一種用于pecvd鍍膜設(shè)備的自動(dòng)上下料裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池領(lǐng)域，具體涉及一種用于PECVD鍍膜設(shè)備的自動(dòng)上下料裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡，在所有的可持續(xù)能源中，太陽(yáng)能無(wú)疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。光伏發(fā)電是最具可持續(xù)發(fā)展理想特征的發(fā)電技術(shù)之一。目前，在所有的太陽(yáng)能電池中，硅太陽(yáng)能電池是得到大范圍商業(yè)推廣的太陽(yáng)能電池之一，這是由于硅材料在地殼中有著極為豐富的儲(chǔ)量，同時(shí)硅太陽(yáng)能電池相比其他類型的太陽(yáng)能電池，有著優(yōu)異的電學(xué)性能和機(jī)械性能。在未來(lái)光伏技術(shù)的發(fā)展中，隨著硅太陽(yáng)能電池光電性能的進(jìn)一步提高，硅材料價(jià)格的進(jìn)一步降低，硅太陽(yáng)能電池將在光伏領(lǐng)域占據(jù)重要的地位。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，在太陽(yáng)能電池的制備過(guò)程中，一般需要對(duì)硅片發(fā)射結(jié)面進(jìn)行鍍減反射膜的步驟。目前，氮化硅薄膜作為晶體硅太陽(yáng)能電池的光學(xué)減反射膜，同時(shí)也起到表面鈍化和體內(nèi)鈍化的作用，可以提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中，制備氮化硅薄膜一般采用的是等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)方法，擁有成熟的工藝和相應(yīng)的設(shè)備，如可以采用德國(guó)ROTH&RAU公司的PECVD鍍膜設(shè)備。在采用PECVD鍍膜設(shè)備制備氮化硅薄膜的過(guò)程中，需要使用一種承載硅片的石墨框，而石墨框的傳輸控制會(huì)使用到自動(dòng)上下料裝置，其用來(lái)負(fù)責(zé)石墨框的上下循環(huán)反復(fù)的傳輸。其整個(gè)傳輸過(guò)程分為上傳輸和下回傳，在上下傳輸?shù)你暯犹?，使用升降電機(jī)。
[0005]現(xiàn)有的自動(dòng)上下料裝置見(jiàn)附圖1所示，包括滾輪傳送機(jī)構(gòu)1、升降電機(jī)，升降電機(jī)上設(shè)有升降臺(tái)8。石墨框從PECVD鍍膜設(shè)備中傳送出來(lái)以后，在滾輪輪傳送機(jī)構(gòu)I的帶動(dòng)下向升降臺(tái)下位等待區(qū)域移動(dòng)，當(dāng)石墨框運(yùn)動(dòng)至一定位置時(shí)，石墨框2會(huì)遮擋住等待區(qū)域的停止位光電傳感器3，此時(shí)，滾輪輪傳送機(jī)構(gòu)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，石墨框也停止運(yùn)動(dòng)。圖1中，極限位光電傳感器4起保護(hù)作用，防止石墨框運(yùn)行超出限位，避免升降臺(tái)在下降過(guò)程中夾斷石墨框。
[0006]然而，實(shí)際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)，石墨框的傳輸是有慣性的，而傳動(dòng)過(guò)程中，由于極限位光電傳感器的信號(hào)保護(hù)是在升降電機(jī)運(yùn)行指令輸出前，在運(yùn)行指令輸出后，升降電機(jī)運(yùn)行不受傳感器信號(hào)的控制，因此會(huì)出現(xiàn)當(dāng)停止位光電傳感器和極限位光電傳感器的信號(hào)保護(hù)失效，石墨框出現(xiàn)越位的情況，但是此時(shí)升降電機(jī)并無(wú)感知，繼續(xù)下降，從而產(chǎn)生夾石墨框的故障。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本實(shí)用新型的目的是提供一種用于PECVD鍍膜設(shè)備的自動(dòng)上下料裝置。
[0008]為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種用于PECVD鍍膜設(shè)備的自動(dòng)上下料裝置，包括滾輪傳送機(jī)構(gòu)、升降電機(jī)，升降電機(jī)上設(shè)有升降臺(tái)，所述升降臺(tái)具有升降臺(tái)上位和升降臺(tái)下位；
[0009]還包括升降臺(tái)上位等待區(qū)域和升降臺(tái)下位等待區(qū)域，所述升降臺(tái)下位等待區(qū)域與所述升降臺(tái)下位配合并位于升降臺(tái)下位的側(cè)部；
[0010]所述升降臺(tái)下位處設(shè)有行程開(kāi)關(guān)；所述升降臺(tái)下位等待區(qū)域設(shè)有定位汽缸；
[0011]所述定位汽缸由行程開(kāi)關(guān)控制連接，使定位汽缸具有如下2個(gè)工作位:
[0012](I)當(dāng)升降臺(tái)移動(dòng)至升降臺(tái)下位時(shí)，升降臺(tái)下壓并觸發(fā)行程開(kāi)關(guān)，行程開(kāi)關(guān)控制定位氣缸的活塞下降，石墨框在滾輪傳送機(jī)構(gòu)的傳輸下正常往升降臺(tái)下位進(jìn)行傳輸；
[0013](2)當(dāng)升降臺(tái)向上移動(dòng)時(shí)，行程開(kāi)關(guān)被放開(kāi)，行程開(kāi)關(guān)控制定位氣缸的活塞上升，活塞擋于滾輪傳送機(jī)構(gòu)的前方，防止石墨框在滾輪傳送機(jī)構(gòu)的傳輸下超出活塞之外。
[0014]上文中，所述滾輪傳送機(jī)構(gòu)、升降電機(jī)及升降臺(tái)均為現(xiàn)有技術(shù)。
[0015]當(dāng)升降臺(tái)向上移動(dòng)時(shí)，行程開(kāi)關(guān)被放開(kāi)，行程開(kāi)關(guān)控制定位氣缸的活塞上升，活塞擋于滾輪傳送機(jī)構(gòu)的前方，防止石墨框在滾輪傳送機(jī)構(gòu)的傳輸下超出活塞之外。即活塞擋于滾輪傳送機(jī)構(gòu)的前方，石墨框在滾輪傳送機(jī)構(gòu)的傳輸下最多只能抵于活塞上，而不超出允許范圍，從而起到行程保護(hù)的作用。
[0016]上述技術(shù)方案中，所述升降臺(tái)上位等待區(qū)域與所述升降臺(tái)上位配合并位于升降臺(tái)上位的側(cè)部。
[0017]上述技術(shù)方案中，所述定位汽缸位于所述滾輪傳送機(jī)構(gòu)傳輸方向的前方下部。
[0018]上述技術(shù)方案中，所述滾輪傳送機(jī)構(gòu)的上方設(shè)有停止位傳感器和極限位傳感器。
[0019]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
[0020]1.本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種專門(mén)用于PECVD鍍膜設(shè)備的自動(dòng)上下料裝置，通過(guò)設(shè)置行程開(kāi)關(guān)以及定位汽缸實(shí)現(xiàn)了石墨框的準(zhǔn)確定位，在石墨框的傳輸過(guò)程中，保證升降電機(jī)在運(yùn)行狀態(tài)下，石墨框能準(zhǔn)確定位而不超出允許范圍，避免了升降電機(jī)對(duì)極限位光電傳感器輸出信號(hào)的盲區(qū)，從而解決了升降電機(jī)在下降過(guò)程中夾住石墨框的故障問(wèn)題，具有積極的現(xiàn)實(shí)意義；
[0021]2.本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制備，成本較低，適于推廣應(yīng)用。
【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1是【背景技術(shù)】中的自動(dòng)上下料裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例一中升降臺(tái)位于升降臺(tái)上位時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例一中升降臺(tái)位于升降臺(tái)下位時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例一中升降臺(tái)下位等待區(qū)域的俯視圖。
[0026]其中:1、滾輪傳送機(jī)構(gòu)；2、石墨框；3、停止位傳感器；4、極限位傳感器；5、升降臺(tái)上位；6、行程開(kāi)關(guān)；7、定位汽缸；8、升降臺(tái)；9、升降臺(tái)下位等待區(qū)域；10、升降臺(tái)下位；11、升降臺(tái)上位等待區(qū)域。
【具體實(shí)施方式】
[0027]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0028]實(shí)施例一:
[0029]參見(jiàn)圖2~4所示，一種用于PECVD鍍膜設(shè)備的自動(dòng)上下料裝置，包括滾輪傳送機(jī)構(gòu)1、升降電機(jī)，升降電機(jī)上設(shè)有升降臺(tái)8，所述升降臺(tái)具有升降臺(tái)上位5和升降臺(tái)下位10 ;
[0030]還包括升降臺(tái)上位等待區(qū)域11和升降臺(tái)下位等待區(qū)域9，所述升降臺(tái)下位等待區(qū)域與所述升降臺(tái)下位配合并位于升降臺(tái)下位的側(cè)部；
[0031]所述升降臺(tái)下位處設(shè)有行程開(kāi)關(guān)6 ;所述升降臺(tái)下位等待區(qū)域設(shè)有定位汽缸7 ;
[0032]所述定位汽缸由行程開(kāi)關(guān)控制連接，使定位汽缸具有如下2個(gè)工作位:
[0033](I)當(dāng)升降臺(tái)移動(dòng)至升降臺(tái)下位時(shí)，升降臺(tái)下壓并觸發(fā)行程開(kāi)關(guān)，行程開(kāi)關(guān)控制定位氣缸的活塞下降，石墨框在滾輪傳送機(jī)構(gòu)的傳輸下正常往升降臺(tái)下位進(jìn)行傳輸；參見(jiàn)圖3所不；
[0034](2)當(dāng)升降臺(tái)向上移動(dòng)時(shí)，行程開(kāi)關(guān)被放開(kāi)，行程開(kāi)關(guān)控制定位氣缸的活塞上升，活塞擋于滾輪傳送機(jī)構(gòu)的前方，防止石墨框在滾輪傳送機(jī)構(gòu)的傳輸下超出活塞之外；參見(jiàn)圖2所示。
[0035]所述升降臺(tái)上位等待區(qū)域與所述升降臺(tái)上位配合并位于升降臺(tái)上位的側(cè)部。
[0036]所述定位汽缸位于所述滾輪傳送機(jī)構(gòu)傳輸方向的前方下部。
[0037]所述滾輪傳送機(jī)構(gòu)的上方設(shè)有停止位傳感器和極限位傳感器。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于PECVD鍍膜設(shè)備的自動(dòng)上下料裝置，包括滾輪傳送機(jī)構(gòu)(I)、升降電機(jī)，升降電機(jī)上設(shè)有升降臺(tái)(8)，所述升降臺(tái)具有升降臺(tái)上位(5)和升降臺(tái)下位(10); 還包括升降臺(tái)上位等待區(qū)域(11)和升降臺(tái)下位等待區(qū)域(9)，所述升降臺(tái)下位等待區(qū)域與所述升降臺(tái)下位配合并位于升降臺(tái)下位的側(cè)部；其特征在于: 所述升降臺(tái)下位處設(shè)有行程開(kāi)關(guān)￠);所述升降臺(tái)下位等待區(qū)域設(shè)有定位汽缸(7); 所述定位汽缸由行程開(kāi)關(guān)控制連接，使定位汽缸具有如下2個(gè)工作位: (1)當(dāng)升降臺(tái)移動(dòng)至升降臺(tái)下位時(shí)，升降臺(tái)下壓并觸發(fā)行程開(kāi)關(guān)，行程開(kāi)關(guān)控制定位氣缸的活塞下降，石墨框在滾輪傳送機(jī)構(gòu)的傳輸下正常往升降臺(tái)下位進(jìn)行傳輸； (2)當(dāng)升降臺(tái)向上移動(dòng)時(shí)，行程開(kāi)關(guān)被放開(kāi)，行程開(kāi)關(guān)控制定位氣缸的活塞上升，活塞擋于滾輪傳送機(jī)構(gòu)的前方，防止石墨框在滾輪傳送機(jī)構(gòu)的傳輸下超出活塞之外。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PECVD鍍膜設(shè)備的自動(dòng)上下料裝置，其特征在于:所述升降臺(tái)上位等待區(qū)域與所述升降臺(tái)上位配合并位于升降臺(tái)上位的側(cè)部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PECVD鍍膜設(shè)備的自動(dòng)上下料裝置，其特征在于:所述定位汽缸位于所述滾輪傳送機(jī)構(gòu)傳輸方向的前方下部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于PECVD鍍膜設(shè)備的自動(dòng)上下料裝置，其特征在于:所述滾輪傳送機(jī)構(gòu)的上方設(shè)有停止位傳感器和極限位傳感器。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于PECVD鍍膜設(shè)備的自動(dòng)上下料裝置，包括滾輪傳送機(jī)構(gòu)、升降電機(jī)，升降電機(jī)上設(shè)有升降臺(tái)，所述升降臺(tái)具有升降臺(tái)上位和升降臺(tái)下位；所述升降臺(tái)下位處設(shè)有行程開(kāi)關(guān)；所述升降臺(tái)下位等待區(qū)域設(shè)有定位汽缸；所述定位汽缸由行程開(kāi)關(guān)控制連接，使定位汽缸具有如下2個(gè)工作位。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置行程開(kāi)關(guān)以及定位汽缸實(shí)現(xiàn)了石墨框的準(zhǔn)確定位，在石墨框的傳輸過(guò)程中，保證升降電機(jī)在運(yùn)行狀態(tài)下，石墨框能準(zhǔn)確定位而不超出允許范圍，避免了升降電機(jī)對(duì)極限位光電傳感器輸出信號(hào)的盲區(qū)，從而解決了升降電機(jī)在下降過(guò)程中夾住石墨框的故障問(wèn)題。
【IPC分類】H01L31-18, H01L21-677
【公開(kāi)號(hào)】CN204391073
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520127895
【發(fā)明人】金佐良, 喬勇, 謝賢清
【申請(qǐng)人】蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司, 鹽城阿特斯協(xié)鑫陽(yáng)光電力科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2015年3月5日