專利名稱:實(shí)時監(jiān)控有效顯影液濃度的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液晶、IC光刻制程中顯影工藝，尤其涉及一種實(shí)時監(jiān)控有效顯影液濃度的方法。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有技術(shù)中，顯影液的濃度實(shí)時監(jiān)控有兩種方法。第一種方法是用導(dǎo)電率測量計算顯影液濃度，和用吸光光度法計算顯影液中光阻濃度，通過以上兩種濃度來監(jiān)控管理光刻制程中顯影液。第兩種方法是用中和滴定法測量顯影液濃度，用吸光光度法來計算顯影液中光阻濃度，通過以上兩種濃度來監(jiān)控管理光刻制程中顯影液。
但是在實(shí)際過程中，由于空氣中二氧化碳會逐漸溶解于堿性顯影液中，導(dǎo)致電導(dǎo)率法測量到的離子濃度包含了碳酸根濃度，實(shí)際上的活性顯影液濃度比表觀顯影液濃度低，無法在實(shí)際生產(chǎn)中真正監(jiān)控顯影液濃度。中和滴定法可以準(zhǔn)確測量活性顯影液濃度，但是目前該技術(shù)經(jīng)常發(fā)生滴定管堵塞故障，同樣會導(dǎo)致生產(chǎn)中斷。
因此，有必要開發(fā)出一種新型的實(shí)時監(jiān)控有效顯影液濃度的方法。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明公開了一種實(shí)時監(jiān)控有效顯影液濃度的方法，該方法為通過測量導(dǎo)電率來測量表觀顯影液濃度[TM′]，其特征在于通過分光光度法測量碳酸根濃度[CO32-]，再通過式I計算出有效顯影液濃度[TM]式I [TM]＝[TM′]-2[CO32-]。
因在本發(fā)明中考慮到碳酸根濃度[CO32-]的影響而可以精確、實(shí)時地得到實(shí)際的有效顯影液濃度[TM]。在不增加工藝步驟的條件下，將吸光光度法改為分光光度法(現(xiàn)有技術(shù))，不但可以測量碳酸根濃度[CO32-]，還可以測量監(jiān)控光阻濃度[PR]，從而可以有效監(jiān)控管理光刻制程中顯影液。
其中，在實(shí)時監(jiān)控之前，對碳酸根和光阻濃度的測量進(jìn)行擬和，分別得到兩者的吸收光譜和吸光度與濃度的關(guān)系。
本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于通過本發(fā)明的實(shí)時監(jiān)控有效顯影液濃度的方法可以簡單地、有效地、更準(zhǔn)確地測量出顯影液的實(shí)際濃度；本發(fā)明的方法可適用于液晶、半導(dǎo)體光刻制程中的顯影液的實(shí)時監(jiān)控和管理。
具體實(shí)施方式實(shí)施例1在實(shí)時監(jiān)控之前，對碳酸根和光阻濃度的測量進(jìn)行擬和，分別得到兩者的吸收光譜和吸光度與濃度的關(guān)系。
通過測量導(dǎo)電率來測量表觀顯影液濃度[TM′]，通過分光光度法測量碳酸根濃度[CO32-]，同時還得到光阻濃度[PR]，再通過式I計算出有效顯影液濃度[TM]式I [TM]＝[TM′]-2[CO32-]，從而可以對液晶、半導(dǎo)體光刻制程中的顯影液進(jìn)行實(shí)時監(jiān)控和管理。
權(quán)利要求
1.一種實(shí)時監(jiān)控有效顯影液濃度的方法，該方法為通過測量導(dǎo)電率來測量表觀顯影液濃度[TM′]，其特征在于用分光光度法測量碳酸根濃度[CO32-]，再通過式I計算出有效顯影液濃度[TM]式I [TM]＝[TM′]-2[CO32-]。
專利摘要
本發(fā)明公開了一種實(shí)時監(jiān)控有效顯影液濃度的方法，該方法為通過測量導(dǎo)電率來測量表觀顯影液濃度[TM′]，其特征在于用分光光度法測量碳酸根濃度[CO
文檔編號H01L21/02GK1996152SQ200510112266
公開日2007年7月11日 申請日期2005年12月28日
發(fā)明者徐華偉 申請人:上海廣電Nec液晶顯示器有限公司導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan