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      一種金屬?半導(dǎo)體雙納米線型混合表面等離子波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的制作方法

      文檔序號(hào):11580625閱讀:189來(lái)源:國(guó)知局

      本發(fā)明涉及光通信技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種金屬-半導(dǎo)體雙納米線型混合表面等離子波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。



      背景技術(shù):

      表面等離子體激元(surfaceplasmonpolaritons,簡(jiǎn)稱spp)是通過(guò)改變金屬表面的亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)的一種光波與可遷移的表面電荷之間電磁模,可以支持金屬與介質(zhì)界面?zhèn)鬏數(shù)谋砻娴入x子波,從而傳輸光能量,且不受衍射極限的限制。正因?yàn)閟pps這種獨(dú)特的性質(zhì),使其在納米量級(jí)操縱光能量發(fā)揮著重要的作用。尤其以浙江大學(xué)與瑞典皇家理工學(xué)院阿爾芬實(shí)驗(yàn)室課題組合作在“novelsurfaceplasmonwaveguideforhighintegrations”一文提出的金屬槽spps波導(dǎo),設(shè)計(jì)的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)亞波長(zhǎng)量級(jí)的光場(chǎng)限制,損耗僅僅為。然而盡管研究人員實(shí)現(xiàn)了將光場(chǎng)約束到幾十納米的量級(jí),但設(shè)計(jì)的波導(dǎo)器件損耗依然很大,無(wú)法達(dá)到大規(guī)模應(yīng)用的要求。《自然·材料》在2015年刊載了“solution-grownnanowiresmakethebestlasers”一文,哥倫比亞大學(xué)的xiaoyangzhu合作團(tuán)隊(duì)報(bào)道了一種由單晶鉛鹵鈣鈦礦納米線制備的室溫下波長(zhǎng)可調(diào)的spp激光器。然而目前spp波導(dǎo)結(jié)構(gòu)傳播距離依然非常有限,達(dá)不到實(shí)現(xiàn)高集成光通信的要求。

      目前對(duì)于納米線類spp波導(dǎo)大都集中在其中一種納米線的應(yīng)用與分析,對(duì)于他們之間的相互作用報(bào)道較少。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,而提供一種金屬-半導(dǎo)體雙納米線型混合表面等離子波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。這種波導(dǎo)結(jié)構(gòu)能夠提高更強(qiáng)的局域化約束,具備為表面等離子激勵(lì)電路提供基本單元器件,從而實(shí)現(xiàn)更大的帶寬超快數(shù)據(jù)傳輸。

      實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案是:

      一種金屬-半導(dǎo)體雙納米線型混合表面等離子波導(dǎo)結(jié)構(gòu),包括自下而上順序疊接的二氧化硅基底、低折射率緩沖層、低折射率介質(zhì)包層和金屬ag納米帶頂層,所述低折射率緩沖層中設(shè)有對(duì)稱掩埋的第一納米線和第二納米線,第一納米線和第二納米線之間刻蝕有低折射率介質(zhì)連通間隙。

      所述低折射率緩沖層為sio2層。

      所述第一納米線和第二納米線均為高折射率ingaasp納米線。

      所述低折射率介質(zhì)為mgf2介質(zhì)。

      入射光從側(cè)面以任一角度衍射到波導(dǎo),金屬ag納米帶頂層的ag納米帶與ingaasp雙納米線發(fā)生耦合,使mgf2處的場(chǎng)得到極大增強(qiáng)。

      所述雙ingaasp納米線第一納米線和第二納米線間刻蝕mgf2間隙,會(huì)在間隙中產(chǎn)生次強(qiáng)局域化現(xiàn)象,此處局域化產(chǎn)生的場(chǎng)和ag納米帶與ingaasp納米線耦合產(chǎn)生的場(chǎng)相互疊加,出現(xiàn)高度局域化。

      金屬ag納米帶與其他金屬相比具有更低的損耗。

      半導(dǎo)體材料ingaasp能夠?yàn)閟pp損耗提供一定的增益補(bǔ)償,會(huì)在mgf2處連通域內(nèi)的光子局域化現(xiàn)象進(jìn)一步提高。

      金屬ag納米帶、ingaasp納米線具有較低的增益閾值,間隙寬度較大時(shí),這種波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的增益閾值能降得非常低,更容易實(shí)現(xiàn)低閾值的納米激光器。

      mgf2連通間隙,為的是實(shí)現(xiàn)更低的傳輸損耗,產(chǎn)生增強(qiáng)效應(yīng)將光主要限制在其中,從而實(shí)現(xiàn)高度局域化增強(qiáng)效應(yīng)和能量約束。

      所述第一納米線和第二納米線,采用室溫固相反應(yīng)法制備。

      這種結(jié)構(gòu)通過(guò)納米線之間的相互耦合、半導(dǎo)體材料增益提高spp強(qiáng)局域效應(yīng),能夠通過(guò)調(diào)節(jié)間隙寬度、mgf2厚度和納米線半徑實(shí)現(xiàn)控制spp模式耦合強(qiáng)度,可以在亞波長(zhǎng)尺寸條件下實(shí)現(xiàn)低閾值出射激光的特性。

      這種波導(dǎo)結(jié)構(gòu)可以為表面等離子領(lǐng)域提供高性能的微腔和可集成的新型有源器件。

      這種波導(dǎo)結(jié)構(gòu)能夠提高更強(qiáng)的局域化約束,具備為表面等離子激勵(lì)電路提供基本單元器件,從而實(shí)現(xiàn)更大的帶寬超快數(shù)據(jù)傳輸。

      附圖說(shuō)明

      圖1為實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖中,1.sio2基底層2.緩沖層3-1.第一納米線3-2.第二納米線4.介質(zhì)包層5.金屬ag納米帶頂層。

      具體實(shí)施方式

      下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明內(nèi)容作進(jìn)一步闡述,但不是對(duì)本發(fā)明的限定限定。

      實(shí)施例:

      參照?qǐng)D1,一種金屬-半導(dǎo)體雙納米線型混合表面等離子波導(dǎo)結(jié)構(gòu),包括自下而上順序疊接的二氧化硅基底1、低折射率緩沖層2、低折射率介質(zhì)包層4和金屬ag納米帶頂層5,所述低折射率緩沖層2中設(shè)有對(duì)稱掩埋的第一納米線3-1和第二納米線3-2,第一納米線3-1和第二納米線3-2之間刻蝕有低折射率介質(zhì)連通間隙。

      所述低折射率緩沖層2為sio2層。

      所述第一納米線3-1和第二納米線3-2均為高折射率ingaasp納米線。

      所述低折射率介質(zhì)為mgf2介質(zhì)。

      入射光從側(cè)面以任一角度衍射到波導(dǎo),金屬ag納米帶頂層5的ag納米帶與ingaasp雙納米線發(fā)生耦合,使mgf2處的場(chǎng)得到極大增強(qiáng)。

      所述的雙ingaasp納米線第一納米線3-1和第二納米線3-2間刻蝕mgf2間隙,會(huì)在間隙中產(chǎn)生次強(qiáng)局域化現(xiàn)象,此處局域化產(chǎn)生的場(chǎng)和ag納米帶與ingaasp納米線耦合產(chǎn)生的場(chǎng)相互疊加,出現(xiàn)高度局域化。

      金屬ag納米帶與其他金屬相比具有更低的損耗。

      半導(dǎo)體材料ingaasp能夠?yàn)閟pp損耗提供一定的增益補(bǔ)償,會(huì)在mgf2處連通域內(nèi)的光子局域化現(xiàn)象進(jìn)一步提高。

      金屬ag納米帶、ingaasp納米線具有較低的增益閾值,間隙寬度較大時(shí),這種波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的增益閾值能降得非常低,更容易實(shí)現(xiàn)低閾值的納米激光器。

      mgf2連通間隙,為的是實(shí)現(xiàn)更低的傳輸損耗,產(chǎn)生增強(qiáng)效應(yīng)將光主要限制在其中,從而實(shí)現(xiàn)高度局域化增強(qiáng)效應(yīng)和能量約束。

      所述第一納米線3-1和第二納米線3-2,采用室溫固相反應(yīng)法制備。

      這種結(jié)構(gòu)通過(guò)納米線之間的相互耦合、半導(dǎo)體材料增益提高spp強(qiáng)局域效應(yīng),能夠通過(guò)調(diào)節(jié)間隙寬度、mgf2厚度和納米線半徑實(shí)現(xiàn)控制spp模式耦合強(qiáng)度,可以在亞波長(zhǎng)尺寸條件下實(shí)現(xiàn)低閾值出射激光的特性。



      技術(shù)特征:

      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明公開(kāi)了一種金屬?半導(dǎo)體雙納米線型混合表面等離子波導(dǎo)結(jié)構(gòu),其特征是,包括自下而上順序疊接的二氧化硅基底、低折射率緩沖層、低折射率介質(zhì)包層和金屬Ag納米帶頂層,所述低折射率緩沖層中設(shè)有對(duì)稱掩埋的第一納米線和第二納米線,第一納米線和第二納米線之間刻蝕有低折射率介質(zhì)連通間隙。這種波導(dǎo)結(jié)構(gòu)能夠提高更強(qiáng)的局域化約束,具備為表面等離子激勵(lì)電路提供基本單元器件,從而實(shí)現(xiàn)更大的帶寬超快數(shù)據(jù)傳輸。

      技術(shù)研發(fā)人員:朱君;徐政杰;秦柳麗;傅得立
      受保護(hù)的技術(shù)使用者:廣西師范大學(xué)
      技術(shù)研發(fā)日:2017.05.24
      技術(shù)公布日:2017.08.11
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