母版檢測(cè)清潔裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種母版檢測(cè)清潔裝置，包括：母版夾持裝置、檢測(cè)裝置和清潔裝置。其中，母版夾持裝置可移動(dòng)地設(shè)置在母版檢測(cè)清潔裝置上；檢測(cè)裝置設(shè)置在母版夾持裝置的一側(cè)，用于檢測(cè)待清潔母版的清潔度；清潔裝置設(shè)置在檢測(cè)裝置的下游側(cè)。本發(fā)明的母版檢測(cè)清潔裝置，通過檢測(cè)裝置檢測(cè)母版的是否存在異物，并利用清潔裝置對(duì)母版上的異物進(jìn)行清潔，有效地防止了母版上的異物發(fā)生漏檢的現(xiàn)象，確保母版上無(wú)異物的存在，杜絕了在生產(chǎn)過程中的由異物污染造成的產(chǎn)品上的公共缺陷。
【專利說(shuō)明】母版檢測(cè)清潔裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及清潔【技術(shù)領(lǐng)域】，具體而言，涉及一種母版檢測(cè)清潔裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)中，三電極表面放電型PDP結(jié)構(gòu)，主要有前后玻璃基板組成，在前后玻璃基板上分別制作有透明(Ι--)電極、匯流(Bus)電極、尋址(Add)電極、障壁(Rib)圖形等線條圖形，由于圖形的精細(xì)度及高分辨率的要求，這些圖形的制作，在工藝上采用主流的光刻方法進(jìn)行。光刻時(shí)使用大面積曝光用曝光設(shè)備，曝光設(shè)備所使用的母版尺寸長(zhǎng)度一般超過2m，寬度超過lm，用這么大尺寸的母版作為掩膜版，復(fù)制母版上的圖形。母版的潔凈程度對(duì)曝光結(jié)果有著重要的影響，如果母版上有異物存在則遮擋住曝光機(jī)光源部分過來(lái)的紫外(UV)光，使母版上的圖形不能很好的復(fù)制到玻璃基板上，極易在玻璃基板形成斷路，使產(chǎn)品的線條出現(xiàn)缺陷。而且在生產(chǎn)中也會(huì)造成批次不良，直接影響后工序的生產(chǎn)。而在現(xiàn)有技術(shù)中，母版清潔完畢后主要是靠人眼檢查母版上有無(wú)異物落上，人眼檢查容易漏檢，較小的異物由于人眼分辨率有限不能很好的發(fā)現(xiàn)，而且由于人員的接近造成母版二次污染，有可能帶來(lái)新的異物污染，最終還是影響曝光結(jié)果。
[0003]如果能在母版進(jìn)入曝光機(jī)曝光位置之前對(duì)母版圖形進(jìn)行檢查并且對(duì)檢查到的異物進(jìn)行清理，這樣可以防止母版上異物的漏檢，使母版上沒有異物存在，從而可以避免曝光后玻璃基板上線條圖形的斷線。斷線的減少或者得到徹底解決可以有效地提高產(chǎn)品的一次通過率，在提高生產(chǎn)線的產(chǎn)量的同時(shí)，也降低了產(chǎn)品的生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明旨在提供一種母版檢測(cè)清潔裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中母版上有異物存留的問題。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種母版檢測(cè)清潔裝置，包括:可移動(dòng)的母版夾持裝置；檢測(cè)裝置，設(shè)置在母版夾持裝置的一側(cè)，用于檢測(cè)待清潔母版的清潔度；清潔裝置，設(shè)置在檢測(cè)裝置的下游側(cè)。
[0006]進(jìn)一步地，母版夾持裝置為夾具，具有用于夾持母版的兩個(gè)相對(duì)的邊沿處的夾持部。
[0007]進(jìn)一步地，檢測(cè)裝置包括:攝像頭，為形成一排的多個(gè)，多個(gè)攝像頭至少覆蓋母版的寬度范圍；圖像處理裝置，與攝像頭連接，用于發(fā)出清潔指令。
[0008]進(jìn)一步地，清潔裝置包括:用于清潔母版的第一清潔裝置和用于清潔第一清潔裝置的第二清潔裝置。
[0009]進(jìn)一步地，第一清潔裝置包括:位于上方的第一粘性滾輪和位于下方的第二粘性滾輪，第一粘性滾輪與二粘性滾輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在母版的兩側(cè)。
[0010]進(jìn)一步地，第一裝置清潔母版的同時(shí)，第二清潔裝置對(duì)第一清潔裝置進(jìn)行清潔。
[0011]進(jìn)一步地，第二清潔裝置包括:第一粘性帶和第二粘性帶，第一粘性帶與第二粘性帶均具有用于清潔第一清潔裝置的粘性面。
[0012]在本發(fā)明的技術(shù)方案中，母版檢測(cè)清潔裝置包括:母版夾持裝置、檢測(cè)裝置和清潔裝置。其中，母版夾持裝置可移動(dòng)地設(shè)置在母版檢測(cè)清潔裝置上；檢測(cè)裝置設(shè)置在母版夾持裝置的一側(cè)，用于檢測(cè)待清潔母版的清潔度；清潔裝置設(shè)置在檢測(cè)裝置的下游側(cè)。本發(fā)明的母版檢測(cè)清潔裝置，通過檢測(cè)裝置檢測(cè)母版的是否存在異物，并利用清潔裝置對(duì)母版上的異物進(jìn)行清潔，有效地防止了母版上的異物發(fā)生漏檢的現(xiàn)象，確保母版上無(wú)異物的存在，杜絕了在生產(chǎn)過程中的由異物污染造成的產(chǎn)品上的公共缺陷。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說(shuō)明書附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0014]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的母版檢測(cè)清潔裝置的實(shí)施例的檢測(cè)裝置的示意圖；以及
[0015]圖2示出了圖1的母版檢測(cè)清潔裝置的清潔裝置的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。
[0017]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的母版檢測(cè)清潔裝置的實(shí)施例的檢測(cè)裝置的示意圖，圖2示出了圖1的母版檢測(cè)清潔裝置的清潔裝置的示意圖。結(jié)合參見圖1至圖2，從圖中可以看出，本實(shí)施例中的母版10清潔裝置包括:母版夾持裝置、檢測(cè)裝置20和清潔裝置。其中，母版夾持裝置可移動(dòng)地設(shè)置在母版檢測(cè)清潔裝置上；檢測(cè)裝置20設(shè)置在母版夾持裝置的一側(cè)，用于檢測(cè)待清潔母版10的清潔度；清潔裝置設(shè)置在檢測(cè)裝置20的下游側(cè)。本實(shí)施例的母版檢測(cè)清潔裝置，通過檢測(cè)裝置20檢測(cè)母版10的是否存在異物，并利用清潔裝置對(duì)母版10上的異物進(jìn)行清潔，有效地防止了母版10上的異物發(fā)生漏檢的現(xiàn)象，確保母版10上無(wú)異物的存在，杜絕了在生產(chǎn)過程中的由異物污染造成的產(chǎn)品上的公共缺陷。
[0018]在本實(shí)施例的母版檢測(cè)清潔裝置中，母版夾持裝置可以為夾持在母版10的兩個(gè)相對(duì)的邊沿處的夾具。檢測(cè)裝置20具體為攝像頭，攝像頭可以為多個(gè)，并至少在母版10的寬度方向上覆蓋母版10，已將母版10上的圖形區(qū)域納入檢測(cè)裝置20的檢測(cè)范圍，確保攝像頭的分布包容母版10上的圖形有效區(qū)。優(yōu)選地，攝像頭應(yīng)在母版檢測(cè)清潔裝置上固定設(shè)置。并位于能夠防止振動(dòng)的安裝位置，以防攝像頭的抖動(dòng)影響圖像的拍攝質(zhì)量。
[0019]在母版10清潔度的檢測(cè)過程中，母版夾持裝置夾持母版10通過檢測(cè)裝置20，檢測(cè)裝置20將拍攝到的圖像傳輸?shù)脚c檢測(cè)裝置20相連的圖像處理裝置，并經(jīng)圖像處理裝置對(duì)得到的圖像進(jìn)行分析，可以采用一些常規(guī)軟件進(jìn)行輔助分析，找出規(guī)律性不同的地方，并記錄下規(guī)律性不同的地方的坐標(biāo)點(diǎn)。待檢測(cè)結(jié)束后，圖像處理裝置將記錄的坐標(biāo)點(diǎn)反饋至屏幕上，并由操作人員確認(rèn)坐標(biāo)點(diǎn)處是否為異物存在處，當(dāng)操作人員發(fā)現(xiàn)異物后，向母版檢測(cè)清潔裝置發(fā)出清潔指令，使母版檢測(cè)清潔裝置進(jìn)入自動(dòng)清潔階段。
[0020]本實(shí)施例中的清潔裝置包括第一清潔裝置和第二清潔裝置，其中，第一清潔裝置用于清潔母版10，第二清潔裝置用于對(duì)清潔第一清潔裝置。
[0021]如圖2所示，在本實(shí)施例中，第一清潔裝置包括位于上方的第一粘性滾輪31和位于下方的第二粘性滾輪32，第一粘性滾輪31和第二粘性滾輪32分別可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在母版10的兩側(cè)，當(dāng)母版10沿箭頭方向經(jīng)過第一粘性滾輪31和第二粘性滾輪32之間的縫隙時(shí)，利用第一粘性滾輪31和第二粘性滾輪32的粘性對(duì)母版10上下兩個(gè)表面的義務(wù)進(jìn)行粘除，清除母版10上的異物。
[0022]第二清潔裝置的設(shè)置是為了防止異物轉(zhuǎn)移到母版的其他位置，第二清潔裝置在第一清潔裝置對(duì)母版10進(jìn)行清潔的同時(shí)對(duì)第一清潔裝置進(jìn)行清潔，確保第一清潔裝置在對(duì)母版10清除異物的過程中一直處在清潔的狀態(tài)，確保了母版檢測(cè)清潔裝置的清潔質(zhì)量。具體地，本實(shí)施例中的第二清潔裝置包括與第一粘性滾輪31接觸的第一粘性帶和與第二粘性滾輪32接觸的第二粘性帶，第一粘性帶位于第一粘性滾輪31的外側(cè)，第二粘性帶位于第二粘性滾輪32的外側(cè)，第一粘性帶和第二粘性帶與第一清潔裝置接觸的一側(cè)設(shè)置有粘性面，第二清潔裝置通過粘性面將第一清潔裝置上的異物進(jìn)行粘除。
[0023]本實(shí)施例中的母版檢測(cè)清潔裝置可對(duì)母版10進(jìn)行有效的清潔，保證玻璃基板在曝光時(shí)有干凈的母版10，能很好的把母版10上的線條圖形到復(fù)制到玻璃基板上，完成產(chǎn)品的曝光等后續(xù)工序。這樣處理過的母版10不會(huì)因?yàn)橛挟愇镂廴径斐晒踩毕荩梢员苊馀蔚臄嗑€和短路。進(jìn)而避免了形成斷線而進(jìn)行修復(fù)，可以提高生產(chǎn)的良品率，降低生產(chǎn)成本。
[0024]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種母版檢測(cè)清潔裝置，其特征在于，包括: 可移動(dòng)的母版夾持裝置； 檢測(cè)裝置(20)，設(shè)置在所述母版夾持裝置的一側(cè)，用于檢測(cè)待清潔母版(10)的清潔度； 清潔裝置，設(shè)置在所述檢測(cè)裝置(20)的下游側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的母版檢測(cè)清潔裝置，其特征在于，所述母版夾持裝置為夾具，具有用于夾持所述母版的兩個(gè)相對(duì)的邊沿處的夾持部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的母版檢測(cè)清潔裝置，其特征在于，所述檢測(cè)裝置(20)包括: 攝像頭，為形成一排的多個(gè)，多個(gè)所述攝像頭至少覆蓋所述母版(10)的寬度范圍； 圖像處理裝置，與所述攝像頭連接，用于發(fā)出清潔指令。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的母版檢測(cè)清潔裝置，其特征在于，所述清潔裝置包括:用于清潔所述母版(10)的第一清潔裝置和用于清潔所述第一清潔裝置的第二清潔裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的母版檢測(cè)清潔裝置，其特征在于，所述第一清潔裝置包括: 位于上方的第一粘性滾輪(31)和位于下方的第二粘性滾輪(32)，所述第一粘性滾輪(31)與所述二粘性滾輪(32)可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述母版(10)的兩側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的母版檢測(cè)清潔裝置，其特征在于，所述第一裝置清潔所述母版(10)的同時(shí)，所述第二清潔裝置對(duì)所述第一清潔裝置進(jìn)行清潔。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的母版檢測(cè)清潔裝置，其特征在于，所述第二清潔裝置包括:第一粘性帶和第二粘性帶，所述第一粘性帶與所述第二粘性帶均具有用于清潔所述第一清潔裝置的粘性面。
【文檔編號(hào)】G03F1/82GK103792786SQ201110459661
【公開日】2014年5月14日 申請(qǐng)日期:2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日:2011年12月31日
【發(fā)明者】田玉民, 羅向輝 申請(qǐng)人:四川虹歐顯示器件有限公司