專利名稱：用于激光直寫成像設(shè)備的多區(qū)域真空吸盤裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于印制電路板曝光設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及用于激光直寫成像設(shè)備的真空吸盤裝置。
背景技術(shù)：
真空吸盤裝置是激光直寫成像設(shè)備必須的零部件，現(xiàn)有的吸盤裝置包括吸盤本體，吸盤本體上面再覆蓋一張吸盤墊，構(gòu)成真空吸附系統(tǒng)?，F(xiàn)有的吸盤本體結(jié)構(gòu)一般是按照可以放置最大規(guī)格PCB板尺寸，將整個吸盤吸附表面加工成一個整體的相互貫通的真空吸附區(qū)域?，F(xiàn)有的吸盤墊結(jié)構(gòu)通常是使用一塊薄板，將吸盤墊的整體尺寸加工的比吸盤本體相互貫通的真空吸附區(qū)域稍大，而吸盤墊上放置被吸附PCB板的區(qū)域制作出很多點陣排列的小圓孔，開小圓孔的吸附區(qū)域比PCB板的尺寸稍小，非吸附區(qū)域不得加工任何通氣孔或槽等。目的是既能有效均勻地吸附住該PCB板，又能防止真空泄漏。當(dāng)該PCB板放置在吸盤墊上時，打開真空，可實現(xiàn)對PCB板的有效吸附。現(xiàn)有技術(shù)存在的問題是這樣設(shè)計的吸盤墊只能滿足一種尺寸PCB板的有效吸附需要。當(dāng)放置大規(guī)格的PCB板于該吸盤墊上， 則由于PCB板部分區(qū)域沒有真空吸附而造成PCB板面翹起，造成曝光失敗；而放置小規(guī)格的 PCB于該吸盤墊上，則由于PCB板沒有完全覆蓋住吸盤墊上的點陣小圓孔而造成真空泄漏導(dǎo)致無法吸附PCB。實際生產(chǎn)中，由于PCB板大小不一、尺寸多樣，為了保證設(shè)備的吸盤裝置可以吸附不同規(guī)格的PCB，則每臺設(shè)備就需要配置很多種規(guī)格的吸盤墊；同時，每當(dāng)曝光不同規(guī)格的PCB板時，就需要更換相應(yīng)規(guī)格的吸盤墊，造成了生產(chǎn)時間的浪費，頻繁的更換也會帶來一些質(zhì)量問題。
發(fā)明內(nèi)容為了解決每臺激光直寫成像設(shè)備需要配置很多種規(guī)格的吸盤墊，同時曝光中需要不斷更換吸盤墊的問題，本實用新型提供一種改進結(jié)構(gòu)的用于激光直寫成像設(shè)備的多區(qū)域真空吸盤裝置，可實現(xiàn)對不同尺寸PCB板的有效吸附，而又不需要更換吸盤墊。實現(xiàn)上述目的的技術(shù)解決方案如下用于激光直寫成像設(shè)備的多區(qū)域真空吸盤裝置包括空心的矩形的吸盤本體，吸盤本體上覆蓋著一張均布著點陣吸附小孔的吸盤墊，所述吸盤本體的一面均布設(shè)有氣槽，相鄰氣槽之間形成加強筋；所述吸盤本體的空腔內(nèi)設(shè)有兩條L形的隔離條，兩條L形的隔離條的一端分別連接著吸盤本體內(nèi)的一側(cè)邊，另一端分別連接著吸盤本體內(nèi)相鄰的另一側(cè)邊； 使空心的吸盤本體內(nèi)形成三個獨立的吸附區(qū)域；其中第一個吸附區(qū)域位于吸盤本體的一角，第二個吸附區(qū)域位于第一吸附區(qū)域外側(cè)，第二個吸附區(qū)域外側(cè)為第三吸附區(qū)域；每個獨立的吸附區(qū)域的吸盤本體空腔內(nèi)設(shè)有通氣管，通氣管的外端位于吸盤本體一側(cè)的邊緣處， 內(nèi)端位于獨立的吸附區(qū)域的吸盤本體空腔內(nèi)。所述第一個吸附區(qū)域呈矩形，第二個吸附區(qū)域呈L形，第三吸附區(qū)域呈L形。三個獨立的吸附區(qū)域內(nèi)的通氣管的外端分別位于吸盤本體的同一側(cè)邊緣處。[0008]本實用新型的有益技術(shù)效果是，同一吸盤本體可吸附不同規(guī)格的PCB板，滿足不同規(guī)格PCB板在一臺激光直寫成像設(shè)備上的曝光吸附要求，從而避免了多種規(guī)格吸盤墊制作成本，節(jié)省了曝光過程中頻繁更換吸盤墊的時間，提高了工作效率。

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為吸盤本體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為圖2局部剖視示意圖。圖4為吸盤墊結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為圖4的局部放大圖。上圖中序號，吸盤本體1、第一個吸附區(qū)域通氣管1. 1、第二個吸附區(qū)域通氣管 1.2、第三個吸附區(qū)域通氣管1.3、第三個吸附區(qū)域通氣管的內(nèi)端口 1.4、第二個吸附區(qū)域通氣管的內(nèi)端口 1.5、第一個吸附區(qū)域通氣管的內(nèi)端口 1.6、加強筋1.7、氣槽1.8、吸盤墊2、吸附小孔2.1。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖，通過實施例對本實用新型作進一步地說明。實施例參見圖1和圖2，用于激光直寫成像設(shè)備的多區(qū)域真空吸盤裝置包括空心的矩形的吸盤本體1，吸盤本體1上覆蓋著一張均布著點陣吸附小孔2. 1的吸盤墊2，見圖4和圖 5。吸盤本體1的一面均布開設(shè)有氣槽1. 8，相鄰氣槽之間形成加強筋1. 7。吸盤本體1的空腔內(nèi)設(shè)有兩條L形的隔離條，兩條L形的隔離條的一端分別連接著吸盤本體1內(nèi)的一側(cè)邊， 另一端分別連接著吸盤本體內(nèi)相鄰的另一側(cè)邊；使空心的吸盤本體內(nèi)形成三個獨立的吸附區(qū)域。其中第一個吸附區(qū)域位于吸盤本體的一角，第一個吸附區(qū)域呈矩形；第二個吸附區(qū)域位于第一吸附區(qū)域外側(cè)，第二個吸附區(qū)域呈L形；第二個吸附區(qū)域外側(cè)為第三吸附區(qū)域，第三吸附區(qū)域呈L形。每個獨立的吸附區(qū)域的吸盤本體空腔內(nèi)設(shè)有通氣管，三個獨立的吸附區(qū)域內(nèi)的通氣管的外端口分別位于吸盤本體的同一側(cè)邊緣處，通氣管的內(nèi)端口分別位于每個獨立的吸附區(qū)域的吸盤本體空腔內(nèi)。參見圖3，第一個吸附區(qū)域通氣管1. 1的內(nèi)端口 1.6 位于第一個吸附區(qū)域內(nèi)，第二個吸附區(qū)域通氣管1. 2的內(nèi)端口 1. 5位于第二個吸附區(qū)域內(nèi)， 第三個吸附區(qū)域通氣管1. 3的內(nèi)端口 1. 4位于第一個吸附區(qū)域內(nèi)。使用時，根據(jù)實際被加工PCB板的規(guī)格，選擇合適的吸附區(qū)域，通過通氣管的供氣控制真空工作區(qū)域。實際的真空工作區(qū)域或為第一個吸附區(qū)域，或為第一個吸附區(qū)域和第二個吸附區(qū)域組合形成的工作區(qū)域，或為整個吸盤本體1的工作區(qū)域。
權(quán)利要求1.用于激光直寫成像設(shè)備的多區(qū)域真空吸盤裝置，包括空心的矩形的吸盤本體，吸盤本體上覆蓋著一張均布著點陣吸附小孔的吸盤墊，所述吸盤本體的一面均布設(shè)有氣槽，相鄰氣槽之間形成加強筋；其特征在于所述吸盤本體的空腔內(nèi)設(shè)有兩條L形的隔離條，兩條 L形的隔離條的一端分別連接著吸盤本體內(nèi)的一側(cè)邊，另一端分別連接著吸盤本體內(nèi)相鄰的另一側(cè)邊；使空心的吸盤本體內(nèi)形成三個獨立的吸附區(qū)域；其中第一個吸附區(qū)域位于吸盤本體的一角，第二個吸附區(qū)域位于第一吸附區(qū)域外側(cè)，第二個吸附區(qū)域外側(cè)為第三吸附區(qū)域；每個獨立的吸附區(qū)域的吸盤本體空腔內(nèi)設(shè)有通氣管，通氣管的外端位于吸盤本體一側(cè)的邊緣處，內(nèi)端位于獨立的吸附區(qū)域的吸盤本體空腔內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于激光直寫成像設(shè)備的多區(qū)域真空吸盤裝置，其特征在于所述第一個吸附區(qū)域呈矩形，第二個吸附區(qū)域呈L形，第三吸附區(qū)域呈L形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于激光直寫成像設(shè)備的多區(qū)域真空吸盤裝置，其特征在于三個獨立的吸附區(qū)域內(nèi)的通氣管的外端分別位于吸盤本體的同一側(cè)邊緣處。
專利摘要本實用新型涉及用于激光直寫成像設(shè)備的多區(qū)域真空吸盤裝置。該裝置的吸盤本體的空腔內(nèi)設(shè)有兩條L形的隔離條，使空心的吸盤本體內(nèi)形成三個獨立的吸附區(qū)域；其中第一個吸附區(qū)域位于吸盤本體的一角，第二個吸附區(qū)域位于第一吸附區(qū)域外側(cè)，第二個吸附區(qū)域外側(cè)為第三吸附區(qū)域；每個獨立的吸附區(qū)域的吸盤本體空腔內(nèi)設(shè)有通氣管。本實用新型實現(xiàn)了同一吸盤本體可吸附不同規(guī)格的PCB板，滿足不同規(guī)格PCB板在一臺激光直寫成像設(shè)備上的曝光吸附要求，從而避免了多種規(guī)格吸盤墊制作成本，節(jié)省了曝光過程中頻繁更換吸盤墊的時間，提高了工作效率。
文檔編號G03F7/20GK202221514SQ20112033558
公開日2012年5月16日 申請日期2011年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月8日
發(fā)明者劉文海, 王友車, 胡震, 陳新宏 申請人:合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司