防靜電裝置和平板顯示制造設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及平板顯示制造領(lǐng)域，尤其涉及一種防靜電裝置和平板顯示制造設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在平板顯示面板的生產(chǎn)過程中，顯示面板需要被頻繁的搬送、運(yùn)輸，自動化程度較高的生產(chǎn)線中使用對位機(jī)臺來實現(xiàn)這些功能。對位機(jī)臺上設(shè)置有真空吸盤，在搬運(yùn)過程中真空吸盤和顯示面板要頻繁地進(jìn)行接觸、貼合及分離運(yùn)動，對位機(jī)臺與顯示面板會因這些運(yùn)動產(chǎn)生摩擦，從而導(dǎo)致靜電積累。另外，對位機(jī)臺自身高速運(yùn)轉(zhuǎn)也會產(chǎn)生靜電積累，這些積累的靜電在對位機(jī)臺與顯示面板間的接觸面釋放，極可能會造成顯示面板靜電損傷，影響廣品品質(zhì)，造成損失。
[0003]目前解決靜電問題的方式是在基板上方進(jìn)行X射線照射，X射線照射雖然能達(dá)到靜電去除的目的，但X射線對人體(作業(yè)區(qū)內(nèi)需要人來操作)危害比較大，而且X射線產(chǎn)生裝置的安裝、使用、維護(hù)成本都比較高。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的實施例提供一種防靜電裝置和平板顯示制造設(shè)備，能夠解決平板顯示行業(yè)因靜電積累、釋放對顯示面板造成靜電損傷的問題，并且成本低，安裝、使用、維護(hù)方便。
[0005]為達(dá)到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案:
[0006]本實用新型提供一種防靜電裝置，用于平板顯示制造領(lǐng)域，包括:可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)，用于提供壓縮氣體；多個出風(fēng)口，所述可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)提供的壓縮氣體通過所述出風(fēng)口向基板吹氣；放電針，設(shè)置于所述出風(fēng)口中，用于通過放電使經(jīng)過所述放電針針尖附近的空氣電離，使所述出風(fēng)口所吹氣體含有離子。
[0007]可選地，所述出風(fēng)口設(shè)置于所述制造設(shè)備上與基板相接觸的表面上。
[0008]進(jìn)一步地，所述防靜電裝置還包括:控制模塊，用于通過控制所述放電針的放電電壓、所述可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)的出氣口的氣體流量、和/或所述出風(fēng)口距所述基板表面的距離，來調(diào)節(jié)到達(dá)所述基板表面的離子濃度。
[0009]進(jìn)一步地，所述防靜電裝置還包括:可移動裝置，以及驅(qū)動并控制所述可移動裝置運(yùn)動的驅(qū)動控制部分；所述多個出風(fēng)口設(shè)置于所述可移動裝置上，所述驅(qū)動控制部分與所述控制模塊相連。
[0010]可選地，所述可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)包括用于控制出氣流量的流量控制模塊，所述流量控制模塊與所述控制模塊相連。
[0011]可選地，還包括所述放電針的電壓提供電路，所述電壓提供電路包括電壓調(diào)節(jié)模塊，所述電壓調(diào)節(jié)模塊與所述控制模塊相連。
[0012]優(yōu)選地，所述出風(fēng)口內(nèi)設(shè)置有氣體噴射裝置，或者所述出風(fēng)口直接由所述氣體噴射裝置形成；所述氣體噴射裝置包括過濾器、氣道和噴頭；所述氣體噴射裝置的進(jìn)氣端通過管道與所述可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)的出氣口相連，所述可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)提供的壓縮氣體自所述進(jìn)氣端進(jìn)入，經(jīng)所述過濾器、氣道后從所述噴頭噴出。
[0013]優(yōu)選地，所述氣體噴射裝置的氣體流道上還安裝有:壓控裝置，用于測量及調(diào)節(jié)從所述噴頭噴出氣體的壓強(qiáng)，與所述控制模塊相連。
[0014]優(yōu)選地，所述可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)到所述出風(fēng)口的氣路上還設(shè)置有:密閉空間形成的勻壓倉；所述多個出風(fēng)口設(shè)置于所述勻壓倉上，為所述勻壓倉的出氣端口 ；所述勻壓倉的進(jìn)氣端口與所述可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)的出氣口通過管道相連通。
[0015]可選地，所述勻壓倉的進(jìn)氣端口為一漸變變粗的管道。
[0016]可選地，所述可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)到所述出風(fēng)口之間的氣路上設(shè)置有電磁閥，所述電磁閥與所述控制模塊相連。
[0017]可選地，所述可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)到所述出風(fēng)口的氣路上設(shè)置有:氣體分路裝置，其進(jìn)氣端與所述供氣管道相連通，其出氣端為多個，分別與所述多個出風(fēng)口相連通或者直接形成所述多個出風(fēng)口。
[0018]可選地，所述可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)為空氣壓縮機(jī)。
[0019]本實用新型還提供一種平板顯示制造設(shè)備，包括任一項所述的防靜電裝置。
[0020]可選地，所述平板顯示制造設(shè)備，還包括:距離傳感器，用于感應(yīng)基板與所述平板顯示制造設(shè)備之間的距離。
[0021]可選地，所述平板顯示制造設(shè)備為熱固化設(shè)備，或者需要加壓的檢測設(shè)備，或者對位/旋轉(zhuǎn)機(jī)臺。
[0022]可選地，所述平板顯示制造設(shè)備為對位/旋轉(zhuǎn)機(jī)臺，所述對位/旋轉(zhuǎn)機(jī)臺的主體結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)置有空腔，該空腔中設(shè)置所述防靜電裝置的可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)；所述主體結(jié)構(gòu)還形成有與基板相接觸的表面，該表面上設(shè)置有運(yùn)動導(dǎo)向槽，所述防靜電裝置的可移動裝置沿所述運(yùn)動導(dǎo)向槽移動。
[0023]可選地，所述防靜電裝置的驅(qū)動控制部分包括驅(qū)動齒輪和帶齒皮帶；所述可移動裝置的中軸固定在所述帶齒皮帶上，所述帶齒皮帶與所述驅(qū)動齒輪相嚙合，使得所述驅(qū)動齒輪帶動所述帶齒皮帶運(yùn)動時，所述可移動裝置沿所述運(yùn)動導(dǎo)向槽移動。
[0024]本實用新型實施例提供的防靜電裝置和平板顯示制造設(shè)備，通過放電針設(shè)置于出風(fēng)口中，使吹向基板底面的壓縮氣體含有離子，氣體中的離子中和基板因摩擦造成的靜電，避免靜電積累，從而避免靜電釋放對顯示面板造成靜電損傷，并且該裝置成本低，安裝、使用、維護(hù)方便。
【附圖說明】
[0025]為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。
[0026]圖1為本實用新型實施例一提供的用于平板顯示制造領(lǐng)域的防靜電方法的原理示意圖；
[0027]圖2為本實用新型實施例二提供的防靜電裝置的部分結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖3為本實用新型實施例二提供的防靜電裝置的控制系統(tǒng)示意圖；
[0029]圖4為本實用新型實施例二提供的防靜電裝置的出風(fēng)口的示意圖；
[0030]圖5為本實用新型實施例二中氣體噴射裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖6為本實用新型實施例二中防靜電裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖7為本實用新型實施例二提供的熱固化設(shè)備的原理示意圖；
[0033]圖8為本實用新型實施例二提供的熱固化設(shè)備加熱腔的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖9為本實用新型實施例二提供的檢測設(shè)備檢測腔的具體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035]圖10為本實用新型實施例二中一種現(xiàn)有對位機(jī)臺的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖11為本實用新型實施例二提供的對位機(jī)臺的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0037]圖12為本實用新型實施例二中安裝了防靜電裝置的對位機(jī)臺的帶屏俯視圖；
[0038]圖13為本實用新型實施例二中對位機(jī)臺上防靜電裝置的驅(qū)動結(jié)構(gòu)的俯視圖；
[0039]圖14為本實用新型實施例二中對位機(jī)臺上除靜電裝置的氣體管路圖。
[0040]附圖標(biāo)記
[0041]7-正尚子，8-負(fù)尚子，9-顯不面板，10-基板，101-底面，11-壓縮氣體，
[0042]20-機(jī)臺的臺面，21-出風(fēng)口，22-放電針，23-控制模塊，24-可移動裝置，
[0043]241-驅(qū)動控制部分，25-可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)，251-流量控制模塊，
[0044]26-電壓提供電路，261-電壓調(diào)節(jié)模塊，27-勻壓倉，271-勻壓倉的出氣端口，
[0045]272-勻壓倉的進(jìn)氣端口，28-電磁閥，29-氣體分路裝置I，
[0046]291-氣體分路裝置II，292-氣體分路裝置III，30-氣體噴射裝置，31-過濾器，
[0047]32-氣道，33-噴頭，34-壓控裝置，40-加熱腔，41-腔體，42-加熱空腔，
[0048]43-加熱板，44-紅外測溫器，45-熱電偶，50-檢測腔，
[0049]51-低輻射保護(hù)玻璃罩，52-檢測空腔，53-偏光片，54-擴(kuò)散板，
[0050]55-背光燈組，56-加熱板，60-對位機(jī)臺主體部分，61-距離傳感器，
[0051]62-驅(qū)動控制部分，63-真空吸盤，64-驅(qū)動控制部分，65-運(yùn)動導(dǎo)槽，66-中軸，
[0052]67-帶齒皮帶，68-驅(qū)動齒輪，69-帶齒皮帶的從動輪，70-中軸，
[0053]71-連接各出風(fēng)口的供氣管，72-總的供氣管。
【具體實施方式】
[0054]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。
[0055]實施例一
[0056]本實用新型實施例提供一種用于平板顯示制造領(lǐng)域的防靜電方法，如圖1所示，該方法主要包括:向基板10的底面101吹含有離子的氣體11，底面101為基板10與平板顯不制造設(shè)備相接觸的表面，如圖1中所不基板10的下表面。
[0057]在平板顯示制造過程中，平板顯示制造設(shè)備如對位機(jī)臺、機(jī)械手等要頻繁地與基板(本實施例中的基板用來統(tǒng)稱顯示面板及其半成品)進(jìn)行接觸、貼合及分離運(yùn)動，會因摩擦導(dǎo)致靜電積累，為解決該問題，本實施例在需要去除靜電或預(yù)防靜電產(chǎn)生的情景下，向基板10的底面101吹拂含有離子的氣體，一方面氣體中的離子可以中和基板因摩擦造成的靜電；另一方面還可以降低制造設(shè)備與基板10底面101的摩擦，從而避免靜電積累，進(jìn)而避免靜電釋放對顯示面板造成靜電損傷，并且該方法成本低，對應(yīng)的去除靜電裝置安裝、使用、維護(hù)方便。
[0058]具體而