一種自動安裝掩模板系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種自動安裝掩模板系統(tǒng)，用于實(shí)現(xiàn)一種高效安裝掩模板系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括：控制裝置、傳送裝置、檢測裝置和紫外固化裝置；控制裝置用于向傳送裝置發(fā)送第一控制信號，還用于在接收到檢測裝置發(fā)送的表示掩模板合格的檢測結(jié)果時(shí)，向傳送裝置發(fā)送第二控制信號，以及用于在接收到檢測裝置發(fā)送的表示掩模板不合格的檢測結(jié)果時(shí)，向傳送裝置發(fā)送第三控制信號；傳送裝置用于根據(jù)第一控制信號將掩模板放置在檢測裝置上；檢測裝置用于對位于其上的掩模板進(jìn)行質(zhì)量檢測以確定其是否合格，并將檢測結(jié)果發(fā)送給控制裝置；紫外固化裝置用于根據(jù)第二控制信號將掩模板放置在紫外固化裝置上。
【專利說明】一種自動安裝掩模板系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種自動安裝掩模板系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，掩模板是一種位于基體材料上以便用于選擇性曝光的結(jié)構(gòu)。
[0003]例如:在液晶顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，顯示面板的彩膜基板和陣列基板對盒過程中要進(jìn)行封框膠紫外固化，通過紫外照射顯示面板封框膠區(qū)域?qū)崿F(xiàn)紫外固化封框膠的目的。在固化過程中，需要用掩模板將顯示面板的顯示區(qū)域(AA區(qū)域)遮蔽，以免紫外光對顯示面板中的液晶分子照射產(chǎn)生不良后果。
[0004]一般地，一種型號的掩模板對應(yīng)一種型號的顯示面板(即Panel)，掩模板放置在紫外固化裝置上，當(dāng)需要曝光的顯示面板更換型號時(shí)，也需要更換紫外固化裝置上的掩模板。更換掩模板主要包括卸載和安裝過程。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)，安裝掩模板的過程是通過人工操作進(jìn)行的。在安裝掩模板之前，還需要人工檢測掩模板是否合格。檢測掩模板是否合格主要包括:掩模板的型號與顯示面板是否匹配，掩模板與顯示面板的每一個(gè)AA區(qū)域?qū)?yīng)的遮光區(qū)域是否存在漏光現(xiàn)象等。例如人工手動控制機(jī)器人搬送掩模板，確認(rèn)掩模板是否合格。在人工進(jìn)行掩模板安裝時(shí)，很容易由于誤判在紫外固化裝置中安裝了不合格的掩模板，導(dǎo)致批量生產(chǎn)的顯示面板出現(xiàn)不良，造成巨大且無法挽回的經(jīng)濟(jì)損失。并且，人工確認(rèn)掩模板是否合格的效率較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明實(shí)施例提供的一種自動安裝掩模板系統(tǒng)，用于實(shí)現(xiàn)一種能自動安裝掩模板系統(tǒng)。
[0007]所述自動安裝掩模板系統(tǒng)包括:
[0008]控制裝置、傳送裝置、檢測裝置和紫外固化裝置；
[0009]所述控制裝置，用于向所述傳送裝置發(fā)送攜帶當(dāng)前待安裝的掩模板的身份信息的第一控制信號；還用于，在接收到所述檢測裝置發(fā)送的表示掩模板檢測合格的檢測結(jié)果時(shí)，向所述傳送裝置發(fā)送第二控制信號；以及還用于，在接收到所述檢測裝置發(fā)送的表示掩模板檢測不合格的檢測結(jié)果時(shí)，向所述傳送裝置發(fā)送第三控制信號；
[0010]所述傳送裝置，用于根據(jù)所述第一控制信號將與所述掩模板的身份信息相應(yīng)的掩模板放置在所述檢測裝置上；還用于，在接收到所述第二控制信號時(shí)，將位于所述檢測裝置上的掩模板傳送給紫外固化裝置；以及還用于，在接收到所述第三控制信號時(shí)，更換檢測裝置上的掩模板；
[0011]所述檢測裝置，用于對位于其上的掩模板進(jìn)行質(zhì)量檢測以確定其是否合格，并將檢測合格或檢測不不格的結(jié)果發(fā)送給所述控制裝置；
[0012]所述紫外固化裝置用于安裝傳送裝置傳送來的掩模板。
[0013]較佳地，所述系統(tǒng)還包括:疊層設(shè)置的掩模板支撐臺，該掩模板支撐臺的各層用于放置具有掩模板身份信息標(biāo)識的掩模板；所述傳送裝置根據(jù)接收到的第一控制信號，從所述支撐臺上取出與所述第一控制信號中的身份信息相符的掩模板。
[0014]較佳地，所述系統(tǒng)還包括一個(gè)或多個(gè)掩模板身份確認(rèn)裝置，與所述傳送裝置通過信令交互，在所述傳送裝置取出所述掩模板之前，通過掩模板身份信息標(biāo)識確認(rèn)所述掩模板，確認(rèn)出的所述掩模板的身份信息與所述第一控制信號中的身份信息相同。
[0015]較佳地，所述掩模板身份確認(rèn)裝置具體包括:信令接口、處理器、端部設(shè)置有傳感器的伸縮桿以及控制該伸縮桿和傳感器一起移動的電機(jī)或電缸；
[0016]所述信令接口接收所述傳送裝置發(fā)送的攜帶所述掩模板的身份信息的啟動指令，將所述掩模板的身份信息發(fā)送至所述處理器，并驅(qū)動所述電機(jī)或電缸，使得所述傳感器在所述伸縮桿的帶動下從初始位置移動到每一掩模板設(shè)置有身份標(biāo)識的上方附近，獲取掩模板的身份信息并發(fā)送至所述處理器；當(dāng)處理器比較所述信令接口傳送的掩模板的身份信息與所述傳感器傳送的掩模板的身份信息一致時(shí)，通過所述信令接口通知所述傳送裝置確認(rèn)所述掩模板。
[0017]較佳地，所述身份標(biāo)識為二維碼，所述傳感器為二維碼識別傳感器。
[0018]較佳地，所述檢測裝置包括:
[0019]檢測基臺，用于承載待檢測的掩模板；
[0020]圖像采集裝置，位于檢測基臺上方，用于采集位于所述檢測基臺上的掩模板的圖像息;
[0021]圖像處理裝置，與所述圖像采集裝置相連，用于根據(jù)所述圖像采集裝置采集的圖像信息與所述掩模板的標(biāo)準(zhǔn)圖像比對，確定掩模板是否合格。
[0022]較佳地，所述紫外固化裝置包括:用于承載掩模板的下機(jī)臺；
[0023]其中，所述下機(jī)臺上設(shè)置有光強(qiáng)感知裝置，用于在紫外曝光前對已經(jīng)安裝好的掩模板的鍍層是否存在缺陷進(jìn)行檢測。
[0024]較佳地，所述光強(qiáng)感知裝置為氫氧化鎳和二氧化鈦薄膜。
[0025]本發(fā)明上述實(shí)施例提供的自動安裝掩模板系統(tǒng)，控制裝置控制傳送裝置搬送掩模板，將掩模板先后搬送到所述檢測裝置和紫外固化裝置上，紫外固化裝置安裝所述掩模板，大大提高了安裝掩模板的效率，且節(jié)省了通過人工控制傳送裝置搬送掩模板的人力和物力。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0026]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的自動安裝掩模板系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的掩模板存儲室結(jié)構(gòu)示意圖之一；
[0028]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的掩模板存儲室結(jié)構(gòu)示意圖之二；
[0029]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的自動安裝掩模板系統(tǒng)中的檢測裝置結(jié)構(gòu)示意圖之一；
[0030]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的自動安裝掩模板系統(tǒng)中的檢測裝置結(jié)構(gòu)示意圖之二；
[0031]圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的鍍層圖形相對標(biāo)準(zhǔn)圖形存在旋轉(zhuǎn)的示意圖；
[0032]圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的鍍層圖形相對標(biāo)準(zhǔn)圖形存在平移的示意圖；
[0033]圖8為本發(fā)明實(shí)施例提供的鍍層圖形相對標(biāo)準(zhǔn)圖形存在缺失的示意圖；
[0034]圖9為本發(fā)明實(shí)施例提供的自動安裝掩模板系統(tǒng)中的檢測裝置結(jié)構(gòu)示意圖之三；[0035]圖10為本發(fā)明實(shí)施例提供的對位夾結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖11為本發(fā)明實(shí)施例提供的位于檢測基臺上的支撐桿局部放大示意圖；
[0037]圖12為本發(fā)明實(shí)施例提供的紫外固化裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0038]本發(fā)明實(shí)施例提供的一種自動安裝掩模板系統(tǒng)，用于實(shí)現(xiàn)一種高效安裝掩模板系統(tǒng)，通過該系統(tǒng)和方法可以降低安裝不合格掩模板的幾率。
[0039]本發(fā)明所述掩模板優(yōu)選適用于安裝在紫外固化機(jī)上，用于在紫外曝光過程中，遮擋部分紫外光，實(shí)現(xiàn)在需要曝光的基體材料上選擇性地曝光。
[0040]以下將結(jié)合附圖具體說明本發(fā)明實(shí)施例提供的自動安裝掩模板系統(tǒng)和方法。
[0041]參見圖1，本發(fā)明實(shí)施例提供的自動安裝掩模板系統(tǒng)，包括:
[0042]控制裝置1、傳送裝置2、檢測裝置3，以及紫外固化裝置4 ；
[0043]控制裝置1，用于向傳送裝置2發(fā)送攜帶當(dāng)前待安裝的掩模板的身份信息的第一控制信號；還用于，在接收到檢測裝置3發(fā)送的表示掩模板檢測合格的檢測結(jié)果時(shí)，向傳送裝置2發(fā)送第二控制信號；以及還用于，在接收到檢測裝置3發(fā)送的表示掩模板檢測不合格的檢測結(jié)果時(shí)，向傳送裝置2發(fā)送第三控制信號；
[0044]傳送裝置2，用于根據(jù)所述第一控制信號將與所述掩模板的身份信息相應(yīng)的掩模板放置在檢測裝置3上；還用于，在接收到所述第二控制信號時(shí)，將位于檢測裝置3上的掩模板傳送給紫外固化裝置4 ;以及還用于，在接收到所述第三控制信號時(shí)，更換檢測裝置3上的掩模板；
[0045]檢測裝置3，用于對位于其上的掩模板進(jìn)行質(zhì)量檢測以確定其是否合格，并將檢測合格或檢測不不格的結(jié)果發(fā)送給控制裝置I ;
[0046]紫外固化裝置4用于安裝傳送裝置2傳送來的掩模板。
[0047]具體實(shí)施時(shí)，每一種型號的掩模板上均設(shè)置有對應(yīng)的身份標(biāo)識(即Mask ID)，相同型號的掩模板身份標(biāo)識相同，不同型號的掩模板身份標(biāo)識不同。上述身份信息可以為身份標(biāo)識。該身份標(biāo)識可以為編號、二維碼或其他用于區(qū)別不同型號掩模板的身份標(biāo)識，該身份標(biāo)識對應(yīng)的標(biāo)識信息列表(Mask ID List)存儲在控制裝置中，通過修改控制裝置中身份標(biāo)識參數(shù)，觸發(fā)控制裝置發(fā)送所述第一控制信號。例如通過與控制裝置相連的上位機(jī)輸入當(dāng)前待安裝的掩模板身份標(biāo)識Mask ID，控制裝置在Mask ID List中進(jìn)行參數(shù)匹配，匹配成功后發(fā)出相應(yīng)的掩模板搬送指令。如果存儲掩模板的區(qū)域存儲了多個(gè)位于不同層的掩模板，控制裝置在Mask ID List中進(jìn)行參數(shù)匹配成功后，還要判斷當(dāng)前待安裝的掩模板所在的層數(shù)信息，然后發(fā)出相應(yīng)的掩模板搬送指令。
[0048]本發(fā)明上述實(shí)施例提供的自動安裝掩模板系統(tǒng)，控制裝置控制傳送裝置搬送掩模板，將掩模板先后搬送到所述檢測裝置和紫外固化裝置上，紫外固化裝置安裝所述掩模板，大大提高了安裝掩模板的效率，且節(jié)省了通過人工控制傳送裝置搬送掩模板的人力和物力。
[0049]所述控制裝置的類型不限，具體可以為現(xiàn)有所采用的主控機(jī)(CM)，也可以為獨(dú)立于所述主控機(jī)的控制裝置(例如控制芯片1C)。
[0050]所述傳送裝置可以但不限于為機(jī)器人(Robot)，例如機(jī)械手。[0051]一般地，不同型號的顯示面板對應(yīng)不同型號的掩模板。不同型號的掩模板放置在預(yù)設(shè)位置，供多種型號的顯示產(chǎn)品曝光使用。
[0052]優(yōu)選地，所述系統(tǒng)還包括疊層設(shè)置的掩模板支撐臺，該掩模板支撐臺的各層用于放置具有掩模板身份信息標(biāo)識的掩模板；所述傳送裝置根據(jù)接收到的第一控制信號，從所述支撐臺上取出與所述第一控制信號中的身份信息相符的掩模板。
[0053]具體地，圖2所示的疊層設(shè)置的掩模板支撐臺為具有層狀結(jié)構(gòu)的掩模板存儲室10(也稱Mask Buffer)，和位于掩模板存儲室10內(nèi)每一層的掩模板11。掩模板存儲室10內(nèi)的掩模板11的型號可以不同，也可以部分相同部分不同。掩模板存儲室10內(nèi)不同型號的掩模板所在的位置信息(即位于哪一層)預(yù)先存儲在控制裝置中。傳送裝置2需要在分層放置的多個(gè)掩模板11中選擇與接收到的第一控制信號攜帶的身份信息對應(yīng)的掩模板。
[0054]在實(shí)際傳送掩模板的過程中，如果從掩模板支撐臺取出待安裝的掩模板與第一控制信號的指示中攜帶的身份信息不一致，造成的損失將是無法估量的。因此，確認(rèn)掩模板與所述身份信息一致非常重要。
[0055]優(yōu)選地，所述系統(tǒng)還包括一個(gè)或多個(gè)掩模板身份確認(rèn)裝置，與所述傳送裝置通過信令交互，在所述傳送裝置取出所述掩模板之前，通過掩模板身份信息標(biāo)識確認(rèn)所述掩模板，確認(rèn)出的所述掩模板的身份信息與所述第一控制信號中的身份信息相同。
[0056]具體地，所述掩模板身份確認(rèn)裝置具體包括:信令接口、處理器、端部設(shè)置有傳感器的伸縮桿以及控制該伸縮桿和傳感器一起移動的電機(jī)或電缸；
[0057]參見圖3為掩模板身份確認(rèn)裝置的部分結(jié)構(gòu)示意圖，未體現(xiàn)信令接口與處理器。掩模板身份確認(rèn)裝置包括:信令接口、處理器、端部設(shè)置有傳感器212的伸縮桿211，以及控制該伸縮桿211和傳感器212 —起移動的電機(jī)或電缸213 ;所述信令接口接收所述傳送裝置發(fā)送的攜帶所述掩模板的身份信息的啟動指令，將所述掩模板的身份信息發(fā)送至所述處理器，并驅(qū)動電機(jī)或電缸213，使得傳感器212在伸縮桿211的帶動下從初始位置移動到每一掩模板設(shè)置有身份標(biāo)識的上方附近，獲取掩模板的身份信息并發(fā)送至所述處理器；當(dāng)處理器比較所述信令接口傳送的掩模板的身份信息與所述傳感器傳送的掩模板的身份信息一致時(shí)，通過所述信令接口通知所述傳送裝置確認(rèn)所述掩模板。
[0058]優(yōu)選地，所述身份標(biāo)識為二維碼，所述傳感器為二維碼識別傳感器。
[0059]所述傳感器具體可以為反射型光學(xué)傳感器，用于掃描掩模板上的身份標(biāo)識。
[0060]一般地，用于封框膠固化的掩模板包括遮光區(qū)域和透光區(qū)域，遮光區(qū)域與未切割的顯示面板上的AA區(qū)域完全對應(yīng)。
[0061]參見圖4，圖1所示的自動安裝掩模板系統(tǒng)中的檢測裝置3具體包括:
[0062]檢測基臺31，用于承載待檢測的掩模板；
[0063]圖像采集裝置32，位于檢測基臺31上方，用于采集位于檢測基臺31上的掩模板的圖像信息；圖4中圖像采集裝置32下方帶箭頭的線段表示采集圖像時(shí)的光線；
[0064]圖像處理裝置33，與圖像采集裝置32相連，用于根據(jù)圖像采集裝置32采集的圖像信息，確定掩模板是否合格。
[0065]所述掩模板的遮光區(qū)域?yàn)殄冇芯哂姓诠庾饔玫慕饘倩蚝辖鹉樱喎Q鍍層；所述確定掩模板是否合格包括以下至少一個(gè)方面:
[0066]確定掩模板鍍層與標(biāo)準(zhǔn)掩模板的重合率(例如掩模板鍍層是否存在破損、缺角、移位等)、確定掩模板鍍層厚度的均一性。
[0067]優(yōu)選地，參見圖5，圖像采集裝置32包括:位于檢測基臺31上方的光學(xué)鏡頭VCR321，光學(xué)鏡頭VCR與伸縮桿相連，用于在伸縮桿的控制下，采集掩模板的圖像信息；光學(xué)鏡頭VCR與圖像處理裝置33信號相連；光學(xué)鏡頭VCR優(yōu)選適用于讀取掩模板上的身份標(biāo)識(即Mask ID的讀取)，確定掩模板身份標(biāo)識的正確性。
[0068]優(yōu)選地，圖像采集裝置32還包括:位于檢測基臺31上方的矩陣鏡頭322(即(XD)，矩陣鏡頭CCD與所述伸縮桿相連，用于在伸縮桿的控制下，采集掩模板的圖像信息；矩陣鏡頭CXD與圖像處理裝置33信號相連，矩陣鏡頭CXD優(yōu)選適用于檢測掩模板鍍層是否存在破損、缺角、移位等。
[0069]優(yōu)選地，參見圖5，圖像采集裝置32還包括:位于檢測基臺31上方的紅外探測器323和光學(xué)成像物鏡324 ;紅外探測器323和光學(xué)成像物鏡324不僅可以確定掩模板鍍層的重合率，還可以確定掩模板鍍層厚度的均一性。
[0070]具體地，紅外探測器323和光學(xué)成像物鏡324接受掩模板的紅外輻射能量，將紅外輻射能量分布圖形反映到紅外探測器323的光敏元件上，從而獲得紅外熱像圖，以確定掩模板鍍層厚度的均一性。圖像處理裝置33將所述紅外熱像圖轉(zhuǎn)變?yōu)榭梢晥D像，并在監(jiān)視器上以灰度或偽彩顯示出來，從而得到被測掩模板的溫度分布場信息，通過初步判斷紅外熱像圖的圖形的完整性，可以確定其是否存在破損、缺角、移位等；圖像處理裝置33進(jìn)一步通過計(jì)算溫度分布場中，掩模板(UV Mask )表面鍍層的溫度場面積，準(zhǔn)確計(jì)算出掩模板鍍層的實(shí)際面積(即計(jì)算掩模板上與顯示面板AA區(qū)域?qū)?yīng)的鍍層的面積)，然后與標(biāo)準(zhǔn)面積相比，確定掩模板表面鍍層的完整性；而且紅外熱像圖還可以體現(xiàn)掩模板(UV Mask)表面鍍層厚薄的不均一程度，因?yàn)檠谀０?UV Mask)鍍層厚薄是可以通過溫度場顯示出來的。
[0071]本發(fā)明采用紅外探測器323和光學(xué)成像物鏡324構(gòu)成的圖像采集裝置32，準(zhǔn)確確定掩模板鍍層的面積和均一度。掩模板鍍層的面積和表面鍍層厚度的均一度通過傳統(tǒng)的工業(yè)攝像頭((XD攝像頭)是無法判斷出來的。
[0072]優(yōu)選地，圖像采集裝置32還包括:位于檢測基臺31上方的光源325和位于檢測基臺31下方的光學(xué)檢測傳感器326 ;檢測基臺31為可以透光的平臺。當(dāng)掩模板11置于檢測基臺31上時(shí)，位于掩模板11上方的光源325照射掩模板11，位于檢測基臺31下方的光學(xué)檢測傳感器326檢測來自檢測基臺31的光線，如果掩模板11鍍層區(qū)域漏光，則光學(xué)檢測傳感器326可以感應(yīng)到對應(yīng)區(qū)域的光線，確定掩模板的鍍層圖案存在缺損。
[0073]檢測掩模板鍍層的面積合格性是指檢測掩模板鍍層的面積與標(biāo)準(zhǔn)鍍層的面積的重合率，若重合率在預(yù)設(shè)的范圍內(nèi)，則說明掩模板鍍層的面積合格，否則不合格。
[0074]重合率檢測可以從以下幾方面進(jìn)行:
[0075]鍍層圖形相對標(biāo)準(zhǔn)圖形是否存在旋轉(zhuǎn)；鍍層圖形相對標(biāo)準(zhǔn)圖形是否存在平移，鍍層圖形是否存在缺失。
[0076]如圖6所示，鍍層圖形111相對標(biāo)準(zhǔn)圖形112存在旋轉(zhuǎn)；如圖7所示，鍍層圖形111相對標(biāo)準(zhǔn)圖形112存在寬度為H的平移。如圖8所示，鍍層圖形111相比較標(biāo)準(zhǔn)圖形112
存在缺失。
[0077]優(yōu)選地，參見圖9，檢測裝置具體還包括:
[0078]與圖像處理裝置33相連的檢測控制裝置34，以及與檢測控制裝置34相連的步進(jìn)電機(jī)35 ；
[0079]檢測控制裝置34用于根據(jù)圖像處理裝置33輸出的處理結(jié)果控制與之相連的步進(jìn)電機(jī)35驅(qū)動檢測基臺31移動。
[0080]檢測控制裝置34可以為可編程邏輯控制器(簡稱PLC)，檢測控制裝置34與主控機(jī)(即上述控制裝置)相連，根據(jù)主控機(jī)的指令執(zhí)行檢測任務(wù)。
[0081]還包括:位于檢測基臺31上的對位夾36，用于對掩模板11進(jìn)行對位，便于傳送裝置將對位準(zhǔn)確的掩模板11準(zhǔn)確放置在紫外曝光機(jī)的合適位置。
[0082]還包括:位于檢測基臺31上用于承載掩模板的支撐桿37，支撐桿37的頂部設(shè)置有滾珠，用于在掩模板11相對檢測基臺31移動時(shí)，降低掩模板11與檢測基臺31之間的摩擦力。
[0083]參見圖10，為圖9所示的對位夾36以及對位夾36之間的掩模板11俯視示意圖。
[0084]參見圖11，為位于檢測基臺31上的支撐桿37局部放大示意圖。支撐桿37上設(shè)置有滾珠38。
[0085]本發(fā)明掩模板的安裝過程與現(xiàn)有安裝過程類似，通過吸附方式將掩模板吸附在紫外固化裝置的設(shè)定位置。
[0086]參見圖12，紫外固化裝置包括:用于承載掩模板的下機(jī)臺41、曝光用的紫外光源42和用于吸附掩模板11的吸附裝置43 ；
[0087]其中，下機(jī)臺41上設(shè)置有光強(qiáng)感知裝置44，用于在紫外曝光前對已經(jīng)安裝在吸附裝置43上的掩模板11的鍍層進(jìn)行檢測。
[0088]紫外固化裝置是用于封框膠固化設(shè)備，具體實(shí)施時(shí)，在紫外照射前，開啟紫外光源42照射掩模板下方的下機(jī)臺41 ;光強(qiáng)感知裝置44將感知到的光強(qiáng)信號發(fā)送給控制裝置，控制裝置對比光強(qiáng)信息與標(biāo)準(zhǔn)掩模板曝光時(shí)的光強(qiáng)信息，確定該掩模板是否存在鍍層缺陷。具體地，對比的數(shù)據(jù)是整個(gè)遮光區(qū)的光強(qiáng)均一度，如果光強(qiáng)超過所設(shè)定的閾值，就意味著掩膜板不能夠?qū)⒐庹趽踝?，起不到保護(hù)的作用了。如果存在會及時(shí)停止后續(xù)封框膠紫外曝光流程，發(fā)送信號給控制裝置，控制傳送裝置停止供片，并且發(fā)送相應(yīng)更換信號，在MaskBuffer中找到目前使用的相同型號的掩膜板，及時(shí)更換合適的掩模板，避免對產(chǎn)品造成巨大損失?？刂蒲b置根據(jù)光強(qiáng)信息還可以確定掩模板上遮光區(qū)的透光率，若透光率不符合要求可以及時(shí)停止后續(xù)封框膠紫外曝光流程，及時(shí)更換合適的掩模板。
[0089]較佳地，光強(qiáng)感知裝置44為氫氧化鎳Ni (OH)2和二氧化鈦TiO2薄膜，當(dāng)紫外線照射在鈦-鎳夾層時(shí)，電子從Ni (OH) 2薄膜移向TiO2薄膜，Ni (OH) 2轉(zhuǎn)變?yōu)楦邇r(jià)的鎳的氧化物(Ni3+和Ni4+)，電子的轉(zhuǎn)移形成電流，通過測定電流的大小，來判定紫外曝光運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)下UVMask的狀態(tài)，如果發(fā)生漏光，判定是否為顯示面板的AA區(qū)域，如果是則需要進(jìn)行UV Mask的更換。
[0090]上述光強(qiáng)感知裝置的設(shè)置可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控紫外固化裝置中的掩模板的鍍膜情況，確保掩模板為合格的掩模板。
[0091]本發(fā)明上述實(shí)施例提供的自動安裝掩模板系統(tǒng)，控制裝置控制傳送裝置搬送掩模板，將掩模板先后搬送到所述檢測裝置和紫外固化裝置上，紫外固化裝置安裝所述掩模板，大大提高了安裝掩模板的效率，且節(jié)省了通過人工控制傳送裝置搬送掩模板的人力和物力。[0092]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種自動安裝掩模板系統(tǒng)，其特征在于，包括: 控制裝置、傳送裝置、檢測裝置和紫外固化裝置； 所述控制裝置，用于向所述傳送裝置發(fā)送攜帶當(dāng)前待安裝的掩模板的身份信息的第一控制信號；還用于，在接收到所述檢測裝置發(fā)送的表示掩模板檢測合格的檢測結(jié)果時(shí)，向所述傳送裝置發(fā)送第二控制信號；以及還用于，在接收到所述檢測裝置發(fā)送的表示掩模板檢測不合格的檢測結(jié)果時(shí)，向所述傳送裝置發(fā)送第三控制信號； 所述傳送裝置，用于根據(jù)所述第一控制信號將與所述掩模板的身份信息相應(yīng)的掩模板放置在所述檢測裝置上；還用于，在接收到所述第二控制信號時(shí)，將位于所述檢測裝置上的掩模板傳送給紫外固化裝置；以及還用于，在接收到所述第三控制信號時(shí)，更換檢測裝置上的掩模板； 所述檢測裝置，用于對位于其上的掩模板進(jìn)行質(zhì)量檢測以確定其是否合格，并將檢測合格或檢測不不格的結(jié)果發(fā)送給所述控制裝置； 所述紫外固化裝置，用于安裝傳送裝置傳送來的掩模板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括:疊層設(shè)置的掩模板支撐臺，該掩模板支撐臺的各層用于放置具有掩模板身份信息標(biāo)識的掩模板；所述傳送裝置根據(jù)接收到的第一控制信號，從所述支撐臺上取出與所述第一控制信號中的身份信息相符的掩模板。
3.根據(jù)權(quán)利 要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括一個(gè)或多個(gè)掩模板身份確認(rèn)裝置，與所述傳送裝置通過信令交互，在所述傳送裝置取出所述掩模板之前，通過掩模板身份信息標(biāo)識確認(rèn)所述掩模板，確認(rèn)出的所述掩模板的身份信息與所述第一控制信號中的身份信息相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述掩模板身份確認(rèn)裝置具體包括:信令接口、處理器、端部設(shè)置有傳感器的伸縮桿以及控制該伸縮桿和傳感器一起移動的電機(jī)或電缸； 所述信令接口接收所述傳送裝置發(fā)送的攜帶所述掩模板的身份信息的啟動指令，將所述掩模板的身份信息發(fā)送至所述處理器，并驅(qū)動所述電機(jī)或電缸，使得所述傳感器在所述伸縮桿的帶動下從初始位置移動到每一掩模板設(shè)置有身份標(biāo)識的上方附近，獲取掩模板的身份信息并發(fā)送至所述處理器；當(dāng)處理器比較所述信令接口傳送的掩模板的身份信息與所述傳感器傳送的掩模板的身份信息一致時(shí)，通過所述信令接口通知所述傳送裝置確認(rèn)所述掩模板。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述身份標(biāo)識為二維碼，所述傳感器為二維碼識別傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測裝置包括: 檢測基臺，用于承載待檢測的掩模板； 圖像采集裝置，位于檢測基臺上方，用于采集位于所述檢測基臺上的掩模板的圖像信息； 圖像處理裝置，與所述圖像采集裝置相連，用于根據(jù)所述圖像采集裝置采集的圖像信息與所述掩模板的標(biāo)準(zhǔn)圖像比對，確定掩模板是否合格。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述紫外固化裝置包括:用于承載掩模板的下機(jī)臺； 其中，所述下機(jī)臺上設(shè)置有光強(qiáng)感知裝置，用于在紫外曝光前對已經(jīng)安裝好的掩模板的鍍層是否存在缺陷進(jìn)行檢測。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述 的系統(tǒng)，其特征在于，所述光強(qiáng)感知裝置為氫氧化鎳和二氧化鈦薄膜。
【文檔編號】G02F1/13GK103713472SQ201310699064
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年12月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月18日
【發(fā)明者】井楊坤 申請人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司