專(zhuān)利名稱(chēng)：光學(xué)混合元件和圖象曝光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及圖象曝光裝置。特別涉及使用從多個(gè)發(fā)光元件射出的波長(zhǎng)不同的光在感光材料上進(jìn)行曝光的圖象曝光裝置。
背景技術(shù)：
近年，提出為每種記錄顏色配備由多個(gè)發(fā)光元件組成的列光源，在印相紙等的感光材料上進(jìn)行曝光的圖象曝光裝置，并已實(shí)用化。圖9是展示用以往的圖象曝光裝置進(jìn)行曝光的狀態(tài)的說(shuō)明圖。該圖象曝光裝置，為了對(duì)印相紙100進(jìn)行曝光，具備具有和印相紙100大致相同寬度的3個(gè)列光源210、220、230。
這3個(gè)列光源210、220、230，與各R、G、B的各記錄顏色對(duì)應(yīng)地發(fā)光。在印相紙100在圖中的箭頭方向上被搬送時(shí)，通過(guò)根據(jù)印相紙100的搬送速度錯(cuò)開(kāi)時(shí)間驅(qū)動(dòng)列光源210、220、230各自，在印相紙100的同一位置上實(shí)施R、G、B曝光。
如上所述，當(dāng)根據(jù)印相紙100的搬送速度錯(cuò)開(kāi)時(shí)間驅(qū)動(dòng)列光源210、220、230各自的情況下，需要對(duì)應(yīng)搬送速度錯(cuò)開(kāi)提供給各列光源的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的時(shí)間。因此，存在驅(qū)動(dòng)電路的構(gòu)成和時(shí)間控制變得復(fù)雜的問(wèn)題。另外，在進(jìn)行某種記錄顏色的曝光后，如果在到對(duì)同一象素進(jìn)行另一種顏色的曝光前期間在搬送速度中產(chǎn)生不穩(wěn)，則產(chǎn)生顏色偏差。因而，為了防止顏色偏差，需要嚴(yán)格管理印相紙100的搬送速度。
為了解決這種問(wèn)題，提出了使用具備根據(jù)波長(zhǎng)有選擇地使光透過(guò)或者反射的光選擇膜的二向色棱鏡300那樣的光混合部件，混合來(lái)自各列光源的列狀的出射光的方法。圖10是展示用二向色棱鏡300進(jìn)行光混合情況下的模式圖。
二向色棱鏡300，用由光學(xué)玻璃調(diào)制成的第1透明部件310、第2透明部件320以及第3透明部件330構(gòu)成。在第1透明部件310和第2透明部件320之間，設(shè)置根據(jù)光的波長(zhǎng)有選擇地透過(guò)或者反射的第1光選擇膜340。同樣，在第2透明部件320和第3透明部件330之間，設(shè)置根據(jù)光的波長(zhǎng)有選擇地透過(guò)或者反射的第2光選擇膜350。
如果使用這樣的二向色棱鏡300，則從列光源210射出的線(xiàn)狀出射光，順序透過(guò)第1透明部件310、第2光選擇膜340、第2透明部件320、第2光選擇膜350以及第2透明部件330出射。另外，來(lái)自列光源220的線(xiàn)狀出射光，透過(guò)第2透明部件320后在第1光選擇膜340上反射，順序透過(guò)第2光選擇膜350以及第3透明部件330射出。進(jìn)而，來(lái)自列光源230的線(xiàn)狀的射出光，透過(guò)第3透明部件330在第2光選擇膜350反射射出。經(jīng)由以上那樣的路徑，列光源210、220、230的線(xiàn)狀的各出射光被聚攏為1線(xiàn)。
為了在這樣的二向色棱鏡300上設(shè)置光選擇膜340、350，一般采用把鋁和銀等的金屬蒸鍍?cè)谕该鞑考系姆椒?。但是，?gòu)成二向色棱鏡300的各透明部件310、320、330，因?yàn)槭桥c列光源的線(xiàn)條長(zhǎng)度一致的比較長(zhǎng)的部件，所以由于蒸鍍時(shí)的加熱在長(zhǎng)方向上多發(fā)生“彎翹”。如果接合具有這樣“彎翹”的透明部件之間，則在透明部件之間產(chǎn)生氣泡，或者在整個(gè)產(chǎn)品上產(chǎn)生“彎翹”致使品質(zhì)劣化。
另外，在以往二向色棱鏡300中，如圖10所示，即使在形成第1光選擇膜340以及第2光選擇膜350的接合面以外，也具有比較大面積的接合面360，接合面整個(gè)面積大。如果接合面整體面積這樣大，因?yàn)橥该鞑考摹皬澛N”的部分之間接觸的比例增大，所以容易引起上述品質(zhì)劣化的問(wèn)題。
以下，被設(shè)置在該二向色棱鏡300上的第1光選擇膜340以及第2光選擇膜350，如上所述，具有根據(jù)光的波長(zhǎng)有選擇地透過(guò)或者反射的特性。一般，為了使光選擇膜具有這種特性，需要具有某種厚度的復(fù)雜的層構(gòu)成。
但是，上述第1光選擇膜340以及第2光選擇膜350，因?yàn)楸辉O(shè)置在夾在透明部件上的部位上，所以充分厚度的層構(gòu)造是困難的。因此，有時(shí)不能發(fā)揮充分的透過(guò)/反射特性。
例如，當(dāng)在來(lái)自列光源的射出光中混入P偏振光和S偏振光的情況下，在P偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)，和S偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)中容易產(chǎn)生差異，如果產(chǎn)生這種差異，則P偏振光和S偏振光被平均化，產(chǎn)生透過(guò)和反射的中間狀態(tài)(半透過(guò)·半反射)。其結(jié)果，光的利用效率下降。
在此，如果可以使P偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)，和S偏光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)接近，則可以解決上述那樣的光利用效率下降的問(wèn)題。但是，為此需要增加光選擇膜的厚度，在夾著透明部件的部位上構(gòu)成這種厚的光選擇膜是困難的。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述的問(wèn)題，本發(fā)明的第1目的是提供長(zhǎng)方向的彎翹少，高品質(zhì)的光混合部件(以下，還稱(chēng)為光學(xué)器件)，和具備該光混合部件的圖象曝光裝置，和使用該光混合部件的圖象曝光方法。
另外，本發(fā)明的第2目的是，在混合從多個(gè)發(fā)光元件射出的波長(zhǎng)不同的光對(duì)感光材料進(jìn)行曝光的圖象曝光裝置中，即使來(lái)自發(fā)光元件的射出光的偏振面不在恒定的方向上，也可以防止這些出射光的利用效率的下降。
因而，為了克服上述的缺點(diǎn)，上述目的可以通過(guò)以下的光學(xué)器件、圖象曝光裝置以及圖象曝光方法實(shí)現(xiàn)。
(1)在用于混合從不同方向入射的多束光在1方向上射出的光學(xué)器件中，上述光學(xué)器件包含第1透明部件，接收從第1發(fā)光元件列射出的第1光；第2透明部件，接收從第2發(fā)光元件列射出的第2光；第3透明部件，接收從第3發(fā)光元件列射出的第3光；第1接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第2透明部件，在使第1以及第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第2光在和已透過(guò)的第1以及第3光相同的方向上反射的第1光選擇膜；第2接合面，設(shè)置接合上述第1透明部件和上述第3透明部件，在使上述第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第1光在和已透過(guò)的第3光相同的方向上反射的第2光選擇膜；波長(zhǎng)控制元件，使得在上述第1光選擇膜上在P偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)和S偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)的差異區(qū)域中，不包含上述第1光的波長(zhǎng)區(qū)域。
(2)在1項(xiàng)的光學(xué)器件中，上述波長(zhǎng)控制元件，是設(shè)置成使上述第1透明部件的表面露出，波長(zhǎng)選擇地使從上述第1發(fā)光元件列射出的第1光透過(guò)的第3光選擇膜。
(3)在1項(xiàng)的光學(xué)器件中，上述第1光是蘭色光，上述第2光是綠色光，上述第3光是紅色光。
(4)在用于混合從不同方向入射的多束光使其在1方向射出的光學(xué)器件中，上述光學(xué)器件包含第1透明部件，接收從第1發(fā)光元件射出的第1光，具有角部；第2透明部件，接收從第2發(fā)光元件列射出的第2光；第3透明部件，接收從第3發(fā)光元件列射出的第3光；第1接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第2透明部件，在使第1以及第3光透過(guò)的同時(shí)使第2光在和已透過(guò)的第1以及第3光相同的方向上反射的第1光選擇膜；第2接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第3透明部件，在使上述第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第1光在和已透過(guò)的第3光相同的方向上反射的第2光選擇膜；第3接合面，在上述第1接合面的延長(zhǎng)線(xiàn)上接合上述第2透明部件和上述第3透明部件，在用上述第2接合面和上述第3接合面形成的凹部上嵌入上述第1透明部件的上述角部。
(5)在4項(xiàng)的光學(xué)器件中，上述第1透明部件的形狀是把上述第1接合面和上述第2接合面的交點(diǎn)作為頂部的長(zhǎng)尺寸的5角柱，上述第2透明部件的形狀是把上述第2接合面和上述第3接合面作為連續(xù)斜面的長(zhǎng)尺寸的4角柱，上述第3透明部件的形狀是具有與用上述第2接合面和上述第3接合面形成的凹部嵌合上述角部的長(zhǎng)尺寸的3角柱。
(6)在4項(xiàng)的光學(xué)器件中，在把在上述第3透明部件中的，包含第3接合面的側(cè)面的整個(gè)面積設(shè)置為S1，把上述第3接合面的面積設(shè)置為S2時(shí)，滿(mǎn)足以下關(guān)系。
S2＜(1/2)S1(7)在4項(xiàng)的光學(xué)器件中，在使經(jīng)混合的光射出的方向上設(shè)置的聚光元件的開(kāi)口角的范圍外，配置第2接合面以及第3接合面遠(yuǎn)離上述聚光元件的端部。
(8)在感光材料上曝光圖象的裝置中，上述裝置包含射出第1光的第1發(fā)光元件列；從和上述第1光不同的方向上射出第2光的第2發(fā)光元件列；從和上述第1光以及第2光不同的方向上射出第3光的第3發(fā)光元件列；混合從相互不同的方向射出的上述第1光、上述第2光以及上述第3光，用于使為了曝光上述感光材料的線(xiàn)狀的光在1方向上射出的光學(xué)器件；使上述感光材料或者上述光學(xué)器件的至少一方向和上述線(xiàn)狀的光大致成直角的方向移動(dòng)的移動(dòng)裝置，上述光學(xué)器件包含接收第1光，具有角部的第1透明部件；接收上述第2光的第2透明部件；接收上述第3光的第3透明部件；第1接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第2透明部件，在使第1以及第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第2光在和已透過(guò)的第1以及第3光相同的方向上反射的第1光選擇膜；第2接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第3透明部件，在使上述第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第1光在和已透過(guò)的第3光相同的方向上反射的第2光選擇膜；第3接合面，在上述第1接合面的延長(zhǎng)線(xiàn)上接合上述第2透明部件和上述第3透明部件，在用上述第2接合面和上述第3接合面形成的凹部上嵌入上述第1透明部件的上述角部。
(9)在8項(xiàng)的裝置中，上述第1透明部件的形狀是把上述第1接合面和上述第2接合面的交點(diǎn)作為頂部的長(zhǎng)尺寸的5角柱，上述第2透明部件的形狀是把上述第2接合面和上述第3接合面作為連續(xù)的斜面的長(zhǎng)尺寸的4角柱，上述第3透明部件的形狀是具有與用上述第2接合面和上述第3接合面形成的凹部嵌合的上述角部的長(zhǎng)尺寸的3角柱。
(10)在8項(xiàng)的光學(xué)器件中，上述第1光是蘭色光，上述第2光是綠色光，上述第3光是紅色光。
(11)在感光材料上曝光圖象的方法中，上述方法包含從相互不同的方向使第1、第2以及第3光向光學(xué)器件射出的步驟；在上述光學(xué)器件內(nèi)混合入射到上述光學(xué)器件中的上述第1光、上述第2光以及上述第3光的步驟；在上述感光材料上曝光在混合的步驟中得到的線(xiàn)狀的單一光的步驟；使上述感光材料或者上述光學(xué)器件的至少一方移動(dòng)到和上述線(xiàn)狀的光大致成直角的方向的步驟，上述光學(xué)器件包含接收第1光，具有角部的第1透明部件；接收上述第2光的第2透明部件；接收上述第3光的第3透明部件；第1接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第2透明部件，在使第1以及第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第2光在和已透過(guò)的第1以及第3光相同的方向上反射的第1光選擇膜；第2接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第3透明部件，在使上述第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第1光在和已透過(guò)的第3光相同的方向上反射的第2光選擇膜；第3接合面，在上述第1接合面的延長(zhǎng)線(xiàn)上接合上述第2透明部件和上述第3透明部件，在用上述第2接合面和上述第3接合面形成的凹部上嵌入上述第1透明部件的上述角部。
(12)在4項(xiàng)的光學(xué)器件中，在除去接收上述第3透明部件的上述第3光的面，和形成第2接合面的面的面上設(shè)置非研磨面。
(13)在4項(xiàng)的光學(xué)器件中，在除去接收上述第1透明部件的上述第1光的面，和形成第1接合面的面，和形成第2接合面的面上設(shè)置非研磨面。
(14)在4項(xiàng)的光學(xué)器件中，在除去接收上述第2透明部件的上述第2光的面，和形成第2接合面的面的面上設(shè)置非研磨面。
(15)在通過(guò)接合3個(gè)透明部件構(gòu)成的，用于混合從相互不同的3個(gè)方向入射的光使其在1方向上射出的光學(xué)器件中，上述光學(xué)器件，包含在3個(gè)上述透明部件的各自上接收從3個(gè)方向入射的上述光的各自的光入射面；和如使從3個(gè)方向入射的上述光在上述1個(gè)方向上射出那樣的，使上述光透過(guò)或者反射的接合面，在3個(gè)上述透明部件的各自中，除去上述光入射面以及上述接合面的面為非研磨面。
(16)在感光材料上曝光圖象的裝置中，上述裝置包含射出第1光的第1發(fā)光元件列；從和上述第1光不同的方向上射出第2光的第2發(fā)光元件列；從和上述第1光以及上述第2光不同的方向上射出第3光的第3發(fā)光元件列；在通過(guò)接合3個(gè)透明部件構(gòu)成的，混合從相互不同的3個(gè)方向入射的上述第1光、上述第2光以及上述第3光，用于使曝光上述感光材料的線(xiàn)狀的光在1方向上射出的光學(xué)器件；使上述感光材料或者上述光學(xué)器件的至少一方在和上述線(xiàn)狀的光大致成直角的方向上移動(dòng)的移動(dòng)裝置，上述光學(xué)器件，包含接收向3個(gè)上述透明部件的各自從3個(gè)方向入射的上述光的各自的光入射面，和如使從3個(gè)方向入射的上述光在上述1個(gè)方向上射出那樣，使上述光透過(guò)或者反射的接合面，在3個(gè)上述透明部件的各自中，除去上述光入射面以及上述接合面的面為非研磨面。
以下，為了克服上述的問(wèn)題，以下詳細(xì)敘述實(shí)施本發(fā)明的另一光學(xué)器件、圖象曝光裝置以及圖象曝光方法。
(17)一種光混合部件，其特征在于在接合長(zhǎng)尺寸棱柱狀的第1、第2以及第3透明部件的側(cè)面之間構(gòu)成的，混合從第1、第2以及第3發(fā)光元件射出的波長(zhǎng)不同的光形成線(xiàn)狀的射出光的光混合部件中，在接合上述第1透明部件的一側(cè)面和上述第2透明部件的一側(cè)面形成第1接合面的同時(shí)，形成從上述第1透明部件的另一側(cè)面和上述第2透明部件的上述一側(cè)面的一部分嵌入上述第3透明部件的一角部的凹部，在上述第1接合面上設(shè)置根據(jù)波長(zhǎng)選擇使光透過(guò)或者反射的第1光選擇膜，在把上述第3透明部件的上述一角部嵌入上述凹部的狀態(tài)下，接合上述第1透明部件的上述另一側(cè)面和上述第3透明部件的一側(cè)面形成第2接合面，在第2接合面上設(shè)置根據(jù)波長(zhǎng)選擇使光透過(guò)或者反射的第2光選擇膜，接合上述第2透明部件的上述一側(cè)面的一部分和上述第3透明部件的另一側(cè)面的一部分形成第3接合面，用上述第1透明部件接收從上述第1發(fā)光元件列射出的第1光，用上述第2透明部件接收從上述第2發(fā)光元件列射出的第2光，用上述第3透明部件接收從上述第3發(fā)光元件列射出的第3光，用上述第2光選擇膜，在使上述第3光透過(guò)上述第1透明部件一側(cè)的同時(shí)，使上述第1光在和透過(guò)上述第2光選擇膜的上述第3光同樣的方向上反射，用上述第1光選擇膜，在使上述第1光以及第3光透過(guò)上述第2透明部件一側(cè)的同時(shí)，使上述第2光在和透過(guò)上述第1光選擇膜射出的上述第1光以及第3光同樣的方向上反射射出。
(18)17項(xiàng)所述的光混合部件，其特征在于在把上述第3透明部件的另一側(cè)面的整個(gè)面積設(shè)置為S1，把在上述第3透明部件的另一側(cè)面中形成有上述第3接合面的部分的面積S2的情況下，滿(mǎn)足以下關(guān)系。
S2＜(1/2)S1(19)17項(xiàng)或者18項(xiàng)所述的光混合部件，其特征在于當(dāng)在使經(jīng)混合的光射出的方向上設(shè)置聚光元件的情況下，上述聚光裝置相對(duì)第2接合面以及第3接合面的遠(yuǎn)端部，被配置在上述聚光裝置的開(kāi)口角范圍外。
(20)一種圖象曝光裝置，其特征在于在使用來(lái)自第1、第2以及第3發(fā)光元件列的光在感光材料上曝光圖象的圖象曝光裝置中，包含混合從上述第1、第2以及第3發(fā)光元件列射出的波長(zhǎng)不同的光形成線(xiàn)狀的射出光的從權(quán)利要求1至3的任何1項(xiàng)所述的光混合部件；使上述線(xiàn)狀的射出光在上述感光材料上曝光形成的曝光線(xiàn)，如在相對(duì)該曝光線(xiàn)成大致直角的方向上移動(dòng)那樣，使上述感光材料或者上述光混合部件的至少一方移動(dòng)的移動(dòng)裝置。
(21)一種圖象曝光方法，其特征在于在使用來(lái)自第1、第2以及第3發(fā)光元件的光在感光材料上曝光的圖象曝光方法中，包含使從上述第1、第2以及第3發(fā)光元件列射出的波長(zhǎng)不同的光，用17項(xiàng)至19項(xiàng)所述的光混合部件混合后形成線(xiàn)狀的射出光的光混合工序；把在上述感光材料上曝光上述線(xiàn)狀的射出光形成的曝光線(xiàn)，如相對(duì)該曝光線(xiàn)在大致成直角的方向上移動(dòng)那樣，一邊使上述感光材料或者上述光混合裝置的至少一方移動(dòng)，一邊在感光材料上曝光上述線(xiàn)狀的射出光的工序。
(22)一種圖象曝光裝置，其特征在于在用從上述第1、第2以及第3發(fā)光元件列射出的第1、第2以及第3光在感光材料上曝光圖象的圖象曝光裝置中，包含混合上述第1、第2以及第3光形成線(xiàn)狀的射出光的光混合部件；把上述線(xiàn)狀的射出光曝光在上述感光材料上形成的曝光線(xiàn)，如相對(duì)該曝光線(xiàn)在大致成直角的方向上移動(dòng)那樣，使上述感光材料或者上述光混合部件的至少一方移動(dòng)的移動(dòng)裝置，上述光混合部件，接合分別接收上述第1、第2以及第3光的3個(gè)透明部件，上述各透明部件，具備各自設(shè)置有用于使上述第1、第2以及第3光透過(guò)或者反射在1方向上射出的第1以及第2光選擇膜的第1以及第2接合面，上述第1光選擇膜，是在使上述第1光透過(guò)的同時(shí)使上述第2光在和已透過(guò)的上述第1光相同的方向上反射的膜，上述第2光選擇膜，是在使上述第1以及第2光透過(guò)的同時(shí)使上述第3光在和已透過(guò)的上述第1以及第3光相同的方向上反射的膜，在上述第2光選擇膜上在P偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)和S偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)的差異區(qū)域上，使得不包含上述第2光的波長(zhǎng)區(qū)域的波長(zhǎng)控制裝置。
(23)22項(xiàng)中的波長(zhǎng)控制裝置，是被設(shè)置成在上述第2透明部件的表面上露出，使從上述第2發(fā)光元件列射出的第2光入射的第3光選擇膜。
如果采用本發(fā)明，則可以得到以下的效果。
(1)因?yàn)榭梢允棺鳛樵O(shè)置光選擇膜的接合面(第1以及第2接合面)以外的接合面的第3接合面的面積比較小，所以可以減小接合面整體的面積。因而，可以降低透明部件的“彎翹”部分之間接觸的比例，可以帶來(lái)產(chǎn)品的高品質(zhì)化。
(2)形成從第1透明部件的另一側(cè)面和第2透明部件的一側(cè)面嵌入第3透明部件的一角部的凹部。而后，可以在該凹部中嵌入第3透明部件的一角部的狀態(tài)下，接合第1透明部件的另一側(cè)面和第3透明部件的一側(cè)面形成第2接合面。另外，可以接合第2透明部件的一側(cè)面的一部分和第3透明部件的另一側(cè)面的一部分形成第3接合面。因而，光混合部件的制造變得極其容易。
(3)在第3透明部件的另一側(cè)面中形成第3接合面部分的面積，在第3透明部件的另一側(cè)面的整個(gè)面積的1/2以下，作為設(shè)置光選擇膜的接合面(第1以及第2接合面)以外的接合面的第3接合面的面積被設(shè)置得比較小。因而，接合面的整個(gè)面積比較小，因?yàn)橥该鞑考摹皬澛N”部分之間的接觸比例減小，所以可以帶來(lái)產(chǎn)品的高品質(zhì)化。
(4)在使混合后的光射出的方向上設(shè)置聚光裝置的情況下，聚光元件相對(duì)第2接合面以及第3接合面的遠(yuǎn)端部，因?yàn)楸辉O(shè)置在聚光裝置的開(kāi)口角的范圍外，所以可以防止在第2光選擇膜上反射第1光的情況下產(chǎn)生的散射光，以及，在第1光選擇膜上反射第2光的情況下產(chǎn)生的散射光入射到聚光裝置中。因而，可以得到更高品質(zhì)的圖象。
(5)因?yàn)樵诘?光選擇膜上具備波長(zhǎng)控制裝置，使得在P偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)和S偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)的差異區(qū)域上，不包含第1光的波長(zhǎng)區(qū)域，所以，即使在第1光包含P偏振光和S偏振光雙方的情況下，光的利用效率也不會(huì)降低。
(6)波長(zhǎng)控制裝置，是如使第1光入射那樣在第1透明部件的表面上露出設(shè)置的第3光選擇膜，該第3光選擇膜，因?yàn)榫哂泻涂諝獾慕缑妫钥梢宰匀绲卣{(diào)整膜的厚度。因而，即使在第1光選擇膜中，在P偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)和S偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)的差異區(qū)域，因第1光選擇膜的層構(gòu)造而變動(dòng)的情況下，也可以與該差異變動(dòng)一致地設(shè)置最適宜的膜構(gòu)成。其結(jié)果，可以進(jìn)行極其正確的波長(zhǎng)控制。
(7)可以提供具有本發(fā)明的光混合部件的圖象曝光裝置。
(8)可以提供使用本發(fā)明的光混合部件的圖象曝光方法。


圖1是展示本發(fā)明的實(shí)施方式的圖象曝光裝置的主要部分構(gòu)成的概略斜視圖。
圖2是展示本發(fā)明的實(shí)施方式的圖象曝光裝置的整體構(gòu)成的概略側(cè)面圖。
圖3是展示本發(fā)明的實(shí)施方式1的圖象曝光裝置的二向色棱鏡的具體構(gòu)成的斷面圖。
圖4是展示本發(fā)明的實(shí)施方式的圖象曝光裝置的二向色棱鏡的第3選擇膜(波長(zhǎng)控制裝置)、第1透明部件的入射面、第1光選擇膜以及第2光選擇膜特性的特性圖。
圖5是圖3的v部分的放大圖。
圖6是展示本發(fā)明的實(shí)施方式的圖象曝光裝置的整體的電氣構(gòu)成的說(shuō)明圖。
圖7是展示本發(fā)明的實(shí)施方式2的圖象曝光裝置的二向色棱鏡的具體構(gòu)成的斷面圖。
圖8是在輸送或者保管本發(fā)明的實(shí)施方式的圖象曝光裝置的二向色棱鏡時(shí)使用的外殼的概略斜視圖。
圖9是以往的圖象曝光裝置的圖象形成狀態(tài)的說(shuō)明圖。
圖10是展示用以往的二向色棱鏡進(jìn)行光混合狀態(tài)的說(shuō)明圖。
圖11是展示本發(fā)明的實(shí)施方式3的圖象曝光裝置的二向色棱鏡的具體構(gòu)成的斷面圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。在本實(shí)施方式中，說(shuō)明在感光材料上進(jìn)行規(guī)定的曝光的圖象曝光裝置。
首先，參照?qǐng)D1至圖3，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式的圖象曝光裝置的整體構(gòu)成。在此，圖1是展示本發(fā)明的實(shí)施方式的圖象曝光裝置的主要部分的概略斜視圖，圖2是展示本發(fā)明的實(shí)施方式的圖象曝光裝置的整體構(gòu)成的概略側(cè)面圖，圖3是展示實(shí)施方式1的圖象曝光裝置的主要部分的構(gòu)成的概略側(cè)面圖。
本實(shí)施方式的圖象曝光裝置，如圖1以及圖2所示，具備把印相紙10卷繞成滾輪狀保持的印相紙盒11；以規(guī)定的搬送速度搬送印相紙10的驅(qū)動(dòng)滾輪12a、12b、12c以及12d；把被曝光后的印相紙10切成規(guī)定的大小的裁刀13。另外，印相紙10是感光材料。
另外，本實(shí)施方式的圖象曝光裝置，如圖1以及圖3所示，具備對(duì)于第1光(藍(lán))來(lái)說(shuō)用進(jìn)行曝光的線(xiàn)狀的發(fā)光元件構(gòu)成的第1列光源21；和對(duì)于第2光(綠)用進(jìn)行曝光的線(xiàn)狀的發(fā)光元件構(gòu)成的第2列光源22；對(duì)于第3光(紅)用進(jìn)行曝光的線(xiàn)狀的發(fā)光元件構(gòu)成的第3列光源23。
從第1列光源21射出的第1光(藍(lán))的波長(zhǎng)區(qū)域，被設(shè)定為420～470nm的范圍中。另外，從第2列光源22射出的第2光(綠)的波長(zhǎng)區(qū)域，被設(shè)定為530～580nm的范圍中。而后，從第3列光源23射出的第3光(藍(lán))的波長(zhǎng)區(qū)域，被設(shè)定為640～680nm的范圍中。
在此，所謂列光源，是指在與各象素相當(dāng)?shù)牟糠种锌梢元?dú)立控制發(fā)光的發(fā)光元件列。在本實(shí)施方式中，作為列光源，采用由可以獨(dú)立地控制每一象素發(fā)光的多個(gè)發(fā)光元件(LED等)組成的發(fā)光元件列。
進(jìn)而，作為感光材料的印相紙10，被設(shè)置成相對(duì)波長(zhǎng)短的光為高感光度。具體地說(shuō)，如果與相對(duì)波長(zhǎng)最短的第1光(藍(lán))的感光度相比，相對(duì)第2光(綠)的感光度約是10分之1，相對(duì)波長(zhǎng)最長(zhǎng)的第3光(紅)的感光度是約100分之1。因此，把從第3列光源23射出的第3光(紅)的光量設(shè)置為最大。
另外，本實(shí)施方式的圖象曝光裝置，如圖1以及圖3所示，包含混合來(lái)自每種記錄顏色的列光源的光束經(jīng)由同一路徑射出各記錄顏色的光束的二向色棱鏡(光混合裝置)30；把用該二向色棱鏡30混合后的各記錄顏色的光束聚集在感光材料上曝光的自聚焦透鏡列(聚光裝置)40。
二向色棱鏡30，包含長(zhǎng)尺寸的五角柱狀的第1透明部件31、長(zhǎng)尺寸的四角柱狀的第2透明部件32，以及，長(zhǎng)尺寸的三角柱狀的第3透明部件33，通過(guò)接合各透明部件的長(zhǎng)尺寸的側(cè)面之間構(gòu)成。
作為各透明部件的材料，可以列舉相對(duì)可視區(qū)域波長(zhǎng)的光線(xiàn)具有優(yōu)異的透過(guò)性的硼硅酸玻璃等。在本實(shí)施方式中，作為第1透明部件31、第2透明部件32以及第3透明部件33的材料采用“BK7”(商品名鏡頭玻璃公司)。
在本實(shí)施方式中，與各列光源的長(zhǎng)度一致把二向色棱鏡30的長(zhǎng)度(圖1的L)設(shè)定為約100mm。另外，以提高聚光效率為目的，把二向色棱鏡的高度(圖3的H)設(shè)定為約15mm。即，二向色棱鏡30，被設(shè)置成整體細(xì)長(zhǎng)的柱狀體。
(實(shí)施方式1)參照?qǐng)D3，說(shuō)明本發(fā)明中的實(shí)施方式1的圖象曝光裝置。
第1透明部件31，具備相對(duì)波長(zhǎng)420～450nm的第1光(藍(lán))具有95％以上的平均透過(guò)率的入射面31a。第2透明部件32，具備相對(duì)波長(zhǎng)530～600nm的第2光(綠)具有97％以上的平均透過(guò)率的入射面32a。第3透明部件33，具備相對(duì)波長(zhǎng)640～680nm的第3光(紅)具有90％以上的平均透過(guò)率的入射面33a。在入射面31a至33a上，通過(guò)蒸鍍?cè)O(shè)置規(guī)定的金屬膜，使得具有上述的平均透過(guò)率。
接合第1透明部件31的一側(cè)面31b和第2透明部件32的一側(cè)面32b，形成第1接合面34。
在第1接合面34上，設(shè)置有根據(jù)波長(zhǎng)使光有選擇地透過(guò)或者反射的第1光選擇膜35。該第1光選擇膜35，在使第1光(藍(lán))以及第3光(紅)透過(guò)的同時(shí)，具有反射第2光(綠)的功能。即，通過(guò)蒸鍍?cè)O(shè)置規(guī)定的金屬膜，使得相對(duì)波長(zhǎng)420～470nm的第1光(藍(lán))的平均透過(guò)率在75％以上，相對(duì)波長(zhǎng)640～680nm的第3光(紅)的平均透過(guò)率在95％以上，相對(duì)波長(zhǎng)530～560nm的第2光(綠)的平均透過(guò)率在10％以下。
另外，從第1透明部件31的另一側(cè)面31c和第2透明部件32的一側(cè)面32b的一部分上，形成嵌入第3透明部件33的一角部33d的凹部36。在該凹部36上嵌入第3透明部件33的一角部33d的狀態(tài)下，接合第1透明部件31的另一側(cè)面31c和第3透明部件33的一側(cè)面33b形成第2接合面37。
在第2接合面37上，設(shè)置根據(jù)波長(zhǎng)有選擇地使光透過(guò)或者反射的第2光選擇膜38。該第2光選擇膜38，在使第1光(藍(lán))反射的同時(shí)，具有使第3光(紅)透過(guò)的功能。即，通過(guò)蒸鍍?cè)O(shè)置規(guī)定的金屬膜，使得相對(duì)波長(zhǎng)450～470nm的第1光(藍(lán))的平均透過(guò)率在10％以下，相對(duì)波長(zhǎng)610～680nm的第3光(紅)的平均透過(guò)率在95％以上。
圖4是展示第1透明部件31的入射面31a、第2透明部件32的入射面32a、第1光選擇膜35(P波以及S波)，第2光選擇38(P波以及S波)的各特性(光的透過(guò)率)的特性圖。在該圖4中，在表示入射面31a、入射面32a、第1光選擇膜35(P波以及S波)，以及第2選擇膜38(P波以及S波)的各特性(光的透過(guò)率)的6種曲線(xiàn)上，分別標(biāo)注同一號(hào)碼。
如圖4所示，第1透明部件31的入射面31a，對(duì)波長(zhǎng)420～450nm的第1光(藍(lán))具有良好的(95％以上的)平均透過(guò)率。另外，第2透明部件32的入射面32a，對(duì)波長(zhǎng)530～600nm的第2光(綠)具有良好的(97％以上的)平均透過(guò)率。
另外，如圖4所示可知，第1光選擇膜35，不論波長(zhǎng)640～680nm的第3光(紅)的偏振面是S波還是P波，相對(duì)該第3光(紅)的平均透過(guò)率都同樣良好(95％以上)，不論波長(zhǎng)420～470nm的第1光(藍(lán))的偏振面是S波還是P波，相對(duì)該第1光(藍(lán))的平均透過(guò)率都同樣比較良好(75％以上)。另一方面，可知不論波長(zhǎng)530～560nm的第2光(綠)的偏振面是S波還是P波，相對(duì)該第2光(綠)的平均透過(guò)率都被設(shè)置在10％以下，可以有效地反射第2光(綠)。
另外，如圖4所示可知，第2光選擇膜38，不論波長(zhǎng)610～680nm的第3光(紅)的偏振面是S波還是P波，相對(duì)該第3光(紅)的平均透過(guò)率都同樣良好(95％以上)，另一方面可知，第2光選擇膜38，不論波長(zhǎng)450～470nm的第1光(藍(lán))的偏振面是S波還是P波，相對(duì)該第1光(藍(lán))的平均透過(guò)率都在10％以下，可以有效地反射第1光(藍(lán))。
即，即使在從列光源射出的光的偏振面不一致的P波和S波混合的情況下，也可以在入射面31a至33a中，良好地使第1光(藍(lán))、第2光(綠)以及第3光(紅)的任意一種透過(guò)。另外，即使在從列光源射出的光的偏振面不一致的P波和S波混合的情況下，也可以第2光選擇膜38上，在使第3光(紅)良好地透過(guò)的同時(shí)，可以使第1光(藍(lán))良好地反射。進(jìn)而，即使在從列光源射出的光的偏振面不一致的P波和S波混合的情況下，也可以在使第1光選擇膜35上，在使第1光(藍(lán))以及第3光(紅)有效地透過(guò)的同時(shí)，可以良好地使第2光(綠)反射。
另外，在凹部36上嵌入第3透明部件33的一角部33d的狀態(tài)下，接合第2透明部件32的一側(cè)面32b的一部分和第3透明部件33的另一側(cè)面33c的一部形成第3接合面39。在該第3接合面39上不設(shè)置光選擇膜。
圖5是圖3的v部分的放大圖。在本實(shí)施方式中，在把第3透明部件33的另一側(cè)面33c的寬度設(shè)置為l1，把第3透明部件33的另一側(cè)面33c中形成有第3接合面39的部分的寬度設(shè)置為l2的情況下，設(shè)定l1以及l(fā)2的關(guān)系滿(mǎn)足以下關(guān)系。
L2＜(1/2)l1因此，第3透明部件33的另一側(cè)面33c中形成有第3接合面39的部分的面積S2(＝l2L)，被設(shè)置在第3透明部件33的另一側(cè)面33c的整個(gè)面積S1(＝l1L)的1/2以下。即，S1以及S2滿(mǎn)足以下的關(guān)系。
S2＜(1/2)S1如上所述在接合各透明部件的側(cè)面之間時(shí)，可以使用粘接劑。作為粘接劑的種類(lèi)，可以列舉丙烯系樹(shù)脂(特別是丙烯系紫外線(xiàn)硬化樹(shù)脂)等。
進(jìn)而，為了設(shè)置第1光選擇膜35，首先，通過(guò)蒸鍍?cè)诘?透明部件31的一側(cè)面31b或者第2透明部件32的一側(cè)面32b上設(shè)置規(guī)定的金屬膜。接著，用粘接劑接合第1透明部件31的一側(cè)面31b和第2透明部件32的一側(cè)面32b。
另外，為了設(shè)置第2光選擇膜38，首先，通過(guò)蒸鍍?cè)诘?透明部件31的另一側(cè)面31c或者第3透明部件33的一側(cè)面33b上設(shè)置規(guī)定的金屬膜。接著，用粘接劑接合第1透明部件31的另一側(cè)面31c或者第3透明部件33的一側(cè)面33b。
以下，說(shuō)明使用作為這樣構(gòu)成的二向色棱鏡30的光混合的順序。
首先，用第1透明部件31接收從第1列光源21射出的第1光(藍(lán))，用第2透明部件32接收從第2列光源22射出的第2光(綠)，用第3透明部件33接收從第3列光源23射出的第3光(紅)。接著，用第2光選擇膜38，在使第3光(紅)透過(guò)第1透明部件31的同時(shí)，使第1光(藍(lán))在和透過(guò)第2光選擇膜38的第3光(紅)相同的方向上反射。接著，用第1光選擇膜35，在使第1光(藍(lán))以及第3光(紅)透過(guò)第2透明部件32側(cè)射出的同時(shí)，使第2光(綠)在和透過(guò)第1光選擇膜35射出的第1光(藍(lán))以及第3光(紅)相同的方向上反射射出。通過(guò)以上順序，可以進(jìn)行光混合。
另外，其構(gòu)成是，用二向色棱鏡30進(jìn)行光混合后的射出光，如圖1以及圖2所示，用作為聚光裝置的自聚焦透鏡列40，聚光在印相紙10上曝光。
以下說(shuō)明該自聚焦透鏡列40和二向色棱鏡30的位置關(guān)系。
在本實(shí)施方式中，二向色棱鏡30的第2接合面37的上側(cè)(遠(yuǎn)離自聚焦透鏡列40的一側(cè))的端部37a，和第3接合面39的上側(cè)(遠(yuǎn)離自聚焦透鏡40的一側(cè))的端部39a被設(shè)置在自聚焦透鏡40的開(kāi)口角θ的范圍以外。
通過(guò)這樣配置第2接合面37的端部37a以及第3接合面39的端部39a，可以防止在第2光選擇膜38上反射第1光(藍(lán))的情況下產(chǎn)生的散射光，以及，在第1光選擇膜35上反射第2光(綠)的情況下產(chǎn)生的散射光入射到自聚焦透鏡列40的現(xiàn)象。因而，可以得到更高品質(zhì)的圖象。
另外，圖6是展示實(shí)施方式1的圖象曝光裝置的電氣構(gòu)成的說(shuō)明圖。進(jìn)而，在該圖6中，在和已說(shuō)明的圖1至圖3相同的構(gòu)成上標(biāo)注相同的符號(hào)。
如圖6所示，本實(shí)施方式的圖象曝光裝置包含作為控制各部的控制裝置的CPU50；接收來(lái)自外部的圖象數(shù)據(jù)生成不同顏色的列光源驅(qū)動(dòng)用的圖象信號(hào)的頭驅(qū)動(dòng)控制電路(HDC電路)60；接收來(lái)自HDC電路31的第1顏色的圖象信號(hào)根據(jù)灰度生成使第1列光源21的發(fā)光元件發(fā)光的發(fā)光信號(hào)的頭驅(qū)動(dòng)電路(HD電路)71；接收來(lái)自HDC電路32的第2顏色的圖象信號(hào)根據(jù)灰度生成使第2列光源22的發(fā)光元件發(fā)光的發(fā)光信號(hào)的頭驅(qū)動(dòng)電路(HD電路)72；接收來(lái)自HDC電路33的第3顏色的圖象信號(hào)根據(jù)灰度生成使第3列光源23的發(fā)光元件發(fā)光的發(fā)光信號(hào)的頭驅(qū)動(dòng)電路(HD電路)73；由驅(qū)動(dòng)電機(jī)和驅(qū)動(dòng)滾輪12a、12b、12c以及12d等組成的印相紙搬送機(jī)構(gòu)80。
在此，說(shuō)明圖6所示那樣構(gòu)成的實(shí)施方式1的圖象曝光裝置的動(dòng)作。
首先，CPU50由印相紙搬送機(jī)構(gòu)80以規(guī)定的速度送出印相紙10。接著，來(lái)自外部的照相機(jī)和圖象處理電路等的彩色圖象數(shù)據(jù)，在HDC電路60中被分解為不同顏色的圖象信號(hào)。這種情況下，在以往中，根據(jù)列光源的配置和印相紙10的搬送速度使每種顏色的發(fā)光時(shí)間錯(cuò)開(kāi)，但在實(shí)施方式1中不需要錯(cuò)開(kāi)時(shí)間。
即，只要把不同顏色的圖象信號(hào)，在相同的時(shí)刻提供給HD電路71至73即可。例如，HDC電路60對(duì)B、G、R進(jìn)行顏色分解，把B圖象信號(hào)提供給HD電路71，把G圖象信號(hào)提供給HD電路72，把R圖象信號(hào)提供給HD電路73。
從HDC電路60在同一時(shí)刻接收到不同顏色的圖象信號(hào)的HD電路71至73，根據(jù)圖象信號(hào)的灰度生成使列光源的發(fā)光元件發(fā)光的發(fā)光信號(hào)。而后，用HD電路71至73接收到這種發(fā)光信號(hào)的第1列光源21至第3列光源23，分別在同一時(shí)刻，進(jìn)行根據(jù)不同顏色的圖象信號(hào)的發(fā)光。
在這種第1列光源21～第3列光源23中的同一時(shí)刻的發(fā)光，從多個(gè)入射端入射到二向色棱鏡30內(nèi)。而后，通過(guò)二向色棱鏡30的第1光選擇膜35以及第2光選擇膜38中的光的透過(guò)和反射，多個(gè)顏色的入射光被混合從一個(gè)射出端作為射出光輸出。
即，以往，需要用于各列光源是多列的時(shí)刻調(diào)整、BGR各顏色配置用時(shí)刻調(diào)整，以及，抑制在和進(jìn)行各顏色曝光的搬送面內(nèi)的搬送方向垂直的方向上的移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，但在本實(shí)施方式中不需要。
因而，因?yàn)閬?lái)自每種記錄顏色的列光源的光束被聚攏為1束，作為1線(xiàn)進(jìn)行曝光，所以在沒(méi)有光量損失的情況下采用棱鏡進(jìn)行光混合的同時(shí)，容易抑制驅(qū)動(dòng)電路的構(gòu)成和定時(shí)控制，可以實(shí)現(xiàn)即使在搬送速度中產(chǎn)生不均勻也不產(chǎn)生顏色偏差的圖象曝光裝置。即，即使是和激光光束那樣不擴(kuò)散可以到達(dá)很遠(yuǎn)距離的光束不同的擴(kuò)散性強(qiáng)的光束，也可以在印相紙10上使來(lái)自各列光源的光束一致。
根據(jù)圖象數(shù)據(jù)曝光結(jié)束的印相紙10，由裁刀13切成規(guī)定的大小，用未圖示的顯影裝置顯影。
在本實(shí)施方式中的圖象曝光裝置中具備的二向色棱鏡30中，接合第2透明部件32的一側(cè)面32b的一部分和第3透明部件33的另一側(cè)面33c的一部分形成第3接合面39，該第3接合面39，如果與以往的接合面相比，則是面積減小。
具體地說(shuō)，第3透明部件33的另一側(cè)面33c中形成有第3接合面39的部分的面積(S2)，被設(shè)置成在第3透明部件33的另一側(cè)面33c的整個(gè)面積(S1)的1/2以下，作為設(shè)置光選擇膜的接合面(第1接合面34以及第2接合面37)以外的接合面的第3接合面39的面積被設(shè)置成比較小。因而，接合面整體的面積減小，因?yàn)橥该鞑考摹皬澛N”部分之間接觸的比例降低，所以帶來(lái)了產(chǎn)品的高品質(zhì)化。
另外，在本實(shí)施方式中的圖象曝光裝置中具備的二向色棱鏡30中，形成從第1透明部件31的另一側(cè)面31c和第2透明部件32的一側(cè)面32b的一部分嵌入第3透明部件33的一角部33d的凹部36。而后，可以在該凹部36上嵌入第3透明部件33的一角部33d的狀態(tài)下，接合第1透明部件31的另一側(cè)面31c和第3透明部件33的一側(cè)面33b形成第2接合面37。另外，可以接合第2透明部件32的一側(cè)面32b的一部分和第3透明部件33的另一側(cè)面33c的一部分形成第3接合面39。因而，光混合部件的制造變得極其容易。
進(jìn)而，在本實(shí)施方式中的圖象曝光裝置中具備的二向色棱鏡30中，第2接合面37的上方(距離自聚焦透鏡列40的遠(yuǎn)端)的端部37a，以及第3接合面39的上方(距離自聚焦透鏡列40的遠(yuǎn)端)的端部39a，被設(shè)置在自聚焦透鏡列40的開(kāi)口角的范圍外。因此，可以防止在第2光選擇膜38上反射第1光(藍(lán))的情況下產(chǎn)生的散射光，以及，在第1光選擇膜35上反射第2光(綠)的情況下產(chǎn)生的散射光入射到自聚焦透鏡列40的現(xiàn)象。因而可以得到更高品質(zhì)的圖象。
進(jìn)而，在輸送或者保管在本實(shí)施方式中的圖象曝光裝置中具備的二向色棱鏡30時(shí)，可以使用圖8所示的發(fā)泡苯乙烯制成的殼90。在該殼90的上面，設(shè)置與二向色棱鏡30的形狀一致的凹部91。在用紙等包裝二向色棱鏡30的狀態(tài)下嵌入該凹部91，把殼90的整體收納在瓦楞紙箱等中，可以輸送或者保管。
(實(shí)施方式2)以下，參照?qǐng)D7說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式2的圖象曝光裝置。進(jìn)而，在以下的說(shuō)明中，在和實(shí)施方式1相同的部位以及構(gòu)成要素上標(biāo)注同一號(hào)碼并省略詳細(xì)說(shuō)明。
第1透明部件31，具備第1光(藍(lán))入射的入射面31a。另外，第3透明部件33，具備第3光(紅)入射的入射面33a。
另一方面，在第2透明部件32的第2光(綠)的入射面32a上，接合板狀玻璃部件538。在該板狀玻璃部件538的第1光(藍(lán))的入射面上，設(shè)置在第1光(藍(lán))中對(duì)波長(zhǎng)420～450nm的區(qū)域具有90％以上的透過(guò)率的第3光選擇膜539。
通過(guò)第3光選擇膜539，從第1列光源21射出的第1光(藍(lán))中具有420～450nm波長(zhǎng)的區(qū)域入射到第1透明部件。該第3光選擇膜539，是后述的波長(zhǎng)控制裝置。進(jìn)而，第1透明部件31的入射面31a，因?yàn)槭呛桶鍫畈ＡР考?38的接合面，所以被設(shè)置成非研磨面。
接合第3透明部件33的一側(cè)面33b和第1透明部件31的一側(cè)面31c，形成第2接合面37。在該第2接合面37上，設(shè)置根據(jù)波長(zhǎng)有選擇地使光透過(guò)或者反射的第2光選擇膜38。該第2光選擇膜38，在使第3光(紅)透過(guò)的同時(shí)，具有使第1光(藍(lán))反射的功能。第2光選擇膜38通過(guò)規(guī)定的金屬膜蒸鍍?cè)O(shè)置。
另外，接合第1透明部件31的一側(cè)面31b和第2透明部件32的一側(cè)面32b，形成第1接合面34。在該第1接合面34上，設(shè)置根據(jù)波長(zhǎng)有選擇地使光透過(guò)或者反射的第1光選擇膜35。該第1光選擇膜35，在使第3光(紅)以及第1光(藍(lán))透過(guò)的同時(shí)，具有使第2光(綠)反射的功能。第1光選擇膜35通過(guò)規(guī)定的金屬膜蒸鍍?cè)O(shè)置。
圖4是展示具有設(shè)置了與第1透明部件31接合的板狀玻璃部件538的第3光選擇膜539、第2透明部件32的入射面32a、第2光選擇膜38、第1光選擇膜35的特性(光的透過(guò)率)的特性圖。在該圖4中，在表示第3光選擇膜539、入射面32a、第2光選擇膜38(P偏振光以及S偏振光)以及第1選擇膜35(P偏振光以及S偏振光)的各自的光透過(guò)率(光的透過(guò)率)的6種標(biāo)志上，分別標(biāo)注同一號(hào)碼。
如圖4所示，第3光選擇膜539，對(duì)第1光(藍(lán))具有良好的透過(guò)率。另外，入射面32a，對(duì)第2光(綠)具有良好的透過(guò)率。
另外，如圖4所示可知，第2光選擇膜38，對(duì)第3光(紅)(波長(zhǎng)640～680nm)的S偏振光以及P偏振光雙方具有高的透過(guò)率。另一方面，第2光選擇膜38，對(duì)第1光(藍(lán))(波長(zhǎng)420～450nm)的S偏振光以及P偏振光被設(shè)定為透過(guò)率低。即，第2光選擇膜38，對(duì)第1光(藍(lán))(波長(zhǎng)420～450nm)的S偏振光以及P偏振光雙方具有高的反射率。
另外，如圖4所示，第1光選擇膜35，對(duì)第3光(紅)(波長(zhǎng)640～680nm)的S偏振光以及P偏振光雙方具有高的透過(guò)率。另外，對(duì)第1光(藍(lán))(波長(zhǎng)420～450nm)的S偏振光以及P偏振光雙方具有高的透過(guò)率。另一方面，第1光選擇膜35，對(duì)第2光(綠)(波長(zhǎng)530～580nm)的S偏振光以及P偏振光雙方被設(shè)定為透過(guò)率低。即，第1光選擇膜35，對(duì)第2光(綠)(波長(zhǎng)530～580nm)的S偏振光以及P偏振光雙方，具有高的反射率。
即，即使在從第1列光源21射出的第1光(藍(lán))的偏振面不一致的P偏振光和S偏振光混合的情況下，也可以在第2光選擇膜32中，良好地使第1光(藍(lán))反射。另外，即使在從第2列光源22射出的第2光(綠)的偏振面不一致的P偏振光和偏振光波混合的情況下，也可以第1光選擇膜35上，使第2光(綠)良好地反射。
在本實(shí)施方式中，如圖4所示，在第1光選擇膜35中P偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)(約510nm)，和第1光選擇膜35中S偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)(約485nm)中產(chǎn)生差異。把這些波長(zhǎng)間的差異區(qū)域(波長(zhǎng)約485～約510nm)，以下稱(chēng)為“第1差異區(qū)域A”。在此，所謂在第1光選擇膜35上P偏振光(S偏振光)從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)，意味著第1光選擇膜35的透過(guò)率從100％徐徐下降達(dá)到50％時(shí)刻的波長(zhǎng)。
在本實(shí)施方式的圖象曝光裝置中，具備控制在該第1差異區(qū)域A中，不包含第1光的波長(zhǎng)區(qū)域的波長(zhǎng)控制裝置。
所謂波長(zhǎng)控制裝置，是已經(jīng)敘述過(guò)的第3光選擇膜539。即，從第1列光源21射出的第1光(藍(lán))(波長(zhǎng)420～470nm)，靠作為波長(zhǎng)控制裝置的第3光選擇膜539的作用，透過(guò)波長(zhǎng)420～450nm的區(qū)域。該區(qū)域(波長(zhǎng)420～450nm)，未包含在圖4所示的第1差異區(qū)域A(波長(zhǎng)約485～約510nm)中。
因此，即使第2光(藍(lán))包含P偏振光以及S偏振光雙方的情況下，也不會(huì)產(chǎn)生因第1光(藍(lán))的P偏振光和S偏振光的平均化引起的光的利用效率降低的現(xiàn)象。
在此，當(dāng)從第1列光源21射出的第1光(藍(lán))(波長(zhǎng)420～470nm)，通過(guò)作為波長(zhǎng)控制裝置的第3光選擇膜539時(shí)，雖然光量下降若干，但如上述那樣因?yàn)橛∠嗉?0對(duì)第1光(藍(lán))的感光度良好，所以從總體上看可以防止光的利用效率下降。
進(jìn)而，從圖4可知，在第1差異區(qū)域A(波長(zhǎng)約485～約510nm)的左側(cè)上，存在相對(duì)第1光選擇膜35的S偏振光透過(guò)率急劇下降的點(diǎn)α。在本實(shí)施方式中，與該點(diǎn)α對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)是約470nm。當(dāng)在入射到第1光選擇膜35上的第1光(藍(lán))的波長(zhǎng)區(qū)域內(nèi)，包含與點(diǎn)α對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的情況下，在第1光選擇膜35中的第1光(藍(lán))的透過(guò)率急劇下降，有可能有預(yù)想不到的光利用效率下降。
但是，在本實(shí)施方式中，靠作為波長(zhǎng)控制裝置的第3光選擇膜539的作用，在從第1列光源21射出的第1光(藍(lán))(波長(zhǎng)420～470nm)中，波長(zhǎng)420～450nm的區(qū)域透過(guò)。因而，在入射到第1光選擇膜35上的第1光(藍(lán))的波長(zhǎng)區(qū)域中，因?yàn)椴话c點(diǎn)α對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)(約470nm)，所以不可能出現(xiàn)預(yù)想不到的光利用效率下降。
進(jìn)而，作為波長(zhǎng)控制裝置的第3光選擇膜539，因?yàn)橛捎诰哂泻涂諝獾慕缑?，因而厚度的調(diào)整和層構(gòu)成自如，所以具有容易進(jìn)行波長(zhǎng)控制的優(yōu)點(diǎn)。
進(jìn)而，如圖4所示，在第1光選擇膜35中P偏振光從反射向透過(guò)轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)(約590nm)，和在第1光選擇膜35中S偏振光從反射向透過(guò)轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)(約635nm)中也產(chǎn)生差異。把這些波長(zhǎng)間的差異區(qū)域(波長(zhǎng)約590～635nm)，以下稱(chēng)為“第2差異區(qū)域B”。在此，所謂在第1光選擇膜35中P偏振光(S偏振光)從反射向透過(guò)轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)，意味著第1光選擇膜35的透過(guò)率從0％開(kāi)始徐徐上升達(dá)到50％的時(shí)刻的波長(zhǎng)。
在此，第3光(紅)，通過(guò)第3列光源23，波長(zhǎng)被設(shè)定為640～680nm，該波長(zhǎng)區(qū)域(640～680nm)，不包含第2差異區(qū)域B(波長(zhǎng)約590～約635nm)。因而，即使第3光(紅)包含P偏振光以及S偏振光雙方的情況下，也不會(huì)發(fā)生因第3光(紅)的P偏振光和S偏振光的平均化引起的光的利用效率下降的現(xiàn)象。
另外，第3光(綠)，通過(guò)第3列光源23，波長(zhǎng)被設(shè)定為530～580nm，該波長(zhǎng)區(qū)域(530～580nm)，不包含第1差異區(qū)域A以及第2差異區(qū)域B。因而，即使第3光(綠)包含P偏振光以及S偏振光雙方的情況下，也不會(huì)發(fā)生因第3光(綠)的P偏振光和S偏振光的平均化產(chǎn)生的光的利用效率下降的現(xiàn)象。
進(jìn)而，在接合各透明部件的側(cè)面之間時(shí)，以及，在第1透明部件31上接合板狀玻璃部件538時(shí)，可以使用粘接劑。作為粘接劑的種類(lèi)，可以列舉丙烯系樹(shù)脂(特別是丙烯系紫外線(xiàn)硬化樹(shù)脂)等。
另外，為了設(shè)置第2光選擇膜38，首先，通過(guò)蒸鍍?cè)诘?透明部件33的一側(cè)面33b或者第1透明部件31的一側(cè)面31c上設(shè)置規(guī)定的金屬膜。接著，用粘接劑接合第3透明部件33的另一側(cè)面33b和第1透明部件31的一側(cè)面31c。
另外，為了設(shè)置第1光選擇膜35，首先，通過(guò)蒸鍍?cè)诘?透明部件31的一側(cè)面31b或者第2透明部件32的一側(cè)面32b上設(shè)置規(guī)定的金屬膜。接著，用粘接劑接合第1透明部件31的另一側(cè)面31b或者第2透明部件32的一側(cè)面32b。
在本實(shí)施方式的圖象曝光裝置中，因?yàn)榫邆洳ㄩL(zhǎng)控制裝置(第3光選擇膜539)，使得在第1光選擇膜35上在P偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)，和S偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)的差異區(qū)域(第1差異區(qū)域A)上，不包含第1光(藍(lán))的波長(zhǎng)區(qū)域，所以即使第1光(藍(lán))包含P偏振光和S偏振光的雙方的情況下，光的利用效率也不會(huì)下降。
另外，在本實(shí)施方式的圖象曝光裝置中，作為波長(zhǎng)控制裝置，采用如使第1光(藍(lán))入射那樣在第1透明部件31的表面上露出設(shè)置的第3光選擇膜539。該第3光選擇膜539，因?yàn)榫哂泻涂諝獾慕缑?，所以可以自如地調(diào)整膜的厚度。因而，第1差異區(qū)域A，即使因第1光選擇膜35的層構(gòu)成變動(dòng)的情況下，也可以與該變動(dòng)一致地設(shè)置最適宜的膜構(gòu)造。其結(jié)果，可以極其正確地控制波長(zhǎng)。
進(jìn)而，通過(guò)第1光選擇膜35的層構(gòu)成，第1差異區(qū)域A擴(kuò)大到波長(zhǎng)約440nm～510nm等，當(dāng)和第1光(藍(lán))的波長(zhǎng)區(qū)域重合的部分多的情況下，雖然通過(guò)加厚第3光選擇膜539的膜厚度可以控制波長(zhǎng)，但卻有可能使光的利用效率下降。在這種情況下，相反不設(shè)置第3光選擇膜539，使第1光(藍(lán))的波長(zhǎng)區(qū)域，與擴(kuò)大的第1差異區(qū)域A內(nèi)對(duì)應(yīng)也可以。即使在這種情況下，因?yàn)橛∠嗉?0對(duì)第1光(藍(lán))的感光度高，所以光的利用效率下降的影響小。
(實(shí)施方式3)以下，參照?qǐng)D11說(shuō)明實(shí)施方式3。
只說(shuō)明不同的部分，和實(shí)施方式1相同的構(gòu)成省略說(shuō)明。
實(shí)施方式3如圖11所示，在接合長(zhǎng)尺寸角柱狀的第1、第2以及第3透明部件的側(cè)面之間構(gòu)成的，混合從第1、第2以及第3發(fā)光元件列射出的波長(zhǎng)不同的光形成線(xiàn)狀的射出光的光混合部件中，在接合上述第1透明部件的一側(cè)面和上述第3透明部件的一側(cè)面形成的第2接合面上，設(shè)置根據(jù)波長(zhǎng)有選擇地使光透過(guò)或者反射的第2光選擇膜，在接合上述第1透明部件的另一側(cè)面和上述第2透明部件的一側(cè)面形成的第1接合面上，設(shè)置根據(jù)波長(zhǎng)有選擇地使光透過(guò)或者反射的第1光選擇膜，上述第1透明部件具有使從上述第1發(fā)光元件射出的第1光入射的入射面，上述第2透明部件具有使從上述第2發(fā)光元件射出的第2光入射的入射面，上述第3透明部件具有使從上述第3發(fā)光元件射出的第3光入射的入射面，以下的第1～第3透明部件的特定面以外被形成為非研磨面。
例如，在上述第3透明部件中，在除去上述入射面和設(shè)置上述第2光選擇膜的一側(cè)面的面上設(shè)置非研磨面33d，或者，在上述第1透明部件中，在除去上述入射面和設(shè)置上述第2光選擇膜的一側(cè)面，和設(shè)置上述第1光選擇膜的另一側(cè)面的面上設(shè)置非研磨面31d，或者，在上述第2透明部件中，在除去上述入射面和設(shè)置上述第1光選擇膜的一側(cè)面的面上設(shè)置非研磨面32d。另外，除去這些第1～第3透明部件的特定面的全部也可以設(shè)置成非研磨面。
如果采用上述構(gòu)成，則在第3透明部件中，在除去上述入射面和設(shè)置上述第2光選擇膜的一側(cè)面的面上設(shè)置非研磨面33d。另外，在上述第1透明部件中，在除去上述入射面和設(shè)置上述第2光選擇膜的一側(cè)面，和設(shè)置上述第1光選擇膜的另一側(cè)面的面上設(shè)置非研磨面31d。進(jìn)而，在上述第2透明部件中，在除去上述入射面和設(shè)置上述第1光選擇膜的一側(cè)面的面上設(shè)置非研磨面32d。
即，因?yàn)樵诟魍该鞑考显O(shè)置非研磨面，所以可以極大降低研磨處理所需要的時(shí)間和費(fèi)用。
另外，如果采用上述實(shí)施方式，因?yàn)樵诟魍该鞑考显O(shè)置非研磨面，所以可以把在研磨處理時(shí)加在透明部件上的負(fù)荷“彎曲應(yīng)力”和“扭曲應(yīng)力”抑制在所需要的最小限度。因而，可以降低在透明部件的長(zhǎng)度方向上產(chǎn)生的“彎翹”。其結(jié)果，因?yàn)橥该鞑考摹皬澛N”的部分之間接觸的比例減小，所以在透明部件間產(chǎn)生氣泡，或者整個(gè)產(chǎn)品產(chǎn)生“彎翹”減少，可以帶來(lái)產(chǎn)品的高品質(zhì)化。
另外，如果采用上述實(shí)施例，則在各透明部件中，在成為從各發(fā)光元件射出的光的路徑的側(cè)面上實(shí)施研磨處理時(shí)，可以用手指保持非研磨面。因而，可以防止手指接觸實(shí)施研磨處理的面，這一點(diǎn)也帶來(lái)產(chǎn)品的高品質(zhì)化。
權(quán)利要求
1.一種光學(xué)器件，在用于混合從不同方向入射的多束光后在1個(gè)方向上射出的光學(xué)器件中，其特征在于包含第1透明部件，接收從第1發(fā)光元件列射出的第1光；第2透明部件，接收從第2發(fā)光元件列射出的第2光；第3透明部件，接收從第3發(fā)光元件列射出的第3光；第1接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第2透明部件，在使上述第1以及第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第2光在和已透過(guò)的上述第1以及第3光相同方向上反射的第1光選擇膜；第2接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第3透明部件，在使上述第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第1光在和已透過(guò)的上述第3光相同方向上反射的第2光選擇膜；波長(zhǎng)控制元件，在上述第1光選擇膜中，使在P偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)和S偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)的差異區(qū)域上，不包含上述第1光的波長(zhǎng)區(qū)域。
2.權(quán)利要求1所述的光學(xué)器件，上述波長(zhǎng)控制元件，是被設(shè)置成在上述第1透明部件的表面上露出，使從上述第1發(fā)光元件列射出的第1光波長(zhǎng)選擇性透過(guò)的第3光選擇膜。
3.權(quán)利要求1所述的光學(xué)器件，上述第1光是藍(lán)色光，上述第2光是綠色光，上述第3光是紅色光。
4.一種光學(xué)器件，在用于混合從不同方向入射的多束光后在1個(gè)方向上射出的光學(xué)器件中，其特征在于包含第1透明部件，接收從第1發(fā)光元件列射出的第1光，具有角部；第2透明部件，接收從第2發(fā)光元件列射出的第2光；第3透明部件，接收從第3發(fā)光元件列射出的第3光；第1接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第2透明部件，在使上述第1以及第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第2光在和已透過(guò)的上述第1以及第3光相同方向上反射的第1光選擇膜；第2接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第3透明部件，在使上述第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第1光在和已透過(guò)的上述第3光相同方向上反射的第2光選擇膜；第3接合面，在上述第1接合面的延長(zhǎng)線(xiàn)上接合上述第2透明部件和上述第3透明部件，在用上述第2接合面和上述第3接合面形成的凹部上嵌入上述第1透明部件的上述角部。
5.權(quán)利要求4的光學(xué)器件，上述第1透明部件的形狀是把上述第1接合面和上述第2接合面的交點(diǎn)作為頂部的長(zhǎng)尺寸的5角柱，上述第2透明部件的形狀是把上述第2接合面和上述第3接合面作為連續(xù)斜面的長(zhǎng)尺寸的4角柱，上述第3透明部件的形狀是具有在用上述第2接合面和上述第3接合面形成的凹部上嵌入的上述角部的長(zhǎng)尺寸的3角柱。
6.權(quán)利要求4的光學(xué)器件，在把上述第3透明部件中的，包含第3接合面的側(cè)面的整個(gè)面積設(shè)置為S1，把上述第3接合面的面積設(shè)置為S2時(shí)，滿(mǎn)足以下關(guān)系式。S2＜(1/2)S1
7.權(quán)利要求4的光學(xué)器件，在使混合后的光射出的方向上設(shè)置有聚光元件，第2接合面以及第3接合面遠(yuǎn)離上述聚光元件的端部設(shè)置在上述聚光元件的開(kāi)口角的范圍以外。
8.一種在感光材料上曝光圖象的曝光裝置，上述裝置包含第1發(fā)光元件列，射出第1光；第2發(fā)光元件列，從和上述第1光不同的方向射出第2光；第3發(fā)光元件列，從和上述第1光以及上述第2光不同的方向射出第3光；光學(xué)器件，用于混合從相互不同的方向入射的上述第1光、上述第2光以及上述第3光，以便在1個(gè)方向上射出用于曝光上述感光材料的線(xiàn)狀的光；移動(dòng)裝置，使上述感光材料或者上述光學(xué)器件的至少一方向和上述線(xiàn)狀的光大致成直角的方向上移動(dòng)，上述光學(xué)器件包含第1透明部件，接收上述第1光，具有角部；第2透明部件，接收上述第2光；第3透明部件，接收上述第3光；第1接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第2透明部件，在使上述第1以及第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第2光在和已透過(guò)的上述第1以及第3光相同方向上反射的第1光選擇膜；第2接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第3透明部件，在使上述第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第1光在和已透過(guò)的上述第3光相同方向上反射的第2光選擇膜；第3接合面，在上述第1接合面的延長(zhǎng)線(xiàn)上接合上述第2透明部件和上述第3透明部件，在用上述第2接合面和上述第3接合面形成的凹部上嵌入上述第1透明部件的上述角部。
9.權(quán)利要求8所述的曝光裝置，上述第1透明部件的形狀是把上述第1接合面和上述第2接合面的交點(diǎn)作為頂部的長(zhǎng)尺寸的5角柱，上述第2透明部件的形狀是把上述第2接合面和上述第3接合面作為連續(xù)斜面的長(zhǎng)尺寸的4角柱，上述第3透明部件的形狀是具有在用上述第2接合面和上述第3接合面形成的凹部上嵌入的上述角部的長(zhǎng)尺寸的3角柱。
10.權(quán)利要求8所述的曝光裝置，上述第1光是藍(lán)色光，上述第2光是綠色光，上述第3光是紅色光。
11.一種在感光材料上曝光圖象的曝光方法，包含從相互不同的方向向光學(xué)器件射出第1光、第2光以及第3光的步驟；在上述光學(xué)器件內(nèi)混合入射到上述光學(xué)器件的上述第1光、上述第2光以及上述第3光的步驟；把在混合的步驟中得到的線(xiàn)狀的單一光曝光在上述感光材料上的步驟；使上述感光材料或者上述光學(xué)器件的至少一方向和上述線(xiàn)狀的光大致成直角的方向移動(dòng)的步驟，上述光學(xué)器件包含第1透明部件，接收上述第1光，具有角部；第2透明部件，接收上述第2光；第3透明部件，接收上述第3光；第1接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第2透明部件，在使上述第1以及第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第2光在和已透過(guò)的上述第1以及第3光相同方向上反射的第1光選擇膜；第2接合面，設(shè)置有接合上述第1透明部件和上述第3透明部件，在使上述第3光透過(guò)的同時(shí)使上述第1光在和已透過(guò)的上述第3光相同方向上反射的第2光選擇膜；第3接合面，在上述第1接合面的延長(zhǎng)線(xiàn)上接合上述第2透明部件和上述第3透明部件，在用上述第2接合面和上述第3接合面形成的凹部上嵌入上述第1透明部件的上述角部。
12.權(quán)利要求4所述的光學(xué)器件，在上述第3透明部件接收上述第3光的面和形成第2接合面的面以外的面上設(shè)置非研磨面。
13.權(quán)利要求4所述的光學(xué)器件，在上述第1透明部件接收上述第1光的面、形成上述第1接合面的面和形成上述第2接合面的面以外的面上設(shè)置非研磨面。
14.權(quán)利要求4所述的光學(xué)器件，在上述第2透明部件接收上述第2光的面和形成第2接合面的面以外的面上設(shè)置非研磨面。
15.一種光學(xué)器件，在通過(guò)接合3個(gè)透明部件構(gòu)成的，用于混合從相互不同的3個(gè)方向入射的光后在1個(gè)方向上射出的光學(xué)器件中，上述光學(xué)器件包含接收從3個(gè)方向入射到3個(gè)上述透明部件的各自上的上述3束光的每一束的光入射面；用于使上述光透過(guò)或者反射的接合面，使從3個(gè)方向入射的上述光在上述1個(gè)方向上射出，在3個(gè)上述透明部件的各自中，上述光入射面以及上述接合面之外的面為非研磨面。
16.一種在感光材料上曝光圖象的曝光裝置，上述裝置包含第1發(fā)光元件列，射出第1光；第2發(fā)光元件列，從和上述第1光不同的方向射出第2光；第3發(fā)光元件列，從和上述第1光以及上述第2光不同的方向射出第3光；光學(xué)器件，通過(guò)接合3個(gè)透明部件構(gòu)成，用于混合從相互不同的方向上入射的上述第1光、上述第2光以及上述第3光，以便在1個(gè)方向上射出用于曝光上述感光材料的線(xiàn)狀的光；移動(dòng)裝置，使上述感光材料或者上述光學(xué)器件的至少一方向和上述線(xiàn)狀的光大致成直角的方向上移動(dòng)，上述光學(xué)器件包含接收從3個(gè)方向入射到3個(gè)上述透明部件的各自上的上述3束光的每一束的光入射面；用于使上述光透過(guò)或者反射的接合面，使從3個(gè)方向入射的上述光在上述1個(gè)方向上射出，在3個(gè)上述透明部件的各自中，上述光入射面以及上述接合面之外的面為非研磨面。
全文摘要
用于混合從不同方向入射的多束光后在1個(gè)方向上射出的光學(xué)器件，包含分別接收從第1、第2和第3發(fā)光元件列射出的第1、第2和第3光的第1、第2和第3透明部件；設(shè)置接合第1透明部件和第2透明部件，在使第1以及第3光透過(guò)的同時(shí)使第2光在和已透過(guò)的第1以及第3光相同的方向上反射的第1光選擇膜的第1接合面；設(shè)置接合第1透明部件和第3透明部件，在使第3光透過(guò)的同時(shí)使第1光在和已透過(guò)的第3光相同的方向上反射的第2光選擇膜的第2接合面；使在第1光選擇膜中在P偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)和S偏振光從透過(guò)向反射轉(zhuǎn)換時(shí)的波長(zhǎng)的差異區(qū)域上，不包含第1光的波長(zhǎng)區(qū)域的波長(zhǎng)控制元件。
文檔編號(hào)G03B27/42GK1438512SQ0310251
公開(kāi)日2003年8月27日 申請(qǐng)日期2003年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2002年2月12日
發(fā)明者鈴木厚司 申請(qǐng)人:柯尼卡株式會(huì)社