專利名稱:一種徑向漸變?yōu)V光鏡的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及于光學(xué)濾光鏡片的制作方法。
物鏡視場角大的光學(xué)儀器其像面的照度非常不均勻,尤其在放大系統(tǒng)中更是如此。一般都采用面光源來解決照度的均勻性,但又帶來了整個光學(xué)儀器體積龐大、重量重、攜帶十分不方便、而且造價高等一系列不足之處,尤其是在光學(xué)儀器對重量體積有限制的條件下,采用面光源則無法滿足要求。雖然點光源能引起照度的不均性,但其卻能使光學(xué)儀器的體積縮小、重量減輕、造價降低。
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠使點光源的照度均勻,制作徑向漸變?yōu)V光鏡的方法。
本發(fā)明的解決技術(shù)方案是這樣完成的,徑向漸變?yōu)V光鏡的制作方法如下,首先要求將鍍膜材料的蒸發(fā)與鏡片襯底用隔板隔開,在隔板中部開有蒸鍍小孔,并使鏡片襯底的中心對準(zhǔn)蒸鍍小孔,在抽真空后,蒸鍍材料即通過蒸鍍小孔沖擊在襯底的中心表層,并往邊部漸漸擴散,隨著積累自然就形成了中心厚邊部薄的膜層。
由于本發(fā)明用真空蒸鍍的方法制作濾光鏡的濾光膜層,制作出的徑向漸變?yōu)V光鏡能夠使點光源光線經(jīng)過徑向漸變?yōu)V光鏡后強度變?yōu)橐恢拢鉀Q了點光源照度不均勻的問題,從而能使光學(xué)儀器的體積縮小、重量減輕、造價降低。
下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明制作徑向漸變?yōu)V光鏡的方法作以詳細說明
圖1為利用本發(fā)明制作的徑向漸變?yōu)V光鏡的結(jié)構(gòu)示意圖,圖中1為濾光鏡片襯底,2為濾光膜層。
本發(fā)明的徑向漸變?yōu)V光鏡制作方法如下,首先要求將鍍膜材料的蒸發(fā)源與鏡片襯底用隔板隔開,在隔板中部開有蒸鍍小孔,并使鏡片襯底的中心對準(zhǔn)蒸鍍小孔,在抽真空后,蒸鍍材料通過蒸鍍小孔沖擊在襯底的中心表層,并且往邊部漸漸擴散,隨著積累自然就形成了中心厚邊部薄的膜層;若將襯底沿中心旋轉(zhuǎn)隔板橫向來回移動其蒸鍍的膜層效果會更好。
本發(fā)明所制作出的徑向漸變?yōu)V光鏡是用于放置在光學(xué)儀器的物鏡前,當(dāng)然在制作過程中,其材料的純度、材料的蒸發(fā)速度鏡片襯底的旋轉(zhuǎn)速度、真空度的大小,以及襯底溫度的選擇都非常重要,當(dāng)發(fā)生上述變化時,應(yīng)對開孔隔板的形狀進行修正,通常其采用的是當(dāng)蒸發(fā)速率穩(wěn)定,襯底旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定,真空度在2×10-5μ的條件下,成膜的厚度d與襯底暴露的時間才呈正比d∝t,當(dāng)光強=1時,光損失(反射率R+吸收率A),造光率T是互補的,(R+A)+T=1。
假設(shè)半徑為4mm在360°范圍內(nèi)是一層均勻厚的膜,其造光率為50%,即光損失為50%,此時,隔板的開角Q=360°,隔板角Q2=0°作為標(biāo)準(zhǔn)來控制膜層的厚度,根據(jù)光損失與開角呈正比(R+A)∝Q,以不同半徑上的造光率計算出不同半徑上的隔板角。
權(quán)利要求
1.一種徑向漸變?yōu)V光鏡的制作方法,其特征在于,首先要求將鍍膜材料的蒸發(fā)源與鏡片襯底用隔板隔開,在隔板中部開有小孔,并使鏡片襯底中心對準(zhǔn)蒸鍍小孔,鏡片襯底的中心表層,并往邊部漸漸擴散,隨著積累就形成了中心厚邊部薄的膜層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的徑向漸變?yōu)V光鏡的制作方法,其特征在于,襯底可沿中心旋轉(zhuǎn),隔板橫向來回移動。
全文摘要
一種徑向漸變?yōu)V光鏡的制作方法,首先要求將鍍膜材料的蒸發(fā)源與鏡片襯底用隔板隔開,在隔板中部開有蒸鍍小孔,并使鏡片襯底的中心對準(zhǔn)蒸鍍小孔,鏡片襯底在抽真空后,蒸鍍材料即通過蒸鍍小孔沖擊襯底的中心表層,并往邊部漸漸擴散,隨著積累就形成了中心厚邊部薄的膜層,用其方法制作出的徑向漸變?yōu)V光鏡解決了點光源照度不均勻的問題。
文檔編號G02B5/20GK1251903SQ9811299
公開日2000年5月3日 申請日期1998年10月20日 優(yōu)先權(quán)日1998年10月20日
發(fā)明者姚莉 申請人:中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所