一種復合石英晶振片的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種復合石英晶振片,包括:導電層、上部金屬鍍層、下部金屬鍍層和石英片層,所述上部金屬鍍層設置在石英片層的上表面,所述下部金屬鍍層設置在石英片層的下表面,所述導電層分別設置在上部金屬鍍層的上表面和下部金屬鍍層的下表面,所述導電層為石墨烯涂層,所述上部金屬鍍層和下部金屬鍍層分別為鋁合金鍍層。通過上述方式,本發(fā)明指出的一種復合石英晶振片,導電層特別采用了石墨烯材料制成,導電和導熱的性能好,而且鍍層為鋁合金材料,價格便宜,整體的性能較為出色。
【專利說明】一種復合石英晶振片
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及晶振片設計領域,特別是涉及一種復合石英晶振片。
【背景技術】
[0002]晶振片主要應用在膜厚控制儀器領域,薄薄圓圓的晶振片來源于多面體石英棒,先被切成閃閃發(fā)光的六面體棒,再經過反復的切割和研磨,石英棒最終被做成一堆薄薄的(厚0.23mm,直徑13.98mm)圓片,每個圓片經切邊,拋光和清洗,最后鍍上金屬電極(正面全鍍,背面鍍上鑰匙孔形),經過檢測,包裝就可以出廠使用。
[0003]晶振片上的金屬電極多用金、銀或者銀鋁合金制成,金的價格高,但導電的性能好,而且金不溶于硫酸,容易回收利用,而銀或者銀鋁合金比金的導電性能差,但價格相對便宜。
【發(fā)明內容】
[0004]本發(fā)明主要解決的技術問題是提供一種復合石英晶振片,價格便宜,鍍層的導電性能出色。
[0005]為解決上述技術問題,本發(fā)明采用的一個技術方案是:提供一種復合石英晶振片,包括:導電層、上部金屬鍍層、下部金屬鍍層和石英片層,所述上部金屬鍍層設置在石英片層的上表面,所述下部金屬鍍層設置在石英片層的下表面,所述導電層分別設置在上部金屬鍍層的上表面和下部金屬鍍層的下表面,所述導電層為石墨烯涂層,所述上部金屬鍍層和下部金屬鍍層分別為鋁合金鍍層。
[0006]在本發(fā)明一個較佳實施例中,所述上部金屬鍍層上對稱設置有圓弧狀的鏤空。
[0007]在本發(fā)明一個較佳實施例中,所述下部金屬鍍層均勻覆蓋在石英片層的下表面。
[0008]在本發(fā)明一個較佳實施例中,所述石墨烯涂層為石墨烯材料制成。
[0009]在本發(fā)明一個較佳實施例中,所述石英片層為超薄的石英圓片。
[0010]在本發(fā)明一個較佳實施例中,所述鋁合金鍍層為鋁合金材料制成。
[0011]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明指出的一種復合石英晶振片,導電層特別采用了石墨烯材料制成,導電和導熱的性能好,而且鍍層為鋁合金材料,價格便宜,整體的性能較為出色。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術方案,下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據這些附圖獲得其它的附圖,其中:
圖1是本發(fā)明一種復合石英晶振片一較佳實施例的剖面結構示意圖;
附圖中各部件的標記如下:1、導電層,2、上部金屬鍍層,3、下部金屬鍍層,4、石英片層?!揪唧w實施方式】
[0013]下面將對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅是本發(fā)明的一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0014]請參閱圖1,本發(fā)明實施例包括:
一種復合石英晶振片,包括:導電層1、上部金屬鍍層2、下部金屬鍍層3和石英片層4,所述上部金屬鍍層2設置在石英片層4的上表面,所述下部金屬鍍層3設置在石英片層4的下表面,所述導電層I分別設置在上部金屬鍍層2的上表面和下部金屬鍍層3的下表面,所述導電層I為石墨烯涂層,所述上部金屬鍍層2和下部金屬鍍層3分別為鋁合金鍍層。
[0015]本發(fā)明一種復合石英晶振片對普通的晶振片進行了改進,所述上部金屬鍍層2上對稱設置有圓弧狀的鏤空。
[0016]進一步的,所述下部金屬鍍層3均勻覆蓋在石英片層的下表面。
[0017]進一步的,所述石墨烯涂層為石墨烯材料制成。石墨烯的結構非常穩(wěn)定,最大的特性是其中電子的運動速度達到了光速的1/300,遠遠超過了電子在一般導體中的運動速度,石墨烯的導電和導熱效果都非常出色。
[0018]進一步的,所述石英片層4為超薄的石英圓片。
[0019]進一步的,所述鋁合金鍍層為鋁合金材料制成,鋁合金的導電較好,質量輕,而且價格便宜。
[0020]綜上所述,本發(fā)明指出的一種復合石英晶振片,與普通的鍍金石英晶振片相比,價格便宜,鍍層的導電性能好,性價比高。
[0021]以上所述僅為本發(fā)明的實施例,并非因此限制本發(fā)明的專利范圍,凡是利用本發(fā)明說明書內容所作的等效結構或等效流程變換,或直接或間接運用在其它相關的【技術領域】,均同理包括在本發(fā)明的專利保護范圍內。
【權利要求】
1.一種復合石英晶振片,其特征在于,包括:導電層、上部金屬鍍層、下部金屬鍍層和石英片層,所述上部金屬鍍層設置在石英片層的上表面,所述下部金屬鍍層設置在石英片層的下表面,所述導電層分別設置在上部金屬鍍層的上表面和下部金屬鍍層的下表面,所述導電層為石墨烯涂層,所述上部金屬鍍層和下部金屬鍍層分別為鋁合金鍍層。
2.根據權利要求1所述的復合石英晶振片,其特征在于,所述上部金屬鍍層上對稱設置有圓弧狀的鏤空。
3.根據權利要求1所述的復合石英晶振片,其特征在于,所述下部金屬鍍層均勻覆蓋在石英片層的下表面。
4.根據權利要求1所述的復合石英晶振片,其特征在于,所述石墨烯涂層為石墨烯材料制成。
5.根據權利要求1所述的復合石英晶振片,其特征在于,所述石英片層為超薄的石英圓片。
6.根據權利要求1所述的復合石英晶振片,其特征在于,所述鋁合金鍍層為鋁合金材料制成。
【文檔編號】B32B15/02GK104015422SQ201410273768
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2014年6月19日 優(yōu)先權日:2014年6月19日
【發(fā)明者】陳學兵 申請人:蘇州普京真空技術有限公司