專利名稱：：光學(xué)元件的制造方法及光學(xué)元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及加壓成型熔融玻璃滴制造光學(xué)元件的光學(xué)元件的制造方法以及光學(xué)元件，詳細(xì)地說(shuō)，是涉及光束整形元件等光學(xué)元件的制造方法及光學(xué)元件，這種光束整形元件用來(lái)將半導(dǎo)體激光輸出的輸出光束的截面整形為圓形。
背景技術(shù)：
：用來(lái)對(duì)DVD等光信息記錄介質(zhì)記錄/再生信息的光拾取裝置中，一般釆用半導(dǎo)體激光作為光源。半導(dǎo)體激光輸出的輸出光束因?yàn)槭菑谋〉幕钚詫佣嗣嫔涑?，所以具有橢圓形的截面。對(duì)這種橢圓形光束用光束整形元件整形成圓形光束之后再進(jìn)行利用，這樣能夠提高光束的利用效率，提高記錄和再生的正確度。尤其是藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光，輸出光束有強(qiáng)度不足之傾向，所以在采用藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光作為光源的光拾取裝置中，上述光束整形元件尤其重要，受到注目。作為用來(lái)把半導(dǎo)體激光輸出的輸出光束的截面整形成圓形的光束整形光學(xué)元件，已經(jīng)知道有例如，具備只在光束截面的短軸方向有曲率的圓柱體面的光束整形元件(光束整形透鏡)(例如參照專利文獻(xiàn)l)。作為光束整形元件等光學(xué)元件的制造方法，已經(jīng)知道有例如用成型模具通過加壓成型進(jìn)行制造的方法。尤其是向成型模具供給熔融玻璃滴通過成型模具加壓成型從熔融玻璃滴直接制造光學(xué)元件的制造方法，能夠?qū)?次成型所需要的時(shí)間縮短到非常短，受到注目，其研討不斷進(jìn)展(例如參照專利文獻(xiàn)2、3)。一般來(lái)說(shuō)，這種光束整形元件在被裝入光學(xué)系統(tǒng)時(shí)相對(duì)光源等的定位精度要求非常高。因此，專利文獻(xiàn)2中提案的方法是在四角帶有孔穴的部件的四角孔穴中進(jìn)行成型，在光學(xué)元件的側(cè)面形成側(cè)面成形面，將其作為裝入時(shí)的定位基準(zhǔn)面。另外專利文獻(xiàn)3中提案的方法是提高成型模具中用來(lái)轉(zhuǎn)印側(cè)面成形面之部件的溫度，由此防止成型時(shí)的裂縫、缺損等，安定地制造具有定位基準(zhǔn)面的光學(xué)元件。專利文獻(xiàn)1:特開2002—208159號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:特開2006—290692號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3:特開2004—339039號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明欲解決的課題但是，從熔融玻璃滴直接制造具有側(cè)面成形面的光學(xué)元件的方法中，對(duì)于上下成形面卻很難得到高的形狀精度。由于熔融玻璃滴的溫度高于成型模具的溫度，所以，熔融玻璃滴一旦被供給到成型模具便從接觸成型模具的接觸面放熱而急劇冷卻。因此，一旦熔融玻璃滴的側(cè)面與成型模具接觸則冷卻從側(cè)面開始急劇進(jìn)展，在熔融玻璃滴的周邊部分和中央部分產(chǎn)生較大的溫度差。為了通過加壓成型得到形狀精度高的成形面，必須以所定壓力不斷加壓直至玻璃充分冷卻、固化為止。但是如果存在上述溫度差的話，周邊部分和中央部分的固化時(shí)機(jī)有偏差，周邊部分先固化。而中央部分在周邊部分固化后還繼續(xù)收縮，但由于周邊部分的障礙，對(duì)中央部分不能施加充分的壓力，致使形狀精度惡化。如上述專利文獻(xiàn)3所述，通過提高用來(lái)轉(zhuǎn)印側(cè)面成形面的部件溫度，能夠在某種程度緩和周邊部分和中央部分的溫度差。但是光束整形元件等光學(xué)元件、其中尤其是用于藍(lán)紫色半導(dǎo)體激光中的光束整形元件被要求非常高的形狀精度，單靠專利文獻(xiàn)3中記述的方法不能充分應(yīng)付。本發(fā)明鑒于上述技術(shù)性課題，目的在于提高一種光學(xué)元件的制造方法以及用該制造方法制造的高精度光學(xué)元件，其中，能夠通過加壓成型熔融玻璃滴，高效率高精度地制造具有側(cè)面成形面的光束整形元件等光學(xué)元件。用來(lái)解決課題的手段為了解決上述課題，本發(fā)明具有以下特征。1.一種光學(xué)元件的制造方法，是用成型模具加壓成型熔融玻璃滴制造光學(xué)元件，所述成型模具備有上模、下模、側(cè)面模，分別用來(lái)形成具有上成形面、下成形面、側(cè)面成形面之光學(xué)元件的上成形面、下成形面、側(cè)面成形面，光學(xué)元件的制造方法的特征在于，備有下述工序供給工序，向所述下模上滴下溫度高于所述成型模具的所述熔融玻璃滴供給所述熔融玻璃滴，使被供給的所述熔融玻璃滴的中心部的高度高于所述側(cè)面模的高度；加壓工序，用所述成型模具加壓成型被供給的所述熔融玻璃滴，把所述熔融玻璃滴的一部分壓到所述側(cè)面成形面的外側(cè)形成凸緣部，該凸緣部有不接觸所述成型模具而形成的面。2.上述1中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述側(cè)面成形面上下方向的厚度在0.3mm以上、所述凸緣部厚度的2倍以下。3.上述1中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述光學(xué)元件在所述上成形面及所述下成形面上含有光學(xué)面。4.上述1中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述側(cè)面成形面是所述光學(xué)元件裝入光學(xué)系統(tǒng)中時(shí)被用作定位基準(zhǔn)面的面。5.上述4中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述側(cè)面成形面有略相互垂直的2個(gè)平面。6.上述13的任何一項(xiàng)中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，在所述加壓工序之后備有切斷工序，切斷所述光學(xué)元件，除去所述凸緣部的至少一部分。7.上述6中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述切斷工序是以所述上成形面、所述下成形面或所述側(cè)面成形面為基準(zhǔn)進(jìn)行切斷。8.上述1中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述熔融玻璃滴的體積大于由所述下模及所述側(cè)面模形成的空間的容積。9.上述3中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述光學(xué)元件是用來(lái)把半導(dǎo)體激光輸出的輸出光束的截面整形為圓形的光束整形元件，所述上成形面及所述下成形面的至少一個(gè)備有由圓柱體面或圓環(huán)面構(gòu)成的光學(xué)面。10.—種光學(xué)元件，用成型模具加壓成型熔融玻璃滴制造，光學(xué)元件的特征在于，備有接觸所述成型模具而形成的上成形面、下成形面及側(cè)面成形面；凸緣部，其備有蔓延到所述側(cè)面成形面外側(cè)，不接觸所述成型模具而形成的面。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，通過加壓，熔融玻璃滴的一部分被擠到側(cè)面成形面的外側(cè)形成凸緣部，該凸緣部具有不與成型模具接觸而形成的面，所以能夠抑制熔融玻璃滴的周邊部分與中央部分的溫度差，能夠充分加壓直至上成形面固化。因此，能夠高效率高精度制造具有側(cè)面成形面的光束整形元件等光學(xué)元件。圖l:本發(fā)明光學(xué)元件一例的光束整形元件IO示意圖。圖2:本發(fā)明光學(xué)元件另一例的兩凸形狀透鏡20示意圖。圖3:用來(lái)形成光束整形元件10的成型模具的一例截面示意圖。圖4:供給工序中的成型模具等的狀態(tài)模式示意圖。圖5:采用貫通細(xì)孔的熔融玻璃滴供給方法的模式示意圖。圖6:加壓工序中的成型模具30的狀態(tài)模式示意圖。符號(hào)說(shuō)明10光束整形元件(光學(xué)元件)11、21上成形面11c、12c、21c、22c光學(xué)面12、22下成形面13、23側(cè)面成形面14、24凸緣部15、25不接觸成型模具而形成的面20透鏡(光學(xué)元件)30成型模具31上模32下模33側(cè)面模44、47熔融玻璃滴T1側(cè)面成形面上下方向的厚度T2凸緣部的厚度具體實(shí)施例方式以下參照附圖16詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。光學(xué)元件本發(fā)明適合用于光束整形元件的制造，該光束整形元件用來(lái)把半導(dǎo)體激光輸出的輸出光束的截面整形為圓形。其中，尤其適合用于下述光束整形元件的制造，即在上成形面及下成形面的至少一個(gè)面上備有由圓柱體面或圓環(huán)面構(gòu)成的光學(xué)面。但是，本發(fā)明的對(duì)象光學(xué)元件并不局限于此，包括備有上成形面、下成形面、側(cè)面成形面的各種光學(xué)元件。圓柱體面(圓筒面)是指在垂直于光軸的面內(nèi)的所定方向(以下又稱母線方向)上沒有曲率，而只在其垂直方向(以下又稱子線)上有曲率的面。垂直于母線方向的截面形狀可以是圓弧形也可以有非圓弧成分。另外，圓環(huán)面是指使圓柱體面在母線方向彎曲了的面，是母線方向和子線方向具有不同曲率的面。圖1是本發(fā)明光學(xué)元件一例的光束整形元件10的示意圖。圖1(a)是光束整形元件IO從上成形面ll側(cè)看到的圖，圖1(b)是A—A剖面圖，圖1(c)是從下成形面12側(cè)看到的圖。光束整形元件10備有上成形面11和下成形面12及側(cè)面成形面13。上成形面11是加壓成型熔融玻璃滴時(shí)由上模形成的面，包括光學(xué)面llc和其外側(cè)的平面部llp。下成形面12是由下模形成的面，包括光學(xué)面12c和其外側(cè)的平面部12p。光學(xué)面llc是圓柱體面，在垂直于光軸(圖1的z方向)的面內(nèi)的所定方向(圖1的y方向)上沒有曲率，只在其垂直方向(圖1的x方向)上有曲率。同樣光學(xué)面12c也是圓柱體面。光學(xué)面llc和光學(xué)面12c的母線方向相互平行。光束整形元件10的2個(gè)相互對(duì)著的光學(xué)面llc、12c都是圓柱體面，但并不局限于此。也可以適用于例如一個(gè)光學(xué)面是圓柱體面另一個(gè)光學(xué)面是平面或球面的光束整形元件，還有一個(gè)光學(xué)面是圓柱體面另一個(gè)光學(xué)面是圓環(huán)面的光束整形元件等。側(cè)面成形面13是加壓成型熔融玻璃滴時(shí)由側(cè)面模形成的面。一般光束整形元件等光學(xué)元件在被裝入光學(xué)系統(tǒng)中時(shí)，相對(duì)光源等的定位精度要求很高。光束整形元件10持有的4個(gè)側(cè)面成形面13是由側(cè)面模形成的面，所以在制造多個(gè)光束整形元件10時(shí)能夠把距離光學(xué)面的參差減小到很小。因此，通過用任何一個(gè)側(cè)面成形面13作為定位基準(zhǔn)面，能夠高精度地進(jìn)行向光拾取裝置的組裝和加壓成型后的切斷加工。尤其是光束整形元件10的側(cè)面成形面13含有略相互垂直的2個(gè)平面。通過用該2個(gè)平面作為定位基準(zhǔn)面，這樣能夠在相互垂直的2個(gè)方向(例如x方向和y方向)進(jìn)行高精度定位。這里的2個(gè)平面只要能夠被用作相互垂直的2個(gè)方向上的定位基準(zhǔn)面即可，并不需要2個(gè)平面完全垂直。另外，光束整形元件10備有凸緣部14，該凸緣部14備有蔓延到側(cè)面成形面13外側(cè)、不接觸成型模具而形成的面15。后面將作記述，通過在光束整形元件上形成凸緣部14，加壓成型時(shí)熔融玻璃滴的溫度差得到緩和，即使是有側(cè)面成形面13的光束整形元件10，也能夠得到高精度的成形面(上成形面ll、下成形面12)。如果側(cè)面成形面13上下方向(圖1的z方向)的厚度(Tl)大于凸緣部14厚度(T2)的2倍的話，則形成的凸緣部14的大小不夠充分。結(jié)果熔融玻璃滴與側(cè)面模的接觸面積大，從熔融玻璃滴側(cè)面的冷卻急劇進(jìn)展，所以在熔融玻璃滴的周邊部分和中央部分出現(xiàn)較大的溫度差，有時(shí)難以得到高精度的成形面(上成形面ll、下成形面12)。此時(shí)相對(duì)下成形面12來(lái)說(shuō)大多數(shù)情況時(shí)是難以高精度地形成上成形面11。而如果側(cè)面成形面13上下方向的厚度(Tl)小于0.3mm的話，則把側(cè)面成形面13用作定位基準(zhǔn)面進(jìn)行裝入和切斷加工時(shí)、有出現(xiàn)定位不安定的可能性。因此，為了得到有用來(lái)定位的側(cè)面成形面和高精度成形面的光束整形元件10，優(yōu)選使側(cè)面成形面13上下方向的厚度(Tl)在0.3ram以上、凸緣部14厚度(T2)的2倍以下。圖2是本發(fā)明光學(xué)元件另一例的兩凸形狀透鏡20的示意圖。圖2(a)是透鏡20從上成形面21側(cè)看到的圖、圖22(b)是A—A剖面圖、圖2(c)是從下成形面22側(cè)看到的圖。透鏡20備有上成形面21、下成形面22及側(cè)面成形面23。上成形面21由上模型成，包括凸球面光學(xué)面21c和其外側(cè)的平面部21p。下成形面22由下模型成，包括凸球面光學(xué)面22c和其外側(cè)的平面部22p。側(cè)面成形面23是與側(cè)面模接觸而形成的圓筒形的面，通過把側(cè)面成形面23用作定位基準(zhǔn)面，這樣能夠高精度裝入光學(xué)系統(tǒng)和進(jìn)行定心加工。如上所述，在本發(fā)明中，側(cè)面成形面23的形狀沒有特殊限定，可以是像光束整形元件IO的側(cè)面成形面13那樣的平面，也可以是像透鏡20的側(cè)面成形面23那樣的圓筒形面。另外，透鏡20備有凸緣部24，該凸緣部24備有蔓延到側(cè)面成形面23外側(cè)、不接觸成型模具而形成的面25。與光束整形元件14的情況相同，通過在側(cè)面?zhèn)溆型咕壊?4，加壓成型時(shí)熔融玻璃滴的溫度差得到緩和，能夠得到高精度的成形面(上成形面21、下成形面22)。光學(xué)元件的制造本發(fā)明光學(xué)元件的制造方法包括對(duì)下模上供給熔融玻璃滴之供給工序和用成型模具加壓成型被供給的熔融玻璃滴的加壓工序。因?yàn)槭菑娜廴诓ＡУ沃苯又圃旃鈱W(xué)元件的方法，所以能夠效率非常良好地制造光學(xué)元件。成型模具圖3是用來(lái)成型光束整形元件10的成型模具一例截面示意圖。圖3所示的成型模具30備有上模31、下模32、側(cè)面模33，分別用來(lái)形成光束整形元件lO的上成形面ll、下成形面12、側(cè)面成形面13。上模31有加壓熔融玻璃滴的加壓面31s，下模32有加壓熔融玻璃滴的加壓面32s。側(cè)面模33有接觸熔融玻璃滴形成側(cè)面成形面13的規(guī)制面33s。側(cè)面模33和下模32可以是同一部件被構(gòu)成一體，也可以如圖3所示側(cè)面模33和下模32分開，組合后固定。另外，上模31通過沒有圖示的驅(qū)動(dòng)手段能夠上下移動(dòng)，在與下模32之間能夠加壓熔融玻璃滴。使側(cè)面模33的高度低于在供給工序中被供給的熔融玻璃滴的中心部的高度。這樣可以通過加壓成型將熔融玻璃滴的一部分壓到側(cè)面成形面13的外側(cè)，形成具有不接觸成型模具30而形成的面15的凸緣部14。上模31的加壓面31s可以是納入側(cè)面模33規(guī)制面33s內(nèi)側(cè)之大小，但是加壓成型時(shí)玻璃蔓延到加壓面31s外緣的話得到的成形體有難以從上模31脫模的情況。從防止這一現(xiàn)象的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使加壓面31s大一些，在規(guī)制面33s外側(cè)的位置。上模31、下模32及側(cè)面模33的材料可以從以耐熱合金(不銹鋼)、碳化鎢為主要成分的超硬材料、各種陶瓷(碳化硅、氮化硅、氮化鋁等)、含碳復(fù)合材料等周知的被用作加壓成型玻璃光學(xué)元件的成型模具材料中根據(jù)用途適、'〗選用。也可以采用在上述材料表面形成各種金屬、陶瓷、碳等保護(hù)膜的材料。上模31、下模32及側(cè)面模33可以都用同樣材料構(gòu)成，也可以分別用不同材料構(gòu)成。在供給熔融玻璃滴之前先將成型模具30加熱到所定溫度。成型模具30中上模31和下模32的加熱溫度只要選擇能夠在光學(xué)元件上良好地形成光學(xué)面之范圍的溫度即可。一般來(lái)說(shuō)，上模31和下模32的溫度太低的話形成良好的光學(xué)面逐漸變難。相反溫度太高超出所需的話，從防止玻璃與成型模具融著之觀點(diǎn)以及成型模具壽命之觀點(diǎn)出發(fā)不優(yōu)選。通常設(shè)定在玻璃的Tg(玻璃轉(zhuǎn)移點(diǎn))一10(TC到Tg+10(TC左右的溫度，但實(shí)際上卻由于玻璃種類、光學(xué)元件形狀大小、成型模具材料、保護(hù)膜種類、用來(lái)加熱的加熱器和溫度傳感位置等種種條件，合適的溫度有所相同，所以優(yōu)選實(shí)驗(yàn)求得合適的溫度。上模31和下模32的加熱溫度可以相同也可以不同。成型模具30中側(cè)面模33加熱溫度也與上模31、下模32相同，通常設(shè)定在玻璃的Tg(玻璃轉(zhuǎn)移點(diǎn))一100。C到Tg+100。C左右的溫度。側(cè)面模33的溫度太低的話熔融玻璃滴周邊部的冷卻進(jìn)展過早，難以良好地轉(zhuǎn)印光學(xué)面。相反溫度太高超出所需的話，從防止玻璃與側(cè)面模33融著之觀點(diǎn)及側(cè)面模33壽命之觀點(diǎn)出發(fā)不優(yōu)選。實(shí)際上與上模31、下模32相同，優(yōu)選實(shí)驗(yàn)求得合適的溫度。本發(fā)明中，因?yàn)槭菍?duì)被加熱到所定溫度的下模32供給溫度高于成型模具33的熔融玻璃滴，然后用成型模具30加壓成型，所以每制造l個(gè)光學(xué)元件不需要對(duì)成型模具30反復(fù)升溫、冷卻，可以把成型模具30的加熱溫度保持在一定就此進(jìn)行后面敘述的供給工序及加壓工序。并且還可以把成型模具30的加熱溫度保持在一定就此反復(fù)制造多個(gè)光學(xué)元件。因?yàn)椴恍枰尚湍＞叩纳郎睾屠鋮s，所以能夠以極其短的時(shí)間效率良好地制造光學(xué)元件。這里的所謂保持成型模具30的加熱溫度為一定，是指保持用來(lái)加熱成型模具30的溫度控制時(shí)的目標(biāo)設(shè)定溫度為一定。因此，并非企圖防止各工序中因接觸熔融玻璃滴等而引起的成型模具的溫度變動(dòng)，對(duì)于這種溫度變動(dòng)是容許的。對(duì)用來(lái)把成型模具30加熱到所定溫度的加熱手段沒有特殊限定?？梢杂?-個(gè)或多個(gè)加熱器同時(shí)加熱整個(gè)成型模具30，也可以是上模31、下模32、側(cè)面模33分別備有加熱器和溫度傳感，能夠獨(dú)立溫度調(diào)節(jié)各個(gè)部件。加熱器可以適宜選用周知的加熱器。可以采用例如埋入被加熱部件內(nèi)部使用的筒形加熱器、接觸被加熱部件外側(cè)使用的片狀加熱器等。也可以采用紅外線加熱裝置、射頻感應(yīng)加熱裝置。供給工序供給工序是對(duì)下模上供給溫度高于成型模具的所定體積的熔融玻璃滴之工序。圖4是供給工序中的成型模具等狀態(tài)模式示意圖。熔融槽41由沒有圖示的加熱器加熱，內(nèi)部?jī)?chǔ)放熔融狀態(tài)的玻璃43。熔融槽41下部設(shè)有滴下管嘴42，被從熔融槽41供給的熔融玻璃蓄積在滴下管嘴42的先端部。一旦滴下管嘴42先端部的熔融玻璃達(dá)到所定體積，則由于熔融玻璃的自重而熔融玻璃滴44自然分離滴下管嘴42先端部滴到下模32上。本發(fā)明中，使被供給的熔融玻璃滴44的中心部的高度高于側(cè)面模33高度地供給熔融玻璃滴44。因此，能夠通過加壓成型，將熔融玻璃滴的一部分壓到側(cè)面成形面13的外側(cè)，形成具有不接觸成型模具30而形成的面15的凸緣部14。結(jié)果，加壓成型時(shí)熔融玻璃滴的溫度差得到緩和，即使是有側(cè)面成形面13的光束整形元件10也能夠得到高精度的成形面(上成形面11、下成形面12)。被供給的熔融玻璃滴44的中心部的高度，受所供給的熔融玻璃滴44的體積和粘度影響。熔融玻璃滴44的體積可以通過改變滴下管嘴42的先端部的外徑來(lái)進(jìn)行調(diào)整。根據(jù)玻璃的種類等不同，通過調(diào)整滴下管嘴42的先端部的外徑，通常能夠滴下30mm'i500mm3程度的玻璃滴。熔融玻璃滴44的體積還受滴下管嘴42的加熱溫度和熔融玻璃流量等的影響。因此，通過適當(dāng)設(shè)定上述條件，能夠?qū)ο履?2上供給適當(dāng)體積的熔融玻璃滴44。為了形成足夠大的凸緣部14，優(yōu)選熔融玻璃滴44的體積大于由下模32和側(cè)面模33所形成的空間的容積。而熔融玻璃滴44的粘度可以通過改變滴下管嘴42的加熱溫度來(lái)進(jìn)行調(diào)整。升高滴下管嘴42的溫度則熔融玻璃滴44的溫度也升高，熔融玻璃滴44的粘度下降。于是被供給的熔融玻璃滴44的中心部的高度降低。相反，降低滴下管嘴42的溫度則熔融玻璃滴44的溫度也降低，熔融玻璃滴44的粘度上升。于是被供給的熔融玻璃滴44的中心部的高度升高。通過如此調(diào)整上述各條件，適當(dāng)設(shè)定所供給的熔融玻璃滴的體積和粘度，能夠調(diào)整被供給的熔融玻璃滴44的中心部高度。另外，從滴下管嘴42滴下的熔融玻璃滴44也可以不直接供給到下模32上，而可以使滴下的熔融玻璃滴44沖突設(shè)有貫通細(xì)孔的部件，沖突的熔融玻璃滴的一部分穿過貫通細(xì)孔滴下，供給到下模32上(參照特開2002—154834號(hào)公報(bào))。圖5是采用貫通細(xì)孔的熔融玻璃滴的供給方法模式示意圖。在滴下管嘴42和下模32之間配置設(shè)有貫通細(xì)孔45的部件46。使得在滴下管嘴42先端分離滴下的熔融玻璃滴44沖突設(shè)有貫通細(xì)孔45的部件46，熔融玻璃滴44的一部分穿過貫通細(xì)孔45作為微小熔融玻璃滴47供給到下模32上。用這種方法能夠?qū)ο履?2供給例如lmm3100mm3之微小體積的熔融玻璃滴47。另外，通過改變貫通細(xì)孔45的直徑能夠不交換滴下管嘴42地調(diào)整熔融玻璃滴47的體積，能夠效率良好地制造多種光學(xué)元件，所以優(yōu)選。本發(fā)明中可以使用的玻璃種類沒有特殊限定，可以根據(jù)用途選用周知的被用作光學(xué)元件材料的玻璃?？梢耘e出例如磷酸類玻璃、鑭系玻璃等。加壓工序加壓工序是用成型模具加壓成型被供給的熔融玻璃滴之工序。圖6是加壓工序中成型模具30的狀態(tài)模式示意圖。本發(fā)明中，用成型模具30加壓成型被供給的熔融玻璃滴44，將熔融玻璃滴44的一部分壓到側(cè)面成形面13的外側(cè)，形成具有不接觸成型模具30而形成的面15的凸緣部14。如圖6所示，本發(fā)明中即使加壓成型完畢上模31和下模32也不碰接。這樣能夠不斷加壓直至熔融玻璃滴充分冷卻固化，能夠形成更高精度的上成形面11和下成形面12。加壓成型中，上模31和下模32的相對(duì)位置隨時(shí)間接近，但一旦熔融玻璃滴固化不能變形則移動(dòng)停止。因此，光學(xué)元件的厚度由所供給的熔融玻璃滴的體積、開始加壓之前的待機(jī)時(shí)間等決定。熔融玻璃滴44在被供給到下模32時(shí)是處于溫度高于成型模具30的熔融狀態(tài)，但是被供給到下模32之后，從接觸下模32、側(cè)面模33的接觸面放熱急劇冷卻。本發(fā)明中因?yàn)樵诩訅汗ば蛑行纬删哂胁唤佑|成型模具30而形成的面15的凸緣部14，所以能夠減小熔融玻璃滴44與側(cè)面模33的接觸面積。因此抑制了熔融玻璃滴44周邊部分的冷卻，周邊部分和中心部的溫度差得到緩和。其結(jié)果是一直到熔融玻璃滴44固化為止，能夠施加均勻的加壓力，即使是有側(cè)面成形面13的光束整形元件10，也能夠得到高精度的成形面(上成形面11、下成形面12)。由于加壓成型而被壓到側(cè)面成形面13外側(cè)的熔融玻璃的量，受從熔融玻璃滴44被供給到下模32上起，到開始加壓成型為止的待機(jī)時(shí)間影響?？s短待機(jī)時(shí)間的話，加壓成型開始時(shí)熔融玻璃滴44的溫度高粘度小，這樣被壓到側(cè)面成形面13外側(cè)的熔融玻璃量增多。相反，延長(zhǎng)待機(jī)時(shí)間的話，加壓成型開始時(shí)熔融玻璃滴44的溫度低粘度高，所以被壓到側(cè)面成形面13外側(cè)的熔融玻璃量減少。通過如此適宜調(diào)整從玻璃滴44被供給到下模32上起到開始加壓成型為止的時(shí)間，能夠調(diào)整因加壓成型而被壓到側(cè)面成形面13外側(cè)的熔融玻璃為適量。實(shí)際的待機(jī)時(shí)間由于成型模具30、熔融玻璃滴的溫度、玻璃種類、光學(xué)元件大小、形狀等各種條件而有所不同，所以優(yōu)選實(shí)驗(yàn)決定。一般來(lái)說(shuō)，使待機(jī)時(shí)間為數(shù)秒至數(shù)十秒，這樣能夠壓出適量的熔融玻璃。對(duì)加壓手段沒有特殊限定，可以適宜選用空氣汽缸、油壓汽缸、采用了伺服馬達(dá)的電動(dòng)汽缸等周知的加壓手段。在成型模具30的加壓過程之中，光學(xué)元件10也從接觸成型模具30的接觸部放熱而不斷冷卻。一旦冷卻到即使解除加壓成形面的形狀也不變形的溫度，便解除加壓，使上模31退避取出光學(xué)元件10。解除加壓的溫度隨玻璃種類、光學(xué)元件10大小形狀、所需精度等有所不同，但通常只要冷卻到玻璃Tg附近的溫度即可。光學(xué)元件10的取出可以采用周知的利用了吸著方式的脫模裝置等進(jìn)行。切斷工序本發(fā)明可以在加壓工序之后備有切斷工序，切斷由加壓工序得到的光學(xué)元件，除去凸緣部14的至少一部分。通過除去在加壓工序中形成的凸緣部14等，能夠制造更小型的光學(xué)元件。另外，當(dāng)形狀是難以通過加壓工序直接制造的形狀時(shí)，例如上成形面是圓柱體面的母線方向與子線方向長(zhǎng)度大不相同的長(zhǎng)方形的情況時(shí)等，也能夠容易地得到高精度的光學(xué)元件，所以優(yōu)選。也優(yōu)選用切斷時(shí)形成的切斷面作為裝入時(shí)的定位基準(zhǔn)面。切斷加工時(shí)以上成形面、下成形面、側(cè)面成形面為基準(zhǔn)進(jìn)行切斷，這樣能夠得到離光學(xué)面距離參差小的高精度的切斷面。對(duì)切斷裝置的種類沒有限定，但優(yōu)選使用采用了容易進(jìn)行高精度直線切斷加工的切塊刀片(dicingblade)的切斷裝置(切割裝置)。對(duì)切塊刀片的種類也沒有限制，可以適宜選用GC磨石、金剛石刀片、金屬鋸等周知的切塊刀片。實(shí)施例以下對(duì)為了確認(rèn)本發(fā)明效果而進(jìn)行的實(shí)施例作說(shuō)明，但本發(fā)明并不局限于此。實(shí)施例15用圖3所示的成型模具30制造了圖l所示的光學(xué)元件10。上模31、下模32及側(cè)面模33的材料都采用以碳化鎢為主要成分的超硬材料。成型模具30的加熱溫度是上模31為450°C、下模32為470。C、側(cè)面模33為470。C。光學(xué)元件10的光學(xué)面llc是圓柱體面，由垂直與母線的截面是半徑3mni的圓弧構(gòu)成，光學(xué)面12c是圓柱體面，由垂直與母線的截面是半徑2mm的圓弧構(gòu)成。使中心部厚度為4mm。上成形面11的平面部llp和下成形面12的平面部12p之間的厚度為4.lmm。使下模32加壓面32s為4誦X4mm的正方形。采用了5種側(cè)面模33，它們與熔融玻璃滴接觸形成側(cè)面成形面13的規(guī)制面33s高度分別如下0.3mm(實(shí)施例1)、l國(guó)(實(shí)施例2)、2腿(實(shí)施例3)、2.73mm(實(shí)施例4)、3mm(實(shí)施例5)。熔融玻璃滴的供給如圖4所示，是從滴下管嘴42滴下熔融玻璃滴44，直接供給到下模32上的方法。玻璃材料采用Tg為48(TC的磷酸類玻璃。使滴下管嘴42的加熱溫度為IOO(TC。如下表1所示，相應(yīng)規(guī)制面33s的高度，調(diào)整熔融玻璃滴的體積，制造了光學(xué)元件10。熔融玻璃滴的體積是通過改變滴下管嘴42先端部的外徑作了調(diào)整。待機(jī)時(shí)間是相應(yīng)熔融玻璃滴的體積分別作了調(diào)整，使光學(xué)元件10中心部的厚度為一定(4薩)。加壓工序中的載重為200N，加壓時(shí)間為10秒。對(duì)得到的光學(xué)元件10的光學(xué)面llc的形狀精度進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)是采用接觸式的形狀測(cè)定機(jī)(亍一，一才、7乂^株式會(huì)社制造PG1840)，在母線垂直方向測(cè)定光學(xué)面llc的形狀，求得偏離球面(圓弧)的偏離量的最大值。評(píng)價(jià)偏離量的最大值不到0.lum時(shí)為特別良好(◎)，在O.lym以上不到.15txm時(shí)為良好(〇)，在0.15um以上時(shí)存在問題(X)。評(píng)價(jià)結(jié)果出示在表l。實(shí)施例15的任何一個(gè)條件下，偏離量的最大值都不到O.15ym,形成了高精度的光學(xué)面。其中，側(cè)面成形面13上下方向的厚度在凸緣部14厚度的2倍以下時(shí)(實(shí)施例l、2、3、4)，偏離量的最大值不到0.lum，尤其良好。表1側(cè)面成形面的厚度(mm)凸緣部的厚度(mm)(側(cè)面成形面的厚度)/(凸緣部的厚度)熔融玻璃滴的體積(mm3)光學(xué)面的形狀精度("m)評(píng)價(jià)實(shí)施例10.33.80.1950.05◎?qū)嵤├?13.10.3900.05◎<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>比較例1采用了規(guī)制面33s高度為5mm的側(cè)面模33。上模31加壓面31s為3.98mmX3.98mm正方形，能夠插入由側(cè)面模33規(guī)制面33s圍起的區(qū)域。使熔融玻璃滴的體積為65mra3，用與實(shí)施例相同的條件制造光學(xué)元件。與實(shí)施例的情況不同，加壓工序中熔融玻璃滴的一部分沒有被壓到側(cè)面成形面13的外側(cè)，得到的光學(xué)元件上沒有形成凸緣部14。與實(shí)施例相同，對(duì)得到的光學(xué)元件的光學(xué)面llc的形狀精度作了評(píng)價(jià)，其結(jié)果并同出示在表1中。該比較例中偏離量的最大值為0.29um，與實(shí)施例15相比，確認(rèn)到了光學(xué)面的形狀精度低。權(quán)利要求1.一種光學(xué)元件的制造方法，是用成型模具加壓成型熔融玻璃滴制造光學(xué)元件，所述成型模具備有上模、下模、側(cè)面模，分別用來(lái)形成具有上成形面、下成形面、側(cè)面成形面之光學(xué)元件的上成形面、下成形面、側(cè)面成形面，光學(xué)元件的制造方法的特征在于，備有下述工序供給工序，向所述下模上滴下溫度高于所述成型模具的所述熔融玻璃滴供給所述熔融玻璃滴，使被供給的所述熔融玻璃滴的中心部的高度高于所述側(cè)面模的高度；加壓工序，用所述成型模具加壓成型被供給的所述熔融玻璃滴，把所述熔融玻璃滴的一部分壓到所述側(cè)面成形面的外側(cè)形成凸緣部，該凸緣部有不接觸所述成型模具而形成的面。2.如權(quán)利要求1中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述側(cè)面成形面上下方向的厚度在0.3mm以上、所述凸緣部厚度的2倍以下。3.如權(quán)利要求1中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述光學(xué)元件在所述上成形面及所述下成形面上含有光學(xué)面。4.如權(quán)利要求1中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述側(cè)面成形面是所述光學(xué)元件裝入光學(xué)系統(tǒng)中時(shí)被用作定位基準(zhǔn)面的面。5.如權(quán)利要求4中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述側(cè)面成形面有略相互垂直的2個(gè)平面。6.如權(quán)利要求13的任何一項(xiàng)中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，在所述加壓工序之后備有切斷工序，切斷所述光學(xué)元件，除去所述凸緣部的至少一部分。7.如權(quán)利要求6中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述切斷工序是以所述上成形面、所述下成形面或所述側(cè)面成形面為基準(zhǔn)進(jìn)行切斷。8.如權(quán)利要求1中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述熔融玻璃滴的體積大于由所述下模及所述側(cè)面模形成的空間的容積。9.如權(quán)利要求3中記載的光學(xué)元件的制造方法，其特征在于，所述光學(xué)元件是用來(lái)把半導(dǎo)體激光輸出的輸出光束的截面整形為圓形的光束整形元件，所述上成形面及所述下成形面的至少一個(gè)備有由圓柱體面或圓環(huán)面構(gòu)成的光學(xué)面。10.—種光學(xué)元件，用成型模具加壓成型熔融玻璃滴制造，光學(xué)元件的特征在于，備有接觸所述成型模具而形成的上成形面、下成形面及側(cè)面成形面；凸緣部，其備有蔓延到所述側(cè)面成形面外側(cè)、不接觸所述成型模具而形成的面。全文摘要提供一種光學(xué)元件的制造方法等，其中，能夠通過加壓成型熔融玻璃滴，高效率高精度地制造具有側(cè)面成形面的光束整形元件等光學(xué)元件。采用備有上模、下模及側(cè)面模的成型模具加壓成型熔融玻璃滴，由此制造備有上成形面、下成形面及側(cè)面成形面的光學(xué)元件。首先對(duì)下模上供給熔融玻璃滴，使熔融玻璃滴中心部的高度高于側(cè)面模的高度。之后用成型模具加壓成型被供給的熔融玻璃滴，將熔融玻璃滴的一部分壓到側(cè)面成形面的外側(cè)，形成具有不接觸成型模具而形成的面的凸緣部。文檔編號(hào)G02B3/00GK101679091SQ200880018069公開日2010年3月24日申請(qǐng)日期2008年5月21日優(yōu)先權(quán)日2007年5月31日發(fā)明者小椋和幸,速水俊一申請(qǐng)人:柯尼卡美能達(dá)精密光學(xué)株式會(huì)社