專利名稱：等離子顯示板的前面板及制造方法及配備其的等離子顯示板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明為等離子顯示板的前面板，其制造方法及配備其的等離子顯示板相關(guān)發(fā)明；前面板的保護(hù)膜層下端利用RF等離子直接形成碳納米纖維，從而提高2次電子釋放效率的等離子顯示板的前面板，其制造方法及配備其的等離子顯示板相關(guān)發(fā)明。
背景技術(shù)：
通常，等離子顯示板(PDPPlasma Display Panel)是指在由多個電極形成的兩個基板上注入放電氣體密封后，識別放電電壓，則此放電電壓使兩個電極間的氣體發(fā)光，則識別適當(dāng)?shù)拿}沖電壓，定位在兩個電極交叉的支點(diǎn)上，顯現(xiàn)所希望的數(shù)字，文字及圖表的平板顯示裝置。
這種等離子顯示板具有制造大型板的程序簡單，視角寬，屬自發(fā)光類型，顯示質(zhì)量好的優(yōu)點(diǎn)，因此在平板顯示領(lǐng)域備受關(guān)注，廣泛應(yīng)用于室外廣告塔或壁掛式電視，如劇作用顯示器等超薄大型顯示器上。通常，等離子顯示板分為直流型和交流型，其中交流型等離子顯示板目前成為主流。
圖1為介紹傳統(tǒng)等離子顯示板結(jié)構(gòu)的圖片，如圖所示，等離子顯示裝置的結(jié)構(gòu)包括背面基板110和，設(shè)在上述背面基板110上的尋址電極111和，設(shè)在此尋址電極111所在背面基板110上的電介質(zhì)層112，設(shè)在此電介質(zhì)層112上維持放電距離且防止各串之間發(fā)生電光學(xué)串?dāng)_的障壁113和，與設(shè)有上述障壁113的背面基板110正交，在下端設(shè)有規(guī)定模式的維持電極對，使其與尋址電極111正交的前面基板116。由上述障壁113劃分的放電空間內(nèi)至少有一側(cè)設(shè)有熒光體層117，上述前面板116下端設(shè)有填入電極的電介質(zhì)層118和保護(hù)膜119。上述放電空間注入混合Ne，Xe等的放電氣體，Xe的含量占注入到放電空間的氣體的4-5％。
上述前面電介質(zhì)層由保護(hù)層覆蓋，上述保護(hù)層通常由MgO組成，在放電空間內(nèi)釋放2次電子，從而提高效率，由此降低電極間識別的放電電壓的同時，保護(hù)板內(nèi)的電介質(zhì)及電極。
但是，僅靠MgO單一物質(zhì)在放電空間內(nèi)釋放2次電子是有限的，因此正在進(jìn)行最大限度提高保護(hù)膜層的2次電子釋放效果的研究。
作為其中一環(huán)，最近正在進(jìn)行利用作為釋放電場介質(zhì)受注目的碳納米管的研究。但是碳納米管價格高，且制造條件嚴(yán)格。尤其是在相對高的溫度下進(jìn)行合成，因此直接設(shè)在上板時，存在引起事先制造的電介質(zhì)或電極等的變形的問題點(diǎn)，不實用。而且，雖然提出了將事先制造的碳納米管與保護(hù)膜層材料混合后采用絲網(wǎng)印刷等方法進(jìn)行涂布來制造單一層的方法，但是采用印刷法制造時內(nèi)部結(jié)構(gòu)較差，很可能因放電被剝離，其效果不如形成在保護(hù)膜層外層。

發(fā)明內(nèi)容
要解決的技術(shù)問題本發(fā)明的目的是為了解決上述問題點(diǎn)，作為碳納米管的替代，創(chuàng)造出將具有釋放電場效果的同時可以在低溫合成的碳納米纖維直接垂直生成在保護(hù)膜層的方法。
本發(fā)明以提供利用RF等離子在低溫下直接在保護(hù)膜層上生成碳納米纖維的等離子顯示板的前面板為目的。
而且，以提供利用RF等離子在低溫下直接在保護(hù)膜層上生成碳納米纖維的等離子顯示板的前面板的制造方法為目的。
而且，以提供在保護(hù)膜上生成碳納米管，提高2次電子釋放能力，最大限度提高效率的等離子顯示板為目的。
技術(shù)方案作為實現(xiàn)上述目的的形態(tài)，本發(fā)明提供包括如下組件的等離子顯示板的前面板，其特征在于它包括如下組件(1)由在前面基板下端部分領(lǐng)域內(nèi)以所定的樣式相互隔離的維持電子對；(2)保護(hù)上述維持電子對的前面電介質(zhì)層；(3)設(shè)在上述前面電介質(zhì)層下端的保護(hù)膜層；(4)及在上述保護(hù)膜上端的碳納米纖維。
前述的等離子顯示板的前面板，其特征在于它還可以再增設(shè)被設(shè)在上述維持電子對的下端的一部分且由上述前面電介質(zhì)層保護(hù)的總線電極對。
前述的等離子顯示板的前面板，其特征在于以上述碳納米纖維的平均直徑范圍在10nm-500nm。
前述的等離子顯示板的前面板，其特征在于上述可以以上述保護(hù)膜層的下端中生成的面積占上述保護(hù)膜層的下端總面積的3-30％范圍以內(nèi)為特點(diǎn)追加。
前述的等離子顯示板的前面板，其特征在于上述保護(hù)膜層由氧化鎂(MgO)組成。
本發(fā)明提供的等離子顯示板，其特征在于它包括(1)由在前面基板下端部分領(lǐng)域以所定樣式隔離設(shè)置的維持電極對，配備保護(hù)上述維持電極對的前面電介質(zhì)層及設(shè)在上述前面電介質(zhì)層下端的保護(hù)膜層的前面板；(2)配備與上述維持電極對垂直的尋址電極的后面板；及(3)為了劃分放電空間而設(shè)在上述后面板上端的障壁組成的等離子顯示板中，以在上述保護(hù)膜下端形成碳納米纖維。
前述的等離子顯示板的前面板，其特征在于上述結(jié)構(gòu)可以增設(shè)設(shè)在上述維持電子對下端的一部分，且由上述前面電介質(zhì)層保護(hù)的總線電極對。
前述的等離子顯示板的前面板，其特征在于上述碳納米纖維生成在上述放電空間內(nèi)。
前述的等離子顯示板的前面板，其特征在于上述碳納米纖維的平均直徑可以在10nm-500nm范圍內(nèi)。
前述的等離子顯示板的前面板，其特征在于上述保護(hù)層下端中生成碳納米纖維的面積占上述保護(hù)層下端總面積的3-30％范圍內(nèi)。
前述的等離子顯示板的前面板，其特征在于上述障壁及后面板可以涂抹熒光體。
本發(fā)明提供的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于它由如下階段組成(1)在前面基板下端的部分領(lǐng)域以所定樣式設(shè)置維持電極對的階段和；(2)設(shè)置保護(hù)上述維持電極對的前面電介質(zhì)層的階段；(3)在上述前面電介質(zhì)層的下端設(shè)置保護(hù)膜層的階段；(4)及在上述保護(hù)膜層的下端采用RF(Radio Frequency)等離子法生成碳納米纖維的階段。
前述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于上述組成中可以增設(shè)設(shè)在上述維持電極對的下端的一部分，由上述前面電介質(zhì)層保護(hù)的總線電極對的階段。
前述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于提供以上述生成碳納米纖維的階段，是在上述保護(hù)膜層的下端生成碳納米纖維促長劑后利用RF(Radio Frequency)等離子法生成碳納米纖維。
前述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于上述促長劑可以是鐵(Fe)，鎳(Ni)，鈷(Co)，銅(Cu)或碳化鐵(Fe3C或Fe5C2)。
前述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于上述促長劑可以采用蒸鍍法或利用膏的印刷方法形成在上述保護(hù)膜下端。
前述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于提供以上述RF(Radio Frequency)等離子法中的碳材料采用甲烷或乙烯。
前述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于上述RF(RadioFrequency)等離子法中的混合氣體可以使用氮或氬。
前述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于上述RF(RadioFrequency)等離子法生成碳納米纖維的階段最好在400-600℃范圍內(nèi)。
前述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于上述RF(RadioFrequency)等離子法生成碳納米纖維的階段在450-550℃范圍內(nèi)進(jìn)行更佳。
有益效果具有上述結(jié)構(gòu)特點(diǎn)的采用本發(fā)明的等離子顯示板的前面板，其制造方法及配備其的等離子顯示板提出了；替代電子釋放效率高但價高，尤其是要在相對高的溫度下進(jìn)行合成，因此在上板直接生成時會引起電介質(zhì)或電極等變形的碳納米管，可以提高2次電子釋放能力的生產(chǎn)性高的方案。
即，本發(fā)明的等離子顯示板的前面板是利用RF等離子法直接在保護(hù)膜層垂直生成碳納米纖維，最大限度提高了2次電子釋放效率。
而且，本發(fā)明的等離子顯示板的前面板的制造方法是利用RF等離子法在低溫下直接在保護(hù)膜層生成碳納米纖維，因此可以防止電介質(zhì)，保護(hù)膜，電極等的熱變形。
而且，本發(fā)明的等離子顯示板具備上述前面板的特點(diǎn)，因此提高了2次電子釋放能力，從而最大限度提高了效率降低了啟動電壓。


下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的實施方式作進(jìn)一步詳細(xì)的說明圖1為介紹傳統(tǒng)等離子顯示板結(jié)構(gòu)的圖片，圖2為本發(fā)明的一個實例中的等離子顯示板的前面板的斷面圖，圖3為本發(fā)明的一個實例中的等離子顯示板的前面板制造方法順序4為介紹本發(fā)明的一個實例中的碳納米纖維生成過程的圖片圖5為本發(fā)明的一個實例中的等離子顯示板的斷面圖，圖片主要部分的符號說明10前面基板 11維持電極12總線電極 13前面電介質(zhì)層14保護(hù)膜層 15促長劑20后面基板 21尋址電極22后面電介質(zhì)層 30障壁31熒光體 40碳納米纖維具體實施方式
以下，以附加的圖片為參考，更進(jìn)一步具體介紹采用本發(fā)明的等離子顯示板。
圖2為本發(fā)明的一個實例中的等離子顯示板的前面板的斷面圖。即，本發(fā)明的等離子顯示板的前面板的結(jié)構(gòu)以包括前面基板10，維持電極對11，總線電極對12，前面電介質(zhì)層13，保護(hù)膜層14及生成在保護(hù)膜層14下端的碳納米纖維40為特點(diǎn)。上述結(jié)構(gòu)中可以追加組成要素，且可以知道也屬于本發(fā)明范圍。
上述前面基板10的最佳選擇為玻璃基板，采用浮法(Float Method)制造使其具有較均一的平坦面。上述維持電極對11設(shè)在上述前面基板10的下端，可以由透明的導(dǎo)電材料，例如氧化銦錫(ITO)膜組成。而且，上述維持電極對11各自呈帶狀，以條紋形式配置在上述前面基板10的下端。當(dāng)然并不限于這種形式，可以呈各種形態(tài)。上述維持電極對11用所定的放電間隔進(jìn)行隔離配置。
上述總線電極對12設(shè)在上述維持電極對11的下端的一部分。即，具有比維持電極對小的寬度，與其并排形成導(dǎo)電性材料。其中，上述總線電極對12可以由導(dǎo)電性好的金屬材料，如主成分為銀膏的導(dǎo)電材料組成。而且，上述總線電極對可以省略，此時維持電極對將兼任總線電極對的功能。
上述維持電極對11和總線電極對12由上述前面電介質(zhì)層13保護(hù)。上述電介質(zhì)層13將積累電荷。
上述保護(hù)膜層14不僅防止噴濺涂覆引起的前面電介質(zhì)層的損傷從而延長PDP的壽命，而且可以提高2次電子的釋放效率。保護(hù)膜層14的材料可以采用氧化鎂(MgO)，氧化鋯(ZrO)，氧化鉿(HfO)，氧化鈰(CeO2)，氧化釷(ThO2)或氧化鑭(La2O3)等，其中最佳選擇是2次電子釋放系數(shù)和內(nèi)等離子侵蝕特性好的氧化鎂(MgO)。氧化鎂(MgO)通?？梢圆捎秒娮邮翦兎ǖ日婵照翦兎ㄉ伞?br> 上述保護(hù)膜層14的下端將生長形成本發(fā)明最大特點(diǎn)-碳納米纖維40。上述碳納米纖維40是RF等離子法在低溫培育且采用碳納米纖維促長劑15。上述催化劑雖然無限制，但可以采用鐵(Fe)，鎳(Ni)，鈷(Co)，銅(Cu)或碳化鐵(Fe3C或Fe5C2)等。為最小化光透過率的降低，盡量少量使用上述催化劑。
而且，在上述保護(hù)膜層14的下端生成上述碳納米纖維40面積最好在上述保護(hù)膜層14的下端總面積的3-30％范圍內(nèi)。這是因為，3％以內(nèi)時2次電子釋放效率的增加效果不明顯，30％以上時則光透過率顯著降低。上述碳納米纖維40可隨機(jī)分布在保護(hù)膜層下端，也可以以一定間隔規(guī)則分布。尤其是最好分布在放電空間。
上述碳納米纖維40雖無限制，但是其平均直徑最好在10nm-500nm范圍內(nèi)。直徑為納米大小，因此幾乎不存在透過率減少現(xiàn)象。
以下，具體介紹采用本發(fā)明的等離子顯示板的前面板的制造方法。
圖3為本發(fā)明的一個實例中的等離子顯示板的前面板制造方法順序圖。如圖所示，以包括如下階段為特點(diǎn)在前面基板10的部分領(lǐng)域以所定的樣式設(shè)置維持電極對11的階段，設(shè)置保護(hù)上述維持電極對11的前面電介質(zhì)層13的階段，在上述前面電介質(zhì)層13下端設(shè)置保護(hù)膜層14的階段及在上述保護(hù)膜層14的下端利用RF(Radio Frequency)等離子生成碳納米纖維的階段。也可以在上述維持電極對11的下端的一部分中設(shè)置總線電極對12。
首先，在前面基板10下端部分領(lǐng)域以所定的樣式設(shè)置維持電極對11及總線電極對12。維持電極對及總線電極對并排呈條紋形?？梢詮谋景l(fā)明技術(shù)領(lǐng)域告知的電極形成方法中無限制選擇應(yīng)用。即，可以采用絲網(wǎng)印刷法，也可以采用在前面基板下端蒸鍍電極材料等方法進(jìn)行蒸鍍后，采用照相平版印刷法形成樣式后設(shè)置維持電極對和總線電極對。
之后，涂前面電介質(zhì)層13，使其保護(hù)上述維持電極對和總線電極對。對其方法無限制，最好采用印刷等方法均勻涂抹電介質(zhì)膏后進(jìn)行燒成來完成。
之后，在上述前面電介質(zhì)層13下端設(shè)置保護(hù)電介質(zhì)且2次電子釋放效率高的保護(hù)膜層14。上述保護(hù)膜層可以采用涂層法或蒸鍍法形成。
以下，具體介紹在上述保護(hù)膜層14的下端生成本發(fā)明最大特點(diǎn)-碳納米纖維的方法。本發(fā)明中的碳納米纖維40是采用RF等離子法在低溫下垂直生長在碳納米纖維促長劑15所在的部位。
首先，將碳納米纖維的促長劑15設(shè)在保護(hù)膜層14的下端。上述促長劑可以采用在真空進(jìn)行電子束蒸鍍等蒸鍍法設(shè)置，也可以采用以膏狀印刷后燒成。蒸鍍時，以調(diào)節(jié)溫度及時間來調(diào)節(jié)形成在保護(hù)膜層下端的催化劑量。以膏狀進(jìn)行印刷時，可以以調(diào)節(jié)膏中含有的催化量來調(diào)節(jié)生成在保護(hù)膜層的促長劑量。促長劑的催化劑量關(guān)系到成長的面積，因此最好調(diào)節(jié)催化劑量，使上述保護(hù)膜層14的下端中生成上述碳納米纖維40的面積在上述保護(hù)膜層下端總面積的3-30％范圍內(nèi)。為此促長劑的最佳含量為占全體重量的1-10％。但本發(fā)明不以上述的催化劑量受限制。上述促長劑15雖無限制，但最好是鐵(Fe)，鎳(Ni)，鈷(Co)，銅(Cu)或碳化鐵(Fe3C或Fe5C2)。
之后，利用RF等離子法在上述促長劑15的所在的部位生成碳納米纖維40。
圖4為介紹本發(fā)明的一個實例中的碳納米纖維生成過程的圖片。即，在腔內(nèi)通入烴(hydrocarbon)氣，則烴附著在金屬粒子表面后，以氫和碳結(jié)合的烴會分解為氫和碳。之后，分解的碳原子將從金屬粒子的特定面吸收至金屬粒子內(nèi)部，吸收的碳原子則將析出到金屬粒子的特定表面。通過持續(xù)上述吸附，分解，吸收，析出過程，生成碳納米纖維。從圖可知，圖4的最上端(像鉆石的部分)為金屬催化劑15，烴吸附在上端后分解，吸收至粒子內(nèi)后從下端析出碳納米纖維40。由這種方法，可以只在促長劑形成的部位，垂直生成碳納米纖維40。
上述采用RF等離子的方法的條件可以從本發(fā)明技術(shù)領(lǐng)域中使用的實施條件中的無限制采用，但是最好采用如下條件。即，碳材料最好采用熱分解溫度低的甲烷或乙烯，混合氣體則最好好氮或氬。最好在10-4bar左右的真空中采用電源進(jìn)行放電。關(guān)于成長溫度，若是高溫很可能損傷電介質(zhì)，電極，保護(hù)膜層等，碳納米纖維的生長長度較長，會降低光透過率，因此最好采用低溫，最好在400-600℃范圍內(nèi)，尤其是450-550℃范圍內(nèi)進(jìn)行。
圖5為本發(fā)明的一個實例中的等離子顯示板的斷面圖，如圖所示，由在前面基板10下端部分領(lǐng)域以所定樣式隔離設(shè)置的維持電極對11，配備保護(hù)上述維持電極對11的前面電介質(zhì)層13及設(shè)在上述前面電介質(zhì)層13下端的保護(hù)膜層14的前面板；配備與上述維持電極對垂直的尋址電極21的后面板；及為了劃分放電空間而設(shè)在上述后面板上端的障壁30的等離子顯示板，以在上述保護(hù)膜層14的下端生成碳納米纖維40為特點(diǎn)。
上述前面板，可以從本發(fā)明技術(shù)領(lǐng)域告知的前面板中無限制挑選。即，本發(fā)明的等離子顯示板可以配備生成上述碳納米纖維40的前面板。關(guān)于在保護(hù)膜層14的下端生成碳納米纖維40的前面板已作具體介紹，在此省略。
上述后面板以包括在后面基板上端與上述維持電極對11垂直設(shè)置的尋址電極21，保護(hù)上述尋址電極21的后面電介質(zhì)層22，且與上述前面板對置為特點(diǎn)。
上述障壁30以為了劃分放電空間，設(shè)在上述后面板上端為特點(diǎn)。本發(fā)明的后面板障壁30的結(jié)構(gòu)無限制，作為其中一例可以采用條紋形障壁，封閉形障壁或三角形障壁。
上述障壁30及后面板可以涂抹通過熒現(xiàn)發(fā)光紫外線來體現(xiàn)顏色的熒光體31。上述熒光體可從本發(fā)明技術(shù)領(lǐng)域中的熒光體無限制選擇采用。紅色熒光體采用釔，硼酸釓等，綠色熒光體采用在硅酸鋅母體中混合錳激活劑的混合Zn2SiO4:Mn的化合物等，青色則可以采用鋇，鎂，鋁等。
上述實例是為了能更容易理解本發(fā)明而進(jìn)行的具體介紹，并不是為了限定本發(fā)明。因此，通?？梢蕴砑拥淖冃蔚那懊姘?，其制造方法及等離子顯示板也屬于本發(fā)明。凡采用等同替換或等效變換的形式所獲得的技術(shù)方案，均落在本發(fā)明所要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.等離子顯示板的前面板，其特征在于它包括如下組件(1)由在前面基板下端部分領(lǐng)域內(nèi)以所定的樣式相互隔離的維持電子對；(2)保護(hù)上述維持電子對的前面電介質(zhì)層；(3)設(shè)在上述前面電介質(zhì)層下端的保護(hù)膜層；(4)及在上述保護(hù)膜上端的碳納米纖維。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子顯示板的前面板，其特征在于它還可以再增設(shè)被設(shè)在所述維持電子對的下端的一部分且由上述前面電介質(zhì)層保護(hù)的總線電極對。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子顯示板的前面板，其特征在于以所述的碳納米纖維的平均直徑范圍在10nm-500nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子顯示板的前面板，其特征在于以所述的保護(hù)膜層的下端中生成碳納米纖維的面積占上述保護(hù)膜層的下端總面積的3-30％范圍以內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子顯示板的前面板，其特征在于以所述的保護(hù)膜層由氧化鎂組成。
6.等離子顯示板，其特征在于它包括(1)由在前面基板下端部分領(lǐng)域以所定樣式隔離設(shè)置的維持電極對，配備保護(hù)上述維持電極對的前面電介質(zhì)層及設(shè)在上述前面電介質(zhì)層下端的保護(hù)膜層的前面板；(2)配備與上述維持電極對垂直的尋址電極的后面板；及(3)為了劃分放電空間而設(shè)在上述后面板上端的障壁組成的等離子顯示板中，以在上述保護(hù)膜下端形成碳納米纖維。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的等離子顯示板，其特征在于增設(shè)被設(shè)在所述維持電子對下端的一部分，且由所述的前面電介質(zhì)層保護(hù)的總線電極對。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的等離子顯示板，其特征在于以所述的碳納米纖維生成在所述的和放電空間內(nèi)。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的等離子顯示板，其特征在于以所述的碳納米纖維的平均直徑范圍在10nm-500nm。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的等離子顯示板，其特征在于以所述的保護(hù)層下端中生成碳納米纖維的面積占上述保護(hù)層下端總面積的3-30％范圍內(nèi)。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的等離子顯示板，其特征在于在所述的障壁及后面板涂抹熒光體。
12.等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于它由如下階段組成(1)由在前面基板下端的部分領(lǐng)域以所定樣式設(shè)置維持電極對的階段和；(2)設(shè)置保護(hù)上述維持電極對的前面電介質(zhì)層的階段；(3)在上述前面電介質(zhì)層的下端設(shè)置保護(hù)膜層的階段；(4)及在上述保護(hù)膜層的下端采用RF等離子法生成碳納米纖維的階段。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于以增設(shè)設(shè)在所述維持電極對的下端的一部分，由所述前面電介質(zhì)層保護(hù)的總線電極對的階段。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于以所述的生成碳納米纖維的階段，是在上述保護(hù)膜層的下端生成碳納米纖維促長劑后利用RF等離子法生成碳納米纖維。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于以所述的促長劑為鐵，鎳，鈷，銅或碳化鐵(Fe3C或Fe5C2)。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于以所述的促長劑可以采用蒸鍍法或利用膏的印刷方法形成在所述的保護(hù)膜下端。
17.根據(jù)權(quán)利要求12所述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于以所述的RF等離子法中的碳材料采用甲烷或乙烯。
18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于以所述的RF等離子法中的混合氣體使用氮或氬。
19.根據(jù)權(quán)利要求12所述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于以采用上述RF等離子法生成碳納米纖維的階段在400-600℃范圍內(nèi)。
20.根據(jù)權(quán)利要求12所述的等離子顯示板的前面板的制造方法，其特征在于以采用上述RF等離子法生成碳納米纖維的階段在450-550℃范圍內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種在前面板的保護(hù)膜層下端利用RF(Radio Frequency)等離子直接形成碳納米纖維提高2次電子釋放效率的等離子顯示板的前面板，其制造方法及配備其的等離子顯示板相關(guān)發(fā)明。由此，可以在低溫下直接在保護(hù)膜上生成碳納米纖維，因此可以防止電介質(zhì)，保護(hù)膜，電極等的熱變形，最大限度提高了等離子顯示板的2次電子釋放效率，因此提高了效率。
文檔編號H01J17/49GK1975962SQ20061013944
公開日2007年6月6日 申請日期2006年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月22日
發(fā)明者姜東垣 申請人:樂金電子(南京)等離子有限公司