專(zhuān)利名稱(chēng)：液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法。
背景技術(shù)：
作為液晶顯示裝置或等離子顯示裝置等平面顯示器的顯示部的零件使用平坦的玻璃板。以下的說(shuō)明中，是將此種玻璃板稱(chēng)為平面顯示器用玻璃基板，或僅稱(chēng)為玻璃基板。
例如，在液晶顯示裝置中，使施加在封入玻璃基板間的液晶的電場(chǎng)變化，以使液晶的配向變化，藉此能夠顯示動(dòng)畫(huà)。由于液晶顯示裝置在顯示影像時(shí)必需使電場(chǎng)變化，因此在玻璃基板形成用以施加電壓的透明電極。為了控制施加在玻璃基板上的電極的電壓的on(開(kāi))/off (關(guān))，在需要高品質(zhì)顯示的電視接收機(jī)等所使用的液晶顯示裝置中，是采用使用薄膜電晶體(TFT)的主動(dòng)矩陣方式的控制。此TFT亦形成在玻璃基板上。以此方式，由于在平面顯示器用玻璃基板的玻璃面上，藉由極薄的金屬膜或半導(dǎo)體形成電極或主動(dòng)元件，因此玻璃基板的玻璃表面要求極高的平坦性與極高的潔凈性。平面顯示器用玻璃基板，例如用于液晶顯示裝置的(以下，稱(chēng)為液晶用玻璃基板)，是呈薄長(zhǎng)方形的板狀的形態(tài)。液晶用玻璃基板，通常厚度為O. 5mm O. 7mm左右，比Imm還薄，而且大型化的要求逐年持續(xù)在升高。液晶用玻璃基板，是以被稱(chēng)為母玻璃(motherglass)的形態(tài)，供給至液晶顯示裝置的制造工程，而該母玻璃是具有相當(dāng)于多片用于制造一個(gè)液晶顯示裝置所需的大小的玻璃基板的大小。此母玻璃的大小，習(xí)慣上是以所謂世代的稱(chēng)呼來(lái)表現(xiàn)，例如，第6世代的母玻璃的大小是1500mmX 1850mm。母玻璃是藉由將成形為板狀的玻璃板切斷成既定大小所制得。此外，為了去除在玻璃板切斷時(shí)所產(chǎn)生的臟污或碎屑等，必需洗凈母玻璃即液晶用玻璃基板。在此種狀況下所進(jìn)行的液晶用玻璃基板的玻璃表面的洗凈過(guò)程中，使用純水、界面活性劑等洗滌劑、以及氟化合物等各種液體。使用于玻璃表面的洗凈后的液體，是藉由噴出氣流除去，結(jié)束洗凈步驟后，經(jīng)過(guò)檢查步驟等再予以出貨。不過(guò)在成為制品后的液晶用玻璃基板的表面上，有時(shí)卻會(huì)殘留被稱(chēng)為水潰(watermark)的隱約的痕跡。若發(fā)生此種水潰，則會(huì)因水潰而在形成于玻璃基板上的電極或元件產(chǎn)生不良，而成為液晶顯示裝置故障的原因。此外，在液晶用玻璃基板上形成液晶顯示所需的構(gòu)件時(shí)，雖然也會(huì)進(jìn)行洗凈，不過(guò)即使在此種情況下所進(jìn)行的洗凈，亦會(huì)產(chǎn)生水潰發(fā)生的問(wèn)題。針對(duì)此問(wèn)題，為了防止水潰的發(fā)生，例如專(zhuān)利文獻(xiàn)I (日本特開(kāi)2009 - 6299號(hào)公報(bào))所記載，以往是進(jìn)行藉由氣刀(airknife)等薄平面狀的噴出氣流，從洗凈后的液晶用玻璃基板的玻璃表面，除去洗凈時(shí)所使用的洗滌劑等液體。
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題
然而，由于噴出氣流是由空氣的流動(dòng)所形成，因此即使通過(guò)噴出氣流從玻璃表面除去洗凈時(shí)所使用的洗滌劑等液體，亦無(wú)法完全防止水潰的發(fā)生。本發(fā)明的課題，是在于提供一種液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法，與以往的做法相比，能夠大幅地減低在藉由噴出氣流除去洗漆劑等液體之后產(chǎn)生水潰(watermark)的頻度。解決該問(wèn)題的技術(shù)方案本發(fā)明的液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法，包含成形步驟，將熔融玻璃成形為玻璃基板；洗凈步驟，使用洗滌劑洗凈玻璃基板的表面；以及沖洗步驟，是用液體沖洗在 洗凈步驟洗凈后的玻璃基板的表面。洗凈步驟包含吹送步驟，將洗滌劑吹送至玻璃基板的表面；以及除去步驟，對(duì)玻璃基板的表面供給延伸的噴出氣流以除去洗滌劑。在該除去步驟，該噴出氣流的風(fēng)速在延伸方向上調(diào)整成均勻。在洗凈步驟所使用的洗滌劑，由于是利用在延伸方向風(fēng)速均勻的噴出氣流從玻璃基板的表面同樣地除去，因此能夠抑制在玻璃基板表面的水潰的發(fā)生。此處，所謂均勻的風(fēng)速，由于有風(fēng)速測(cè)量裝置的誤差或測(cè)量誤差等的影響，因此是指在預(yù)先所決定的值的范圍內(nèi)。本發(fā)明的液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法中，較佳為玻璃基板是涂布黑底(bIackmatrix)。涂布有黑底的玻璃基板是作為液晶顯示裝置的彩色濾光片(colorfilter)使用。本發(fā)明的液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法的除去步驟中，較佳為噴出氣流的風(fēng)速的偏差的絕對(duì)值，是噴出氣流的風(fēng)速的平均值的15 %以下。例如，在噴出氣流的風(fēng)速的平均值為8. Om/s時(shí)，噴出氣流的風(fēng)速為6. 8m/s 9. 2m/s的范圍內(nèi)為比較理想。本發(fā)明的液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法中，較佳為進(jìn)一步包含干燥步驟、檢查步驟、以及噴出氣流調(diào)整步驟。干燥步驟中，使在沖洗步驟沖洗后的玻璃基板干燥。檢查步驟中，檢查在干燥步驟干燥后的玻璃基板的品質(zhì)。噴出氣流調(diào)整步驟中，根據(jù)在檢查步驟檢查后的玻璃基板的品質(zhì)，調(diào)整除去步驟中的噴出氣流的風(fēng)速。在除去步驟，當(dāng)藉由噴出氣流并未能均勻地除去洗滌劑的情況下，會(huì)因呈現(xiàn)于玻璃基板表面的水潰而降低玻璃基板的品質(zhì)。檢查步驟中，判定玻璃基板的品質(zhì)，噴出氣流調(diào)整步驟中，根據(jù)判定結(jié)果調(diào)整噴出氣流的風(fēng)速，以均勻地除去洗滌劑。本發(fā)明的液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法中，較佳為在檢查步驟是將微小水滴吹送至玻璃基板的表面，測(cè)量附著于玻璃基板表面的水滴的接觸角，根據(jù)該接觸角的斑紋檢查玻璃基板的品質(zhì)。藉此，在檢查步驟即能夠判別發(fā)生于玻璃基板表面的水潰。此外，由于水滴的接觸角的斑紋與在玻璃基板的表面涂布黑底時(shí)所產(chǎn)生的斑紋外觀(guān)類(lèi)似，因此通過(guò)減低水滴的接觸角的斑紋，即能夠減低在玻璃基板的表面涂布黑底時(shí)所產(chǎn)生的斑紋。發(fā)明效果本發(fā)明的液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法，由于是藉由噴出氣流均勻地除去洗滌劑等液體，因此與以往的做法相比，能夠大幅減低在除去洗滌劑等液體后產(chǎn)生水潰的頻度。此外，本發(fā)明的液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法，能夠減低在玻璃基板的表面涂布黑底時(shí)所產(chǎn)生的斑紋。
圖I為用以說(shuō)明玻璃基板的制造方法的概要的流程圖；圖2為用以說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施例的玻璃基板的洗凈步驟的概略俯視圖；圖3為用以說(shuō)明一實(shí)施例的玻璃基板的洗凈步驟的概略圖；圖4為圖2所示的空氣噴出裝置的正視圖；圖5(a)為表示空氣噴出裝置的風(fēng)速測(cè)量狀態(tài)的局部放大俯視圖，(b)則為表示空氣噴出裝置的風(fēng)速測(cè)量狀態(tài)的局部放大立體圖；圖6(a)為用以說(shuō)明習(xí)知的風(fēng)速測(cè)量時(shí)的氣流的概念圖，(b)則為用以說(shuō)明本發(fā)明的風(fēng)速測(cè)量時(shí)的氣流的概念圖；圖7為關(guān)于噴出氣流的風(fēng)速測(cè)量值與水蒸氣檢查的水霧不均的發(fā)生的關(guān)系的表；圖8為表示測(cè)量附著于玻璃基板表面的水的接觸角的點(diǎn)的概念圖；圖9為關(guān)于附著于玻璃基板表面的水的接觸角的實(shí)施例I的測(cè)量結(jié)果的表；圖10為關(guān)于附著于玻璃基板表面的水的接觸角的實(shí)施例2的測(cè)量結(jié)果的表。
具體實(shí)施例方式<玻璃基板的制造工程的概要>圖I是表示母玻璃(motherglass)的狀態(tài)的液晶用玻璃基板，從原料的熔融至供給至在玻璃表面實(shí)施加工的下一步驟為止的步驟的概略。圖I的熔解/成形步驟Si中，首先秤量/混合構(gòu)成原料的矽砂等各種粉體，再投入熔融爐。此粉體是在高溫熔融爐的中被熔化而成為玻璃熔融液。然后，藉由脫泡/攪拌等而被均質(zhì)化后的玻璃熔融液即成形為板狀。成形為板狀后的玻璃，冷卻后即切斷成規(guī)定尺寸而成為素板。切斷步驟S2中，為了形成適合液晶顯示裝置的制造的大小，進(jìn)一步切斷素板。從此素板所切取的玻璃基板是與母玻璃的尺寸一致。下一去角步驟S3中，為了使其切口平滑，而研磨所切取的玻璃基板。下一洗凈步驟S4中，藉由洗凈來(lái)除去玻璃基板的玻璃表面的微細(xì)異物或臟污。接著，下一檢查步驟S5中，進(jìn)行有無(wú)氣泡或傷痕等微細(xì)缺陷的檢查，無(wú)法使用于液晶顯示裝置者是當(dāng)作不良品予以排除，良品則成為母玻璃。針對(duì)檢查步驟S5的詳細(xì)將于后述。然后，當(dāng)例如在遠(yuǎn)方的其他工廠(chǎng)于母玻璃的玻璃表面實(shí)施加工等的情況下，母玻璃是被包裝成能夠運(yùn)送的形態(tài)來(lái)運(yùn)送。平面顯示器用玻璃基板的洗凈，是在從玻璃基板的制造工程開(kāi)始至平面顯示器的制造工程結(jié)束為止的各種場(chǎng)合進(jìn)行。圖I所示的玻璃基板的制造工程中，是在洗凈步驟S4實(shí)施洗凈。洗凈時(shí)，為了除去附著在玻璃表面的各種臟污，是使用各種洗凈液。此外，一般以中性洗滌劑等洗凈液作為洗凈液洗凈之后，在最后階段使用純水等不發(fā)生析出物的液體作為沖洗液(rinseliquid)，進(jìn)行玻璃基板的沖洗。在洗凈母玻璃或平面顯示器用玻璃基板等切斷成既定形狀的較大玻璃板的情況下，一般是一邊搬送一邊暴露于洗凈液，以避免玻璃板破損并且能夠洗凈玻璃板全體。因此，若針對(duì)洗凈而言，在母玻璃或平面顯示器用玻璃基板等較大的玻璃板，基本的處理是共通。因此，以下的說(shuō)明中，是將母玻璃或平面顯示器用玻璃基板等已切斷成既定形狀的玻璃板稱(chēng)為玻璃基板，針對(duì)共通的洗凈方法或洗凈裝置的構(gòu)造加以說(shuō)明。
<玻璃基板的洗凈的概要>一般，在必需最潔凈地將玻璃基板的玻璃表面加以精加工的步驟之一，即母玻璃的洗凈步驟中，是進(jìn)行利用噴出氣流從玻璃表面除去洗滌劑或沖洗液。因此，以下平面顯示器用玻璃基板的洗凈步驟的說(shuō)明中，是舉母玻璃出貨前的洗凈步驟為例加以說(shuō)明。然而，本發(fā)明并非限制于母玻璃出貨前的洗凈步驟，而能夠應(yīng)用于從平面顯示器用玻璃基板的制造工程起開(kāi)始至平面顯示器的制造工程結(jié)束為止的各種場(chǎng)合的洗凈步驟，并非限制于以下的實(shí)施例。上述洗凈步驟S4中，如圖2所示，在洗滌劑槽Tl進(jìn)行洗滌劑的多次洗凈后，為了洗去此洗滌劑是在純水槽T2進(jìn)行沖洗液的洗凈。然后，在干燥槽T3進(jìn)行玻璃基板3的干燥。 玻璃基板3是在洗凈時(shí)，一邊藉由平行地配置的多個(gè)搬送滾筒5搬送，一邊通過(guò)洗凈裝置100的3個(gè)槽亦即洗滌劑槽Tl、純水槽T2、以及干燥槽T3。進(jìn)行以液體使玻璃基板3潤(rùn)濕，以噴出氣流除去液體的作業(yè)，在洗滌劑槽Tl與純水槽T2是共通。在此，于圖3為了簡(jiǎn)化說(shuō)明是表示用以洗凈玻璃基板的各種步驟中，洗滌劑槽Tl中的玻璃基板3的I次洗凈步驟、以及干燥槽T3中的干燥步驟。亦即，于圖3是表示利用洗滌劑清洗玻璃基板3的洗滌劑槽Tl的洗凈步驟Prl、利用噴出氣流除去玻璃基板3上的洗滌劑的洗滌劑槽Tl的除去步驟Pr2、以及在干燥槽T3利用噴出氣流使殘留在玻璃基板3表面的純水干燥的干燥步驟Pr3，其他步驟則予以省略。在圖2及圖3所示的步驟前，是有調(diào)整噴出氣流的噴出氣流調(diào)整步驟。噴出氣流調(diào)整步驟中，是調(diào)整在洗滌劑槽Tl及純水槽T2的除去步驟或干燥槽T3的干燥步驟所使用的噴出氣流。噴出氣流調(diào)整步驟是包含用以調(diào)整均勻風(fēng)速的噴出氣流的風(fēng)速測(cè)量與風(fēng)速調(diào)節(jié)的步驟。接著，進(jìn)行了一次用以調(diào)整噴出氣流的調(diào)節(jié)之后，在至必需再次調(diào)節(jié)為止的期間，是反覆進(jìn)行洗凈步驟或除去步驟或干燥步驟。針對(duì)此噴出氣流調(diào)整步驟，之后再加以詳述。又，除了噴出氣流調(diào)整步驟以外，雖從圖2及圖3省略了例如搬入或搬出玻璃基板3的步驟等，不過(guò)此等被省略的公知的步驟，是能夠根據(jù)需要而與噴出氣流調(diào)整步驟、洗凈步驟、除去步驟、以及干燥步驟適當(dāng)加以組合。在圖3所示的洗凈步驟Prl是進(jìn)行洗凈，在除去步驟Pr2是進(jìn)行洗滌劑的除去，在干燥步驟Pr3則進(jìn)行純水的干燥。于各步驟，是利用多個(gè)搬送滾筒5來(lái)搬送玻璃基板3。各個(gè)搬送滾筒5是繞中心軸往相同方向以相同速度旋轉(zhuǎn)。又，各個(gè)搬送滾筒5是以中心軸排列于水平的同一平面上的方式配置，且具有相同的徑。因此，玻璃基板3是藉由搬送滾筒5以相同速度平滑地以水平搬送。搬送玻璃基板3的速度，是選自例如3m/min 15m/min間的一定的值。首先，于最初的洗凈步驟Prl，是配置有將洗滌劑吹送至玻璃基板3的表面的蓮蓬頭(showernozzle)4。蓮蓬頭4是擴(kuò)及較玻璃基板3所通過(guò)的區(qū)域的寬度還寬的寬度以水平設(shè)置。蓮蓬頭4是將洗滌劑吹送于玻璃基板的寬度方向。在洗凈步驟Prl中，玻璃基板3的表面是以洗滌劑液潤(rùn)濕。又，利用未圖示的洗凈刷等刷洗以洗滌劑液潤(rùn)濕的玻璃基板3上，藉此除去玻璃基板3表面的臟污。在下一除去步驟Pr2中，為了除去附著于玻璃基板3表面的洗滌劑，而使用空氣噴出裝置I。空氣噴出裝置I是擴(kuò)及較玻璃基板3所通過(guò)的區(qū)域的寬度還寬的寬度以水平設(shè)置。又，藉由空氣噴出裝置I所形成的噴出氣流，是沿著空氣噴出裝置I的長(zhǎng)邊方向呈直線(xiàn)狀，噴射于俯視相對(duì)于玻璃基板3的行進(jìn)方向正交的方向(參照?qǐng)D2)。此外，噴出氣流是以側(cè)視與玻璃基板3的行進(jìn)方向所成的角為銳角的方式以斜向噴出(參照?qǐng)D3)。亦即，噴出氣流是調(diào)整成朝向玻璃基板3搬送過(guò)來(lái)的方向噴射空氣。針對(duì)從此時(shí)的側(cè)面所觀(guān)看的噴出氣流的角度，在說(shuō)明空氣噴出裝置I時(shí)將加以敘述。此外，與搬送過(guò)來(lái)的玻璃基板3是否通過(guò)噴出氣流的形成區(qū)域無(wú)關(guān)，隨時(shí)皆以一定風(fēng)速?gòu)目諝鈬姵鲅b置I噴射噴出氣流。隨著藉由搬送滾筒5的玻璃基板3的搬送，玻璃基板3是對(duì)噴出氣流相對(duì)地移動(dòng)。藉此，從玻璃基板3的端部依序利用噴出氣流削除玻璃基板3上的洗滌劑。然后，為了在玻璃基板的表面上不使其發(fā)生水潰(watermark),在除去步驟Pr2重要的點(diǎn)，是均勻地除去玻璃基板3表面的洗滌劑。水潰是因殘留在玻璃基板3表面的洗滌 劑的成分，不均勻地殘留在干燥步驟Pr3后的玻璃基板3的表面所發(fā)生的斑紋。在下一干燥步驟Pr3中，為了使玻璃基板3干燥是使用空氣噴出裝置2。在純水槽T2的除去步驟，純水雖被除去，不過(guò)在分子層級(jí)并非被完全地除去。因此，緊接在純水槽T2的除去步驟之后，設(shè)有干燥步驟Pr3，純水是藉由空氣噴出裝置2完全地干燥而被除去?？諝鈬姵鲅b置2是擴(kuò)及較玻璃基板3所通過(guò)的區(qū)域的寬度還寬的寬度以水平設(shè)置。又，利用空氣噴出裝置2所形成的噴出氣流，亦沿著空氣噴出裝置2的長(zhǎng)邊方向呈直線(xiàn)狀，配置成俯視相對(duì)于玻璃基板3的行進(jìn)方向呈斜向(參照?qǐng)D2)。此外，噴出氣流是以側(cè)視與玻璃基板3的行進(jìn)方向所成的角為銳角的方式形成為斜向(參照?qǐng)D3)。亦即，空氣噴出裝置I及空氣噴出裝置2，是皆朝向玻璃基板3搬送過(guò)來(lái)的方向噴射空氣。此外，上述的說(shuō)明中，針對(duì)利用純水槽T2的蓮蓬頭4供給沖洗液(純水)及利用空氣噴出裝置2除去沖洗液，由于是與利用洗滌劑槽Tl的蓮蓬頭4及利用空氣噴出裝置I的洗滌劑的供給與除去相同，因此省略其說(shuō)明。<空氣噴出裝置的說(shuō)明>圖4是空氣噴出裝置I的正視圖。本實(shí)施例中，圖2及圖3所示的用以使沖洗液干燥的空氣噴出裝置2，與用以除去洗滌劑的空氣噴出裝置1，基本上是呈相同的構(gòu)造。然而，空氣噴出裝置2是以與空氣噴出裝置I不同位置及角度設(shè)置在洗凈裝置100。如上述，由于空氣噴出裝置1，2的不同僅在于設(shè)置方式，因此使用圖4僅說(shuō)明空氣噴出裝置I的構(gòu)造。如圖4所示，空氣噴出裝置I主要是由空氣供給部6與噴嘴組裝體10所構(gòu)成。噴嘴組裝體10是以例如不銹鋼等金屬或塑膠等不易生銹且具有高剛性的材料構(gòu)成。將空氣供給至噴嘴組裝體10的空氣供給部6，主要是具備壓縮機(jī)等空氣供給裝置(圖示省略)、用以連接至空氣供給裝置的連接器7、以及將空氣從連接器7導(dǎo)引至噴嘴組裝體10的導(dǎo)管8a，Sb。以空氣供給裝置加壓至高壓的空氣，是通過(guò)連接于連接器7的導(dǎo)管8a，導(dǎo)引至沿著噴嘴組裝體10配置的導(dǎo)管Sb。導(dǎo)管Sb是在其兩端部及將導(dǎo)管Sb大致6等分的5個(gè)位置連接于腔室IOf。腔室IOf是沿著噴嘴組裝體10的長(zhǎng)邊方向，形成于嘴組裝體10內(nèi)部的空間。從空氣供給部6所供給的空氣，是透過(guò)導(dǎo)管8a及8b供給至腔室IOf。供給至腔室IOf的空氣，是沿著噴嘴組裝體10的長(zhǎng)邊方向，朝向設(shè)于噴嘴組裝體10的前端部的狹縫IOg流動(dòng)。通過(guò)狹縫IOg后的空氣，是從噴嘴組裝體10所噴出的空氣。
此外，從空氣供給部6所供給的空氣，是藉由過(guò)濾器除去塵埃等后的潔凈空氣，溫度保持于室溫且未加濕的干燥空氣。從空氣供給部6送來(lái)的空氣，是藉由空氣供給裝置加壓至在例如O. 02Mpa O. 15Mpa之間所選擇的一定的值。噴嘴組裝體10，如圖4所示，是以螺絲21固定于托架20，而且托架20以螺絲22固定于空氣噴出裝置I。<風(fēng)速測(cè)量裝置的說(shuō)明>圖5 (a)是表示于噴嘴組裝體10安裝有風(fēng)速測(cè)量裝置40的狀態(tài)的俯視圖，圖5 (b)則為從斜向觀(guān)看圖5(a)的狀態(tài)的立體圖。風(fēng)速測(cè)量裝置40，主要是由具有感測(cè)風(fēng)速的風(fēng)速感測(cè)器45的探針(probe) 43、以及將從探針43送來(lái)的電氣訊號(hào)加以處理以顯示風(fēng)速的風(fēng)速計(jì)本體(未圖示)所構(gòu)成。探針43是呈直徑約10mm、長(zhǎng)度約150mm的圓筒形的外觀(guān)。于探針43的前端，是形成有俯視大致長(zhǎng)方形狀的開(kāi)口部44，于開(kāi)口部44的靠中央前端則配置有由熱線(xiàn)構(gòu)成的風(fēng)速感測(cè)器45。藉由將此風(fēng)速感測(cè)器45置放于待測(cè)量的噴出氣流的·中，即能夠測(cè)量噴出氣流的風(fēng)速。此探針43，是具備有用以與風(fēng)速同時(shí)地測(cè)量空氣的溫度的溫度感測(cè)器(未圖示)，而且亦具備有用以補(bǔ)償因空氣的溫度變化所產(chǎn)生的風(fēng)速測(cè)量的誤差的溫度補(bǔ)償感測(cè)器(未圖示)。風(fēng)速的測(cè)量值是藉由以探針43測(cè)量因風(fēng)速而從風(fēng)速感測(cè)器45 (熱線(xiàn))所奪取的熱量，再以風(fēng)速計(jì)本體進(jìn)行根據(jù)熱量與風(fēng)速的關(guān)系的計(jì)算而求出。風(fēng)速的測(cè)量結(jié)果，是顯示在風(fēng)速計(jì)本體的顯示裝置。作為此種風(fēng)速測(cè)量裝置，例如能夠使用日本ΚΑΝ0ΜΑΧ股份有限公司制的Anemomaster 風(fēng)速計(jì) M0DEL6115 等。<風(fēng)速測(cè)量治具的說(shuō)明>其次，針對(duì)風(fēng)速測(cè)量治具加以說(shuō)明。圖5(a)及圖5(b)所示的風(fēng)速測(cè)量治具30，是直方體的金屬加工成用以將上述風(fēng)速測(cè)量裝置40的探針43固定于空氣噴出裝置1，2的形狀而成。風(fēng)速測(cè)量治具30是具備有左側(cè)壁31及右側(cè)壁32。此外，左側(cè)壁31及右側(cè)壁32，是以前方梁33與后方梁34結(jié)合。因此，從風(fēng)速測(cè)量治具30的上部朝向下部形成開(kāi)口部30a。此等左側(cè)壁31、右側(cè)壁32、前方梁33、以及后方梁34的高度是相同，上面30d為同一面聞。由于插入圓筒狀的探針43，故左側(cè)壁31及右側(cè)壁32的內(nèi)面是經(jīng)過(guò)刮刨并且前方梁33及后方梁34的下方亦經(jīng)過(guò)刮刨而形成有嵌合部30c。為了在插入圓筒狀的探針43后的狀態(tài)下穩(wěn)定地固定，攻有母螺紋的螺孔是以通至嵌合部30c的方式形成于左側(cè)壁31及右側(cè)壁32。于左側(cè)壁31及右側(cè)壁32的緣部31a，32a，是形成有梯形狀的凹處，以在風(fēng)速測(cè)量治具30緊靠在空氣噴出裝置1，2的噴嘴組裝體10的狹縫IOg附近時(shí)，能夠穩(wěn)定地保持風(fēng)速測(cè)量治具30接觸噴嘴組裝體10的狀態(tài)，而不會(huì)形成額外的空氣的通道。<噴出氣流調(diào)整步驟的說(shuō)明>在噴出氣流調(diào)整步驟，是反覆進(jìn)行噴出氣流的風(fēng)速的測(cè)量、以及空氣噴出裝置1，2的狹縫IOg的間隔的調(diào)節(jié)，而該調(diào)節(jié)是根據(jù)該測(cè)量值以修正風(fēng)速。調(diào)整時(shí)，是以最初測(cè)量的所有測(cè)量點(diǎn)的風(fēng)速的值的平均值為基準(zhǔn)。接著，以工具調(diào)整狹縫IOg的間隙，使其接近基準(zhǔn)值。藉由此種操作，空氣噴出裝置1，2的狹縫IOg的間隔，是在O. Imm Imm之間調(diào)整，噴出氣流的風(fēng)速便被調(diào)節(jié)至所欲的值。亦即，在測(cè)量值小于所欲的風(fēng)速時(shí)，是藉由擴(kuò)大狹縫IOg的寬度，使導(dǎo)管8a，及Sb的配管阻力降低來(lái)加大風(fēng)速。反的，在測(cè)量值大于所欲的風(fēng)速時(shí)，則藉由縮小狹縫IOg的寬度，使導(dǎo)管8a，及8b的配管阻力增加來(lái)降低風(fēng)速。此外，狹縫IOg的間隔，沿著噴嘴組裝體10的長(zhǎng)邊方向(亦即，玻璃基板3的寬度方向)，并不一定均勻。其原因在于供給至狹縫IOg的空氣的壓力，是在接近導(dǎo)管Sb與腔室IOf的連接部的點(diǎn)較高，在腔室IOf的兩端部等遠(yuǎn)離該連接部的點(diǎn)較低之故。亦即，即使將狹縫IOg的間隔在噴嘴組裝體10的長(zhǎng)邊方向的各點(diǎn)設(shè)為均勻，從狹縫IOg所噴射的噴出氣流的風(fēng)速，在噴嘴組裝體10的長(zhǎng)邊方向的各點(diǎn)亦不會(huì)均勻。因此，本實(shí)施例中，為了使噴出 氣流的風(fēng)速均勻，狹縫IOg的間隔是沿著噴嘴組裝體10的長(zhǎng)邊方向經(jīng)過(guò)微調(diào)。具體而言，如圖4所示，由于狹縫IOg是沿著噴嘴組裝體10的長(zhǎng)邊方向延伸較長(zhǎng)，因此一邊使風(fēng)速測(cè)量裝置40沿著狹縫IOg的長(zhǎng)邊方向移動(dòng)，一邊反覆進(jìn)行狹縫IOg的間隔的調(diào)節(jié)。在測(cè)量風(fēng)速時(shí)，如圖5(a)所示，于噴嘴組裝體10的狹縫IOg的延長(zhǎng)上，是配置風(fēng)速測(cè)量裝置40的風(fēng)速感測(cè)器45。此時(shí)，探針43是以螺絲38固定于風(fēng)速測(cè)量治具30。由于探針43是呈圓筒形，因此以其中心軸為中心對(duì)嵌合部30c旋轉(zhuǎn)。因此，在以螺絲38固定時(shí)，是以探針43的開(kāi)口部44與平行于風(fēng)速測(cè)量治具30的上面30d的面相對(duì)向的狀態(tài)為基準(zhǔn)來(lái)安裝。接著，以正確地重現(xiàn)風(fēng)速感測(cè)器45與狹縫IOg的位置關(guān)系的方式，噴嘴組裝體10與探針43，是藉由風(fēng)速測(cè)量治具30正確地定位。上述般的噴嘴組裝體10與探針43所以能正確地定位，如圖5(b)所示，是因風(fēng)速測(cè)量治具30的左側(cè)壁31的緣部31a具有與狹縫IOg附近的噴嘴組裝體10的外形一致的外形之故。于圖式雖未表示，不過(guò)右側(cè)壁32的緣部32a亦與左側(cè)壁31的緣部31a同樣地，具有與狹縫IOg附近的噴嘴組裝體10的外形一致的外形。藉由使用此種風(fēng)速測(cè)量治具30來(lái)測(cè)量，相較于僅將測(cè)量探針43置放在噴出氣流的空氣的流動(dòng)中來(lái)測(cè)量的情形，能夠提升風(fēng)速測(cè)量的精度及準(zhǔn)確度。使用圖6 (a)及圖6(b)簡(jiǎn)單地說(shuō)明風(fēng)速測(cè)量的精度及準(zhǔn)確度提升的原因。在圖6(a)及圖6(b)中，是以箭頭概念地表示空氣的流動(dòng)。圖6(a)是表示僅將探針43置放在空氣的流動(dòng)的中的情形。此時(shí)，由于探針43會(huì)擾動(dòng)空氣，因此受流過(guò)所欲測(cè)量的區(qū)域50兩側(cè)的區(qū)域51，52的空氣的影響，而妨礙精度及準(zhǔn)確度較高的風(fēng)速測(cè)量。由于噴出氣流的空氣的流動(dòng)快速且空氣的層流的厚度較薄，因此依探針43的形狀受擾動(dòng)的影響會(huì)變大。另一方面，如圖6(b)所示，若藉由左側(cè)壁31及右側(cè)壁32，使兩側(cè)的區(qū)域51，52的空氣的流動(dòng)不會(huì)影響及所欲測(cè)量的區(qū)域50，則導(dǎo)引至探針43內(nèi)部的空氣氣流即會(huì)齊致，而能夠進(jìn)行精度及準(zhǔn)確度較高的風(fēng)速測(cè)量。<水潰(watermark)的檢查 >作為液晶顯示裝置的母玻璃(motherglass)使用的玻璃基板3，例如是使用在彩色濾光片(colorfilter)的制造。彩色濾光片的制造工程中，最初是于玻璃基板3上涂布黑底(blackmatrix),其次于黑底膜上以微細(xì)圖案涂布著色材而形成著色畫(huà)素。黑底是具有遮光性，以防止黑色顯示時(shí)的漏光、及相鄰的著色畫(huà)素彼此的混色。著色畫(huà)素是做為使紅色、綠色、藍(lán)色的光透射的濾光片發(fā)揮功能。
在除去步驟Pr2中，當(dāng)未均勻地除去玻璃基板3表面的洗滌劑的情況下，于干燥步驟Pr3后的玻璃基板3的表面便會(huì)發(fā)生水潰(watermark)。本案的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)若于已發(fā)生水潰的玻璃基板3涂布黑底，則于玻璃基板3的表面便會(huì)發(fā)生黑底的斑紋(以下，稱(chēng)為「BM斑紋」)。由于BM斑紋是以目視即能夠判別，因此在使用此玻璃基板3來(lái)制造液晶顯示裝置的情況下，該液晶顯示裝置便具有會(huì)呈現(xiàn)于外觀(guān)的缺陷。因此，為了在將黑底涂布于玻璃基板3上之前，事先即選別并排除發(fā)生BM斑紋的玻璃基板3，較佳為判別已發(fā)生水潰的玻璃基板3。本實(shí)施例中，藉由在檢查步驟S5進(jìn)行水蒸氣檢查，即能夠有效率地判別已發(fā)生水潰的玻璃基板3。水蒸氣檢查中，是對(duì)玻璃基板3的表面吹送水蒸氣使微小水滴附著，以使玻璃基板3的表面全體呈現(xiàn)水霧。接著，對(duì)玻璃基板3表面的水霧情況，檢查是否有斑紋。若于已發(fā)生水潰的玻璃基板3吹送水蒸氣，則于玻璃基板3的表面會(huì)呈現(xiàn)因水滴不均勻地附著所產(chǎn)生的水霧的斑紋。檢查步驟S5中的水蒸氣檢查，是根據(jù)因洗滌劑并未被均勻地除去導(dǎo)致水對(duì)已發(fā)生水潰的玻璃基板3的表面的接觸角，是依玻璃基板3表面的點(diǎn)而異。亦即，在玻璃基板3表面的洗滌劑未被均勻地除去的情況下，在洗滌劑已完全地除去的玻璃基板3表面上的區(qū)域、與洗滌劑些微殘留的玻璃基板3表面上的區(qū)域，水對(duì)玻璃基板3的表面的接觸角是不同。在水的接觸角較小的區(qū)域，由于附著于玻璃基板3表面的水滴的高度較小，因此水滴以目視是呈接近透明的狀態(tài)。另一方面，對(duì)水的接觸角較大的區(qū)域，由于附著于玻璃基板3表 面的水滴的高度較大，因此水滴以目視是呈水霧(白濁)的狀態(tài)。亦即，在玻璃基板3表面的洗滌劑并未被均勻地除去的情況下，由于水對(duì)玻璃基板3的表面的接觸角，是依玻璃基板3表面的點(diǎn)而異，因此于玻璃基板3的表面即發(fā)生水霧的斑紋。因此，檢查步驟S5的水蒸氣檢查中，藉由目視吹送水蒸氣后的玻璃基板3的表面，即能夠確認(rèn)在玻璃基板3表面所產(chǎn)生的水霧的斑紋，亦即在玻璃基板3表面所呈現(xiàn)的水潰，藉此即能夠預(yù)先選別BM斑紋會(huì)發(fā)生的玻璃基板3。<噴出氣流的風(fēng)速的測(cè)量資料>將在除去步驟Pr2除去附著于玻璃基板3表面的洗滌劑的空氣噴出裝置I的噴出氣流的風(fēng)速的測(cè)量值、以及在水蒸氣檢查于玻璃基板3表面有無(wú)發(fā)生水霧的斑紋的關(guān)系表示于圖7。圖7中，「噴出氣流的風(fēng)速的偏差」是沿著狹縫IOg的長(zhǎng)邊方向的多個(gè)點(diǎn)各自的噴出氣流的風(fēng)速與噴出氣流的風(fēng)速的平均值的差，是一種表示風(fēng)速的差異的指標(biāo)。于圖7是表示分別針對(duì)「實(shí)施例I」、「實(shí)施例2」、及「比較例」的噴出氣流的風(fēng)速的平均值及偏差。如圖7所示，「比較例」中的噴出氣流的風(fēng)速的偏差，是大于「實(shí)施例I」及「實(shí)施例2」中的噴出氣流的風(fēng)速的偏差。此外，噴出氣流的風(fēng)速的偏差較大的「比較例」中，由于發(fā)生水蒸氣檢查的水霧的斑紋，因此判定為于玻璃基板3有發(fā)生水潰。另一方面，「實(shí)施例I」及「實(shí)施例2」中，如上述般，由于并未發(fā)生水蒸氣檢查的水霧的斑紋，因此判定為于玻璃基板3未發(fā)生水潰。<接觸角的測(cè)量資料>作為參考，針對(duì)水對(duì)玻璃基板3表面的接觸角的測(cè)量資料加以說(shuō)明。 水的接觸角的測(cè)量是在自干燥槽T3的干燥步驟完成時(shí)起經(jīng)過(guò)24小時(shí)之后，如圖8所示，沿著玻璃基板3的寬度方向在位于大致等間隔的9個(gè)部位的點(diǎn)Pl P9進(jìn)行。具體而言，使微小水滴附著于玻璃基板3的表面，在經(jīng)過(guò)10秒之后，開(kāi)始水的接觸角的測(cè)量。水的接觸角是自測(cè)量開(kāi)始起在4秒期間測(cè)量10次。于圖9及圖10，是分別表示上述圖7的「實(shí)施例I」及「實(shí)施例2」中，水對(duì)玻璃基板3的接觸角的測(cè)量結(jié)果。于圖9及圖10的表，是分別表示點(diǎn)Pl P9中水的接觸角的10次測(cè)量值、以及該10次的測(cè)量值的平均值。從圖9，「實(shí)施例I」中水的接觸角的10次測(cè)量平均值，在點(diǎn)P7是呈現(xiàn)最小值28. 6，在點(diǎn)Pl則呈現(xiàn)最大值34. 4。從圖10，「實(shí)施例2」中水的接觸角的10次測(cè)量平均值，在點(diǎn)P7是呈現(xiàn)最小值25. 2，在點(diǎn)P2則呈現(xiàn)最大值33. I。從上述噴出氣流的風(fēng)速及水的接觸角的測(cè)量資料，空氣噴出裝置I的噴出氣流的風(fēng)速，較佳為沿著狹縫IOg盡能夠能地均勻，從圖7，噴出氣流的風(fēng)速的偏差的絕對(duì)值，更佳為噴出氣流的風(fēng)速的平均值的15%以下。例如，在噴出氣流的風(fēng)速為8. Om/s的情況下，噴出氣流的風(fēng)速的差異范圍較佳為8. Om/s± I. 2m/s (亦即，6. 8m/s 9. 2m/s)。 此外，本實(shí)施例中，在檢查步驟S5的水蒸氣檢查，當(dāng)判定為玻璃基板3表面的洗滌劑未被均勻地除去的情況下，在噴出氣流調(diào)整步驟，空氣噴出裝置I的噴出氣流的風(fēng)速是調(diào)整成均勻。例如，調(diào)整狹縫IOg的間隔，以使噴出氣流的風(fēng)速的偏差的絕對(duì)值為噴出氣流的風(fēng)速的平均值的15%以下。藉由調(diào)整空氣噴出裝置I的噴出氣流的風(fēng)速，而從玻璃基板3的表面均勻地除去洗滌劑，結(jié)果而言，在水蒸氣檢查即能夠減低呈現(xiàn)于玻璃基板3表面的水霧的斑紋的發(fā)生。亦即，以減低在水蒸氣檢查所發(fā)生的水霧的斑紋的方式，調(diào)整空氣噴出裝置I的噴出氣流的風(fēng)速，藉此即能夠從玻璃基板3的表面均勻地除去洗滌劑。< 特征 >(a)在洗凈步驟Prl，由于是藉由以均勻的風(fēng)速?gòu)目諝鈬姵鲅b置I所噴射的空氣(噴出氣流)，從玻璃基板3的表面除去洗滌劑，因此即能夠從玻璃基板3的表面均勻地除去洗滌劑。因此，不易產(chǎn)生洗滌劑除去的斑紋，而能夠大幅地減低呈現(xiàn)于玻璃基板3表面上的水潰的發(fā)生。為了同樣地除去洗滌劑，雖必需使噴出氣流的風(fēng)壓一定，不過(guò)由于風(fēng)壓是與風(fēng)速的平方成正比，因此藉由使風(fēng)速一定，即能夠進(jìn)行洗滌劑的無(wú)斑紋的除去。此外，上述實(shí)施例中，雖已針對(duì)洗滌劑的除去加以說(shuō)明，不過(guò)以噴出氣流除去的液體，即使是其他洗凈液或剝離液亦能夠。又，在洗凈步驟Prl，洗滌劑雖藉由蓮蓬頭4吹送至玻璃基板3的表面，不過(guò)亦能夠藉由其他機(jī)器來(lái)潤(rùn)濕玻璃基板3的表面。由于是以從空氣噴出裝置I的狹縫IOg的測(cè)量區(qū)域50所噴射的空氣的風(fēng)速成為均勻的方式調(diào)節(jié)狹縫IOg的間隔，因此狹縫的間隔雖不一定要均勻，不過(guò)空氣的風(fēng)速在狹縫IOg的任何部位皆會(huì)相同。藉由使用此種風(fēng)速均勻的噴出氣流，即能夠極為有效地減低水潰的發(fā)生。又，藉由空氣噴出裝置I從玻璃基板3所除去的洗滌劑，是能夠予以再利用，而能夠使洗滌劑的損耗減少。(b)在除去步驟Pr2，截至以噴出氣流除去洗滌劑為止，針對(duì)玻璃基板3的寬度方向，是以洗滌劑同樣地潤(rùn)濕玻璃基板3的表面。如果，并未以洗滌劑同樣地潤(rùn)濕玻璃基板3的表面時(shí)，在已潤(rùn)濕的處與未潤(rùn)濕的處，于噴出氣流的接觸方式產(chǎn)生差。此外，亦因噴出氣流的接觸方式的差，而成為洗滌劑的除去處理方式紊亂的原因。藉由以洗滌劑玻璃基板表面同樣地潤(rùn)濕，即能夠避免前述的不良而無(wú)斑紋地除去洗滌劑，以進(jìn)一步減低水潰的發(fā)生，而更擴(kuò)大水潰發(fā)生減低的效果。(c)以風(fēng)速測(cè)量治具30具有左側(cè)壁31及右側(cè)壁32 (間隔構(gòu)件)，在測(cè)量從狹縫IOg所噴射的空氣的風(fēng)速時(shí)，不受從測(cè)量區(qū)域50的左右兩側(cè)的區(qū)域51，52所噴射的空氣的影響的方式構(gòu)成。因此，能夠避免測(cè)量區(qū)域50的風(fēng)速的測(cè)量值因其左右兩側(cè)的區(qū)域51，52的影響而使其變化，相較于在受左右兩側(cè)的區(qū)域51，52的影響的狀態(tài)的調(diào)節(jié)，均勻地調(diào)整從狹縫噴射的風(fēng)速即變得容易。又，左側(cè)壁31及右側(cè)壁32具有與空氣噴出裝置的狹縫周邊的形狀一致的緣部31a, 32a。藉此，由于左側(cè)壁31及右側(cè)壁32的緣部31a，32a是與空氣噴出裝置I的狹縫IOg周邊的形狀一致，因此能夠防止在緣部31a，32a與狹縫IOg周邊的形狀之間產(chǎn)生間隙而發(fā)生空氣的擾動(dòng)。因此，由于能夠形成不受從測(cè)量區(qū)域50的左右兩側(cè)的區(qū)域51，52所噴射的空氣的影響的狀況，因此能夠在多數(shù)個(gè)測(cè)量點(diǎn)以高準(zhǔn)確度測(cè)量噴出氣流的風(fēng)速，而易于形成均勻風(fēng)速的噴出氣流?！?br>
在風(fēng)速測(cè)量時(shí)，由于僅將風(fēng)速測(cè)量治具30接觸空氣噴出裝置I的噴嘴組裝體10，因此能夠迅速地進(jìn)行風(fēng)速的測(cè)量，而能夠縮短噴出氣流調(diào)整步驟所需的時(shí)間。又，藉由使用風(fēng)速測(cè)量治具30，能夠減低因測(cè)量者所造成的測(cè)量誤差，能夠提高空氣的風(fēng)速調(diào)節(jié)的準(zhǔn)確度，而易于抑制水潰的發(fā)生。前方梁33及后方梁34，是使左側(cè)壁31及右側(cè)壁32隔著一定長(zhǎng)度結(jié)合。此等左側(cè)壁31、右側(cè)壁32、前方梁33、以及后方梁34，是具有嵌入風(fēng)速測(cè)量裝置40的探針43的嵌合部30c。此外，左側(cè)壁31與右側(cè)壁32是配置成以探針43嵌合于嵌合部30c的狀態(tài)，無(wú)間隙地接觸探針43的側(cè)面。因此，由于在探針43與左側(cè)壁31及右側(cè)壁32之間不形成間隙，因此在探針43的側(cè)面即能夠排除因空氣擾動(dòng)所造成的影響，而能以高精度進(jìn)行風(fēng)速的比較測(cè)量，所以易于形成均勻風(fēng)速的噴出氣流。前方梁33、后方梁34、左側(cè)壁31及右側(cè)壁32，是配置成以相同高度包圍測(cè)量開(kāi)口部44的四方。藉由與左側(cè)壁31及右側(cè)壁32相同高度的前方梁33與后方梁34，能夠防止空氣從前方或后方迂回進(jìn)入測(cè)量區(qū)域，而縮小風(fēng)速的比較測(cè)量的誤差，因此易于形成均勻風(fēng)速的噴出氣流。(d)在噴出氣流調(diào)整步驟，為了抑制噴出氣流的風(fēng)速的差異使噴出氣流的風(fēng)速均勻，而調(diào)整空氣噴出裝置I的狹縫IOg的間隔，以在檢查步驟S5中的水蒸氣檢查減低呈現(xiàn)于玻璃基板3表面的水霧的斑紋。藉此，由于能夠減低呈現(xiàn)于玻璃基板3表面的水潰，因此亦能夠減低呈現(xiàn)于玻璃基板3表面的BM斑紋。因此，由于發(fā)生BM斑紋的玻璃基板3的生產(chǎn)量即降低，所以能夠使液晶顯示裝置的作為母玻璃使用的作為玻璃基板3的制品的能夠靠性提升。<變形例>(I)上述實(shí)施例中，為了除去玻璃基板3表面的洗滌劑或沖洗液，雖僅使用I個(gè)空氣噴出裝置1，不過(guò)亦能夠?qū)?個(gè)以上的空氣噴出裝置I并列使用。(2)上述實(shí)施例中，雖使用風(fēng)速測(cè)量治具30除去流經(jīng)所欲測(cè)量的區(qū)域50以外的區(qū)域51，52的空氣所造成的誤差，不過(guò)亦能夠藉由其他方法來(lái)縮小測(cè)量誤差。(3)上述實(shí)施例中，雖已針對(duì)以特定的風(fēng)速測(cè)量裝置40來(lái)測(cè)量風(fēng)速的情形加以說(shuō)明，不過(guò)風(fēng)速的測(cè)量并非局限于在上述實(shí)施例所說(shuō)明的方法。(4)上述實(shí)施例中，空氣噴出裝置I及空氣噴出裝置2，雖皆朝向玻璃基板3搬送過(guò)來(lái)的方向噴射空氣，不過(guò)空氣噴出裝置I及空氣噴出裝置2的任一方或兩方，亦能夠朝向與玻璃基板3搬送過(guò)來(lái)的方向的反方向噴射空氣。符號(hào)說(shuō)明1,2噴出氣流形成裝置3玻璃基板4蓮蓬頭5搬送滾筒 6空氣供給部10噴嘴組裝體30風(fēng)速測(cè)量治具40風(fēng)速測(cè)量裝置43探針專(zhuān)利文獻(xiàn)專(zhuān)利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2009 - 6299號(hào)公報(bào)
權(quán)利要求
1.一種液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法，包含 成形步驟，將熔融玻璃成形為玻璃基板； 洗凈步驟，使用洗滌劑洗凈該玻璃基板的表面；以及 沖洗步驟，利用液體沖洗在該洗凈步驟洗凈后的該玻璃基板的表面；其特征在于 該洗凈步驟是包含 吹送步驟，將洗滌劑吹送至該玻璃基板的表面；以及 除去步驟，對(duì)該玻璃基板的表面供給延伸的噴出氣流以除去該洗滌劑； 在該除去步驟，該噴出氣流的風(fēng)速在延伸方向上調(diào)整成均勻。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法，其中，該玻璃基板涂布有黑底。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法，其中，在該除去步驟，該噴出氣流的風(fēng)速的偏差的絕對(duì)值，是該噴出氣流的風(fēng)速的平均值的15 %以下。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任意一項(xiàng)所述的液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法，其進(jìn)一步包含 干燥步驟，使在該沖洗步驟沖洗后的該玻璃基板干燥； 檢查步驟，檢查在該干燥步驟干燥后的該玻璃基板的品質(zhì)；以及噴出氣流調(diào)整步驟，根據(jù)在該檢查步驟檢查后的該玻璃基板的品質(zhì)，調(diào)整該除去步驟中的該噴出氣流的風(fēng)速。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法，其中，在該檢查步驟，將微小水滴吹送至該玻璃基板的表面，測(cè)量附著于該玻璃基板表面的該水滴的接觸角，根據(jù)該接觸角的斑紋檢查該玻璃基板的品質(zhì)。
全文摘要
提供一種液晶顯示裝置用玻璃基板的制造方法，與以往的做法相比，能夠大幅地減低在通過(guò)噴出氣流除去洗滌劑等液體之后產(chǎn)生水漬(watermark)的頻度。在洗凈步驟，對(duì)玻璃基板3的表面吹送洗滌劑等液體以進(jìn)行洗凈。然后，在除去步驟，對(duì)玻璃基板3的表面從空氣噴出裝置1的噴嘴組裝體10的狹縫10g供給延伸較長(zhǎng)的噴出氣流，以除去洗滌劑等液體。此時(shí)，從狹縫10g所噴射的噴出氣流的風(fēng)速，是使用風(fēng)速測(cè)量裝置40與風(fēng)速測(cè)量治具30，在延伸方向調(diào)整成均勻。
文檔編號(hào)G02F1/13GK102971269SQ20118002733
公開(kāi)日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2011年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月29日
發(fā)明者王文凱, 邱文籃, 朱家賢, 高榮志, 邱晉億 申請(qǐng)人:安瀚視特股份有限公司, 安瀚視特控股株式會(huì)社