專利名稱：等離子體顯示面板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于顯示設(shè)備等的等離子體顯示面板。
技術(shù)背景由于等離子體顯示面板(以下稱作PDP)能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、大屏幕 化，因此，65英寸級的電視機等正被產(chǎn)品化。近年來，PDP正在推進掃描 線數(shù)是現(xiàn)有NTSC方式的兩倍以上的全規(guī)格高清晰度方向的應(yīng)用。并且考 慮到環(huán)境問題還要求PDP不包含鉛成分。PDP基本由前面板和背面板構(gòu)成。前面板由通過懸浮法制成的硼硅酸 鈉類玻璃的玻璃基板、由在其一側(cè)主面上形成的條狀透明電極和金屬匯流 電極構(gòu)成的顯示電極、覆蓋該顯示電極且作為電容器工作的電介質(zhì)層、由 在該電介質(zhì)層上形成的氧化鎂(MgO)構(gòu)成的保護層構(gòu)成。另一方面，背 面板由玻璃基板、在其一側(cè)主面上形成的條狀尋址電極、覆蓋尋址電極的 基礎(chǔ)電介質(zhì)層、在基礎(chǔ)電介質(zhì)層上形成的障壁、在各障壁間形成的分別發(fā) 出紅色、綠色以及藍色光的熒光體層構(gòu)成。將前面板和背面板的電極形成面?zhèn)认鄬ε渲貌饷苊芊猓?00Torr 600Torr的壓力將Ne-Xe的放電氣體封入由障壁劃分的放電空間內(nèi)。通過向 顯示電極選擇性地施加圖像信號電壓，使PDP放電，通過該放電所產(chǎn)生的 紫外線激勵各色熒光體層發(fā)出紅色、綠色以及藍色光，實現(xiàn)彩色圖像顯 示。顯示電極的金屬匯流電極中使用用于保證導(dǎo)電性的銀電極，電介質(zhì)層 使用以氧化鉛為主成分的低熔點玻璃材料，但是出于對近年來的環(huán)境問題 的考慮，電介質(zhì)層不含鉛成分的例子被公開(例如，參照專利文獻1、 2、 3)。近年來，PDP正在推進掃描線數(shù)是現(xiàn)有NTSC方式的兩倍以上的全規(guī) 格高清晰度方向的應(yīng)用。由于該種高清晰度化，掃描線數(shù)增加且顯示電極 的數(shù)量增加，并且顯示電極間隔變小。因此，銀離子從構(gòu)成顯示電極的銀電極向電介質(zhì)層的擴散增多。銀離3子擴散至電介質(zhì)層后，由于電介質(zhì)層中的堿金屬離子，會受到還原作用， 從而形成膠狀的氧化銀。并且，該氧化銀會使電介質(zhì)層著色成黃色或褐 色，并且， 一部分的氧化銀會受到還原作用而產(chǎn)生氧氣氣泡，此氣泡會引 起絕緣故障。因此，提出使用電介質(zhì)層中不含鉛成分，且抑制與銀電極反應(yīng)的氧化 鉍等低熔點玻璃材料。但是，電介質(zhì)層中使用過多氧化鉍等低熔點玻璃材 料時，電介質(zhì)層的可見光透射率明顯降低。如果為了抑制電介質(zhì)層的可見 光透射率的下降，減少氧化鉍等低熔點玻璃材料，則不能充分抑制與銀電 極的反應(yīng)，從而引起著色和絕緣故障。這樣，在處于對環(huán)境問題的考慮而提出的不含鉛成分的現(xiàn)有電介質(zhì)層 中，存在難以使防止電介質(zhì)層的著色以及絕緣故障，和抑制可見光透射率 下降并存的問題。專利文獻1:特開2003-128430號公報 專利文獻2:特開2002-053342號公報 專利文獻3:特開平9-050769號公報發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明解決了上述問題，在不含鉛成分的電介質(zhì)層中，即使是高精度 顯示，也能夠?qū)崿F(xiàn)防止電介質(zhì)層的著色以及絕緣故障，且抑制可見光透射 率下降的PDP。本發(fā)明的PDP是將在玻璃基板上形成有顯示電極、電介質(zhì)層和保護層 的前面板和在基板上形成有電極、障壁和熒光體層的背面板相對配置，并 且將周圍密封形成放電空間的PDP。特別是顯示電極至少含有銀，且電介 質(zhì)層由覆蓋顯示電極并含有氧化鉍的第1電介質(zhì)層、和覆蓋第1電介質(zhì)層 并含有氧化鉍的第2電介質(zhì)層構(gòu)成，第2電介質(zhì)層與第1電介質(zhì)層的厚度 比為1.3以上、7.2以下。此外，本發(fā)明的PDP的電介質(zhì)層由覆蓋顯示電極的第1電介質(zhì)層、和 覆蓋第1電介質(zhì)層且氧化鉍的含量小于第1電介質(zhì)層的氧化鉍的含量的第2 電介質(zhì)層構(gòu)成。當電介質(zhì)層以上述厚度比具有，用于抑制與銀的反應(yīng)而使氧化鉍的含 量增多的第1電介質(zhì)層、和用于防止可見光透射率下降而使氧化鉍的含量4減少的第2電介質(zhì)層時，在抑制第1電介質(zhì)層與銀反應(yīng)的同時保證了必要 的絕緣耐壓而不會使第2電介質(zhì)層的可見光透射率下降。其結(jié)果是，即使 是高精度顯示，也能夠?qū)崿F(xiàn)防止電介質(zhì)層的著色以及絕緣故障，且抑制可 見光透射率下降的PDP。并且，優(yōu)選第1電介質(zhì)層包含0.1重量％以上、7重量％以下的氧化鉬、氧化鎢中的至少一種。由此，氧化鉬、氧化鎢與銀離子反應(yīng)，能夠抑 制膠狀銀的生成以及氣泡的產(chǎn)生。此外，第2電介質(zhì)層優(yōu)選包含11重量％以上、20重量％以下的氧化 鉍，能夠提高可見光透射率。并且，第1電介質(zhì)層以及第2電介質(zhì)層優(yōu)選包含氧化鋅、氧化硼、氧 化硅、氧化鋁、氧化鈣、氧化鍶、氧化鋇中的至少一種，能夠?qū)崿F(xiàn)電介質(zhì) 層的絕緣耐壓性能不會惡化，可見光透射率高且環(huán)保的顯示質(zhì)量高的 PDP。如上所述，根據(jù)本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)即使在高精度顯示時，在不含鉛成分 的電介質(zhì)層中，防止電介質(zhì)層的著色以及絕緣故障且抑制可見光透射率的 降低的PDP。


圖1是表示本發(fā)明實施方式涉及的PDP結(jié)構(gòu)的立體圖。 圖2是表示本發(fā)明實施方式涉及的PDP的電介質(zhì)層的結(jié)構(gòu)的前面板的 剖面圖。附圖標記說明1 PDP2 前面板3 前面玻璃基板4 掃描電極4a， 5a 透明電極 4b， 5b 金屬匯流電極5 維持電極6 顯示電極7 黑條(遮光層)8電介質(zhì)層9保護層10背面板11背面玻璃基板12尋址電極13基礎(chǔ)電介質(zhì)層14障壁15熒光體層16放電空間81第1電介質(zhì)層82第2電介質(zhì)層具體實施方式
下面使用附圖對本發(fā)明實施方式涉及的PDP進行說明。 (實施方式)圖1是表示本發(fā)明實施方式涉及的PDP結(jié)構(gòu)的立體圖。PDP的基本結(jié) 構(gòu)與一般的交流面放電型PDP相同。如圖1所示，PDP1將由前面玻璃基板 3等構(gòu)成的前面板2、和由背面玻璃基板11等構(gòu)成的背面板10相對配置， 通過由玻璃料等構(gòu)成的密封材料氣密密封其外周。在被密封的PDP1內(nèi)部的 放電空間16中，以400Torr 600Torr的壓力封入氖(Ne)以及氙(Xe)等 放電氣體。前面板2的前面玻璃基板3上，分別配置有多列相互平行的由掃描電 極4以及維持電極5構(gòu)成的一對帶狀顯示電極6與黑條(遮光層)7。前面 玻璃基板3上形成有覆蓋顯示電極6和黑條(遮光層)7且作為電容器工作 的電介質(zhì)層8，并且在電介質(zhì)層8的表面上形成有由氧化鎂(MgO)等構(gòu) 成的保護層9。此外，背面板10的背面玻璃基板11上，在與前面板2的掃描電極4以 及維持電極5正交的方向上配置有相互平行的多個帶狀尋址電極12，且被 基礎(chǔ)電介質(zhì)層13覆蓋。并且，尋址電極12與其他尋址電極12之間的基礎(chǔ) 電介質(zhì)層13上形成有劃分放電空間16的具有規(guī)定高度的障壁14。在障壁 14間的槽中的每個尋址電極12上，依次涂布形成有通過紫外線發(fā)出紅色、藍色以及綠色光的熒光體層15。在掃描電極4以及維持電極5與尋址電極 12交叉的位置上形成放電單元，具有在顯示電極6方向排列的紅色、藍色 以及綠色熒光體層15的放電單元成為用于彩色顯示的像素。圖2是表示本發(fā)明實施方式涉及的PDP的電介質(zhì)層8的結(jié)構(gòu)的前面板 2的剖面圖。圖2是使圖l上下顛倒而顯示。如圖2所示，在通過懸浮法等 制得的前面玻璃基板3上，圖案化形成由掃描電極4和維持電極5構(gòu)成的 顯示電極6和黑條(遮光層)7。掃描電極4和維持電極5分別由氧化銦錫 (ITO)或氧化錫(Sn02)等所構(gòu)成的透明電極4a、 5a、和在透明電極 4a、 5a上形成的金屬匯流電極4b、 5b構(gòu)成。金屬匯流電極4b、 5b用于在 透明電極4a、 5a的長度方向上賦予導(dǎo)電性，且由以銀材料為主成分的導(dǎo)電 性材料形成。電介質(zhì)層8至少具有第1電介質(zhì)層81和第2電介質(zhì)層82這兩層結(jié)構(gòu)， 第1電介質(zhì)層81覆蓋在前面玻璃基板3上形成的這些透明電極4a、 5a、金 屬匯流電極4b、 5b和黑條(遮光層)7，第2電介質(zhì)層82形成在第1電介 質(zhì)層81上，且在第2電介質(zhì)層82上形成保護層9。接著，對PDP的制造方法進行說明。首先，在前面玻璃基板3上形成 掃描電極4以及維持電極5和黑條(遮光層)7。使用光刻法等圖案化形成 該些透明電極4a、 5a和金屬匯流電極4b、 5b。使用薄膜工藝等形成透明電 極4a、 5a，在規(guī)定溫度下，通過將含有銀材料的膏體焙燒并硬化形成金屬 匯流電極4b、 5b。此外，同樣地，使用絲網(wǎng)印刷包含黑色顏料的膏體的方 法或通過在玻璃基板的整個表面形成黑色顏料后，使用光刻法圖案化并焙 燒而形成黑條(遮光層)7。接著，以覆蓋掃描電極4、維持電極5以及黑條(遮光層)7的方式， 通過模涂法等在前面玻璃基板3上涂布電介質(zhì)膏體形成電介質(zhì)膏體層(電 介質(zhì)材料層)，通過放置規(guī)定時間，涂布后的電介質(zhì)膏體表面被取平并平坦 化。之后，通過焙燒硬化電介質(zhì)膏體層，形成覆蓋掃描電極4、維持電極5 以及黑條(遮光層)7的電介質(zhì)層8。另外，電介質(zhì)膏體是包含玻璃粉末等 電介質(zhì)材料、粘合劑以及溶劑的涂料。接著，通過真空蒸鍍法在電介質(zhì)層8 上形成由氧化鎂(MgO)構(gòu)成的保護層9。通過以上工序，在前面玻璃基 板3上形成規(guī)定的構(gòu)成物，例如，掃描電極4、維持電極5、黑條(遮光 層)7、電介質(zhì)層8以及保護層9，從而制成前面板 。另一方面，如下所示形成背面板IO。首先，在背面玻璃基板ll上，通 過絲網(wǎng)印刷包含銀材料的膏體的方法、或者整面形成金屬膜后，通過使用 光刻法進行圖案化的方法等形成作為尋址電極12用構(gòu)成物的材料層，通過 以規(guī)定的溫度對其進行焙燒形成尋址電極12。接著，在形成尋址電極12的背面玻璃基板11上，通過模涂法等涂布電介質(zhì)膏體，形成電介質(zhì)膏體層，從而覆蓋尋址電極12。之后，通過焙燒 電介質(zhì)膏體層形成基礎(chǔ)電介質(zhì)層13。另外，電介質(zhì)膏體是包含玻璃粉末等電介質(zhì)材料、粘合劑以及溶劑的涂料。接著，通過在基礎(chǔ)電介質(zhì)層13上涂布包含障壁材料的障壁形成用膏體 并圖案化成規(guī)定形狀，形成障壁材料層后，通過焙燒形成障壁14。此處， 對在基礎(chǔ)電介質(zhì)層13上涂布的障壁用膏體圖案化的方法能夠使用光刻法或 噴砂法。接著，在相鄰的障壁14間的基礎(chǔ)電介質(zhì)層13上、以及障壁14側(cè)面上 涂布包含熒光體材料的熒光體膏體，通過焙燒形成熒光體層15。通過以上 工序，制成在背面玻璃基板11上具有規(guī)定構(gòu)成部件的背面板10。這樣，將具有規(guī)定構(gòu)成部件的前面板2和背面板10相對配置以使掃描 電極4和尋址電極12正交，其周圍用玻璃料密封，通過向放電空間16封 入包含氖、氙等放電氣體，制成PDP1。對構(gòu)成前面板2的電介質(zhì)層8的第1電介質(zhì)層81、和第2電介質(zhì)層82 進行說明。第1電介質(zhì)層81的電介質(zhì)材料由以下材料成分構(gòu)成。即，包含 25重量％ 40重量％的氧化鉍(Bi203)、 27.5重量％ 34重量％的氧化鋅 (ZnO)、 17重量％ 36重量％的氧化硼(B203)、 1.4重量％ 4.2重量％的 氧化硅(Si02)、 0.5重量％ 4.4重量％的氧化鋁(A1203)。并且，包含5重 量％ 13重量％的選自氧化鈣(CaO)、氧化鍶(SrO)、氧化鋇(BaO)中 的至少一種、0.1重量％ 7重量％的選自氧化鉬(Mo03)、氧化鎢(W03) 中的至少一種。另外，也可包含0.1重量％ 7重量％的選自氧化鈰(Ce02)、氧化銅 (CuO)、 二氧化錳(Mn02)、氧化鉻(Cr203)、氧化鈷(Co203)、氧化釩 (V207)、氧化銻(Sb203)中的一種來代替氧化鉬(Mo03)、氧化鎢 (W03)。使用濕式噴射研磨機或者球磨機，將由該些成分構(gòu)成的電介質(zhì)材料粉碎成0.5/mi 2.5^m的平均粒徑，制成電介質(zhì)材料粉末。接著，使用三根輥 將55重量％ 70重量％的電介質(zhì)材料粉末、和30重量％ 45重量％的粘合 劑成分充分混合，制成模涂用或者印刷用第1電介質(zhì)層用膏體。粘合劑成 分是乙基纖維素、或者包含1重量％ 20重量％的丙烯酸樹脂的萜品醇、 或者丁基卡必醇醋酸酯。此外，在膏體中，根據(jù)需要添加作為增塑劑的鄰 苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二丁酯、磷酸三苯酯、磷酸三丁酯，和作為 分散劑的甘油單油酸酯、山梨糖醇酐倍半油酸酯、Homogenol (花王股份有 限公司的注冊商標)、烷基烯丙基磷酸酯等，從而提高印刷性。接著，通過模涂法或者絲網(wǎng)印刷法，將該第1電介質(zhì)層用膏體印刷在 前面玻璃基板3上并千燥，從而覆蓋顯示電極6，之后，以比電介質(zhì)材料的 軟化點略高的溫度575"C 59(TC焙燒。接著，對第2電介質(zhì)層82進行說明。第2電介質(zhì)層82的電介質(zhì)材料 由以下材料成分構(gòu)成。即，包含11重量％ 20重量％的氧化鉍(Bi203)、 26.1重量％ 39.3重量％的氧化鋅(ZnO)、 23重量％ 32.2重量％的氧化硼 (B203)、 1.0重量％ 3.8重量％的氧化硅(Si02)、 0.1重量％ 10.2重量％ 的氧化鋁(A1203)。并且，包含9.7重量％ 29.4重量％的選自氧化鈣 (CaO)、氧化鍶(SrO)、氧化鋇(BaO)中的至少一種、以及0.1重量 % 5重量％的氧化鈰(Ce02)。使用濕式噴射研磨機或者球磨機，將由該些成分構(gòu)成的電介質(zhì)材料粉 碎成0.5/mi 2.5/mi的平均粒徑，制成電介質(zhì)材料粉末。接著，使用三根輥 將55重量％ 70重量％的電介質(zhì)材料粉末、和30重量％ 45重量％的粘合 劑成分充分混合，制成模涂用或者印刷用第2電介質(zhì)層用膏體。粘合劑成 分是乙基纖維素、或者包含1重量％ 20重量％的丙烯酸樹脂的萜品醇、 或者丁基卡必醇醋酸酯。此外，在膏體中，根據(jù)需要添加作為增塑劑的鄰 苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二丁酯、磷酸三苯酯、磷酸三丁酯，和作為 分散劑的甘油單油酸酯、山梨糖醇酐倍半油酸酯、Homogenol (花王股份有 限公司的注冊商標)、垸基烯丙基磷酸酯等，從而提高印刷性。接著，通過模涂法或者絲網(wǎng)印刷法，將該第2電介質(zhì)層用膏體印刷在 第1電介質(zhì)層81上并干燥，之后，以比電介質(zhì)材料的軟化點略高的溫度 550。C 590。C焙燒。此處，為了保證可見光透射率，由第1電介質(zhì)層81和第2電介質(zhì)層8構(gòu)成的電介質(zhì)層8的膜厚優(yōu)選為41^111以下。為了抑制與金屬匯流電極4b、 5b中的銀的反應(yīng)，第1電介質(zhì)層81中的氧化鉍含量比第2電介質(zhì)層82 所含氧化鉍的含量多，為25重量％ 40重量％。因此，第1電介質(zhì)層81的 可見光透射率也比第2電介質(zhì)層82的可見光透射率低，因此，第1電介質(zhì) 層81的膜厚比第2電介質(zhì)層82的膜厚薄。另外，氧化鉍(Bi203)在11重量％以下時，在第2電介質(zhì)層82中， 可見光透射率難以下降，第2電介質(zhì)層82中卻容易產(chǎn)生氣泡，因此不優(yōu) 選。此外，氧化鉍超過20重量％時，透射率難以提高，因此不優(yōu)選。此外，電介質(zhì)層8的膜厚越薄面板亮度的提高和放電電壓的降低效果 越顯著。但是，電介質(zhì)層8的膜厚過薄則得不到所需的絕緣耐壓。這樣，為了抑制與金屬匯流電極4b、 5b中的銀反應(yīng)，需要將覆蓋金屬 匯流電極4b、 5b的第1電介質(zhì)層81中的氧化鉍含量增多。此外，為了得 到絕緣耐壓，需要有規(guī)定的電介質(zhì)層8的膜厚，因此第2電介質(zhì)層82必須 為不使可見光透射率極度下降，且氧化鉍含量少并具有規(guī)定厚度。因而，對滿足上述條件的第1電介質(zhì)層81和第2電介質(zhì)層82的厚度 進行調(diào)查，結(jié)果表明第2電介質(zhì)層81與第1電介質(zhì)層82的厚度比為1.3以 上、7.2以下時較佳。即，該厚度比不足1.3時，不能得到必需的絕緣耐 壓，超過7.2時可見光透射率的下降明顯。接著，本發(fā)明實施方式的PDP中，對通過該些電介質(zhì)材料抑制第1電 介質(zhì)層81的著色以及氣泡的產(chǎn)生的理由進行研究。g卩，通過向包含氧化鉍 (Bi203)的電介質(zhì)玻璃材料添加氧化鉬(Mo03)或氧化鎢(W03)，在 580°C以下的低溫下容易生成Ag2Mo04 、 Ag2Mo207 、 Ag2Mo4013 、 Ag2W04、 Ag2W207、 Ag2W40!3化合物。本發(fā)明實施方式中，電介質(zhì)層8的焙燒溫度為550°C 590°C，由此， 在焙燒時，擴散到電介質(zhì)層8中的Ag離子(Ag+)與電介質(zhì)層8中的氧化 鉬(Mo03)、氧化鎢(W03)反應(yīng)，生成穩(wěn)定的化合物。S卩，Ag離子(Ag + )被穩(wěn)定而不會被還原，因此，不會凝集成膠狀。由此，通過穩(wěn)定Ag離 子(Ag+)，伴隨銀(Ag)的膠狀化而產(chǎn)生的氧也變少，因此電介質(zhì)層8中 的氣泡產(chǎn)生也變少。另一方面，為使該些效果有效，優(yōu)選包含氧化鉍(Bi203)的電介質(zhì)玻 璃材料中的氧化鉬(Mo03)或者氧化鎢(W03)的含量為0.1重量％以上，更優(yōu)選為0.1重量％以上、7重量％以下。特別是0.1重量％以下時，抑制著色的效果小，超過7重量％時，電介質(zhì)玻璃材料產(chǎn)生著色，因此不優(yōu)選。艮P，本發(fā)明實施方式涉及的PDP的電介質(zhì)層8抑制了與由銀材料構(gòu)成 的金屬匯流電極4b、 5b接觸的第1電介質(zhì)層81中的著色現(xiàn)象和氣泡的產(chǎn) 生，通過設(shè)置在第1電介質(zhì)層81上的第2電介質(zhì)層82，保證了絕緣耐壓且 實現(xiàn)了高可見光透射率。其結(jié)果是能夠?qū)崿F(xiàn)電介質(zhì)層8整體的氣泡或著色 的產(chǎn)生極少，且可見光透射率高的PDP。工業(yè)利用可能性本發(fā)明PDP沒有電介質(zhì)層的著色現(xiàn)象或絕緣耐壓性的惡化，實現(xiàn)了環(huán) 保且顯示質(zhì)量高的PDP，能夠用于大畫面的顯示設(shè)備等。
權(quán)利要求
1、一種等離子體顯示面板，其將在玻璃基板上形成有顯示電極、電介質(zhì)層和保護層的前面板與在基板上形成有電極、障壁和熒光體層的背面板相對配置，并將周圍密封以形成放電空間，該等離子體顯示面板的特征在于，所述顯示電極至少含有銀，所述電介質(zhì)層包括覆蓋所述顯示電極并含有氧化鉍的第1電介質(zhì)層；和覆蓋所述第1電介質(zhì)層并含有氧化鉍的第2電介質(zhì)層，所述第2電介質(zhì)層與所述第1電介質(zhì)層的厚度之比為1.3以上、7.2以下。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的等離子體顯示面板，其特征在于， 所述電介質(zhì)層包括覆蓋所述顯示電極的第1電介質(zhì)層；和 覆蓋所述第1電介質(zhì)層且氧化鉍的含量小于所述第1電介質(zhì)層的氧化鉍的含量的第2電介質(zhì)層。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的等離子體顯示面板，其特征在于，所述第1電介質(zhì)層包含0.1重量％以上、7重量％以下的氧化鉬、氧化 鉤中的至少一種。
4、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的等離子體顯示面板，其特征在于， 所述第2電介質(zhì)層包含11重量％以上、20重量％以下的氧化鉍。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項所述的等離子體顯示面板，其特征在于，所述第1電介質(zhì)層以及所述第2電介質(zhì)層包含氧化鋅、氧化硼、氧化 硅、氧化鋁、氧化鈣、氧化鍶、氧化鋇中的至少一種。
全文摘要
一種PDP(1)，其不含有鉛，具有滿足透射率、耐絕緣性、介電常數(shù)，且抑制了著色產(chǎn)生的電介質(zhì)層，并且顯示質(zhì)量高。PDP(1)將在前面玻璃基板(3)上形成有顯示電極(6)、電介質(zhì)層(8)和保護層(9)的前面板(2)與在基板上形成有電極、障壁和熒光體層的背面板相對配置，并將周圍密封以形成放電空間。并且，PDP(1)中，顯示電極(6)具備含有銀的金屬匯流電極(4b)、(5b)，電介質(zhì)層(8)由含有覆蓋金屬匯流電極(4b)、(5b)的氧化鉍的第1電介質(zhì)層(81)和覆蓋第1電介質(zhì)層(81)且含有氧化鉍的第2電介質(zhì)層(82)構(gòu)成。并且，第2電介質(zhì)層(81)與第1電介質(zhì)層(82)的厚度比為1.3以上、7.2以下。
文檔編號H01J11/22GK101326611SQ20078000061
公開日2008年12月17日 申請日期2007年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月14日
發(fā)明者三舩達雄, 森岡一裕, 河瀨覺 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社