曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)及方法
【專利摘要】一種曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)及方法，其可調(diào)整光罩結(jié)構(gòu)的水平角度，本發(fā)明利用至少三個(gè)水平向驅(qū)動(dòng)部、至少三個(gè)水平向驅(qū)動(dòng)源、至少三個(gè)垂直向被動(dòng)部及至少三個(gè)萬向接頭，其中，水平向驅(qū)動(dòng)部水平活動(dòng)設(shè)置于曝光機(jī)且具有第一斜面連接單元，垂直向被動(dòng)部垂直活動(dòng)設(shè)置于曝光機(jī)且具有第二斜面連接單元以與第一斜面連接單元面對面活動(dòng)連接，萬向接頭以一側(cè)連接垂直向被動(dòng)部，以另一側(cè)連接光罩結(jié)構(gòu)，水平向驅(qū)動(dòng)源驅(qū)動(dòng)水平向驅(qū)動(dòng)部。因此，本發(fā)明可調(diào)整光罩結(jié)構(gòu)的水平角度以使光罩與對應(yīng)物平行。
【專利說明】曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)及方法，尤指具有面對面活動(dòng)連接的第一斜面連接單元及第二斜面連接單元。
【背景技術(shù)】
[0002]曝光機(jī)的光罩結(jié)構(gòu)為制作電路板電路的主要結(jié)構(gòu)，一般的光罩結(jié)構(gòu)通常具有承載臺及設(shè)置于承載臺上的光罩，當(dāng)曝光機(jī)欲制作不同電路板的電路時(shí)，首先需從曝光機(jī)移出承載臺以取下先前的光罩，接著再將不同的光罩設(shè)置于承載臺并將承載臺移回曝光機(jī)內(nèi)，以制作不同的電路板電路。然而，前述更換光罩的過程卻容易使得光罩與對應(yīng)物的平行程度產(chǎn)生誤差，因此，如何發(fā)明出一種曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)及方法，以使其可調(diào)整光罩結(jié)構(gòu)的水平角度以使光罩與對應(yīng)物平行，將是本發(fā)明所欲積極公開的特征。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]有鑒于上述公知技術(shù)的缺憾，發(fā)明人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克月艮，憑其從事該項(xiàng)產(chǎn)業(yè)多年的累積經(jīng)驗(yàn)，進(jìn)而研發(fā)出一種曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)及方法，以期達(dá)到可調(diào)整光罩結(jié)構(gòu)的水平角度以使光罩與對應(yīng)物平行的目的。
[0004]為達(dá)上述目的，本發(fā)明的第一態(tài)樣提供一種曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其包含:至少三個(gè)水平向驅(qū)動(dòng)部，其水平活動(dòng)設(shè)置于該曝光機(jī)，該等水平向驅(qū)動(dòng)部分別具有第一斜面連接單元；至少三個(gè)水平向驅(qū)動(dòng)源，其設(shè)置于該曝光機(jī)以分別驅(qū)動(dòng)該等水平向驅(qū)動(dòng)部；至少三個(gè)垂直向被動(dòng)部，其垂直活動(dòng)設(shè)置于該曝光機(jī)，該等垂直向被動(dòng)部分別具有第二斜面連接單元以分別與該等第一斜面連接單元面對面活動(dòng)連接；以及至少三個(gè)萬向接頭，其分別以一側(cè)連接該等垂直向被動(dòng)部，及分別以另一側(cè)連接該光罩結(jié)構(gòu)。
[0005]上述機(jī)構(gòu)更包含至少三個(gè)水平向座體、至少三個(gè)垂直向座體或以上兩者，其設(shè)置于該曝光機(jī)，該等水平向驅(qū)動(dòng)部分別水平活動(dòng)設(shè)置于該等水平向座體，該等垂直向驅(qū)動(dòng)部分別垂直活動(dòng)設(shè)置于該等垂直向座體。
[0006]上述機(jī)構(gòu)的該等水平向驅(qū)動(dòng)部分別具有一水平向?qū)к?，該曝光機(jī)具有至少三個(gè)水平向?qū)Р?，該等水平向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等水平向?qū)Р?；或，該等水平向?qū)動(dòng)部分別具有水平向?qū)Р?，該曝光機(jī)具有至少三水平向?qū)к?，該等水平向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等水平向?qū)Р邸?br>
[0007]上述機(jī)構(gòu)的該等水平向驅(qū)動(dòng)部分別具有水平向?qū)к?，該等水平向座體分別具有水平向?qū)Р?，該等水平向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等水平向?qū)Р?；或，該等水平向?qū)動(dòng)部分別具有水平向?qū)Р?，該等水平向座體分別具有水平向?qū)к墸摰人较驅(qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等水平向?qū)Р邸?br>
[0008]上述機(jī)構(gòu)的該等水平向驅(qū)動(dòng)源設(shè)置于該曝光機(jī)，該等水平向驅(qū)動(dòng)源分別具有驅(qū)動(dòng)單元，該等水平向驅(qū)動(dòng)部分別具有被動(dòng)單元，該等驅(qū)動(dòng)單元分別與該等被動(dòng)單元連接。
[0009]上述機(jī)構(gòu)的該等水平向驅(qū)動(dòng)源設(shè)置于該曝光機(jī)或分別設(shè)置于該等水平向座體，該等水平向驅(qū)動(dòng)源分別具有驅(qū)動(dòng)單元，該等水平向驅(qū)動(dòng)部分別具有被動(dòng)單元，該等驅(qū)動(dòng)單元分別與該等被動(dòng)單元連接。
[0010]上述機(jī)構(gòu)的該等垂直向被動(dòng)部分別具有垂直向?qū)к?，該曝光機(jī)具有至少三個(gè)垂直向?qū)Р?，該等垂直向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等垂直向?qū)Р?；或，該等垂直向被?dòng)部分別具有垂直向?qū)Р郏撈毓鈾C(jī)具有至少三個(gè)垂直向?qū)к?，該等垂直向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等垂直向?qū)Р邸?br>
[0011]上述機(jī)構(gòu)的該等垂直向被動(dòng)部分別具有垂直向?qū)к?，該等垂直向座體分別具有垂直向?qū)Р郏摰却怪毕驅(qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等垂直向?qū)Р?；或，該等垂直向被?dòng)部分別具有垂直向?qū)Р?，該等垂直向座體分別具有垂直向?qū)к?，該等垂直向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等垂直向?qū)Р邸?br>
[0012]上述機(jī)構(gòu)的該等第一斜面連接單元分別具有一斜向?qū)к墸摰鹊诙泵孢B接單元分別具有斜向?qū)Р?，該等斜向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等斜向?qū)Р?；或，該等第一斜面連接單元分別具有斜向?qū)Р郏摰鹊诙泵孢B接單元分別具有斜向?qū)к?，該等斜向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等斜向?qū)Р邸?br>
[0013]本發(fā)明的第二態(tài)樣提供一種曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整方法，其包含下列步驟:
[0014]提供如第一態(tài)樣所述的曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)；以及
[0015]激活至少一水平向驅(qū)動(dòng)源以調(diào)整該光罩結(jié)構(gòu)的水平角度。
[0016]因此，本發(fā)明的曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)及方法可調(diào)整光罩結(jié)構(gòu)的水平角度以使光罩與對應(yīng)物平行。 【專利附圖】
【附圖說明】
[0017]圖1為本發(fā)明較佳具體實(shí)施例的分解示意圖。
[0018]圖2為本發(fā)明較佳具體實(shí)施例的組合示意圖。
[0019]圖3為本發(fā)明較佳具體實(shí)施例動(dòng)作的示意圖一。
[0020]圖4為本發(fā)明較佳具體實(shí)施例動(dòng)作的示意圖二。
[0021]圖5為本發(fā)明較佳具體實(shí)施例動(dòng)作的示意圖三。
[0022]【主要組件符號說明】
[0023]I曝光機(jī)
[0024]11 光罩結(jié)構(gòu)
[0025]111 光罩
[0026]12 平移機(jī)構(gòu)
[0027]2水平向驅(qū)動(dòng)部
[0028]21 第一斜面連接單元
[0029]211 斜向?qū)к?br>
[0030]22 水平向?qū)Р?br>
[0031]23 被動(dòng)單元
[0032]3水平向 驅(qū)動(dòng)源
[0033]31 驅(qū)動(dòng)單元[0034]4垂直向被動(dòng)部
[0035]41第二斜面連接單元
[0036]411斜向?qū)Р?br>
[0037]42垂直向?qū)Р?br>
[0038]5萬向接頭
[0039]51連接桿
[0040]511球體
[0041]512連接桿座
[0042]52底座
[0043]521球狀槽
[0044]6水平向座體
[0045]61水平向?qū)к?br>
[0046]7垂直向座體
[0047]71垂直向?qū)к?br>
【具體實(shí)施方式】
`[0048]為充分了解本發(fā)明的目的、特征及功效，現(xiàn)借由下述具體的實(shí)施例，并配合所附的圖式，對本發(fā)明做一詳細(xì)說明，說明如后:
[0049]圖1及圖2分別為本發(fā)明較佳具體實(shí)施例的分解示意圖及組合示意圖,如圖所示，本發(fā)明的第一態(tài)樣為一種曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其包含至少三個(gè)水平向驅(qū)動(dòng)部2、至少三個(gè)水平向驅(qū)動(dòng)源3、至少三個(gè)垂直向被動(dòng)部4及至少三個(gè)萬向接頭5，圖式中各組件的數(shù)量以三個(gè)做為例示，各組件的數(shù)量也可依實(shí)際需求而為三個(gè)以上。
[0050]該等水平向驅(qū)動(dòng)部2水平活動(dòng)設(shè)置于該曝光機(jī)I的同一平面的不同位置，如該曝光機(jī)I的平移機(jī)構(gòu)12的同一平面的不同位置，該等水平向驅(qū)動(dòng)部2也可視實(shí)際需求設(shè)置于該曝光機(jī)I的其他機(jī)構(gòu)，當(dāng)該曝光機(jī)I具有水平向結(jié)構(gòu)時(shí)，該等水平向驅(qū)動(dòng)部2便可直接設(shè)置于該曝光機(jī)I的水平向結(jié)構(gòu)的不同位置，當(dāng)該曝光機(jī)I未具有水平向結(jié)構(gòu)時(shí)，該等水平向驅(qū)動(dòng)部2便分別可先水平活動(dòng)設(shè)置于至少三水平向座體6，該等水平向座體6再設(shè)置于該曝光機(jī)1，且該等水平向座體6可視實(shí)際的設(shè)置位置變換不同的形狀，以使該等水平向驅(qū)動(dòng)部2可水平活動(dòng)設(shè)置于該曝光機(jī)I的同一平面的不同位置，該等水平向驅(qū)動(dòng)部2分別具有第一斜面連接單元21。
[0051]該等水平向驅(qū)動(dòng)源3分別可為電動(dòng)馬達(dá)、電控氣壓缸或電控油壓缸…等且可設(shè)置于該曝光機(jī)1，或分別設(shè)置于該等水平向座體6以分別驅(qū)動(dòng)該等水平向驅(qū)動(dòng)部2，該等水平向驅(qū)動(dòng)源3可電連接至控制單元(圖未示)以控制該等水平向驅(qū)動(dòng)源3的作動(dòng)。
[0052]該等垂直向被動(dòng)部4垂直活動(dòng)設(shè)置于該曝光機(jī)I的不同位置，如該曝光機(jī)I的平移機(jī)構(gòu)12的不同位置，該等垂直向被動(dòng)部4亦可視實(shí)際需求設(shè)置于該曝光機(jī)I的其他機(jī)構(gòu)，當(dāng)該曝光機(jī)I具有垂直向結(jié)構(gòu)時(shí)，該等垂直向被動(dòng)部4便可直接設(shè)置于該曝光機(jī)I的垂直向結(jié)構(gòu)的不同位置，當(dāng)該曝光機(jī)I未具有垂直向結(jié)構(gòu)時(shí)，該等垂直向被動(dòng)部4便分別可先垂直活動(dòng)設(shè)置于至少三垂直向座體7，該等垂直向座體7再設(shè)置于該曝光機(jī)1，且該等垂直向座體7可視實(shí)際的設(shè)置位置變換不同的形狀，以使該等垂直向被動(dòng)部4可垂直活動(dòng)設(shè)置于該曝光機(jī)I的不同位置，該等垂直向被動(dòng)部4分別具有第二斜面連接單元41以分別與該等第一斜面連接單元21面對面活動(dòng)連接，另外，該等水平向驅(qū)動(dòng)部2的水平移動(dòng)方向上需預(yù)留活動(dòng)空間以避免該等水平向驅(qū)動(dòng)部2水平移動(dòng)時(shí)被阻擋，該等垂直向被動(dòng)部4的垂直移動(dòng)方向上亦需預(yù)留活動(dòng)空間以避免該等垂直向被動(dòng)部4垂直移動(dòng)時(shí)被阻擋，再者，該等水平向驅(qū)動(dòng)部2及該等垂直向被動(dòng)部4可視實(shí)際需求選擇一者設(shè)置于座體或同時(shí)選擇兩者設(shè)置于座體。
[0053]該等萬向接頭5分別以一側(cè)連接該等垂直向被動(dòng)部4，及分別以另一側(cè)連接該光罩結(jié)構(gòu)11，如圖所示，該等萬向接頭5分別可具有連接桿51及底座52，該等連接桿51分別具有球體511，該等底座52分別具有球狀槽521，該等球體511活動(dòng)設(shè)置于該等球狀槽521。另外，該等底座52可分別與該等垂直向被動(dòng)部4連接,該等連接桿51可與該光罩結(jié)構(gòu)11連接，或，該等連接桿51可分別與該等垂直向被動(dòng)部4連接,該等底座52可與該光罩結(jié)構(gòu)11連接。再者，該等連接桿51分別可借助連接桿座512連接于該光罩結(jié)構(gòu)11或該等垂直向被動(dòng)部4。再者，本發(fā)明的連接桿51及底座52僅為一例示，所有可使該光罩結(jié)構(gòu)11與該等垂直向被動(dòng)部4萬向連接的結(jié)構(gòu)皆應(yīng)屬于本發(fā)明的范疇。
[0054]如圖1所示，上述的該等水平向驅(qū)動(dòng)部2分別具有一水平向?qū)Р?2，該等水平向座體6分別具有一水平向?qū)к?1，該等水平向?qū)к?1分別活動(dòng)設(shè)置于該等水平向?qū)Р?2 ;而該等水平向?qū)Р?2及該等水平向?qū)к?1也可相互置換改為該等水平向驅(qū)動(dòng)部2分別具有水平向?qū)к?1，該等水平向座體6分別具有水平向?qū)Р?2，該等水平向?qū)к?1分別活動(dòng)設(shè)置于該等水平向?qū)Р?2。另外，當(dāng)該等水平向驅(qū)動(dòng)部2直接設(shè)置于該曝光機(jī)I時(shí)，該曝光機(jī)I亦可設(shè)置至少三水平向?qū)к?1或至少三水平向?qū)Р?2，以使該等水平向驅(qū)動(dòng)部2的水平向?qū)Р?2或水平向?qū)к?1活動(dòng)設(shè)置。再者，本發(fā)明的水平向?qū)к?1及水平向?qū)Р?2的截面形狀可依實(shí)際需求而為T形或L形…等。再者，本發(fā)明的水平向?qū)Р?2及水平向?qū)к?1僅為一例示，所有可使該等水平向驅(qū)動(dòng)部2水平活動(dòng)設(shè)置于該曝光機(jī)I的結(jié)構(gòu)皆應(yīng)屬于本發(fā)明的范疇。
[0055]如圖1所示，上述的該等水平向驅(qū)動(dòng)源3分別設(shè)置于該等水平向座體6，該等水平向驅(qū)動(dòng)源3分別具有驅(qū)動(dòng)單元31，該等水平向驅(qū)動(dòng)部2分別具有一被動(dòng)單元23，該等驅(qū)動(dòng)單元31分別與該等被動(dòng)單元23連接。另外，該等水平向驅(qū)動(dòng)源3亦可直接設(shè)置于該曝光機(jī)I。再者，本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)單元31及被動(dòng)單元23可為正齒輪嚙合水平向齒條、蝸齒輪嚙合水平向齒條(如圖所示)、氣壓缸(或油壓缸)的伸縮柱體連接水平向驅(qū)動(dòng)部的連接部…等。再者，本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)單元31及被動(dòng)單元23僅為一例示，所有可使該等水平向驅(qū)動(dòng)源3水平驅(qū)動(dòng)該等水平向驅(qū)動(dòng)部2的機(jī)構(gòu)皆應(yīng)屬于本發(fā)明的范疇。
[0056]如圖1所示，上述的該等垂直向被動(dòng)部4分別具有垂直向?qū)Р?2，該等垂直向座體7分別具有垂直向?qū)к?1，該等垂直向?qū)к?1分別活動(dòng)設(shè)置于該等垂直向?qū)Р?2 ;而該等垂直向?qū)Р?2及該等垂直向?qū)к?1也可相互置換改為該等垂直向被動(dòng)部4分別具有一垂直向?qū)к?1，該等垂直向座體7分別具有一垂直向?qū)Р?2，該等垂直向?qū)к?1分別活動(dòng)設(shè)置于該等垂直向?qū)Р?2。另外，當(dāng)該等垂直向被動(dòng)部4直接設(shè)置于該曝光機(jī)I時(shí)，該曝光機(jī)I可設(shè)置至少三垂直向?qū)к?1或至少三垂直向?qū)Р?2，以使該等垂直向被動(dòng)部4的垂直向?qū)Р?2或垂直向?qū)к?1活動(dòng)設(shè)置。再者，本發(fā)明的垂直向?qū)к?1及垂直向?qū)Р?2的截面形狀可依實(shí)際需求而為T形或L形…等。再者，本發(fā)明的垂直向?qū)Р?2及垂直向?qū)к?1僅為一例示，所有可使該等垂直向被動(dòng)部4垂直活動(dòng)設(shè)置于該曝光機(jī)I的結(jié)構(gòu)皆應(yīng)屬于本發(fā)明的范疇。
[0057]如圖1所示，上述的該等第一斜面連接單元21分別具有斜向?qū)к?11，該等第二斜面連接單元41分別具有斜向?qū)Р?11，該等斜向?qū)к?11分別活動(dòng)設(shè)置于該等斜向?qū)Р?11 ;而該等斜向?qū)к?11及該等斜向?qū)Р?11也可相互置換改為該等第一斜面連接單元21分別具有斜向?qū)Р?11，該等第二斜面連接單元41分別具有斜向?qū)к?11，該等斜向?qū)к?11分別活動(dòng)設(shè)置于該等斜向?qū)Р?11。另外，本發(fā)明的斜向?qū)к?11及斜向?qū)Р?11的截面形狀可依實(shí)際需求而為T形或L形…等。再者，本發(fā)明的斜向?qū)Р?11及斜向?qū)к?11僅為一例示，所有可使該等第一斜面連接單元21與該等第二斜面連接單元41面對面活動(dòng)連接的結(jié)構(gòu)皆應(yīng)屬于本發(fā)明的范疇。
[0058]本發(fā)明的第二態(tài)樣為一種曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整方法，其包含下列步驟:
[0059]提供如上所述的曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)；以及
[0060]激活至少一水平向驅(qū)動(dòng)源3以調(diào)整該光罩結(jié)構(gòu)11的水平角度。
[0061]圖3至圖5分別為本發(fā)明較佳具體實(shí)施例動(dòng)作的示意圖一至三，如圖所示，本實(shí)施例以該水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)其中的一個(gè)位置作為例示，該水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)其余位置的動(dòng)作方式亦同，另外，該水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)可依實(shí)際的需求作動(dòng)一個(gè)位置、兩個(gè)位置、三個(gè)位置或以上。
[0062]如圖3及圖4所示，當(dāng)該曝光機(jī)的平行傳感器(圖未示)感測到該光罩結(jié)構(gòu)11的某個(gè)位置需下移才可使該光罩結(jié)構(gòu)11的光罩111與對應(yīng)物(圖未示)平行時(shí)，該控制單元(圖未示)便會啟動(dòng)該水平向驅(qū)動(dòng)源3，該`水平向驅(qū)動(dòng)源3便可借助該驅(qū)動(dòng)單元31 (如蝸齒輪)及該被動(dòng)單元23(如水平向齒條)驅(qū)動(dòng)該水平向驅(qū)動(dòng)部2左移，而該水平向驅(qū)動(dòng)部2可借助該第一斜面連接單元21及該第二斜面連接單元41的相互滑移推動(dòng)該垂直向被動(dòng)部4下移，該光罩結(jié)構(gòu)11便可借助該萬向接頭5的連接桿51及底座52的配合將水平角度向下改變，進(jìn)而使該光罩111與對應(yīng)物平行。
[0063]如圖3及圖5所示，當(dāng)該曝光機(jī)的平行傳感器(圖未示)感測到該光罩結(jié)構(gòu)11的某個(gè)位置需上移才可使該光罩結(jié)構(gòu)11的光罩111與對應(yīng)物(圖未示)平行時(shí)，該控制單元(圖未示)便會啟動(dòng)該水平向驅(qū)動(dòng)源3，該水平向驅(qū)動(dòng)源3便可借助該驅(qū)動(dòng)單元31 (如蝸齒輪)及該被動(dòng)單元23(如水平向齒條)驅(qū)動(dòng)該水平向驅(qū)動(dòng)部2右移，而該水平向驅(qū)動(dòng)部2可通過該第一斜面連接單元21及該第二斜面連接單元41的相互滑移帶動(dòng)該垂直向被動(dòng)部4上移，該光罩結(jié)構(gòu)11便可借助該萬向接頭5的連接桿51及底座52的配合將水平角度向上改變，進(jìn)而使該光罩111與對應(yīng)物平行。
[0064]如上所述，本發(fā)明借助該等水平向驅(qū)動(dòng)源3、該等水平向驅(qū)動(dòng)部2的第一斜面連接單元21、該等垂直向被動(dòng)部4的第二斜面連接單元41及該等萬向接頭5而使該光罩結(jié)構(gòu)11可調(diào)整水平角度，進(jìn)而使該光罩結(jié)構(gòu)11的光罩111可與對應(yīng)物平行。
[0065]本發(fā)明在上文中已以較佳實(shí)施例公開，然熟習(xí)本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)理解的是，該實(shí)施例僅用于描繪本發(fā)明，而不應(yīng)解讀為限制本發(fā)明的范圍。應(yīng)注意的是，所有與該實(shí)施例等效的變化與置換，均應(yīng)設(shè)為涵蓋于本發(fā)明的范疇內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)以下文的權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，其包含: 至少三個(gè)水平向驅(qū)動(dòng)部，其水平活動(dòng)設(shè)置于該曝光機(jī)，該等水平向驅(qū)動(dòng)部分別具有第一斜面連接單元； 至少三個(gè)水平向驅(qū)動(dòng)源，其設(shè)置于該曝光機(jī)以分別驅(qū)動(dòng)該等水平向驅(qū)動(dòng)部； 至少三個(gè)垂直向被動(dòng)部，其垂直活動(dòng)設(shè)置于該曝光機(jī)，該等垂直向被動(dòng)部分別具有第二斜面連接單元以分別與該等第一斜面連接單元面對面活動(dòng)連接；以及 至少三個(gè)萬向接頭，其分別以一側(cè)連接該等垂直向被動(dòng)部，及分別以另一側(cè)連接該光罩結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包含至少三個(gè)水平向座體、至少三個(gè)垂直向座體或以上兩者，其設(shè)置于該曝光機(jī)，該等水平向驅(qū)動(dòng)部分別水平活動(dòng)設(shè)置于該等水平向座體，該等垂直向驅(qū)動(dòng)部分別垂直活動(dòng)設(shè)置于該等垂直向座體。
3.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，該等水平向驅(qū)動(dòng)部分別具有水平向?qū)к?，該曝光機(jī)具有至少三個(gè)水平向?qū)Р?，該等水平向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等水平向?qū)Р郏换?，該等水平向?qū)動(dòng)部分別具有水平向?qū)Р郏撈毓鈾C(jī)具有至少三個(gè)水平向?qū)к?，該等水平向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等水平向?qū)Р邸?br>
4.如權(quán)利要求2所述的曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，該等水平向驅(qū)動(dòng)部分別具有水平向 導(dǎo)軌，該等水平向座體分別具有水平向?qū)Р?，該等水平向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等水平向?qū)Р?；或，該等水平向?qū)動(dòng)部分別具有水平向?qū)Р?，該等水平向座體分別具有一水平向?qū)к墸摰人较驅(qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等水平向?qū)Р邸?br>
5.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，該等水平向驅(qū)動(dòng)源設(shè)置于該曝光機(jī)，該等水平向驅(qū)動(dòng)源分別具有一驅(qū)動(dòng)單元，該等水平向驅(qū)動(dòng)部分別具有被動(dòng)單元，該等驅(qū)動(dòng)單元分別與該等被動(dòng)單元連接。
6.如權(quán)利要求2所述的曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，該等水平向驅(qū)動(dòng)源設(shè)置于該曝光機(jī)或分別設(shè)置于該等水平向座體，該等水平向驅(qū)動(dòng)源分別具有驅(qū)動(dòng)單元，該等水平向驅(qū)動(dòng)部分別具有一被動(dòng)單元，該等驅(qū)動(dòng)單元分別與該等被動(dòng)單元連接。
7.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，該等垂直向被動(dòng)部分別具有垂直向?qū)к?，該曝光機(jī)具有至少三個(gè)垂直向?qū)Р郏摰却怪毕驅(qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等垂直向?qū)Р?；或，該等垂直向被?dòng)部分別具有垂直向?qū)Р?，該曝光機(jī)具有至少三個(gè)垂直向?qū)к墸摰却怪毕驅(qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等垂直向?qū)Р邸?br>
8.如權(quán)利要求2所述的曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，該等垂直向被動(dòng)部分別具有垂直向?qū)к墸摰却怪毕蜃w分別具有一垂直向?qū)Р?，該等垂直向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等垂直向?qū)Р郏换?，該等垂直向被?dòng)部分別具有垂直向?qū)Р郏摰却怪毕蜃w分別具有垂直向?qū)к?，該等垂直向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等垂直向?qū)Р邸?br>
9.如權(quán)利要求1所述的曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)，其特征在于，該等第一斜面連接單元分別具有斜向?qū)к?，該等第二斜面連接單元分別具有斜向?qū)Р?，該等斜向?qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等斜向?qū)Р郏换?，該等第一斜面連接單元分別具有斜向?qū)Р?，該等第二斜面連接單元分別具有斜向?qū)к墸摰刃毕驅(qū)к壏謩e活動(dòng)設(shè)置于該等斜向?qū)Р邸?br>
10.一種曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整方法，其特征在于其包含下列步驟:提供如權(quán)利要求1至 9中任一項(xiàng)所述的曝光機(jī)光罩結(jié)構(gòu)的水平角度調(diào)整機(jī)構(gòu)；以及激活至少一水平向驅(qū)動(dòng)源以調(diào)整該光罩結(jié)構(gòu)的水平角度。
【文檔編號】G03F7/20GK103809385SQ201210451840
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2012年11月12日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月12日
【發(fā)明者】張鴻明 申請人:川寶科技股份有限公司