靜電紡絲技術(shù)也是一種簡(jiǎn)單而高效制備微納米纖維薄膜的技術(shù)，由于此技術(shù)所需設(shè)備和實(shí)驗(yàn)成本低，制備出的纖維比表面積大、適用性廣泛等獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，近年來(lái)備受關(guān)注。液晶屏制造的過(guò)程中，利用該技術(shù)制備薄膜例如ITO透明導(dǎo)電薄膜等。
[0080]在液晶屏制造的過(guò)程中，為中和基板表面的靜電積累，采用進(jìn)行防靜電裝置控制。防靜電裝置的出風(fēng)口設(shè)置于各靜電紡絲模塊之間的空隙中。其中，放電電壓通常在5k-50kv之間，輸入口的氣體流量通常在500?3000m3/h之間，出風(fēng)口距基板表面的距離通常在5?40cm之間進(jìn)行選擇。上述數(shù)值范圍在實(shí)際應(yīng)用中的優(yōu)勢(shì)在于:在中和靜電紡基板表面電荷的同時(shí)不會(huì)干擾到液晶屏制造的平穩(wěn)進(jìn)行。高電壓、高氣體流量和小的距離使得中和效果較好，但是這也會(huì)對(duì)靜電紡的進(jìn)行產(chǎn)生擾動(dòng)，所以，上述工藝參數(shù)的調(diào)整是在液晶屏制造和中和效果之間的平衡范圍。
[0081]實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)I
[0082]在液晶屏制造的過(guò)程中，為中和基板表面的靜電積累，采用上述防靜電裝置進(jìn)行靜電消除。液晶屏制造設(shè)備的噴絲頭噴出的是10wt%的聚乙烯醇/ 二甲基亞砜溶液。具體實(shí)驗(yàn)參數(shù)如下:放電針的放電電壓為5kv，可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)提供的壓縮氣體的壓強(qiáng)為3個(gè)大氣壓，出風(fēng)口距基板表面為20cm，出風(fēng)口的空氣流量為1000m3/h。當(dāng)采用上述防靜電裝置進(jìn)行靜電消除后，液晶屏制造設(shè)備可以連續(xù)運(yùn)行48小時(shí)而沒(méi)有出現(xiàn)紡絲無(wú)法進(jìn)行的情況；而在使用上述防靜電裝置之前，液晶屏制造機(jī)每運(yùn)行3小時(shí)就無(wú)法繼續(xù)穩(wěn)定地工作。
[0083]實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)2
[0084]液晶屏制造設(shè)備的噴絲頭噴出的是PE熔體，熔體溫度為250°C。具體實(shí)驗(yàn)參數(shù)如下:放電針的放電電壓為30kv，可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)提供的壓縮氣體的壓強(qiáng)為5個(gè)大氣壓，出風(fēng)口距基板表面為40cm，出風(fēng)口的空氣流量為2000m3/h。當(dāng)采用上述防靜電裝置進(jìn)行靜電消除后，液晶屏制造設(shè)備可以連續(xù)運(yùn)行48小時(shí)而沒(méi)有出現(xiàn)紡絲無(wú)法進(jìn)行的情況；而在使用上述防靜電裝置之前，液晶屏制造設(shè)備每運(yùn)行2小時(shí)就無(wú)法繼續(xù)穩(wěn)定地工作。
[0085]本實(shí)用新型可以通過(guò)上述防靜電裝置的放電針將空氣電離，并由壓縮空氣形成層流風(fēng)將離子吹至基板表面以中和靜電積累，方向準(zhǔn)確，且安全可控。
[0086](二)、熱固化設(shè)備
[0087]平板顯示(如液晶顯示器)制造過(guò)程，對(duì)盒過(guò)程要進(jìn)行加壓，加壓的目的在與使液晶屏達(dá)到柱狀隔墊物(PS)支撐的狀態(tài)，該工序使用熱固化設(shè)備完成。當(dāng)基板周?chē)幸欢鈮簳r(shí)，膠與玻璃的接觸更加緊密，膠的固化狀態(tài)非常好，這樣固化效果更好，因此本實(shí)用新型實(shí)施例提供的熱固化設(shè)備使用上述防靜電裝置噴出的氣體作為壓盒氣體。
[0088]如圖7所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的熱固化設(shè)備，在加熱腔40的下部利用上述防靜電裝置噴射含有離子的高壓氣流，利用氣流噴射給基板10提供壓力，在上部利用平行的加熱板進(jìn)行均勻加熱。另外，還可以直接使上述防靜電裝置噴射高溫高壓氣流，加壓的同時(shí)提供加熱處理。
[0089]具體而言，如圖8所示，所述加熱腔40包括:由耐高溫陶瓷形成的腔體41，腔體41內(nèi)形成有用于容納基板的加熱空腔42，加熱空腔42的頂部/上部設(shè)置有加熱板43 (例如硅橡膠加熱板)作為熱源，加熱空腔42的底部/下部設(shè)置有用于測(cè)量溫度的紅外測(cè)溫器44和熱電偶45，以及紅外距離感應(yīng)裝置。加熱空腔42的底部/下部還設(shè)置有氣體噴射裝置30形成的出氣口，采用下部吹氣，螺旋氣體形成氣墊使基板懸浮對(duì)盒，可以有效避免盒厚不均導(dǎo)致的黑色異常點(diǎn)(黑Gap)。當(dāng)然，氣體噴射裝置30形成的出氣口還可設(shè)置在加熱腔40的其他位置，只要能使防靜電裝置出氣口噴出的氣體作為壓盒氣體即可。
[0090](三)、加壓檢測(cè)設(shè)備
[0091]本實(shí)用新型提供的防靜電裝置還可應(yīng)用于需要加壓的檢測(cè)設(shè)備，去除靜電并向待檢測(cè)產(chǎn)品提供檢測(cè)所需要的壓力。本實(shí)施例提供的檢測(cè)設(shè)備使用防靜電裝置噴出的氣體作為檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)腔的加壓氣體。
[0092]圖9示出檢測(cè)腔的具體結(jié)構(gòu)示意圖。檢測(cè)腔50包括:低輻射保護(hù)玻璃罩(檢測(cè)窗口)51、檢測(cè)空腔52，偏光片53、擴(kuò)散板54、背光燈組55和加熱板56。與現(xiàn)有檢測(cè)設(shè)備的不同之處在于，本實(shí)施例檢測(cè)腔50將本實(shí)用新型提供的防靜電裝置的出氣口設(shè)置檢測(cè)空腔52的腔壁上，去除靜電并向待檢測(cè)產(chǎn)品提供檢測(cè)所需要的壓力。除此之外與現(xiàn)有檢測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)大致相同，不再詳述。
[0093](三)、對(duì)位機(jī)臺(tái)
[0094]本實(shí)用新型提供的防靜電裝置還可應(yīng)用于對(duì)位/旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)，具體而言，對(duì)位/旋轉(zhuǎn)機(jī)臺(tái)使用防靜電裝置噴出的氣體將基板托起進(jìn)行對(duì)位。
[0095]如圖10所示，為一種現(xiàn)有技術(shù)中的對(duì)位機(jī)臺(tái)的俯視圖。對(duì)位機(jī)臺(tái)包括主體結(jié)構(gòu)60、驅(qū)動(dòng)控制部分64、距離傳感器61和真空吸盤(pán)63。對(duì)位機(jī)臺(tái)主體結(jié)構(gòu)60有一定強(qiáng)度和厚度，中空，內(nèi)設(shè)真空管、傳感器導(dǎo)線等必要的管路和線路。距離傳感器61設(shè)置于主體結(jié)構(gòu)60的臺(tái)面前端，可以感應(yīng)基板與對(duì)位機(jī)臺(tái)表面的距離，驅(qū)動(dòng)控制部分62負(fù)責(zé)對(duì)位機(jī)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制和相關(guān)的電氣控制，結(jié)合距離傳感器61的檢測(cè)信號(hào)，實(shí)現(xiàn)真空吸盤(pán)63與接、送基板之間的配合。
[0096]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的新型對(duì)位機(jī)臺(tái)設(shè)置有本實(shí)用新型提供的防靜電裝置，具體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)存在多樣，下面僅舉出兩種作為參考。
[0097]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的新型對(duì)位機(jī)臺(tái)除增加一可移動(dòng)的防靜電裝置外，與上述現(xiàn)有結(jié)構(gòu)大致類(lèi)似。如圖11?圖14所示，具體而言，對(duì)位機(jī)臺(tái)上還形成有可移動(dòng)裝置24，防靜電裝置的出風(fēng)口 21設(shè)置在該可移動(dòng)裝置24，可移動(dòng)裝置24在驅(qū)動(dòng)控制部分64的作用下可以沿Y軸上下移動(dòng)，因不同尺寸需要設(shè)定防靜電裝置相應(yīng)的除靜電位置，通過(guò)電氣控制以及可移動(dòng)裝置24沿Y軸的移動(dòng)，這樣對(duì)不同尺寸的面板搬運(yùn)過(guò)程中都可自動(dòng)到達(dá)有效的除靜電距離。與現(xiàn)有對(duì)位機(jī)臺(tái)相類(lèi)似地，對(duì)位機(jī)臺(tái)的主體結(jié)構(gòu)60有一定強(qiáng)度和厚度，內(nèi)設(shè)置有空腔，該空腔中除設(shè)置真空管、傳感器導(dǎo)線等必要的管路和線路，還設(shè)置有防靜電裝置的氣路如可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)、輸氣管道以及電磁閥28 ;對(duì)位機(jī)臺(tái)前端設(shè)置有距離傳感器61，可以感應(yīng)顯示面板與對(duì)位機(jī)臺(tái)表面的距離；對(duì)位機(jī)臺(tái)的臺(tái)面上設(shè)置真空吸盤(pán)63，真空吸盤(pán)63在底部與空腔內(nèi)的真空管等真空設(shè)備相連，可通過(guò)真空吸附將顯示面板固定在對(duì)位機(jī)臺(tái)上；驅(qū)動(dòng)控制部分64，負(fù)責(zé)對(duì)位機(jī)臺(tái)及防靜電裝置的運(yùn)動(dòng)控制和相關(guān)的電氣控制，實(shí)現(xiàn)防靜電裝置的氣體噴射、真空吸盤(pán)63的吸附與接、送基板之間的配合。該驅(qū)動(dòng)控制部分64可理解為現(xiàn)有對(duì)位機(jī)臺(tái)的驅(qū)動(dòng)控制部分62的功能擴(kuò)展，使其不僅包括現(xiàn)有的對(duì)位控制功能，還包括防靜電裝置中控制模塊功能、對(duì)可移動(dòng)裝置24進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制的功能以及該些功能相互間的配合等，總之，本實(shí)施例驅(qū)動(dòng)控制部分64可實(shí)現(xiàn)接、送基板以及進(jìn)行基板對(duì)位過(guò)程中各機(jī)械部件和電氣部件的控制以及相互配合。
[0098]圖12是本實(shí)用新型實(shí)施例安裝了防靜電裝置的對(duì)位機(jī)臺(tái)的帶屏俯視圖，其中:9為顯示面板，通過(guò)真空吸盤(pán)63吸附固定在對(duì)位機(jī)臺(tái)上；7和8分別為防靜電裝置產(chǎn)生的正負(fù)離子示意，距離Z代表防靜電裝置出風(fēng)口 21與顯示面板9邊緣的距離，為保證除靜電效果，具體實(shí)施時(shí)，通過(guò)驅(qū)動(dòng)控制模塊62的控制可移動(dòng)裝置24沿Y軸移動(dòng)，使Z的距離一般應(yīng) >50mmo
[0099]可移動(dòng)裝置24如何實(shí)現(xiàn)沿Y軸移動(dòng)以及如何實(shí)現(xiàn)距離Z的控制，本實(shí)用新型實(shí)施例對(duì)此不做限定，可以是本領(lǐng)域技術(shù)人員所熟知的任意實(shí)現(xiàn)方式。下面僅為本領(lǐng)域技術(shù)人員理解方便，舉出一種實(shí)現(xiàn)方式作為范例，可以理解的是，該范例并不用于限定本實(shí)用新型。
[0100]圖13是本實(shí)用新型實(shí)施例的對(duì)位機(jī)臺(tái)上防靜電裝置的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的俯視圖。對(duì)位機(jī)臺(tái)主體結(jié)構(gòu)60還形成有與基板相接觸的表面(對(duì)位機(jī)臺(tái)的臺(tái)面)，該表面上設(shè)置有運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向槽65，防靜電裝置的可移動(dòng)裝置24沿運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向槽65移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)控制部分64包括驅(qū)動(dòng)齒輪68和帶齒皮帶67 ;可移動(dòng)裝置24的中軸70固定在帶齒皮帶67上，帶齒皮帶67與驅(qū)動(dòng)齒輪68相嚙合，使得驅(qū)動(dòng)齒輪68帶動(dòng)帶齒皮帶67運(yùn)動(dòng)時(shí)，可移動(dòng)裝置24可沿運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向槽65移動(dòng)，從而使設(shè)置在可移動(dòng)裝置24上的出風(fēng)口 21到顯示面板9邊緣的距離Z可調(diào)可控。其中，69為帶齒皮帶67的從動(dòng)輪。針對(duì)不同尺寸的顯示面板9，防靜電裝置的位置需要設(shè)定相應(yīng)的值，通過(guò)驅(qū)動(dòng)控制部分64控制驅(qū)動(dòng)齒輪68和帶齒皮帶67的運(yùn)動(dòng)，這樣對(duì)不同尺寸的面板搬運(yùn)過(guò)程中，可自動(dòng)調(diào)節(jié)可移動(dòng)裝置24出風(fēng)口 21到顯示面板9邊緣的距離Z，從而使可移動(dòng)裝置24自動(dòng)到達(dá)有效除靜電的位置處，并且在靜電去除之后，還可自動(dòng)將移動(dòng)裝置24將除靜電裝置移開(kāi)，不妨礙后續(xù)的制造工藝或檢測(cè)工藝。
[0101]圖14是上述對(duì)位機(jī)臺(tái)上除靜電裝置的氣體管路圖，其中，21為除靜電裝置的出風(fēng)口，71為連接除靜電裝置各個(gè)出風(fēng)口 21的供氣管，72為總的供氣管；292為連接總的供氣管72與各個(gè)出風(fēng)口的供氣管71的氣體分路裝置III。具體而言，除靜電裝置的氣體管路如下:可調(diào)節(jié)供氣系統(tǒng)出來(lái)的氣路通過(guò)氣體分路裝置I 29分成多個(gè)支路，每一個(gè)支路上安裝一個(gè)電磁閥28，然后再通過(guò)氣體分路裝置II 291將各支路合成一個(gè)總的供氣氣路。然后供氣氣路通過(guò)總的供氣管72引到可移動(dòng)裝置24上，可移動(dòng)裝置24上設(shè)置有多個(gè)出風(fēng)口 21，總的供氣管72通過(guò)氣體分路裝置III 292分成多個(gè)支路，每一支路通過(guò)一個(gè)供氣管連接一個(gè)出風(fēng)口 21。氣體分路裝置III 292、出風(fēng)口 21設(shè)置在可移動(dòng)裝置24上，可以隨可移動(dòng)裝置24上沿Y軸移動(dòng)。
[0102]距離傳感器61感應(yīng)的顯示面板9與對(duì)位機(jī)臺(tái)之間的距離信號(hào)，當(dāng)顯示面板9距離對(duì)位機(jī)臺(tái)的