液晶顯示像素結(jié)構(gòu)及其制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種液晶顯示像素結(jié)構(gòu)及其制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)具有機(jī)身薄、省電、無福射等眾多優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用。如:液晶電視、移動電話、個人數(shù)字助理(PDA)、數(shù)字相機(jī)、計(jì)算機(jī)屏幕或筆記本電腦屏幕等，在平板顯示領(lǐng)域中占主導(dǎo)地位。
[0003]現(xiàn)有市場上的液晶顯示器大部分為背光型液晶顯示器，其包括殼體、設(shè)于殼體內(nèi)的液晶顯示面板及設(shè)于殼體內(nèi)的背光模組。液晶顯示面板是液晶顯示器的主要組件，但液晶顯示面板本身不發(fā)光，需要借由背光模組提供的光源來正常顯示影像。通常液晶顯示面板由一彩色濾光片基板(Color Filter, CF)、一薄膜晶體管陣列基板(Thin FilmTransistor Array Substrate，TFT Array Substrate)以及一配置于兩基板間的液晶層(Liquid Crystal Layer)所構(gòu)成，并在兩基板的相對內(nèi)側(cè)設(shè)置像素電極、公共電極，通過施加電壓控制液晶分子改變方向，將背光模組的光線折射出來產(chǎn)生畫面。
[0004]隨著液晶顯示面板行業(yè)的快速發(fā)展，液晶顯示面板的尺寸越做越大，用戶對廣視角、低色偏、低能耗的要求也越來越高，從而TFT器件及像素設(shè)計(jì)也多樣化發(fā)展。目前，現(xiàn)有技術(shù)大多采用多疇(multi domain)顯示的像素設(shè)計(jì)來改善液晶顯示面板在大視角下的色偏程度，一般有4疇、8疇。在像素電極圖案化設(shè)計(jì)上8疇與4疇基本上沒有差異，8疇需要將一個子像素劃分為主像素(Main Pixel)和次像素(Sub Pixel)兩個區(qū)域，通過一個子像素內(nèi)主像素區(qū)域與次像素區(qū)域的壓差使得兩個4疇的液晶旋轉(zhuǎn)量不同而形成8疇，進(jìn)一步地，一個子像素內(nèi)主像素區(qū)域與次像素區(qū)域的壓差主要是通過下拉分享電容分享次像素區(qū)域的電荷實(shí)現(xiàn)。
[0005]圖1所示為一種現(xiàn)有的液晶顯示像素結(jié)構(gòu)的平面俯視示意圖，一個子像素被劃分為主像素區(qū)域和次像素區(qū)域，每一次像素區(qū)域內(nèi)包括一下拉分享電容ClO與對應(yīng)連接下拉分享電容ClO的下拉分享控制TFT TlO0其中，所述下拉分享電容ClO的兩電極板分別為:與柵極掃描線110位于同一層且共同由第一金屬層形成的金屬電極板150、與次像素電極610位于同一層且共同由透明導(dǎo)電薄膜形成的透明電極板630。所述金屬電極板150—體連接公共電壓線170。所述下拉分享控制TFT TlO包括柵極130、島狀有源層300、源極410、及漏極430，其中柵極130 —體連接?xùn)艠O掃描線110，島狀有源層300設(shè)于覆蓋柵極130、柵極掃描線110、金屬電極板150、與公共電壓線170的柵極絕緣層(圖1中未圖示)上；所述源極410、漏極430、與數(shù)據(jù)線450位于柵極絕緣層上且共同由第二金屬層形成，所述源極410、漏極430分別連接島狀有源層300。一鈍化層(圖1中未圖示)覆蓋島狀有源層300、源極410、漏極430、數(shù)據(jù)線450、及柵極絕緣層。所述次像素電極610與透明電極板630均設(shè)于所述鈍化層上，次像素電極610通過一貫穿鈍化層的過孔510連接所述下拉分享控制TFT TlO的源極410，透明電極板630通過另一貫穿鈍化層的過孔510連接所述下拉分享控制TFT TlO的漏極430。
[0006]圖2所示為對應(yīng)于圖1中下拉分享電容ClOA-A處的剖面結(jié)構(gòu)示意圖，由于金屬電極板150與透明電極板630之間由柵極絕緣層200與鈍化層500這兩層結(jié)構(gòu)來進(jìn)行絕緣，使得金屬電極板150與透明電極板630之間的間距較大，因此下拉分享電容ClO的面積較大，影響像素開口率，背光能耗大，成本較高。
[0007]請參閱圖3、圖4，結(jié)合圖1與圖2，制作如圖1所示的現(xiàn)有的液晶顯示像素結(jié)構(gòu)時，首先沉積并圖案化第一金屬層形成柵極掃描線110、柵極130、金屬電極板150與公共電壓線170 ;然后沉積柵極絕緣層；再在柵極絕緣層上形成島狀有源層300 ;接著沉積并圖案化第二金屬層形成源極410、漏極430及數(shù)據(jù)線450 ;再沉積并圖案化鈍化層形成兩個貫穿鈍化層的過孔510;最后沉積并圖案化透明導(dǎo)電薄膜形成次像素電極610、與透明電極板630。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種液晶顯示像素結(jié)構(gòu)，能夠減小次像素區(qū)域內(nèi)的下拉分享電容的面積，增大像素開口率，節(jié)約能耗，降低成本。
[0009]本發(fā)明的目的還在于提供一種液晶顯示像素結(jié)構(gòu)的制作方法，能夠減小次像素區(qū)域內(nèi)的下拉分享電容的面積，增大像素開口率，節(jié)約能耗，降低成本。
[0010]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種液晶顯示像素結(jié)構(gòu)，一個子像素被劃分為主像素區(qū)域和次像素區(qū)域，每一次像素區(qū)域內(nèi)包括一下拉分享電容與對應(yīng)連接下拉分享電容的下拉分享控制TFT ;
[0011]所述下拉分享控制TFT包括柵極、島狀有源層、源極、及漏極；
[0012]所述下拉分享電容的兩電極板分別為:與下拉分享控制TFT的源極、漏極、及數(shù)據(jù)線位于同一層且共同由第二金屬層形成的金屬電極板、與次像素電極位于同一層且共同由透明導(dǎo)電薄膜形成的透明電極板；所述金屬電極板與透明電極板之間僅間隔一鈍化層。
[0013]所述下拉分享控制TFT的柵極一體連接?xùn)艠O掃描線；
[0014]公共電壓線與所述下拉分享控制TFT的柵極、及柵極掃描線位于同一層且共同由第一金屬層形成；
[0015]所述源極、漏極分別連接島狀有源層；所述下拉分享控制TFT的島狀有源層、源極、漏極、數(shù)據(jù)線、及金屬電極板均設(shè)于覆蓋柵極、柵極掃描線、與公共電壓線的柵極絕緣層上;
[0016]所述柵極絕緣層對應(yīng)所述金屬電極板的區(qū)域內(nèi)設(shè)有一貫穿該柵極絕緣層的第一過孔，所述述金屬電極板經(jīng)由第一過孔連接公共電壓線；
[0017]所述鈍化層覆蓋所述下拉分享控制TFT的島狀有源層、源極、漏極、數(shù)據(jù)線、金屬電極板、及柵極絕緣層；
[0018]所述次像素電極與透明電極板均設(shè)于所述鈍化層上，次像素電極經(jīng)由一貫穿該鈍化層的第二過孔連接所述下拉分享控制TFT的源極，透明電極板經(jīng)由貫穿該鈍化層的第三過孔連接所述下拉分享控制TFT的漏極。
[0019]所述金屬電極板、鈍化層、與透明電極板對應(yīng)于所述第一過孔的區(qū)域均朝向該第一過孔凹陷。
[0020]所述第一過孔、第二過孔、與第三過孔的形狀均為矩形。
[0021]所述下拉分享控制TFT的柵極、柵極掃描線、與公共電壓線的材料均為鉬、鈦、鋁、銅中的一種或多種的堆棧組合；
[0022]所述柵極絕緣層的材料為氧化硅、氮化硅或二者的組合；
[0023]所述下拉分享控制TFT的源極、漏極、數(shù)據(jù)線、及金屬電極板材料均為鉬、鈦、鋁、銅中的一種或多種的堆棧組合；
[0024]所述鈍化層的材料為氧化硅、氮化硅或二者的組合；
[0025]所述次像素電極、與透明電極板的材料均為ΙΤ0。
[0026]本發(fā)明還提供一種液晶顯示像素結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征在于，包括如下步驟:
[0027]步驟1、在一基板上沉積并圖案化第一金屬層，形成柵極掃描線、與柵極掃描線一體的柵極、及公共電壓線；
[0028]步驟2、在所述公共電壓線、柵極掃描線、柵極上沉積并圖案化柵極絕緣層，形成貫穿該柵極絕緣層的第一過孔，以暴露出所述公共電壓線的部分表面；
[0029]步驟3、在所述柵極絕緣層上沉積并圖案化半導(dǎo)體薄膜，形成島狀有源層；
[0030]步驟4、在所述島狀有源層和柵極絕緣層上沉積并圖案化第二金屬層，形成源極、漏極、數(shù)據(jù)線、及金屬電極板；所述金屬電極板經(jīng)由第一過孔連接公共電壓線；
[0031]所述源極、漏極分別連接島狀有源層；所述柵極、源極、漏極與島狀有源層構(gòu)成下拉分享控制TFT ;
[0032]步驟5、在所述下拉分享控制TFT的島狀有源層、源極、漏極、與數(shù)據(jù)線、金屬電極板、及柵極絕緣層上沉積并圖案化鈍化層，形成貫穿該鈍化層的第二過孔、與第三過孔，以分別暴露出所述源極、漏極的部分表面；
[0033]步驟6、在所述鈍化層上沉積并圖案化透明導(dǎo)電薄膜，形成次像素電極、及與金屬電極板相對的透明電極板；所述金屬電極板與透明電極板構(gòu)成下拉分享電容；
[0034]所述次像素電極經(jīng)由第二過孔連接所述下拉分享控制TFT的源極，所述透明電極板經(jīng)由第三過孔連接所述下拉分享控制TFT的漏極。
[0035]所述步