本發(fā)明涉及液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置，更具體地涉及用傳感器讀取探頭單元的設(shè)置位置，使探頭單元設(shè)置于正確位置的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置。

背景技術(shù)：

通常，為了易于用肉眼檢查液晶顯示面板(包括液晶或平板顯示器)是否為次品或優(yōu)質(zhì)品，液晶顯示面板的檢查裝置用于根據(jù)液晶顯示面板的尺寸，使用適當(dāng)尺寸的檢查裝置來進(jìn)行檢查，上述探頭單元將顯示面板固定至操作人所處的位置。

作為平板顯示器(flat panel display)的主打產(chǎn)品，液晶顯示面板(TFT-LCD)作為因確保大規(guī)模生產(chǎn)技術(shù)以及研究開發(fā)的成果，迅速向大型化和高分辨率化轉(zhuǎn)型，不僅開發(fā)成筆記本電腦(computer)，而且還開發(fā)成大型顯示屏(monitor)的產(chǎn)品，以替代現(xiàn)有的陰極射線管(cathode ray tube)產(chǎn)品，其在顯示領(lǐng)域中的比重逐漸增大。

在當(dāng)前的信息化社會(huì)中，顯示器作為傳遞視覺信息的媒介，其重要性得到再一次的強(qiáng)調(diào)，尤其隨著所有電子產(chǎn)品的輕薄短小的趨勢(shì)，對(duì)于耗電低、薄型化、輕量化、高清化、便攜性的重要性變得越來越高。

液晶顯示面板不僅能夠性能上滿足這種條件，而且是具有批量生產(chǎn)能力的顯示裝置，因此利用該裝置的各種新產(chǎn)品的生產(chǎn)得到迅速發(fā)展，在電子產(chǎn)業(yè)中的比重暴增，甚至超過半導(dǎo)體，成為下一代主要技術(shù)。

這種上述液晶顯示面板在最終階段執(zhí)行亮燈檢查，其在特定檢查設(shè)備中，利用探頭單元來執(zhí)行液晶顯示面板的數(shù)據(jù)線和柵極線的各個(gè)單線的檢查以及顏色檢查，并且利用顯微鏡等實(shí)施肉眼檢查等。

另一方面，目前液晶顯示面板以30英寸、40英寸、46英寸、52英寸、57英寸等多種尺寸(size)提供，現(xiàn)今已提供用于對(duì)此類多種尺寸的液晶顯示面板均可進(jìn)行檢查的檢查裝置。

在這種液晶顯示面板檢查裝置中，分別設(shè)置用于檢查液晶顯示面板(LCD、LED等)的柵元是否異常的數(shù)據(jù)探頭單元及門關(guān)探頭單元。上述數(shù)據(jù)探頭單元以水平方向(X軸)設(shè)置，門關(guān)探頭單元以垂直方向(Y軸)設(shè)置。

并且，設(shè)置有用于根據(jù)液晶顯示面板的尺寸來移送上述數(shù)據(jù)探頭單元以及門關(guān)探頭單元的移送部件。

上述數(shù)據(jù)探頭單元以及門關(guān)探頭單元設(shè)置于線性引導(dǎo)部，借助移送部件調(diào)整其設(shè)置間距。

這種數(shù)據(jù)探頭單元以及門關(guān)探頭單元設(shè)置于線性引導(dǎo)部，但移送部件與探頭單元相結(jié)合時(shí)，探頭單元的設(shè)置高度不同，因此存在無法良好地實(shí)現(xiàn)移送部件的結(jié)合的問題。

例如，以下專利文獻(xiàn)1中揭示“平板顯示裝置檢查裝備用多規(guī)格面板移送裝置”。

以下，根據(jù)專利文獻(xiàn)1的平板顯示裝置檢查裝備用多規(guī)格面板移送裝置，為了通過攝像頭檢查平板顯示裝置的不良，在經(jīng)過軌道移送平板顯示裝置的檢查裝備用面板移送裝置中，包括：第一標(biāo)桿驅(qū)動(dòng)部，設(shè)置于上述軌道，在上下端中央部分別設(shè)有第一標(biāo)桿，上述第一標(biāo)桿驅(qū)動(dòng)部向Y軸移動(dòng)上述第一標(biāo)桿來改變幅寬；第二標(biāo)桿驅(qū)動(dòng)部，設(shè)置于上述第一標(biāo)桿驅(qū)動(dòng)部的上部面，在左右側(cè)面中央部分別設(shè)有第二標(biāo)桿，上述第一標(biāo)桿驅(qū)動(dòng)部向X軸移動(dòng)上述第二標(biāo)桿來改變幅寬；放置部，設(shè)置于上述第二標(biāo)桿驅(qū)動(dòng)部的上部面，裝設(shè)上述平板顯示裝置，通過上述第一標(biāo)桿和第二標(biāo)桿來固定上述平板顯示裝置；以及水平調(diào)整部，設(shè)置于上述第二標(biāo)桿驅(qū)動(dòng)部與放置部之間，用于調(diào)整上述放置部的水平。

先行技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

(專利文獻(xiàn)1)韓國專利公開號(hào)第10-2013-0006405號(hào)(2013年1月16日公開)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

技術(shù)問題

但是根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的平板顯示裝置檢查裝備用多規(guī)格面板移送裝置，使得與借助旋轉(zhuǎn)氣缸來旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)滑輪相結(jié)合的齒條移動(dòng)，從而調(diào)整位置，因此存在無法正確調(diào)整位置的問題。

本發(fā)明的目的在于，為了解決上述問題而提供一種液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置，其實(shí)現(xiàn)高度相互不同的探頭單元與移動(dòng)上述探頭單元的結(jié)合部件的良好的結(jié)合。

解決問題的方案

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置，其特征在于，包括：多個(gè)驅(qū)動(dòng)部，使得在具有規(guī)定長度的板的兩側(cè)設(shè)置的兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)；多個(gè)移動(dòng)部，設(shè)置于多個(gè)旋轉(zhuǎn)軸，一邊沿著上述旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，一邊對(duì)以規(guī)定間距設(shè)置的探頭單元的位置進(jìn)行檢測(cè)，并使上述探頭單元向正確位置移動(dòng)；多個(gè)探頭單元，以規(guī)定間距設(shè)于上述板上，借助上述移動(dòng)部向正確位置移動(dòng)，上述移動(dòng)部向X軸、Y軸以及Z軸的方向移動(dòng)上述探頭單元。

本發(fā)明的特征在于，上述驅(qū)動(dòng)部包括：多個(gè)馬達(dá)，設(shè)于上述板的左右兩側(cè)；多個(gè)旋轉(zhuǎn)軸，設(shè)置在從上述板兩端到中央的位置，接收到上述馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)力來進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；帶，向上述旋轉(zhuǎn)軸傳遞上述馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)力。

本發(fā)明的特征在于，上述移動(dòng)部包括：移動(dòng)模塊，以能夠沿著上述旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)的方式相結(jié)合；垂直模塊，以能夠進(jìn)行垂直移動(dòng)的方式設(shè)于上述移動(dòng)模塊的一面；水平模塊，以能夠進(jìn)行水平移動(dòng)的方式設(shè)于上述移動(dòng)模塊的底面；空氣連接器，以與上述探頭單元相結(jié)合的方式突出設(shè)于上述水平模塊的底面，并向上述探頭單元供給空氣壓力；光傳感器，用于檢測(cè)上述探頭單元的位置。

本發(fā)明的特征在于，上述水平模塊包括：第一水平模塊，設(shè)有線性引導(dǎo)部；第二水平模塊，以能夠沿著上述線性引導(dǎo)部進(jìn)行水平移動(dòng)的方式相結(jié)合；第一框架，在上述第一水平模塊向上述第二水平模塊突出；引導(dǎo)銷，固定于上述第一框架的一側(cè)；第二框架，突出形成于上述第二水平模塊的上部面，以能夠進(jìn)行移動(dòng)的方式與上述引導(dǎo)銷相結(jié)合；彈性體，設(shè)于上述第一框架與第二框架之間，具有彈性力，使上述第二水平模塊調(diào)整上述探頭單元的位置之后，返回到已設(shè)定的正確位置。

本發(fā)明的特征在于，上述探頭單元設(shè)有制動(dòng)爪，上述制動(dòng)爪被上述光傳感器檢測(cè)，由此檢測(cè)上述探頭單元的位置。

發(fā)明的效果

如上所述，根據(jù)本發(fā)明的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置，可借助移動(dòng)部使探頭單元處于正確位置，并將位于相互不同高度的探頭單元調(diào)整到正確位置，以便良好地執(zhí)行檢查，移動(dòng)部可自如地向X軸、Y軸、Z軸方向移動(dòng)，因此具有與探頭單元的位置無關(guān)地可調(diào)整探頭單元的效果。

附圖說明

圖1為示出根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置的一部分的立體圖；

圖2為示出根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置的一部分的分解立體圖；

圖3為示出據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置的一部分的俯視圖；

圖4為示出根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置的一部分的放大側(cè)視圖。

附圖標(biāo)記的說明：

10－驅(qū)動(dòng)部，11－板，12－馬達(dá)，13－旋轉(zhuǎn)軸，14－帶，20－移動(dòng)部，21－移動(dòng)模塊，22－垂直模塊，23－第一垂直模塊，24－第二垂直模塊，25－水平模塊，26－第一水平模塊，27－第二水平模塊，28－第一框架，29－引導(dǎo)銷，30－第二框架，31－空氣連接器，32－光傳感器，50－探頭單元，51－制動(dòng)爪，52－結(jié)合孔。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖詳細(xì)說明根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置。

圖1為示出根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置的一部分的立體圖，圖2為示出根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置的一部分的分解立體圖。

根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置，包括：多個(gè)驅(qū)動(dòng)部10，使得在具有規(guī)定長度的板11的兩側(cè)設(shè)置的兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸13旋轉(zhuǎn)；多個(gè)移動(dòng)部20，設(shè)置于上述旋轉(zhuǎn)軸13，一邊沿著上述旋轉(zhuǎn)軸13進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，一邊對(duì)以規(guī)定間距設(shè)置的探頭單元1的位置進(jìn)行檢測(cè)，并使上述探頭單元50向正確位置移動(dòng)；多個(gè)探頭單元50，以規(guī)定間距設(shè)于上述板11上，借助上述移動(dòng)部20向正確位置移動(dòng)。

上述移動(dòng)部20向X軸、Y軸以及Z軸的方向移動(dòng)上述探頭單元50，使上述探頭單元50置于正確位置。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置，掃描探頭單元50的位置并存儲(chǔ)設(shè)置位置，當(dāng)探頭單元50不處于正確位置時(shí)，調(diào)整探頭單元50置于正確位置。

如圖1所示，液晶顯示面板檢查裝置設(shè)有多個(gè)數(shù)據(jù)探頭單元50，與此同時(shí)，在數(shù)據(jù)探頭單元50的左右兩側(cè)，向附圖中的垂直方向分別設(shè)有門關(guān)探頭單元(未圖示)。

另一方面，門關(guān)探頭單元以與數(shù)據(jù)探頭單元50相同的方式設(shè)置，以圖1所示的數(shù)據(jù)探頭單元50為基準(zhǔn)進(jìn)行說明。

如圖1及圖2所示，設(shè)置用于調(diào)整探頭單元50的位置的驅(qū)動(dòng)部10。

上述驅(qū)動(dòng)部10在具有規(guī)定尺寸的上述板11的左右兩側(cè)分別設(shè)置有馬達(dá)12。

上述驅(qū)動(dòng)部10包括：多個(gè)馬達(dá)12，設(shè)于上述板11的左右兩側(cè)；多個(gè)旋轉(zhuǎn)軸13，設(shè)置在從上述板11兩端到中央的位置，接收到上述馬達(dá)12的旋轉(zhuǎn)力來進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；帶14，向上述旋轉(zhuǎn)軸13傳遞上述馬達(dá)12的旋轉(zhuǎn)力。

上述板11設(shè)有借助設(shè)于兩側(cè)的馬達(dá)12進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸13，上述旋轉(zhuǎn)軸13以從板11的兩端至中央的長度形成。即，多個(gè)旋轉(zhuǎn)軸13設(shè)于板11的左右兩側(cè)。

在上述旋轉(zhuǎn)軸13的前端設(shè)有馬達(dá)12，上述馬達(dá)12與旋轉(zhuǎn)軸13通過帶14相連接。上述旋轉(zhuǎn)軸13通過帶14接收到馬達(dá)12的旋轉(zhuǎn)力來進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

在上述旋轉(zhuǎn)軸13設(shè)有借助旋轉(zhuǎn)軸13的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)部20。

上述移動(dòng)部20包括：移動(dòng)模塊21，以能夠沿著上述旋轉(zhuǎn)軸13進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)的方式相結(jié)合；垂直模塊22，以可進(jìn)行垂直移動(dòng)的方式設(shè)于上述移動(dòng)模塊21的一面；水平模塊25，以可進(jìn)行水平移動(dòng)的方式設(shè)于上述移動(dòng)模塊22的底面；空氣連接器31，以與上述探頭單元50相結(jié)合的方式突出設(shè)于上述水平模塊25的底面，并向上述探頭單元50供給空氣壓力；光傳感器32，用于檢測(cè)上述探頭單元50的位置。

上述移動(dòng)部20與移動(dòng)模塊21相結(jié)合，上述移動(dòng)模塊21沿著旋轉(zhuǎn)軸13進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，在移動(dòng)模塊21的一面以可向垂直方向移動(dòng)的方式設(shè)有垂直模塊22。上述垂直模塊22與第一垂直模塊23、第二垂直模塊24相結(jié)合，上述第一垂直模塊23固定于移動(dòng)模塊21的一面，上述第二垂直模塊24沿著第一垂直模塊23進(jìn)行垂直移動(dòng)。

若通過設(shè)于第一垂直模塊23的氣閥來供給空氣，則上述第二垂直模塊24可進(jìn)行移動(dòng)。

在上述垂直模塊22的底面設(shè)有可進(jìn)行水平移動(dòng)的水平模塊25。

上述水平模塊25包括：第一水平模塊26，設(shè)有線性引導(dǎo)部；第二水平模塊27，以能夠沿著上述線性引導(dǎo)部進(jìn)行水平移動(dòng)的方式相結(jié)合；第一框架28，在上述第一水平模塊26向上述第二水平模塊27突出；引導(dǎo)銷29，固定于上述第一框架28的一側(cè)；第二框架30，突出形成于上述第二水平模塊27的上部面，以能夠移動(dòng)的方式與上述引導(dǎo)銷29相結(jié)合；彈性體(未圖示)，設(shè)于上述第一框架28與第二框架30之間，具有彈性力，使上述第二水平模塊25調(diào)整上述探頭單元50的位置之后，返回到已設(shè)定的正確位置。

上述水平模塊25由第一水平模塊26和第二水平模塊27構(gòu)成，第二水平模塊27沿著第一水平模塊26向水平方向移動(dòng)。當(dāng)然，上述第一水平模塊26形成有引導(dǎo)第二水平模塊27的移動(dòng)的線性引導(dǎo)部。

在上述第一水平模塊26的底面突出形成有朝向第二水平模塊27的第一框架28，引導(dǎo)銷29突出形成于第一框架28的一側(cè)。

并且，在上述第二水平模塊27突出形成有沿著上述引導(dǎo)銷29移動(dòng)的第二框架30，在引導(dǎo)銷29設(shè)有使第二水平模塊25返回到正確位置的彈性體(未圖示)。

即，彈性體始終使第二水平模塊27恢復(fù)到正確位置，使上述第二水平模塊27移動(dòng)到設(shè)有空氣連接器31的位置。

并且，在第二水平模塊27一側(cè)設(shè)有空氣連接器31，上述空氣連接器31接收由壓縮機(jī)(未圖示)供給的空氣壓力，為了靈活地與形成于探頭單元50的結(jié)合孔52相結(jié)合，空氣連接器31以規(guī)定角度傾斜而成。

這種空氣連接器31不僅排列探頭單元50，而且所要調(diào)整探頭單元50的位置時(shí)，通過與探頭單元50的結(jié)合孔52相結(jié)合來調(diào)整探頭單元50的位置。

在上述移動(dòng)模塊21的底面設(shè)有檢測(cè)探頭單元50的位置的光傳感器32。上述光傳感器32設(shè)于移動(dòng)模塊21并沿著旋轉(zhuǎn)軸13移動(dòng)來進(jìn)行檢測(cè)探頭單元50的位置。

上述光傳感器32檢測(cè)探頭單元50的位置并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)裝置(未圖示)，在擬修改探頭單元50的位置的情況下，用于計(jì)算探頭單元50的移動(dòng)距離。

多個(gè)上述探頭單元50設(shè)于板11，探頭單元50區(qū)分為按照液晶顯示面板的尺寸而使用的探頭單元50和不按照液晶顯示面板的尺寸而使用的探頭單元50來進(jìn)行排列。

即，在液晶顯示面板的尺寸大的情況下，使得設(shè)于板11的探頭單元50整體向所需的位置移動(dòng)來使用，在液晶顯示面板的尺寸小的情況下，向板11的左右兩側(cè)移動(dòng)未使用的探頭單元50。

在上述探頭單元50以與光傳感器32相對(duì)應(yīng)的方式突出形成有制動(dòng)爪51，并形成有與上述空氣連接器31相結(jié)合的結(jié)合孔52。

在上述探頭單元50設(shè)有制動(dòng)爪51，上述制動(dòng)爪51被上述光傳感器32檢測(cè)，由此檢測(cè)上述探頭單元50的位置。

以下，參考圖1至圖4，詳細(xì)描述根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置的操作方法。

圖3為示出根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置的一部分的俯視圖，圖4為示出根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置的一部分放大側(cè)視圖。

如圖1至圖4所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的液晶顯示面板檢查裝置的探頭單元位置調(diào)整裝置，使驅(qū)動(dòng)部10分別設(shè)于板11的兩側(cè)，驅(qū)動(dòng)部10通過帶14傳遞設(shè)于板11的馬達(dá)12的旋轉(zhuǎn)力來使旋轉(zhuǎn)軸13旋轉(zhuǎn)。

在上述旋轉(zhuǎn)軸13設(shè)有用于移動(dòng)探頭單元50的移動(dòng)部20，移動(dòng)部20沿著旋轉(zhuǎn)軸13以能夠往復(fù)移動(dòng)的方式與移動(dòng)模塊21相結(jié)合。這種移動(dòng)模塊21沿著旋轉(zhuǎn)軸13移動(dòng)，因此以能夠向圖1中的X軸移動(dòng)的方式相結(jié)合。

在上述移動(dòng)模塊21設(shè)有向垂直方向(圖1中的Y軸)移動(dòng)的垂直模塊22。在上述垂直模塊22的底面設(shè)有向圖1中的Z軸方向移動(dòng)的水平模塊25。

上述水平模塊25由第一水平模塊26和第二水平模塊27構(gòu)成，水平模塊25用于調(diào)整探頭單元50的高度(Z軸)。即，探頭單元50設(shè)于板11上，但其高度各不相同時(shí)，設(shè)于水平模塊25的空氣連接器31與探頭單元50的結(jié)合孔52相結(jié)合，由此可調(diào)整高度。

在上述第一水平模塊26形成有向第二水平模塊27突出的第一框架28，第一框架28用于固定具有規(guī)定長度的引導(dǎo)銷29。

在上述第二水平模塊27形成有沿著上述引導(dǎo)銷29引導(dǎo)的第二框架30，在第一框架28與第二框架30之間的引導(dǎo)銷29設(shè)有彈性體(未圖示)，上述彈性體使第二水平模塊27向已設(shè)定的正確位置復(fù)位。

上述彈性體使第二水平模塊27始終恢復(fù)到正確位置，在調(diào)整探頭單元50的高度時(shí)，可在設(shè)定的位置正確地調(diào)整探頭單元50的高度。

在上述第二水平模塊27設(shè)有與探頭單元50的結(jié)合孔52相結(jié)合的空氣連接器31，在移動(dòng)模塊21設(shè)有用于檢測(cè)探頭單元50的位置的光傳感器32。

上述光傳感器32借助移動(dòng)模塊21沿著旋轉(zhuǎn)軸13向長度方向(X軸)進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，并借助光傳感器32檢測(cè)制動(dòng)爪51的位置，由此檢測(cè)各個(gè)探頭單元50的位置。

在上述光傳感器32中檢測(cè)到的探頭單元50的位置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于存儲(chǔ)裝置(未圖示)，在調(diào)整探頭單元50的位置時(shí)，上述數(shù)據(jù)用于計(jì)算移動(dòng)量。

上述驅(qū)動(dòng)部10通過施加于馬達(dá)12的電源來使旋轉(zhuǎn)軸13旋轉(zhuǎn)。隨著上述旋轉(zhuǎn)軸13的旋轉(zhuǎn)，移動(dòng)部20的移動(dòng)模塊21沿著旋轉(zhuǎn)軸13進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)。

設(shè)于進(jìn)行如上移動(dòng)的移動(dòng)部20的光傳感器32一邊移動(dòng)，一邊檢測(cè)各探頭單元50的位置。上述光傳感器32一邊通過探頭單元50的制動(dòng)爪51，一邊檢測(cè)探頭單元50的位置并存儲(chǔ)于存儲(chǔ)裝置。

上述移動(dòng)部20沿著旋轉(zhuǎn)軸13移動(dòng)并檢測(cè)各探頭單元50的位置之后，判別探頭單元50是否處于正確位置，并向所要調(diào)整位置的探頭單元50移動(dòng)。

向所要調(diào)整的上述位置移動(dòng)的移動(dòng)部20借助移動(dòng)模塊21朝向該探頭單元50沿著X軸方向移動(dòng)，進(jìn)行移動(dòng)的移動(dòng)部20的移動(dòng)模塊21垂直模塊22朝向探頭單元50沿著Y軸方向下降或上升。

如上，在移動(dòng)部20朝向探頭單元50沿著X軸方向以及Y軸方向進(jìn)行移動(dòng)的狀態(tài)下，空氣連接器31借助水平模塊25朝向探頭單元50沿著Z軸方向移動(dòng)。

上述空氣連接器31借助水平模塊27向探頭單元50的結(jié)合孔52移動(dòng)，在空氣連接器31與結(jié)合孔52相結(jié)合的狀態(tài)下，移動(dòng)部20向所要移動(dòng)的方向(X軸、Y軸、Z軸)移動(dòng)，以所要移動(dòng)探頭單元50的方向及距離進(jìn)行移動(dòng)，來調(diào)整探頭單元50的位置。

若上述移動(dòng)部20向X軸、Y軸、Z軸移動(dòng)，探頭單元50復(fù)位到正確位置，則在完成探頭單元50的移動(dòng)的狀態(tài)下，空氣連接器31從結(jié)合孔52分離。

如上，使空氣連接器52后退之后，向所要調(diào)整位置的探頭單元50進(jìn)行移動(dòng)，反復(fù)地使探頭單元50位于正確位置。

以上，根據(jù)上述實(shí)施例對(duì)于本發(fā)明人構(gòu)成的發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)說明，但本發(fā)明并不限于上述實(shí)施例，在不超過其要素的范圍內(nèi)可進(jìn)行各種變更。