一種分劃板的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種分劃板的制造方法，包括如下步驟：在光學(xué)元件上均勻涂覆光刻膠，并烘制成膜；利用繪圖儀在光學(xué)元件上的光刻膠上制作鏤空對(duì)位標(biāo)；通過(guò)顯微鏡對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)將帶有實(shí)心對(duì)位標(biāo)圖案的母板與光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)進(jìn)行對(duì)位貼合，并將貼合后的光學(xué)元件進(jìn)行曝光處理；將曝光后的光學(xué)元件置于顯影液中進(jìn)行光刻膠顯影；清洗顯影后的光學(xué)元件，制得分劃板。本發(fā)明通過(guò)在光學(xué)元件上涂覆黑膠或深顏色的光刻膠，并采用激光繪圖儀在光刻膠上精確制作鏤空對(duì)位標(biāo)，可實(shí)現(xiàn)母板與光學(xué)元件的精確定位貼合，提高了分劃板的合格率，且制造工藝簡(jiǎn)單。
【專利說(shuō)明】一種分劃板的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及分劃板【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種分劃板的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]分劃板一般安裝在望遠(yuǎn)鏡的右目鏡焦平面上，如圖4所示，它是一塊極簿的表面刻有分劃密位線的薄玻璃，由于這塊薄玻璃理論上講也參與了成像，延長(zhǎng)了物鏡的焦距，會(huì)對(duì)右目鏡的長(zhǎng)度有或多或少的影響。分劃板對(duì)潔凈度要求極高，任何微小的灰塵都會(huì)在觀測(cè)時(shí)產(chǎn)生很大的黑點(diǎn)；同時(shí)，分劃板的安裝位置精度要求極高(光學(xué)玻璃圓心與圖案中心偏差±0.03mm),因此，盡量不要拆卸，如果拆卸，一定要按原樣復(fù)原。
[0003]中國(guó)專利文獻(xiàn)CN102466891A中公開(kāi)了一種分劃板的制造方法，其包括母板制作工藝和照相復(fù)制工藝，母板制作工藝包括以下步驟:根據(jù)客戶的零件設(shè)計(jì)圖紙繪制計(jì)算機(jī)圖紙的文件；準(zhǔn)備母板基片；將母板基片放入顯微鏡對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)；打開(kāi)激光繪圖儀器；設(shè)置光源強(qiáng)度。照相復(fù)制工藝包括以下步驟:用清潔劑清潔母板和光學(xué)零件；配制銨液；制作感光膠；光學(xué)零件放在精密夾具上并放入離心機(jī)內(nèi)；烘烤玻璃零件；真空吸附模板與光學(xué)零件均勻粘合和采用動(dòng)態(tài)曝光加工分劃板光學(xué)零件；光學(xué)零件與母板精密復(fù)合，然后進(jìn)行曝光；將光學(xué)零件放入顯影液中后著色，清洗干凈。在此專利文獻(xiàn)中，光學(xué)零件與母板采用真空吸附的模式，二者沒(méi)有準(zhǔn)確的定位基準(zhǔn)，因此，制造出來(lái)產(chǎn)品的精度和合格率依舊不是很高，且設(shè)備投入費(fèi)用相對(duì)比較高。
[0004]中國(guó)專利文獻(xiàn)CN101852985公開(kāi)了一種基板對(duì)位標(biāo)記的制作方法，其在一塊基板的表面上形成有一個(gè)凹陷，在凹陷內(nèi)部設(shè)置光阻層；曝光、顯影，以使該光阻層中部分光阻被保留；在該部分光阻的周?chē)O(shè)置金屬層；去除該部分光阻，留下該金屬層，以形成金屬層圍繞的對(duì)位標(biāo)記。上述專利文獻(xiàn)在基板上制作凹陷對(duì)位標(biāo)記時(shí)需要多個(gè)工序，工藝復(fù)雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，簡(jiǎn)化工藝成本，提高產(chǎn)品精度和合格率，本發(fā)明提供了一種分劃板的制造方法。
[0006]所述技術(shù)方案如下:
[0007]—種分劃板的制造方法，所述方法包括如下步驟:
[0008]步驟一，在光學(xué)元件上均勻涂覆光刻膠，并烘制成膜；
[0009]步驟二，利用繪圖儀在光學(xué)元件上的光刻膠上制作鏤空對(duì)位標(biāo)；
[0010]步驟三，通過(guò)顯微鏡對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)將帶有實(shí)心對(duì)位標(biāo)圖案的母板與光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)進(jìn)行對(duì)位貼合，并將貼合后的光學(xué)元件進(jìn)行曝光處理；
[0011]步驟四，將曝光后的光學(xué)元件置于顯影液中進(jìn)行光刻膠顯影；
[0012]步驟五，清洗顯影后的光學(xué)元件，制得分劃板。
[0013]所述步驟一中的光刻膠為不透明光刻膠。
[0014]所述的烘制成膜后的光刻膠膜厚為I微米?10微米。[0015]所述步驟二中的繪圖儀為激光繪圖儀。
[0016]所述步驟二中的鏤空對(duì)位標(biāo)為十字形、圓形或星形，所述母板上的實(shí)心對(duì)位標(biāo)與所述光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)形狀相一致。
[0017]所述步驟二中在光學(xué)元件上制作多個(gè)鏤空對(duì)位標(biāo)，在所述步驟三中的母板上制作相應(yīng)的多個(gè)實(shí)心對(duì)位標(biāo)，通過(guò)顯微鏡對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)將帶有多個(gè)實(shí)心對(duì)位標(biāo)圖案的母板與光學(xué)元件上的多個(gè)鏤空對(duì)位標(biāo)進(jìn)行--對(duì)位貼合。
[0018]在所述光學(xué)元件和所述母板上均制作三個(gè)對(duì)位標(biāo)，三個(gè)對(duì)位標(biāo)中心連線后形成正三角形結(jié)構(gòu)。
[0019]在所述光學(xué)元件和所述母板上均制作四個(gè)對(duì)位標(biāo)，四個(gè)對(duì)位標(biāo)中心順次連線后形成正方形或長(zhǎng)方形結(jié)構(gòu)。
[0020]所述的顯影液為堿性液體KOH或四甲基氫氧化銨(TMAH)。
[0021]所述步驟四中的顯影液的顯影溫度為25°C - 35°C，顯影時(shí)間3分鐘~10分鐘，通過(guò)浸泡或沖洗方式進(jìn)行分劃板的顯影。本發(fā)明所提供的技術(shù)方案帶來(lái)的有益效果是:
[0022]A.本發(fā)明通過(guò)在光學(xué)元件上涂覆光刻膠層，通過(guò)激光繪圖儀在光刻膠層上直接精確制作鏤空對(duì)位標(biāo)，工藝簡(jiǎn)單。
[0023]B.通過(guò)將母板上的實(shí)心對(duì)位標(biāo)與光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)相貼合，即可實(shí)現(xiàn)二者的精確對(duì)位，提高了制作效率、產(chǎn)品精度和合格率，產(chǎn)品合格率可達(dá)到90%以上。
[0024]C.由于分劃板的安裝位置精度要求較高，分劃板上鏤空對(duì)位標(biāo)的繪制使分劃板的安裝更加簡(jiǎn)便，容易復(fù)原原樣。
[0025]D.本發(fā)明采用多點(diǎn)對(duì)位方式，顯著提高了母板與光學(xué)元件之間的對(duì)位精度。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0026]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0027]圖1是本發(fā)明所提供的分劃板制造方法流程圖；
[0028]圖2a是光刻膠上鏤空對(duì)位標(biāo)的一種結(jié)構(gòu)圖示；
[0029]圖2b是光刻膠上鏤空對(duì)位標(biāo)的另一種結(jié)構(gòu)圖示；
[0030]圖3a是母板上實(shí)心對(duì)位標(biāo)圖案與光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)對(duì)位貼合的一種結(jié)構(gòu)對(duì)位圖示；
[0031]圖3b是母板上實(shí)心對(duì)位標(biāo)圖案與光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)對(duì)位貼合的另一種結(jié)構(gòu)對(duì)位圖示；
[0032]圖4是分劃板的示意圖；
[0033]圖5為母板上實(shí)心對(duì)位標(biāo)圖案與光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)采用三點(diǎn)對(duì)位貼合；
[0034]圖6為母板上實(shí)心對(duì)位標(biāo)圖案與光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)采用四點(diǎn)對(duì)位貼合。
[0035]圖中:1 -鏤空對(duì)位標(biāo)；2 -實(shí)心對(duì)位標(biāo)；3 -分劃板。
【具體實(shí)施方式】[0036]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
[0037]如圖1所示，本發(fā)明提供了一種分劃板的制造方法，其中的制造方法包括如下步驟:
[0038]步驟一，在光學(xué)元件上均勻涂覆光刻膠，并烘制成膜；這里光刻膠的涂膜厚度為I微米-10微米，烘制成膜后的光刻膠膜厚為I微米~10微米；
[0039]步驟二，利用激光繪圖儀在光學(xué)元件上的光刻膠上制作鏤空對(duì)位標(biāo)；
[0040]步驟三，通過(guò)顯微鏡對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)將帶有實(shí)心對(duì)位標(biāo)圖案的母板與光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)進(jìn)行對(duì)位貼合，并將貼合后的光學(xué)元件進(jìn)行曝光處理；
[0041]步驟四，將曝光后的光學(xué)元件置于顯影液中進(jìn)行光刻膠顯影；
[0042]步驟五，清洗顯影后的光學(xué)元件，制得分劃板。
[0043]本發(fā)明所使用的光刻膠為不透明光刻膠，可以為市售的不透明的黑色光刻膠、紅色光刻膠、藍(lán)色光刻膠等深色光刻膠。
[0044]其中步驟二中的鏤空對(duì)位標(biāo)為十字形、圓形、星形等，母板上的實(shí)心對(duì)位標(biāo)與光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)形狀相一致。其中的鏤空對(duì)位標(biāo)和母板上的實(shí)心對(duì)位標(biāo)也可以采用其它結(jié)構(gòu)形式，這里就不再贅述。
[0045]本發(fā)明優(yōu)選采用多點(diǎn) 對(duì)位結(jié)構(gòu)方式，其中的鏤空對(duì)位標(biāo)可制作三個(gè)或四個(gè)，母板
上的實(shí)心對(duì)位標(biāo)制作數(shù)量與鏤空對(duì)位標(biāo)的數(shù)量相同，且保持多個(gè)對(duì)位標(biāo)能--對(duì)位貼合。
其中圖5所示為三點(diǎn)對(duì)位貼合方式；圖6所示為四點(diǎn)對(duì)位貼合方式。也可以采用五點(diǎn)甚至更多點(diǎn)的對(duì)位貼合方式，這里就不再一一贅述。
[0046]圖2a中示出了鏤空對(duì)位標(biāo)為十字形的結(jié)構(gòu)，圖2b中示出了鏤空對(duì)位標(biāo)為圓形結(jié)構(gòu)。
[0047]圖3a和圖3b中分別示出了母板上的實(shí)心對(duì)位標(biāo)與光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)相貼合的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0048]所述的顯影液為KOH或其它堿性溶液，也可以為四甲基氫氧化銨(TMAH)。
[0049]上述本發(fā)明實(shí)施例序號(hào)僅僅為了描述，不代表實(shí)施例的優(yōu)劣。
[0050]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種分劃板的制造方法，其特征在于:所述方法包括如下步驟: 步驟一，在光學(xué)元件上均勻涂覆光刻膠，并烘制成膜； 步驟二，利用繪圖儀在光學(xué)元件上的光刻膠上制作鏤空對(duì)位標(biāo)； 步驟三，通過(guò)顯微鏡對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)將帶有實(shí)心對(duì)位標(biāo)圖案的母板與光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)進(jìn)行對(duì)位貼合，并將貼合后的光學(xué)元件進(jìn)行曝光處理； 步驟四，將曝光后的光學(xué)元件置于顯影液中進(jìn)行光刻膠顯影； 步驟五，清洗顯影后的光學(xué)元件，制得分劃板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分劃板的制造方法，其特征在于: 所述步驟一中的光刻膠為不透明光刻膠。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分劃板的制造方法，其特征在于: 所述的烘制成膜后的光刻膠膜厚為I微米~10微米。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分劃板的制造方法，其特征在于: 所述步驟二中的繪圖儀為激光繪圖儀。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分劃板的制造方法，其特征在于: 所述步驟二中的鏤空對(duì)位標(biāo)為十字形、圓`形或星形，所述母板上的實(shí)心對(duì)位標(biāo)與所述光學(xué)元件上的鏤空對(duì)位標(biāo)形狀相一致。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的分劃板的制造方法，其特征在于: 所述步驟二中在光學(xué)元件上制作多個(gè)鏤空對(duì)位標(biāo)，在所述步驟三中的母板上制作相應(yīng)的多個(gè)實(shí)心對(duì)位標(biāo)，通過(guò)顯微鏡對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)將帶有多個(gè)實(shí)心對(duì)位標(biāo)圖案的母板與光學(xué)元件上的多個(gè)鏤空對(duì)位標(biāo)進(jìn)行--對(duì)位貼合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分劃板的制造方法，其特征在于: 在所述光學(xué)元件和所述母板上均制作三個(gè)對(duì)位標(biāo)，三個(gè)對(duì)位標(biāo)中心連線后形成正三角形結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分劃板的制造方法，其特征在于: 在所述光學(xué)元件和所述母板上均制作四個(gè)對(duì)位標(biāo)，四個(gè)對(duì)位標(biāo)中心順次連線后形成正方形或長(zhǎng)方形結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分劃板的制造方法，其特征在于: 所述的顯影液為堿性液體KOH或四甲基氫氧化銨(TMAH)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的分劃板的制造方法，其特征在于: 所述步驟四中的顯影液的顯影溫度為25°C - 35°C，顯影時(shí)間3分鐘~10分鐘，通過(guò)浸泡或沖洗方式進(jìn)行分劃板的顯影。
【文檔編號(hào)】G02B23/00GK103777364SQ201310684808
【公開(kāi)日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2013年12月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月13日
【發(fā)明者】吳空物, 王靜 申請(qǐng)人:北京維信諾科技有限公司