有關(guān)，由于 曝光機(jī)的設(shè)備參數(shù)是固定的，在工藝過程中無法改變；因此本發(fā)明另辟路徑，通過對曝光工 藝的工藝參數(shù)對成圖圖案的精度進(jìn)行改進(jìn)，具體是對光掩模板中的構(gòu)圖圖形進(jìn)行改進(jìn)來協(xié) 調(diào)圖案的精細(xì)度與焦點深度的統(tǒng)一，即以在維持相同焦點深度條件下（不改造設(shè)備）進(jìn)一 步改善設(shè)備成像性能，獲得更佳的解像力，從而達(dá)到兩者兼顧的目的。
[0039] 實施例1 :
[0040] 本實施例提供一種光掩模板，該光掩模板使得采用其曝光形成的成圖圖案的精細(xì) 度提尚，從而提尚形成的直線圖案的精度。
[0041] 如圖2所示，該光掩模板設(shè)置有用于形成成圖圖案的構(gòu)圖圖形，構(gòu)圖圖形包括用 于形成直線圖案的條狀主體11，其中，構(gòu)圖圖形還包括在條狀主體11的兩側(cè)設(shè)置的輔助構(gòu) 圖圖形單元，輔助構(gòu)圖圖形單元能對曝光過程中的光線方向和光強(qiáng)強(qiáng)度進(jìn)行調(diào)整和補(bǔ)償。 其中，條狀主體11用于形成實際的直線圖案，其長短和粗細(xì)根據(jù)其采用的曝光機(jī)與實際的 直線圖案相當(dāng)。
[0042] 具體的，輔助構(gòu)圖圖形單元包括齒狀翼部12和柱狀部13,齒狀翼部12與條狀主體 11相接設(shè)置，柱狀部13與條狀主體11相尚設(shè)置。在圖2中，在條狀主體11的兩側(cè)分別各 設(shè)置一齒狀翼部12以及一柱狀部13。
[0043] 其中，齒狀翼部12包括在條狀主體11的兩側(cè)、且沿條狀主體11的延伸方向分別 對稱設(shè)置的第一翼部和第二翼部，第一翼部和第二翼部關(guān)于條狀主體11的中心軸線對稱。 具體的，第一翼部和第二翼部均分別包括多個形狀相同且循環(huán)設(shè)置的凸起121，每一凸起 121的至高點122與條狀主體11的側(cè)邊相對，屬于第一翼部或第二翼部的凸起121的底邊 相連且分別與條狀主體11的位于同側(cè)的側(cè)邊重合。這里的循環(huán)設(shè)置可以為多個凸起121 連續(xù)循環(huán)設(shè)置，也可以為多個凸起121間隔循環(huán)設(shè)置，可根據(jù)具體實際情況進(jìn)行靈活配置， 這里不做限定。
[0044] 可選的是，條狀主體11的寬度與齒形翼部的寬度的比值范圍，也即條狀主體11的 寬度與凸起121的至高點122到底邊的高度的比值范圍為：（1-3) :1。可選的是，條狀主體 11的寬度與凸起121的至高點122到底邊的高度的比值為2:1。
[0045] 可選的是，凸起121的形狀包括三角形、圓頂?shù)菇侨切巍雸A形、橢圓形或扇形， 三角形或圓頂?shù)菇侨切蔚捻斀墙嵌确秶鸀?0° -120°?？蛇x的是，三角形的頂角角度為 80°。這里應(yīng)該理解的是，本實施例中的光掩模板中凸起121的形狀可根據(jù)將形成直線圖 案的精度來進(jìn)行設(shè)置，可選但不限于上述形狀，圖2中的三角形形式凸起僅為一種示例而 非限定。
[0046] 另外，柱狀部13設(shè)置于齒狀翼部12外側(cè)、且與齒狀翼部12相離，柱狀部13包括 對稱設(shè)置的第一柱狀和第二柱狀，第一柱狀和第二柱狀關(guān)于條狀主體11的中心軸線對稱。 如圖4所示為本實施例光掩模板的構(gòu)圖圖形的局部放大圖，每一條狀主體11用于形成一條 獨立的直線圖案，通過輔以在條狀主體11兩側(cè)分別設(shè)置的齒狀翼部12和柱狀部13,從而獲 得精度更高的多條直線圖案。圖4中的多條直線圖案，可以為多條平行排列的柵線或多條 平行排列的數(shù)據(jù)線。
[0047] 進(jìn)一步的，當(dāng)成圖圖案比較密集時，為了減少光掩模板中密集的構(gòu)圖圖形和輔助 構(gòu)圖圖形單元之間的圖案密集度，保證曝光工藝中的精確度，可選相鄰的條狀主體11之間 共用位于二者之間的柱狀部13。也即，相鄰的兩條狀主體11，可共用位于二者之間的第一 柱狀或第二柱狀，以在獲得較佳的成圖圖案的基礎(chǔ)上簡化構(gòu)圖圖形的密集度。
[0048] 可選的是，齒形翼部的寬度、齒形翼部與第一柱狀之間的間隙寬度、第一柱狀的寬 度的比值范圍為（1-3) :1:1。參考圖3,齒形翼部的寬度B、齒形翼部與第一柱狀之間的間隙 寬度C、第一柱狀的寬度D的比值為2:1: 1。容易理解的是，由于第一柱狀和第二柱狀的對 稱性，可類比推知齒形翼部的寬度B、齒形翼部與第二柱狀之間的間隙寬度、第二柱狀的寬 度的比值也為2:1:1。
[0049] 圖3中，間隙寬度可根據(jù)圖形解像力和焦點深度需求進(jìn)行綜合調(diào)整。通常情況下， 間隙寬度越大，成圖圖案解像力越好，焦點深度越好。綜合上述，可選條狀主體11的寬度A : 齒形翼部的寬度B :齒形翼部與第一柱狀之間的間隙寬度C、第一柱狀的寬度D的比值為： 4:2:1:1，表1示出了部分可選的寬度。
[0050] 表 1
[0051]
[0052] 在曝光工藝中，通常將光刻膠作為涂層，進(jìn)一步采用曝光工藝、顯影工藝、刻蝕工 藝形成光刻膠涂層下方的特定的成圖圖形。光刻膠包括負(fù)性光刻膠和正性光刻膠。本實施 例中光掩模板中構(gòu)圖圖形的透光性質(zhì)，根據(jù)曝光工藝中采用的光刻膠的化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯 影原理，構(gòu)圖圖形與齒狀翼部12和柱狀部13均為透光圖形或半透光圖形，或者，構(gòu)圖圖形 與齒狀翼部12和柱狀部13均為不透光圖形。對于負(fù)性光刻膠，由于其經(jīng)光照后形成不可 溶物質(zhì)，不可被顯影去除，因此構(gòu)圖圖形與齒狀翼部12和柱狀部13均為透光圖形，以保留 和構(gòu)圖圖形與齒狀翼部12和柱狀部13對應(yīng)區(qū)域的負(fù)性光刻膠，進(jìn)一步保留負(fù)性光刻膠下 方的實際成圖；對于正性光刻膠，由于其經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)，可被顯影去除，因此構(gòu)圖 圖形與齒狀翼部12和柱狀部13均為不透光圖形，以保留和構(gòu)圖圖形與齒狀翼部12和柱狀 部13對應(yīng)區(qū)域的正性光刻膠，進(jìn)一步保留正性光刻膠下方的實際成圖圖案。
[0053] 本實施例中光掩模板的一種實際應(yīng)用示例為形成條狀的柵線圖形和條狀的數(shù)據(jù) 線圖形，光掩模板中構(gòu)圖圖形包括用于形成柵線的柵線條狀主體11和用于形成數(shù)據(jù)線的 數(shù)據(jù)線條狀主體11，在柵線條狀主體11的兩側(cè)沿柵線條狀主體11的延伸方向還分別設(shè)置 有輔助構(gòu)圖圖形單元，和/或，在數(shù)據(jù)線條狀主體11的兩側(cè)沿數(shù)據(jù)線條狀主體11的延伸方 向還分別設(shè)置有輔助構(gòu)圖圖形單元。根據(jù)實際柵線和數(shù)據(jù)線的形成工藝步驟，可在一塊光 掩模板上同時設(shè)置用于形成條狀柵線圖形的柵線輔助構(gòu)圖圖形單元和用于形成條狀數(shù)據(jù) 線圖形的數(shù)據(jù)線輔助構(gòu)圖圖形單元，也可以在光掩模板上設(shè)置形成條狀柵線圖形的柵線輔 助構(gòu)圖圖形單元，在另一塊光掩模板上設(shè)置用于形成條狀數(shù)據(jù)線圖形的數(shù)據(jù)線輔助構(gòu)圖圖 形單元，這里不做限定。
[0054] 這里應(yīng)該理解的是，在足夠小的長度內(nèi)，曲線在某種程度上可視為直線。因此，本 實施例光掩模板采用輔助構(gòu)圖圖形單元來提高微型圖案解析度的方法適用于任何線形，上 述對直線圖案如何實現(xiàn)精度補(bǔ)償?shù)木唧w說明僅為示例，并非限定。
[0055] 光掩模板還包括透明襯底21和保護(hù)層23,構(gòu)圖圖形和輔助構(gòu)圖圖形單元同層設(shè) 置形成圖形層22,位于在透明襯底21與保護(hù)層23之間。如圖5和圖6所示，該光掩模板依 次為透明襯底21、圖形層22和保護(hù)層23,保護(hù)層23通過貼膜框24與透明襯底21形成整 體。其中，圖形層22為如柵線和數(shù)據(jù)線圖形，根據(jù)與光掩模板配合使用的光刻膠的性質(zhì)，圖 形層22可以采用不透光材料形成不透光的結(jié)構(gòu)（這里的不透光材料通常為鉻），圖形層22 以外的區(qū)域為空隙或者采用透光材料形成透光的結(jié)構(gòu)；當(dāng)然，圖形層22也可以為空隙或者 采用透光材料形成透光的結(jié)構(gòu)，圖形層22以外的區(qū)域可以設(shè)置不透光材料形成不透光的 結(jié)構(gòu)。
[0056] 本實施例的光掩模板中，通過在用于形成直線圖案的條狀主體兩側(cè)設(shè)置輔助的齒 狀翼部和柱狀部，利用曝光機(jī)對線寬小于曝光機(jī)解像力的構(gòu)圖圖形將不會被成像的解像力 的限制，通過犧牲條狀主體旁邊的輔助構(gòu)圖圖形來保證條狀主體構(gòu)圖的解析力；并進(jìn)一步 利用光衍射，可以提高曝光機(jī)對微型圖案曝光度的寬幅5%~10%;