1.一種掩膜板；所述掩膜板包括：完全透光區(qū)和完全不透光區(qū)；其特征在于，在所述完全透光區(qū)和所述完全不透光區(qū)之間的交界位置形成有用于與掩膜形成的開口圖案的邊界斜坡位置相對應(yīng)的能夠使得光部分透過的部分透光區(qū)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，
所述部分透光區(qū)包括能夠使得光透過時(shí)發(fā)生光衍射現(xiàn)象的光衍射結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板，其特征在于，
所述光衍射結(jié)構(gòu)包括：
在所述完全透光區(qū)和所述完全不透光區(qū)的交界位置處，沿所述完全透光區(qū)和所述完全不透光區(qū)的交界線間隔排列的多個(gè)衍射突起塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜板，其特征在于，
相鄰兩個(gè)衍射突起塊之間的間隙為能夠使得在相鄰兩個(gè)衍射突起塊之間發(fā)生光衍射現(xiàn)象的第一預(yù)設(shè)間隙，所述第一預(yù)設(shè)間隙小于掩膜工藝所采用的曝光機(jī)的分辨率。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜板，其特征在于，
所述衍射突起塊的形狀為三角形，多個(gè)所述衍射突起塊呈鋸齒狀排列，且從靠近所述完全透光區(qū)一側(cè)到靠近所述完全不透光區(qū)的一側(cè)的方向上，相鄰兩個(gè)衍射突起塊之間的距離逐漸減小。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩膜板，其特征在于，
所述衍射突起塊與所述掩膜板的完全不透光區(qū)采用的材料相同，并連接為一體結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板，其特征在于，
所述光衍射結(jié)構(gòu)包括衍射遮光環(huán)，所述衍射遮光環(huán)環(huán)繞所述完全透光區(qū)和所述完全不透光區(qū)的交界線設(shè)置，并與所述完全不透光區(qū)的邊緣之間具有第二預(yù)設(shè)間隙。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩膜板，其特征在于，
所述第二預(yù)設(shè)間隙能夠使得光透過時(shí)發(fā)生光衍射現(xiàn)象，且所述第二預(yù)設(shè)間隙小于掩膜工藝所采用的曝光機(jī)的分辨率。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩膜板，其特征在于，
所述衍射遮光環(huán)為與所述掩膜板的完全不透光區(qū)采用相同的材料形成的完全不透光的矩形或圓形環(huán)狀結(jié)構(gòu)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板，其特征在于，
所述部分透光結(jié)構(gòu)包括：在所述完全透光區(qū)和所述完全不透光區(qū)的交界位置處設(shè)置的半透光膜。