件置入操作；當(dāng)?shù)装?22及罩體524閉合吋，如圖7所示，即可對(duì)真空室52進(jìn)行抽真空操作，其中抽氣裝置為現(xiàn)有技木，不另說明及于圖中繪示。下載臺(tái)54設(shè)置于真空室12內(nèi)、底板522上，用以承載該基板42，其上形成有一第一光學(xué)層45，第一光學(xué)層45上設(shè)置有一光學(xué)膠層46。上載臺(tái)56相對(duì)于下載臺(tái)54設(shè)置于真空室52內(nèi)，用以承載一保護(hù)膜60，上載臺(tái)56能朝向下載臺(tái)54移動(dòng)以使保護(hù)膜60平鋪于光學(xué)膠層46上。固化裝置58用以固化光學(xué)膠層46以形成一第二光學(xué)層于第一光學(xué)層45上。補(bǔ)充說明的是，該基板42及其上形成的第一光學(xué)層45可為利用真空壓印裝置I制作形成，亦可取自其他層狀光學(xué)元件エ藝制作的半成品。進(jìn)ー步來說，真空壓合裝置5包含ニ磁鐵62及ニ固定板64，磁鐵62設(shè)置于上載臺(tái)56內(nèi)，固定板64對(duì)應(yīng)磁鐵62吸附于上載臺(tái)56上,用以固定保護(hù)膜60。于本實(shí)施例中，保護(hù)膜60 — PET膜，但本發(fā)明不以此為限，其他軟性薄膜亦可；固定板64可為鐵片或其他具有磁性的片狀物。另外，于本實(shí)施例中，上載臺(tái)56包含多個(gè)通氣孔562，用以對(duì)通氣孔562抽氣以真空吸附保護(hù)膜60于上載臺(tái)56上，使得保護(hù)膜60可更容易平坦地放置于上載臺(tái)56上，以及用以對(duì)通氣孔562通氣以自上載臺(tái)56分離保護(hù)膜60，使得保護(hù)膜60易于自上載臺(tái) 56脫離。于本實(shí)施例中，真空壓合裝置5包含一工具66，用以輔助保護(hù)膜60貼附于上載臺(tái)56上。請(qǐng)參閱圖8，其為工具66的示意圖。工具66包含一支架662、ニ固定部664及于每ー個(gè)固定部664上設(shè)置的至少ー個(gè)真空吸盤666。于使用時(shí)，先將固定板64置于真空吸盤666旁,再將保護(hù)膜60平坦置于固定板64及真空吸盤666上并被真空吸盤666吸住。將エ具66伸入真空室52中，并將保護(hù)膜60平坦接觸上載臺(tái)56，磁鐵62即吸附固定板64，再將真空吸盤666釋放真空，即完成保護(hù)膜60貼附于上載臺(tái)56的操作；此時(shí)工具66即可移出真空室52。請(qǐng)回到圖6及圖7。真空壓合裝置5包含三伺服軸68，穿過罩體524與上載臺(tái)56連接，伺服軸68可各自獨(dú)立控制以驅(qū)動(dòng)上載臺(tái)56相對(duì)于下載臺(tái)54移動(dòng)。于本實(shí)施例中，真空壓合裝置5包含三間隙感測(cè)裝置70，對(duì)應(yīng)伺服軸68設(shè)置于下載臺(tái)54，用以控制上載臺(tái)56的移動(dòng)。關(guān)于伺服軸68及間隙感測(cè)裝置70的其他說明，可直接參閱前述有關(guān)伺服軸26及間隙感測(cè)裝置28的其他說明，在此不再贅述。于本實(shí)施例中，光學(xué)膠層46為ー UV膠，故固化裝置58包含一紫外光燈582，用以照射紫外光于光學(xué)膠層46以固化形成該第二光學(xué)層。又，于本實(shí)施例中，上載臺(tái)56是透明的，紫外光燈582設(shè)置于上載臺(tái)56上方,可均勻地照射紫外光于光學(xué)膠層46,但本發(fā)明均不以此為限。前述關(guān)于固化裝置18于此亦有適用，不另贅述。于本實(shí)施例中，下載臺(tái)還包含ー加熱裝置72,例如加熱棒,用以加熱光學(xué)膠層46,可増加光學(xué)膠層46的流動(dòng)性，有利于保護(hù)膜60平鋪于光學(xué)膠層46上。補(bǔ)充說明的是，當(dāng)保護(hù)膜60具有一配向結(jié)構(gòu)于其表面上吋，于上載臺(tái)56下壓保護(hù)膜60于光學(xué)膠層46上吋，亦能同時(shí)壓印該配向結(jié)構(gòu)于光學(xué)膠層46上。請(qǐng)參閱圖9，其為根據(jù)本發(fā)明的一較佳實(shí)施例的層狀光學(xué)元件的制造方法的流程圖。該制造方法利用真空壓印裝置I及真空壓合裝置5以制造ー層狀光學(xué)元件4 (請(qǐng)參閱圖10)，其中真空壓印裝置I及真空壓合裝置5已如前述，不再贅述。該制造方法首先準(zhǔn)備一基板42，放置于真空壓印裝置I的下載臺(tái)14上，如步驟SlOO所示。該制造方法包含于基板42上涂布一光學(xué)膠層44，如步驟S102所示；其中，于實(shí)踐中，光學(xué)膠層44可先涂布于基板42上，再將基板42連同光學(xué)膠層44 一井放置于下載臺(tái)14上。該制造方法亦準(zhǔn)備模板20，固定于真空壓印裝置I的上載臺(tái)16上，如步驟S104所示。步驟SlOO至步驟S104的實(shí)施先后不限于圖9所示的順序；完成前述步驟后，真空壓印裝置I的狀態(tài)可參閱圖I。該制造方法接著將真空壓印裝置I的罩體124與底板122密合以對(duì)真空壓印裝置I的真空室12抽真空，如步驟S106所示；使真空壓印裝置I的上載臺(tái)16朝向下載臺(tái)14移動(dòng)以使模板20壓印ー圖案于光學(xué)膠層44上，如步驟S108所示。此圖案即用于于光學(xué)膠層44上形成表面幾何結(jié)構(gòu)，例如鋸齒狀、錐狀、波浪狀等等，以達(dá)到所需的光學(xué)效果。完成前述步驟后，真空壓印裝置I的狀態(tài)可參閱圖2。該制造方法接著利用真空壓印裝置I的固化裝置18固化壓印的光學(xué)膠層44以形成一第一光學(xué)層45，如步驟SllO所示。實(shí)踐中，于步驟SllO實(shí)施前，可先將真空室12破真空，下載臺(tái)14則以真空吸附的方式吸住基板42，此可避免第一光學(xué)層45引入過多的殘留應(yīng)カ并可維持 住第一光學(xué)層45與基板42的相對(duì)位置。固化完成后，罩體124上升，以利于取出基板42及形成于其上的第一光學(xué)層45，如步驟S112所示。進(jìn)ー步來說，步驟S104可包含將模板20滑入夾持件22形成的滑槽222中，以達(dá)到固定于上載臺(tái)16的目的。又，真空壓印裝置I設(shè)計(jì)具有磁吸作用，故步驟S104可包含使磁鐵24朝向下載臺(tái)14移動(dòng)，以通過磁鐵24將模板20吸附于上載臺(tái)16上。關(guān)于夾持件22及磁鐵24的其他說明，請(qǐng)參閱前文，不再贅述。此外，真空壓印裝置I設(shè)計(jì)有可獨(dú)立控制的伺服軸26，以驅(qū)動(dòng)上載臺(tái)16的移動(dòng)，故步驟S108可包含獨(dú)立控制伺服軸26，以驅(qū)動(dòng)上載臺(tái)16朝向下載臺(tái)14移動(dòng)。又，真空壓印裝置I設(shè)置有間隙感測(cè)裝置28，故步驟S108可為獨(dú)立控制伺服軸26，以驅(qū)動(dòng)上載臺(tái)16朝向下載臺(tái)14移動(dòng)，以使模板20接觸光學(xué)膠層44，以及根據(jù)間隙感測(cè)裝置28的反饋信號(hào)，控制移動(dòng)的上載臺(tái)16的停止位置，以使模板20壓印該圖案于光學(xué)膠層44上井能精確控制光學(xué)膠層44的厚度。關(guān)于伺服軸26及間隙感測(cè)裝置28的其他說明，請(qǐng)參閱前文，不再贅述。另外，于本實(shí)施例中，固化裝置18包含紫外光燈182，故步驟SllO可為對(duì)真空室12破真空，以及利用設(shè)置于下載臺(tái)14下方的紫外光燈182朝向上載臺(tái)16照射紫外光于壓印的光學(xué)膠層44，以使壓印的光學(xué)膠層44固化形成第一光學(xué)層45。其他關(guān)于固化裝置18的其他說明，請(qǐng)參閱前文，不再贅述。于步驟SI 12中，于自真空室12取出基板42前，第一光學(xué)層45需自模板20脫模，又真空壓印裝置I設(shè)計(jì)有頂針30及吹氣裝置32，以輔助脫摸，故步驟S112包含使上載臺(tái)16遠(yuǎn)離下載臺(tái)14移動(dòng)，同時(shí)使頂針30突出于上載臺(tái)16，以頂彎模板20，以及同時(shí)利用吹氣裝置32朝向模板20與第一光學(xué)層45吹氣，其示意圖可參閱圖5。其他關(guān)于頂針30及吹氣裝置32的其他說明，請(qǐng)參閱前文，不再贅述。接著，該制造方法將利用真空壓合裝置5于基板42上進(jìn)行另一光學(xué)層成形エ序，說明如下。該制造方法接著放置基板42及形成于其上的第一光學(xué)層45于真空壓合裝置5的下載臺(tái)54上，如步驟S114所示。該制造方法包含于第一光學(xué)層45上涂布一光學(xué)膠層46，如步驟S116所示；其中，于實(shí)踐中，光學(xué)膠層46可先涂布于第一光學(xué)層45上，再將帶有第一光學(xué)層45的基板42連同光學(xué)膠層46 —井放置于下載臺(tái)54上。該制造方法亦準(zhǔn)備保護(hù)膜60，固定于真空壓合裝置5的上載臺(tái)56上，如步驟S118所示。步驟S114至步驟S118的實(shí)施先后不限于圖9所示的順序；完成前述步驟后，真空壓合裝置5的狀態(tài)可參閱圖6。該制造方法接著將真空壓合裝置5的罩體524與底板522密合以對(duì)真空壓合裝置5的真空室52抽真空，如步驟S120所示；使真空壓合裝置5的上載臺(tái)56朝向下載臺(tái)54移動(dòng)以使保護(hù)膜60平鋪于光學(xué)膠層46上，如步驟S122所示。完成前述步驟后，真空壓合裝置5的狀態(tài)可參閱圖7。該制造方法接著利用真空壓合裝置5的固化裝置58固化被壓平的光學(xué)膠層46以形成一第二光學(xué)層47，進(jìn)而形成層狀光學(xué)元件4，如步驟S124。實(shí)踐中，于步驟S124實(shí)施前，可先將真空室52破真空，下載臺(tái)54則以真空吸附的方式吸住基板42，此可避免第二光學(xué)層47引入過多的殘留應(yīng)カ并可維持住第二光學(xué)層47與基板42的相對(duì)位置。固化完成后，罩體524上升，以利于取出基板42及形成于其上的第一光學(xué)層45及第ニ光學(xué)層47,如圖10所示。進(jìn)ー步來說，步驟S118可包含通過固定板64對(duì)應(yīng)磁鐵62吸附于上載臺(tái)56上，以固定保護(hù)膜60于上載臺(tái)56上。當(dāng)使用工具66實(shí)施保護(hù)膜60固定于上載臺(tái)56吋，步驟SI 18可為將固定板64設(shè)置于真空吸盤666旁，將保護(hù)膜60平鋪于工具66上,利用真空吸盤666吸附保護(hù)膜60，將工具66伸入真空室52中，使保護(hù)膜60貼附于上載臺(tái)56上，并使固定板64通過磁鐵62吸附于上載臺(tái)56上以固定保護(hù)膜60，釋放真空吸盤666的真空，以及移出工具66。其中，為使保護(hù)膜60能更平坦貼附于上載臺(tái)56，步驟S118可包含對(duì)通氣孔562抽氣以真空吸附保護(hù)膜60于上載臺(tái)56上。關(guān)于工具66及通氣孔562的其他說明， 請(qǐng)參閱前文，不再贅述。與真空壓印裝置I相同，真空壓合裝置5亦設(shè)計(jì)有可獨(dú)立控制的伺服軸68，故步驟S116可包含獨(dú)立控制伺服軸68，以驅(qū)動(dòng)上載臺(tái)56朝向下載臺(tái)54移動(dòng)。同樣地，真空壓合裝置5設(shè)置有間隙感測(cè)裝置70，故步驟S116可為獨(dú)立控制伺服軸68，以驅(qū)動(dòng)上載臺(tái)56朝向下載臺(tái)54移動(dòng)，以使保護(hù)膜60接觸于光學(xué)膠層46上，以及根據(jù)間隙感測(cè)裝置70的回饋信號(hào)，控制移動(dòng)的上載臺(tái)56的停止位置，以使保護(hù)膜60平壓于光學(xué)膠層46上井能精確控制光學(xué)膠層46的厚度。關(guān)于伺服軸68及間隙感測(cè)裝置70的其他說明，請(qǐng)參閱前文，不再贅述。另外，于本實(shí)施例中，固化裝置58包含紫外光燈582，故步驟S124可為對(duì)真空室52破真空，以及利用設(shè)置于上載臺(tái)56上方的紫外光燈582朝向下載臺(tái)54照射紫外光于光學(xué)膠層46，以使光學(xué)膠層46固化形成第二光學(xué)層47。其他關(guān)于固化裝置58的其他說明，請(qǐng)參閱前文，不再贅述。此外，于本實(shí)施例中，下載臺(tái)56設(shè)置有加熱裝置12，故步驟S116可包含利用加熱裝置72以加熱光學(xué)膠層46，可増加光學(xué)膠層46的流動(dòng)性，有利于保護(hù)膜60平鋪于光學(xué)膠層46上。關(guān)于加熱裝置72的其他說明，請(qǐng)參閱前文，不再贅述。又，當(dāng)保護(hù)膜60具有一配向結(jié)構(gòu)于其表面上吋，步驟S116可包含利用保護(hù)膜60壓印該配向結(jié)構(gòu)于光學(xué)膠層46上。關(guān)于該配向結(jié)構(gòu)的其他說明，請(qǐng)參閱前文，不再贅述。另外，補(bǔ)充說明的是，實(shí)踐中，本發(fā)明的真空壓印裝置不以前述真空壓印裝置I為限，尤其是利用頂針30頂彎模板20的脫模機(jī)制。請(qǐng)參閱圖I及圖11，圖11為根據(jù)本發(fā)明的另ー實(shí)施例的真空壓印裝置3的示意圖。于本實(shí)施例中，真空壓印裝置3與圖I中真空壓印裝置1，主要不同之處在于真空壓印裝置3使用的模板21無需使用夾持件22及磁鐵24，而改以ニ折板機(jī)構(gòu)23及多個(gè)固定件19設(shè)置于真空壓印裝置3的上載臺(tái)17上。于真空壓印裝置3中，上載臺(tái)17包含一突臺(tái)172，模板21設(shè)置于突臺(tái)172上，折板機(jī)構(gòu)23設(shè)置于上載臺(tái)17，折板機(jī)構(gòu)23包含一至動(dòng)桿232及與至動(dòng)桿232連接的一固持件234，固持件234設(shè)置于突臺(tái)172旁以能勾持模板21的相對(duì)兩側(cè)。于實(shí)踐中，至動(dòng)桿232得以氣壓缸驅(qū)動(dòng)，使得固持件234能相對(duì)上載臺(tái)17移動(dòng)，但本發(fā)明不以此為限。此外，固定件19固定于上載臺(tái)17，模板21具有多個(gè)固定孔212，對(duì)應(yīng)該多個(gè)固定件19，模板21通過該多個(gè)固定件19穿過該多個(gè)固定孔212以設(shè)置于上載臺(tái)17上。于本實(shí)施例中，固定孔212的載面大于對(duì)應(yīng)的固定件19穿過固定孔212部位的載面，固定件19例如螺絲，鎖于上載臺(tái)17，固定孔212包含一通道部2122及與通道部2122連通的一卡持部2124，其示意圖如圖12所示；固定件19的螺絲頭穿過通道部2122，再卡持住通道部2122，以使模板21能固定突臺(tái)172上。原則上，固持件234已可有效使模板21設(shè)置于突臺(tái)172上，故實(shí)踐中，固定件19及固定孔212的設(shè)置可以省略；但固定件19及固定孔212的設(shè)置仍有助于模板21的定位。另外，于實(shí)踐中，突臺(tái)172可另件設(shè)置于上載臺(tái)17的本體上，不以圖11中上載臺(tái)17所示的一體成形結(jié)構(gòu)為限。請(qǐng)參閱圖5及圖13，圖13為圖11的真空壓印裝置3的脫模示意圖。真空壓印裝置3與圖5中真空壓印裝置I的脫模原理大致相同，主要不同之處在于上載臺(tái)17遠(yuǎn)離下載臺(tái)14移動(dòng)時(shí)，真空壓印裝置I主要使用至動(dòng)桿232驅(qū)動(dòng)固持件234相對(duì)上載臺(tái)17遠(yuǎn)離下載 臺(tái)14移動(dòng)以彎曲模板21。于本實(shí)施例中，固定件19并未將模板21的兩側(cè)完全固定，故模板21整體均可被彎曲，有助于模板21與第一光學(xué)層45分離，尤其是第一光學(xué)層45邊緣部分與模板21分離；其中，固定孔212與固定件19輪廓并非完全密合，故當(dāng)模板21彎曲吋，模板21可通過固定孔212相對(duì)固定件19滑動(dòng)，以避免模板21于彎曲受到過度的限制。另夕卜，原則上，固持件234已可使模板21彎曲，然于實(shí)踐中，真空壓印裝置3亦可輔助使用頂針30強(qiáng)化模板21彎曲程度，亦有助于模板21與第一光學(xué)層45分離。關(guān)于真空壓印裝置3的各部件的其他說明，請(qǐng)參閱前文，不再贅述。此外，于本實(shí)施例中，突臺(tái)172對(duì)應(yīng)該ニ折板機(jī)構(gòu)23的ニ邊緣上分別形成ー導(dǎo)角1722，使得模板21彎曲時(shí)能緊貼導(dǎo)角1722，以避免過于銳利的邊緣擦傷模板21，亦能使模板21彎曲截面輪廓更為平順；但本發(fā)明不以此為限。補(bǔ)充說明的是，當(dāng)使用頂針30彎曲模板21時(shí)，于模板21完成彎曲后，模板21實(shí)際上得已與突臺(tái)172分離，此可使模板21獲得更高的彎曲程度，有助于第一光學(xué)層45與模板21分離。另外，于本實(shí)施例中，上載臺(tái)17具有容置空間以供折板機(jī)構(gòu)23移動(dòng)其中，故若模板21于彎曲時(shí)無結(jié)構(gòu)干涉疑慮時(shí)，例如模板21彎入該容置空間中，突臺(tái)172的結(jié)構(gòu)亦可省略。又，模板21實(shí)際的彎曲輪廓可能因相關(guān)部件(例如折板機(jī)構(gòu)23、固定件19、突臺(tái)172等)的相對(duì)位置、結(jié)構(gòu)尺寸、甚至模板21的材料特性而與圖13所示不同，此差異自可為本領(lǐng)域技術(shù)人員所了解而仍能基于本發(fā)明的原理實(shí)施本發(fā)明，不待贅述。綜上所述，本發(fā)明設(shè)置真空制造的環(huán)境，以利用真空特性使光學(xué)膠層于固化后形成的光學(xué)層的氣泡現(xiàn)象得以抑制，并且采用工具操作以提升エ藝精度，排除人工操作的不穩(wěn)定性，以有效解決現(xiàn)有技術(shù)的問題。當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.ー種真空壓印裝置，其特征在于，包含 一真空室； ー下載臺(tái)，設(shè)置于該真空室內(nèi)，用以承載一基板，其上設(shè)置有一光學(xué)膠層； ー上載臺(tái)，相對(duì)于該下載臺(tái)設(shè)置于該真空室內(nèi)，用以承載ー模板，該上載臺(tái)能朝向該下載臺(tái)移動(dòng)以使該模板壓印ー圖案于該光學(xué)膠層上；以及 一固化裝置，用以固化該壓印的光學(xué)膠層以形成一光學(xué)層于該基板上。
2.如權(quán)利要求I所述的真空壓印裝置，其特征在于，還包含多個(gè)L形夾持件，設(shè)置于該上載臺(tái)上以形成ー滑槽，用以夾持該模板。
3.如權(quán)利要求I所述的真空壓印裝置，其特征在于，還包含ー磁鐵，可移動(dòng)地設(shè)置于該上載臺(tái)中，用以吸附該模板于該上載臺(tái)上。
4.如權(quán)利要求I所述的真空壓印裝置，其特征在干，還包含三伺服軸，與該上載臺(tái)連接，用以驅(qū)動(dòng)該上載臺(tái)相對(duì)于該下載臺(tái)移動(dòng)。
5.如權(quán)利要求4所述的真空壓印裝置，其特征在于，還包含三間隙感測(cè)裝置，對(duì)應(yīng)該三伺服軸設(shè)置于該下載臺(tái)，用以控制該上載臺(tái)的移動(dòng)。
6.如權(quán)利要求I所述的真空壓印裝置，其特征在于，該固化裝置包含一紫外光燈，用以照射紫外光于該光學(xué)膠層以固化形成該光學(xué)層。
7.如權(quán)利要求6所述的真空壓印裝置，其特征在于，該下載臺(tái)為透明結(jié)構(gòu)，該紫外光燈設(shè)置于該下載臺(tái)下方。
8.如權(quán)利要求I所述的真空壓印裝置，其特征在干，還包含一頂針，貫穿該上載臺(tái)設(shè)置，用以頂彎該模板。
9.如權(quán)利要求I所述的真空壓印裝置，其特征在于，還包含ニ折板機(jī)構(gòu)，設(shè)置于該上載臺(tái)井能勾持該模板的相對(duì)兩側(cè)，其中當(dāng)該ニ折板機(jī)構(gòu)相對(duì)該上載臺(tái)遠(yuǎn)離該下載臺(tái)移動(dòng)時(shí)，該ニ折板機(jī)構(gòu)彎曲該模板。
10.如權(quán)利要求9所述的真空壓印裝置，其特征在干，還包含多個(gè)固定件，固定于該上載臺(tái)，其中該模板具有多個(gè)固定孔，對(duì)應(yīng)該多個(gè)固定件，該模板通過該多個(gè)固定件穿過該多個(gè)固定孔以設(shè)置于該上載臺(tái)，該固定孔的載面大于該對(duì)應(yīng)的固定件穿過該固定孔部位的載面。
11.如權(quán)利要求9所述的真空壓印裝置，其特征在干，該上載臺(tái)包含一突臺(tái)，該模板設(shè)置于該突臺(tái)上，該ニ折板機(jī)構(gòu)相對(duì)設(shè)置于該突臺(tái)的兩側(cè)。
12.如權(quán)利要求11所述的真空壓印裝置，其特征在于，該突臺(tái)對(duì)應(yīng)該ニ折板機(jī)構(gòu)的ニ邊緣上分別形成ー導(dǎo)角，該模板于彎曲時(shí)緊貼該導(dǎo)角。
13.如權(quán)利要求I所述的真空壓印裝置，其特征在于，還包含ー吹氣裝置，設(shè)置于該下載臺(tái)旁，用以朝向該模板與該光學(xué)層吹氣。
14.ー種真空壓合裝置，其特征在于，包含 一真空室； ー下載臺(tái)，設(shè)置于該真空室內(nèi)，用以承載一基板，其上形成有一第一光學(xué)層，該第一光學(xué)層上設(shè)置有一光學(xué)膠層； ー上載臺(tái)，相對(duì)于該下載臺(tái)設(shè)置于該真空室內(nèi)，用以承載一保護(hù)膜，該上載臺(tái)能朝向該下載臺(tái)移動(dòng)以使該保護(hù)膜平鋪于該光學(xué)膠層上；以及一固化裝置，用以固化該光學(xué)膠層以形成一第二光學(xué)層于該第一光學(xué)層上。
15.如權(quán)利要求14所述的真空壓合裝置，其特征在于，還包含ニ磁鐵及ニ固定板，該磁鐵設(shè)置于該上載臺(tái)內(nèi)，該固定板對(duì)應(yīng)該磁鐵吸附于該上載臺(tái)上，用以固定該保護(hù)膜。
16.如權(quán)利要求15所述的真空壓合裝置，其特征在于，還包含一工具，該工具包含ニ真空吸盤，用以利用該真空吸盤吸附該保護(hù)膜，再伸入該真空室中以固定該保護(hù)膜于該上載臺(tái)上。
17.如權(quán)利要求15所述的真空壓合裝置，其特征在干，該上載臺(tái)包含多個(gè)通氣孔，用以對(duì)該通氣孔抽氣以真空吸附該保護(hù)膜于該上載臺(tái)上，以及用以對(duì)該通氣孔通氣以自該上載臺(tái)分離該保護(hù)膜。
18.如權(quán)利要求14所述的真空壓合裝置，其特征在于，還包含三伺服軸，與該上載臺(tái)連接，用以驅(qū)動(dòng)該上載臺(tái)相對(duì)于該下載臺(tái)移動(dòng)。
19.如權(quán)利要求18所述的真空壓合裝置，其特征在于，還包含三間隙感測(cè)裝置，對(duì)應(yīng)該三伺服軸設(shè)置于該下載臺(tái)，用以控制該上載臺(tái)的移動(dòng)。
20.如權(quán)利要求14所述的真空壓合裝置，其特征在于，該固化裝置包含一紫外光燈，用以照射紫外光于該光學(xué)膠層以固化形成該第二光學(xué)層。
21.如權(quán)利要求20所述的真空壓合裝置，其特征在于，該上載臺(tái)為透明結(jié)構(gòu)，該紫外光燈設(shè)置于該上載臺(tái)上方。
22.如權(quán)利要求14所述的真空壓合裝置，其特征在于，該下載臺(tái)還包含ー加熱裝置，用以加熱該光學(xué)膠層。
23.如權(quán)利要求14所述的真空壓合裝置，其特征在干，該保護(hù)膜具有一配向結(jié)構(gòu)，用以壓印該配向結(jié)構(gòu)于該光學(xué)膠層上。
24.一種層狀光學(xué)元件的制造方法，利用一真空壓印裝置及一真空壓合裝置以制造一層狀光學(xué)元件，其特征在于，該真空壓印裝置包含一第一真空室、一第一下載臺(tái)、一第一上載臺(tái)及一第一固化裝置，該真空壓合裝置包含一第二真空室、一第二下載臺(tái)、一第二上載臺(tái)及一第二固化裝置，該第一下載臺(tái)及該第一上載臺(tái)設(shè)置于該第一真空室內(nèi)，該第二下載臺(tái)及該第二上載臺(tái)設(shè)置于該第二真空室內(nèi)，該制造方法包含下列步驟 a、準(zhǔn)備一基板,放置于該第一下載臺(tái)上； b、于該基板上涂布ー第一光學(xué)膠層； C、準(zhǔn)備ー模板，固定于該第一上載臺(tái)上； d、對(duì)該第一真空室抽真空； e、使該第一上載臺(tái)朝向該第一下載臺(tái)移動(dòng)以使該模板壓印ー圖案于該第一光學(xué)膠層上； f、利用該第一固化裝置固化該壓印的第一光學(xué)膠層以形成一第一光學(xué)層于該基板上； g、取出該基板及該第一光學(xué)層； h、放置該基板及該第一光學(xué)層于該第二下載臺(tái)上； i、于該第一光學(xué)層上涂布一第二光學(xué)膠層； j、準(zhǔn)備一保護(hù)膜，固定于該第二上載臺(tái)上； k、對(duì)該第二真空室抽真空；I、使該第一上載臺(tái)朝向該第二下載臺(tái)移動(dòng)以使該保護(hù)膜平鋪于該第二光學(xué)膠層上；以及 m、利用該第二固化裝置固化該第二光學(xué)膠層以形成一第二光學(xué)層于該第一光學(xué)層上，進(jìn)而形成該層狀光學(xué)元件。
25.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在干，該真空壓印裝置還包含多個(gè)L形夾持件，設(shè)置于該第一下載臺(tái)上以形成ー滑槽，步驟c還包含下列步驟 將該模板滑入該滑槽中。
26.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在于，該真空壓印裝置包含ー磁鐵，可移動(dòng)地設(shè)置于該第一上載臺(tái)中，步驟c由下列步驟實(shí)施 使該磁鐵朝向該第一下載臺(tái)移動(dòng)；以及 通過該磁鐵將該模板吸附于該第一上載臺(tái)上。
27.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在干，該真空壓印裝置包含三伺服軸，與該第一上載臺(tái)連接，步驟e還包含下列步驟 獨(dú)立控制該三伺服軸，以驅(qū)動(dòng)該第一上載臺(tái)朝向該第一下載臺(tái)移動(dòng)。
28.如權(quán)利要求27所述的制造方法，其特征在于，該真空壓印裝置還包含三間隙感測(cè)裝置，對(duì)應(yīng)該三伺服軸設(shè)置于該第一下載臺(tái)，步驟e由下列步驟實(shí)施 獨(dú)立控制該三伺服軸，以驅(qū)動(dòng)該第一上載臺(tái)朝向該第一下載臺(tái)移動(dòng)，以使該模板接觸該第一光學(xué)膠層；以及 根據(jù)該三間隙感測(cè)裝置的反饋信號(hào)，控制該移動(dòng)的第一上載臺(tái)的停止位置，以使該模板壓印該圖案于該第一光學(xué)膠層上。
29.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在于，該第一固化裝置包含一紫外光燈，步驟f 由下列步驟實(shí)施 對(duì)該第一真空室破真空；以及 利用該紫外光燈照射紫外光于該壓印的第一光學(xué)膠層，以使該壓印的第一光學(xué)膠層固化形成該第一光學(xué)層。
30.如權(quán)利要求29所述的制造方法，其特征在于，該第一下載臺(tái)為透明結(jié)構(gòu)，該紫外光燈設(shè)置于該第一下載臺(tái)下方，于步驟f 中，該紫外光燈自該第一下載臺(tái)下方朝向該第一上載臺(tái)照射該紫外光。
31.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在干，該真空壓印裝置還包含一頂針，貫穿該第一上載臺(tái)設(shè)置，步驟g還包含下列步驟 使該第一上載臺(tái)遠(yuǎn)離該第一下載臺(tái)移動(dòng)，同時(shí)使該頂針突出于該第一上載臺(tái)，以頂彎該模板。
32.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在于，該真空壓印裝置還包含ー吹氣裝置，設(shè)置于該第一下載臺(tái)旁，步驟g還包含下列步驟 使該第一上載臺(tái)遠(yuǎn)離該第一下載臺(tái)移動(dòng)，同時(shí)利用該吹氣裝置朝向該模板與該第一光學(xué)層吹氣。
33.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在于，該真空壓印裝置還包含ニ折板機(jī)構(gòu)，設(shè)置于該第一上載臺(tái)并能勾持該模板的相對(duì)兩側(cè)，步驟g還包含下列步驟 使該ニ折板機(jī)構(gòu)相對(duì)該第一上載臺(tái)遠(yuǎn)離該第一下載臺(tái)移動(dòng)以彎曲該模板。
34.如權(quán)利要求33所述的制造方法，其特征在于，該真空壓印裝置還包含多個(gè)固定件，該模板具有多個(gè)固定孔，對(duì)應(yīng)該多個(gè)固定件，步驟c由下列步驟實(shí)施 將該多個(gè)固定件穿過該多個(gè)固定孔并固定于該第一上載臺(tái)以使該模板設(shè)置于該第一上載臺(tái)，固定孔的載面大于該對(duì)應(yīng)的固定件穿過該固定孔部位的載面。
35.如權(quán)利要求33所述的制造方法,其特征在于,該第一上載臺(tái)包含一突臺(tái)，該ニ折板機(jī)構(gòu)相對(duì)設(shè)置于該突臺(tái)的兩側(cè)，該突臺(tái)對(duì)應(yīng)該ニ折板機(jī)構(gòu)的ニ邊緣上分別形成ー導(dǎo)角，于步驟c中，該模板設(shè)置于該突臺(tái)上，于步驟g中，該模板于彎曲時(shí)緊貼該導(dǎo)角。
36.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在干，該真空壓合裝置還包含ニ磁鐵及ニ固定板，該磁鐵設(shè)置于該第二上載臺(tái)內(nèi)，步驟j由下列步驟實(shí)施 通過該固定板對(duì)應(yīng)該磁鐵吸附于該第二上載臺(tái)上，以固定該保護(hù)膜于該第二上載臺(tái)上。
37.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在干，該真空壓合裝置還包含一工具，該エ具包含ニ真空吸盤，該真空壓合裝置還包含ニ磁鐵及ニ固定板，該磁鐵設(shè)置于該第二上載臺(tái)內(nèi)，步驟j由下列步驟實(shí)施 將該ニ固定板設(shè)置于該ニ真空吸盤旁； 將該保護(hù)膜平鋪于該工具上； 利用該真空吸盤吸附該保護(hù)膜； 將該工具伸入該第二真空室中； 使該保護(hù)膜貼附于該第二上載臺(tái)上，并使該固定板通過該磁鐵吸附于該第二上載臺(tái)上； 釋放該真空吸盤；以及 移出該工具。
38.如權(quán)利要求37所述的制造方法，其特征在干，該第二上載臺(tái)包含多個(gè)通氣孔，步驟j還包含下列步驟 對(duì)該通氣孔抽氣以真空吸附該保護(hù)膜于該第二上載臺(tái)上。
39.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在干，該真空壓合裝置包含三伺服軸，與該第二上載臺(tái)連接，步驟I還包含下列步驟 獨(dú)立控制該三伺服軸，以驅(qū)動(dòng)該第二上載臺(tái)朝向該第二下載臺(tái)移動(dòng)。
40.如權(quán)利要求39所述的制造方法，其特征在于，該真空壓合裝置還包含三間隙感測(cè)裝置，對(duì)應(yīng)該三伺服軸設(shè)置于該第二下載臺(tái)，步驟I由下列步驟實(shí)施 獨(dú)立控制該三伺服軸，以驅(qū)動(dòng)該第二上載臺(tái)朝向該第二下載臺(tái)移動(dòng)，以使該保護(hù)膜接觸于該第二光學(xué)膠層上；以及 根據(jù)該三間隙感測(cè)裝置的反饋信號(hào)，控制該移動(dòng)的第二上載臺(tái)的停止位置，以使該保護(hù)膜平壓于該第二光學(xué)膠層上。
41.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在干，該第二固化裝置包含一紫外光燈，步驟m由下列步驟實(shí)施 對(duì)該第二真空室破真空；以及 利用該紫外光燈照射紫外光于該第二光學(xué)膠層，以使該第二光學(xué)膠層固化形成該第二光學(xué)層。
42.如權(quán)利要求41所述的制造方法，其特征在于，該第二上載臺(tái)為透明結(jié)構(gòu)，該紫外光燈設(shè)置于該第二上載臺(tái)上方，于步驟m中，該紫外光燈自該第二上載臺(tái)上方朝向該第二下載臺(tái)照射該紫外光。
43.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在干，該第二下載臺(tái)還包含ー加熱裝置，步驟I還包含下列步驟 利用該加熱裝置以加熱該第二光學(xué)膠層。
44.如權(quán)利要求24所述的制造方法，其特征在干，該保護(hù)膜具有一配向結(jié)構(gòu)，步驟I還包含下列步驟 利用該保護(hù)膜壓印該配向結(jié)構(gòu)于該第二光學(xué)膠層上。
全文摘要
一種真空壓印裝置、真空壓合裝置及層狀光學(xué)元件的制造方法，該真空壓印裝置及該真空壓合裝置分別包含一真空室、一下載臺(tái)、一上載臺(tái)及一固化裝置。該上載臺(tái)相對(duì)于該下載臺(tái)設(shè)置于該真空室內(nèi)，并能朝向該下載臺(tái)移動(dòng)以實(shí)施壓印或平鋪的操作。該固化裝置用以固化一光學(xué)膠層以形成一光學(xué)層。該制造方法分別利用該真空壓印裝置及該真空壓合裝置于一基板上形成多個(gè)光學(xué)層，進(jìn)而形成該層狀光學(xué)元件。本發(fā)明使用機(jī)具于真空環(huán)境中形成光學(xué)膠層，以有效抑制固化后于該光學(xué)層形成的層狀結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生的氣泡現(xiàn)象。
文檔編號(hào)B32B38/16GK102765240SQ201110434308
公開日2012年11月7日 申請(qǐng)日期2011年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月29日
發(fā)明者劉榮井, 吳宣毅, 臧華安, 趙文魁, 黃義雄, 黃建森 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司