專利名稱：焊料球接合方法和接合裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種焊料球接合/焊接方法和一種焊料球接合/焊接裝置。具體地本發(fā)明涉及一種適合于進(jìn)行精細(xì)接合的接合方法和一種接合裝置，例如形成在一磁頭滑動(dòng)件上的一接合區(qū)與一引線架側(cè)的一接合區(qū)之間的接合。
背景技術(shù)：
公知有一種連接方法，利用這種方法把作為接合對(duì)象的電極互相靠攏并使電極與球形焊料(以下稱為焊料球)接觸，然后向焊料球施加熱量和超聲波振動(dòng)(所謂的超聲波壓焊)，從而在電極之間形成電連接。
此外，除了利用壓焊進(jìn)行接合，還公知有一種接合方法，在這種方法中，把一焊料球置于電極之間，并用激光照射熔融焊料球，從而在電極之間形成電連接。
圖7A、7B和7C為示出通過用激光照射熔融焊料球從而實(shí)現(xiàn)電極之間的接合的程序的說明圖。應(yīng)該指出，圖7A、7B和7C用來接合一形成在磁頭滑動(dòng)件上的一接合區(qū)與一引線架側(cè)的一焊接區(qū)。
參見圖7A，為接合這種磁頭，首先用一種粘結(jié)劑事先構(gòu)成磁頭和一待接合對(duì)象的滑動(dòng)件1和一支承該滑動(dòng)件1的撓曲件2連接起來，使得電極互相接觸。
一接合滑動(dòng)件1和撓曲件2的接合裝置3包括一吸住一焊料球4的吸嘴5和一用一激光照射焊料球4的激光照射部6。吸嘴5和激光照射部6固定在一連接塊7上，并利用移動(dòng)裝置(未示出)在一磁頭側(cè)與一焊料球供應(yīng)裝置8側(cè)之間來回移動(dòng)。
在接合滑動(dòng)件(slider)1與撓曲件(flexure)2時(shí)，首先把接合裝置3移動(dòng)到焊料球供應(yīng)裝置8側(cè)，然后使用吸嘴5從焊料球供應(yīng)裝置8吸取焊料球4。如圖7B所示，吸嘴5這樣吸取焊料球4后開動(dòng)移動(dòng)裝置，把焊料球4傳送到滑動(dòng)件1和撓曲件2的電極接觸處的一電極9處。然后撤銷吸嘴5的吸力，并然后將焊料球4裝載到電極9上。焊料球4裝載到電極9上后再次開動(dòng)移動(dòng)裝置，把激光照射部6移動(dòng)到焊料球4上方的一位置處。然后用激光照射焊料球4以熔融焊料球4，連接形成在滑動(dòng)件1上的電極和撓曲件2上的電極(例如參見JP2002-25025A，圖6)。
此外，已知另一種焊料球接合裝置，該焊料球接合裝置具有該裝置上方一的激光光源和一設(shè)有一在該接合裝置一側(cè)部上供應(yīng)一焊料球的連接片的連接件。在落入該連接件中后，用激光光源使焊料球熔融(例如參見JP11-509375A，圖1)。
此外，一具有已由一布置罩、一快門/保護(hù)罩(shutter mask)和一供應(yīng)罩構(gòu)成的三層結(jié)構(gòu)的裝置是另一種已知的焊料球接合裝置。當(dāng)滑動(dòng)夾在布置罩與供應(yīng)罩之間的快門罩時(shí)一焊料球從布置罩自由降落到供應(yīng)罩上，從而把該焊料球供應(yīng)到一接合區(qū)上以進(jìn)行接合(例如參見JP8-236916A，圖8)。
但是，使用上述焊料球接合裝置存在如下問題。
即，在組合使用加熱和超聲波振動(dòng)的接合方法中，必須在接合對(duì)象上施加足以進(jìn)行壓焊的外力。例如，在接合對(duì)象為構(gòu)成一磁頭的一滑動(dòng)件和一撓曲件的情況下，為防止外力造成變形必須在背面?zhèn)仍O(shè)置一承受外力的承力件。因此存在構(gòu)成該裝置的部件數(shù)增加的問題。
此外，在設(shè)有吸嘴5和激光照射部6的接合裝置中，在用吸嘴5把焊料球4裝載到電極9上后，焊料球4無法保持在接合裝置側(cè)。因此存在裝載到電極9上的焊料球4由于外部干擾發(fā)生位置移動(dòng)的危險(xiǎn)。因此，除了所制造的產(chǎn)品和接合裝置外，存在必須設(shè)置保持焊料球4的附加裝置的問題。
此外，上述接合裝置，即利用壓焊的接合裝置、利用吸嘴5和激光照射部6的接合裝置和利用具有激光光源和接合片的連接件的接合裝置只能對(duì)唯一一個(gè)電極進(jìn)行接合。在存在多個(gè)電極的情況下，必須對(duì)多個(gè)電極中的每一個(gè)分別重復(fù)進(jìn)行上述處理過程序列，因此難于提高制造過程的效率。
此外，盡管用具有由布置罩、快門罩和供應(yīng)罩構(gòu)成的三層結(jié)構(gòu)的接合裝置可在多個(gè)孔中布置多個(gè)焊料球，但不能通過分別將特定的焊料球運(yùn)送到特定的位置來進(jìn)行接合。

發(fā)明內(nèi)容
考慮到上述常見問題，本發(fā)明的一個(gè)目的是提供一種無需對(duì)一接合對(duì)象施加外力即能防止一焊料球在一接合位置上移動(dòng)并能提高接合過程的效率的焊料球接合方法和焊料球接合裝置。
本發(fā)明基于下述發(fā)現(xiàn)如果安裝一個(gè)激光照射部，使它能在多個(gè)吸球部之間移動(dòng)，以及在吸球部的一遠(yuǎn)端上設(shè)置一防止焊料球滾動(dòng)的約束面，則可縮短接合時(shí)間并把焊料球可靠地保持在電極上。
按照本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種用于通過熔融焊料球?qū)π纬纱雍蠈?duì)象上多個(gè)電極部進(jìn)行接合的焊料球接合方法，該焊料球接合方法包括使用與所述接合對(duì)象的電極部對(duì)應(yīng)的多個(gè)吸嘴吸取焊料球；把所述焊料球運(yùn)送到所述電極部上；沿所述吸嘴的布置方向移動(dòng)一位于所述吸嘴上方的激光照射部；以及使用激光照射部用一穿過所述吸嘴的吸孔的激光照射所述焊料球，從而使所述電極部上的所述多個(gè)焊料球熔融。
按照本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種通過熔融多個(gè)焊料球接合多個(gè)電極部的焊料球接合方法，通過抵靠待接合對(duì)象形成具有V形橫截面的所述電極部，該焊料球接合方法包括使用與接合對(duì)象的電極部對(duì)應(yīng)的多個(gè)吸嘴吸取焊料球；將所述焊料球傳送至所述焊料球接觸所述電極部的V形槽；使用吸嘴約束焊料球在與電極部V形槽角頂線方向正交的方向上滾動(dòng)；沿吸嘴的布置方向移動(dòng)一位于所述吸嘴上方的激光照射部；以及使用所述激光照射部用穿過所述吸嘴的吸孔的激光照射焊料球，從而使所述電極部上的所述多個(gè)焊料球熔融。
在該焊料球接合方法的另一個(gè)方面中，在用激光照射所述焊料球時(shí)可從所述吸嘴的吸孔供應(yīng)一種惰性氣體。
按照本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種用于通過把焊料球傳送到多個(gè)電極部上并通過用激光照射熔融所傳送的焊料球來接合形成在接合對(duì)象上的多個(gè)電極部的焊料球接合裝置，該焊料球接合裝置包括一裝置主體；形成在所述裝置主體中的一聯(lián)結(jié)空間；對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)電極部設(shè)置的多個(gè)吸嘴，所述吸嘴具有吸孔，且所述吸嘴與所述聯(lián)結(jié)空間連通；一連接到所述裝置主體上的并改變所述聯(lián)結(jié)空間中壓力的供氣排氣裝置；一設(shè)置在和吸嘴之間夾有所述裝置主體的吸嘴相對(duì)的一側(cè)的發(fā)射穿過所述吸嘴的吸孔的激光的激光照射部；以及位于激光照射部與裝置主體之間的傳送裝置，該傳送裝置能沿所述多個(gè)電極部的布置方向移動(dòng)所述激光照射部，在該焊料球接合裝置中，焊料球被所述多個(gè)吸嘴吸取，并通過激光照射部的移動(dòng)連續(xù)熔融。
按照本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供一種用于通過把焊料球傳送到多個(gè)電極部上并通過用激光照射熔融所傳送的焊料球來接合多個(gè)電極部的焊料球接合裝置，具有V形橫截面的所述電極部由所述接合對(duì)象抵靠形成，該焊料球接合裝置包括一裝置主體；一在所述裝置主體中形成的聯(lián)結(jié)空間；對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)電極部設(shè)置的多個(gè)吸嘴，所述吸嘴具有吸孔，且所述吸嘴與所述聯(lián)結(jié)空間連通；吸嘴中約束所述焊料球在與所述電極部的V形槽角頂線方向正交的方向上滾動(dòng)的約束面；連接到所述裝置主體上的并改變所述聯(lián)結(jié)空間中壓力的供氣排氣裝置；一設(shè)置在和吸嘴之間夾有所述裝置主體的吸嘴相對(duì)的一側(cè)的發(fā)射穿過所述吸嘴的吸孔的激光的激光照射部；以及設(shè)置在所述激光照射部與所述裝置主體之間的傳送裝置，所述傳送裝置能沿多個(gè)電極部的布置方向移動(dòng)所述激光照射部，在所述焊料球接合裝置中，焊料球被所述多個(gè)吸嘴吸取，并通過激光照射部的移動(dòng)連續(xù)熔融。
在該焊料球接合裝置的另一個(gè)方面中，可在所述裝置主體上連接惰性氣體供氣裝置，所述惰性氣體供氣裝置與所述聯(lián)結(jié)空間連通。
按照上述結(jié)構(gòu)，如果開動(dòng)供氣排氣裝置，使聯(lián)結(jié)空間進(jìn)入一低壓狀態(tài)，則可通過一吸嘴的一吸取動(dòng)作吸取焊料球。在利用所述吸嘴吸取焊料球后，移動(dòng)焊料球接合裝置本身，將多個(gè)吸嘴與多個(gè)電極部的位置對(duì)齊。然后通過使用所述供氣排氣裝置向所述聯(lián)結(jié)空間引入壓力，使得聯(lián)結(jié)空間從低壓狀態(tài)恢復(fù)至大氣壓(即真空破壞)。從而釋放由所述吸嘴產(chǎn)生的吸力，由此把焊料球置于一與所述吸嘴分離的狀態(tài)。
在把焊料球置于與所述吸嘴分離的狀態(tài)后，通過使用所述激光照射部對(duì)焊料球進(jìn)行激光照射，使得焊料球熔融并對(duì)接合對(duì)象的電極部進(jìn)行電接合。應(yīng)該指出，通過使用惰性氣體供氣排氣裝置可把惰性氣體引入所述聯(lián)結(jié)空間，且為了在進(jìn)行激光照射時(shí)防止焊料球氧化可用所述吸嘴朝焊料球噴射所述惰性氣體。
在裝載到所述多個(gè)電極部上的焊料球之一如此熔融而在電極部之間實(shí)現(xiàn)接合后，開動(dòng)傳送裝置并把激光照射部移動(dòng)到一個(gè)來自激光照射部的激光穿過一相鄰吸嘴的吸孔的位置上。在這樣移動(dòng)所述激光照射部后，可再次對(duì)焊料球進(jìn)行激光照射，從而接合相鄰的電極部。
通過使用這種結(jié)構(gòu)只用一個(gè)激光照射部就可熔融多個(gè)焊料球，并因此可達(dá)到較短的接合時(shí)間。
此外，由于吸嘴遠(yuǎn)端上形成有約束面，因此可在由約束面和電極部構(gòu)成的V形槽中對(duì)焊料球進(jìn)行滾動(dòng)約束。因此即使聯(lián)結(jié)空間的低壓狀態(tài)被釋放且焊料球與吸嘴分離也可防止焊料球與電極部分離。因此，可以可靠地熔融焊料球，并提高接合電極部的可靠性。
如上所述，按照本發(fā)明，提供一種通過熔融焊料球來接合形成在接合對(duì)象上的多個(gè)電極部的焊料球接合方法。在用與接合對(duì)象的電極部對(duì)應(yīng)的多個(gè)吸嘴吸取焊料球并將焊料球傳送到電極部上后，沿吸嘴的布置方向移動(dòng)一位于吸嘴上方的激光照射部。用該激光照射部用穿過吸嘴的吸孔的激光照射焊料球，從而熔融所述電極部上的多個(gè)焊料球。因此無需向接合對(duì)象施加外力就可防止接合部上的焊料球發(fā)生移動(dòng)，并可提高該接合過程的效率。


圖1為根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的整個(gè)焊料球接合裝置的透視圖；圖2A和2B為一焊料球接合裝置的結(jié)構(gòu)說明圖，圖2A為正視圖，圖2B為仰視圖；圖3示出一焊料球受一約束面和一電極的約束的狀態(tài)的說明圖；圖4為該焊料球接合裝置工作的一流程圖；圖5A、5B和5C為示出該焊料球接合裝置的工作程序的說明圖；圖6為一示出焊料球熔融程序的工作說明圖；以及圖7A、7B和7C為示出通過使用激光照射熔融焊料球來接合電極的程序的說明圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合

本發(fā)明涉及的一種焊料球接合方法和一種焊料球接合裝置的具體優(yōu)選實(shí)施例。圖1為根據(jù)該實(shí)施例的整個(gè)焊料球接合裝置的透視圖。參見圖1，通過一移動(dòng)裝置(未示出)使得該實(shí)施例的焊料球接合裝置10可在一供應(yīng)焊料球12的供應(yīng)裝置14合一待接合的磁頭的結(jié)構(gòu)件(即一其中嵌有GMR元件等的滑動(dòng)件16和一支承該滑動(dòng)件16的撓曲件18)之間往復(fù)移動(dòng)。應(yīng)該指出，所述移動(dòng)裝置可在圖1中的箭頭20和箭頭22的方向上移動(dòng)。在供應(yīng)裝置14和磁頭的結(jié)構(gòu)件之間的移動(dòng)由箭頭20和箭頭22所示方向的合成獲得。此外，響應(yīng)移動(dòng)裝置而工作的圖像識(shí)別裝置作出關(guān)于下面所述吸嘴對(duì)焊料球12的吸取的決定，并相對(duì)于磁頭上的電極定位焊料球12。移動(dòng)裝置根據(jù)從圖像識(shí)別裝置獲得的信息相對(duì)于目標(biāo)位置進(jìn)行精確定位。
該實(shí)施例中滑動(dòng)件16上總共形成有4個(gè)電極24。撓曲件18上形成有與電極24對(duì)應(yīng)的電極26。電極24和電極26設(shè)置成相互正交的，這樣其邊緣互相靠近(即電極24和26構(gòu)成V形槽)。
此外，供應(yīng)裝置14中形成有與形成在滑動(dòng)件16和撓曲件18中的電極對(duì)應(yīng)的用于焊料球12的焊料球供應(yīng)孔28。焊料球供應(yīng)孔28平行于所述電極的布置方向并以與電極節(jié)距相同的節(jié)距而形成。焊料球供應(yīng)孔28使得可同時(shí)供應(yīng)多個(gè)焊料球12。
在供應(yīng)裝置14與磁頭側(cè)之間往復(fù)移動(dòng)的焊料球接合裝置10具有一主結(jié)構(gòu)，該主結(jié)構(gòu)包括一作為裝置主體的錐形件30、多個(gè)在所述錐形件30底部上形成的吸嘴32(參見圖2A和2B)和一設(shè)置在穿過錐形件30的吸嘴32的一相對(duì)側(cè)上的激光照射部34。應(yīng)該指出，在錐形件30與激光照射部34之間設(shè)有移動(dòng)裝置(未示出)。通過開動(dòng)移動(dòng)裝置可沿箭頭48的方向即所述電極的布置方向移動(dòng)激光照射部34。
圖2A和2B為示出一焊料球接合裝置結(jié)構(gòu)的說明圖，圖2A為正視圖，圖2B為仰視圖。
參考圖2A和2B，錐形件30設(shè)置在焊料球接合裝置10的中部。錐形件30的內(nèi)部形成有一聯(lián)結(jié)空間38，供氣排氣裝置40和用作惰性氣體供氣裝置的氮?dú)夤庋b置42與該聯(lián)結(jié)空間38相連接。可降低聯(lián)結(jié)空間38中的壓力，并由吸嘴32進(jìn)行吸取，也可使得低壓狀態(tài)下的聯(lián)結(jié)空間恢復(fù)到大氣壓(即真空破壞)。還可向聯(lián)結(jié)空間38供應(yīng)氮?dú)?，并從吸?2噴射氮?dú)狻?br> 此外，設(shè)置在錐形件30底部上的多個(gè)吸嘴32在其中部各有一吸孔44，所述吸孔與聯(lián)結(jié)空間38連通。在吸孔44的周向上設(shè)有約束焊料球12滾動(dòng)的約束面46。此處約束面46約束焊料球12在圖2B所示箭頭48方向上的滾動(dòng)。例如，如箭頭48的方向如圖3所示與由電極24和電極26形成的V形槽的角頂線的方向一致，則電極24和電極26約束焊料球12在與箭頭48正交的方向上的移動(dòng)，因此焊料球12受約束面46和電極24和26的約束而在電極24和26上固定就位。因此，即使用吸嘴32將焊料球12傳送到電極上后撤銷吸嘴32的吸力從而焊料球12可與吸嘴32分離時(shí)，也能把焊料球12保持在其位置上而不與電極分離。
設(shè)置在錐形件30上方的激光照射部34通過移動(dòng)裝置與錐形件30連接。激光照射部34可發(fā)射穿過吸嘴32中的吸孔44的激光50。因此，如果開動(dòng)移動(dòng)裝置且激光照射部34相對(duì)于錐形件30的相對(duì)位置發(fā)生改變，則如圖2A所示，可將激光50連續(xù)照射至相鄰的吸孔44。
應(yīng)該指出，盡管該實(shí)施例中使用物理地移動(dòng)激光照射部34的移動(dòng)裝置，但本發(fā)明不局限于這種結(jié)構(gòu)。也可通過使用一光學(xué)裝置發(fā)射穿過各吸孔44的激光50。即，如直接在激光照射部34后方設(shè)置一多面鏡或一掃描鏡并在該多面鏡或該掃描鏡下游設(shè)置一f-θ透鏡，不移動(dòng)激光照射部34即可使得激光50穿過各吸孔44。
此外，如果移動(dòng)裝置設(shè)計(jì)成機(jī)械式結(jié)構(gòu)，則可按照所制造產(chǎn)品的規(guī)格選擇合適的移動(dòng)裝置、例如采用一伺服電機(jī)或一步進(jìn)電機(jī)的精確進(jìn)給機(jī)構(gòu)。
下面說明通過使用上述設(shè)計(jì)的焊料球接合裝置10接合形成在磁頭滑動(dòng)件16上的電極24與形成在撓曲件18側(cè)的電極26的程序。
應(yīng)該指出，用來接合電極24和電極26的焊料球12具有數(shù)量級(jí)約為80-150微米的外徑。
圖4為一示出該焊料球接合裝置的工作程序的流程圖。圖5A、5B和5C為示出該焊料球接合裝置的工作程序的說明圖。
參考5A，在這種磁頭的接合中，首先把焊料球接合裝置10移動(dòng)到焊料球供應(yīng)裝置14側(cè)。然后，吸嘴32吸取位于焊料球供應(yīng)裝置14的焊料球供應(yīng)孔28中的焊料球12，把焊料球12移動(dòng)到吸嘴32側(cè)。應(yīng)該指出，在此操作過程中，停止對(duì)焊料球供應(yīng)孔28的吸力(步驟S100)并開動(dòng)供氣排氣裝置40以將聯(lián)結(jié)空間38的內(nèi)部置于一低壓狀態(tài)(步驟S110)。
還應(yīng)指出，和步驟S100和S110的操作一起，用圖像識(shí)別裝置檢測(cè)作為接合對(duì)象的電極24和26的位置(步驟S130)。
在步驟S100、S110和S130的處理過程完成后，如圖5B所示，開動(dòng)移動(dòng)裝置把焊料球接合裝置10移動(dòng)到接合位置(步驟S140)。
焊料球接合裝置10移動(dòng)到接合位置后，開動(dòng)供氣排氣裝置40，使得聯(lián)結(jié)空間38內(nèi)的氣壓恢復(fù)到大氣壓(真空破壞)(步驟S150)。然后用氮?dú)夤庋b置42把氮?dú)庖肼?lián)結(jié)空間38中，并從吸嘴32噴出氮?dú)?步驟S160)。
然后在保持步驟S160中噴射氮?dú)獾臓顟B(tài)的同時(shí)開動(dòng)激光照射部34。把激光照射部34移動(dòng)到一初始位置上(步驟S170)，然后用激光50照射任意一個(gè)焊料球12(步驟S180)。參考圖6，然后對(duì)各焊料球12重復(fù)進(jìn)行步驟S170和S180(步驟S190)。
如果同時(shí)在接合對(duì)象上設(shè)置多個(gè)焊料球，并在保持所設(shè)置的狀態(tài)的同時(shí)用唯一一個(gè)激光照射部熔融所述焊料球，則與按常見方式進(jìn)行的每次處理只熔融一個(gè)焊料球的處理過程相比在接合時(shí)間量上可實(shí)現(xiàn)較大的降低。即，按照本發(fā)明申請(qǐng)人的研究，使用該實(shí)施例的焊料球接合裝置時(shí)工作效率可比一現(xiàn)有的焊料球接合裝置提高70％。
本申請(qǐng)要求2003年9月10日提交的日本專利申請(qǐng)No.2003-317923的優(yōu)先權(quán)，并將其作為參考結(jié)合在本說明書中。
權(quán)利要求
1.一種通過熔融焊料球接合形成在接合對(duì)象上的多個(gè)電極部的焊料球接合方法，該焊料球接合方法包括使用與所述接合對(duì)象的電極部對(duì)應(yīng)的多個(gè)吸嘴吸取焊料球；把所述焊料球運(yùn)送到所述電極部上；沿所述吸嘴的布置方向移動(dòng)一位于所述吸嘴上方的激光照射部；以及使用激光照射部用一穿過所述吸嘴的吸孔的激光照射所述焊料球，從而熔融所述電極部上的所述多個(gè)焊料球。
2.一種通過熔融多個(gè)焊料球接合多個(gè)電極部的焊料球接合方法，通過抵靠待接合對(duì)象形成具有V形橫截面的所述電極部，該焊料球接合方法包括使用與接合對(duì)象的電極部對(duì)應(yīng)的多個(gè)吸嘴吸取焊料球；將所述焊料球傳送至使所述焊料球接觸所述電極部的V形槽；使用吸嘴約束焊料球在與電極部V形槽角頂線方向正交的方向上滾動(dòng)；沿所述吸嘴的布置方向移動(dòng)一位于所述吸嘴上方的激光照射部；以及使用所述激光照射部用穿過所述吸嘴的吸孔的激光照射焊料球，從而熔融所述電極部上的所述多個(gè)焊料球。
3.一種按權(quán)利要求1所述的焊料球接合方法，其特征在于，在用所述激光照射所述焊料球時(shí)，從所述吸嘴的吸孔供應(yīng)一種惰性氣體。
4.一種按權(quán)利要求2所述的焊料球接合方法，其特征在于，在用所述激光照射所述焊料球時(shí)，從所述吸嘴的吸孔供應(yīng)一種惰性氣體。
5.一種用于通過把焊料球傳送到多個(gè)電極部上并通過用激光照射熔融所傳送的焊料球來接合形成在接合對(duì)象上的多個(gè)電極部的焊料球接合裝置，該焊料球接合裝置包括一裝置主體；一形成在所述裝置主體中的聯(lián)結(jié)空間；對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)電極部設(shè)置的多個(gè)吸嘴，所述吸嘴具有吸孔，且所述吸嘴與所述聯(lián)結(jié)空間連通；一連接到所述裝置主體上的并改變所述聯(lián)結(jié)空間中壓力的供氣排氣裝置；一設(shè)置在和吸嘴之間夾有所述裝置主體的吸嘴相對(duì)的一側(cè)的發(fā)射穿過所述吸嘴的吸孔的激光的激光照射部；以及位于激光照射部與裝置主體之間的傳送裝置，所述傳送裝置能沿所述多個(gè)電極部的布置方向移動(dòng)所述激光照射部，其中，焊料球被所述多個(gè)吸嘴吸取并通過激光照射部的移動(dòng)連續(xù)熔融。
6.一種用于通過把焊料球傳送到多個(gè)電極部上并通過用激光照射熔融所傳送的焊料球來接合多個(gè)電極部的焊料球接合裝置，具有V形橫截面的所述電極部由所述接合對(duì)象抵靠形成，該焊料球接合裝置包括一裝置主體；一在所述裝置主體中形成的聯(lián)結(jié)空間；對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)電極部設(shè)置的多個(gè)吸嘴，所述吸嘴具有吸孔，且所述吸嘴與所述聯(lián)結(jié)空間連通；吸嘴中約束所述焊料球在與所述電極部的V形槽角頂線方向正交的方向上滾動(dòng)的約束面；連接到所述裝置主體上的并改變所述聯(lián)結(jié)空間中壓力的供氣排氣裝置；一設(shè)置在和吸嘴之間夾有所述裝置主體的吸嘴相對(duì)一側(cè)的發(fā)射穿過所述吸嘴的吸孔的激光的激光照射部；以及設(shè)置在所述激光照射部與所述裝置主體之間的傳送裝置，所述傳送裝置能沿多個(gè)電極部的布置方向移動(dòng)所述激光照射部，其中，焊料球被所述多個(gè)吸嘴吸取并通過激光照射部的移動(dòng)連續(xù)熔融。
7.按權(quán)利要求5所述的焊料球接合裝置，其特征在于，還包括一與所述裝置主體連接的惰性氣體供氣裝置，所述惰性氣體供氣裝置與所述聯(lián)結(jié)空間連通。
8.按權(quán)利要求6所述的焊料球接合裝置，其特征在于，還包括一與所述裝置主體連接的惰性氣體供氣裝置，所述惰性氣體供氣裝置與所述聯(lián)結(jié)空間連通。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于通過熔融焊料球接合形成再接合對(duì)象上的多個(gè)電極部的焊料球接合方法和焊料球接合裝置。使用與接合對(duì)象的電極部對(duì)應(yīng)的多個(gè)吸嘴吸取焊料球，并把所述焊料球傳送到電極部上。然后在沿吸嘴的布置方向移動(dòng)一位于吸嘴上方的激光照射部的同時(shí)，使用激光照射部用穿過所述吸嘴的吸孔的激光照射所述焊料球。因此只用唯一一個(gè)激光照射部就可熔融所述電極部上的多個(gè)焊料球。
文檔編號(hào)B23K3/06GK1593827SQ200410074398
公開日2005年3月16日 申請(qǐng)日期2004年9月10日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月10日
發(fā)明者進(jìn)藤修, 水野亨, 安東洋一, 山口哲 申請(qǐng)人:Tdk株式會(huì)社