專利名稱：接合裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種將電子部件等薄片部件安裝至由玻璃、樹脂及金屬的基板 等構成的工件上的接合裝置。
背景技術：
以往的將帶有凸起電極的薄片部件以正面朝上的狀態(tài)安裝至作為工件的 基板上的接合裝置可從薄片部件的上側同時辨識薄片部件的對準記號、以及用 以識別基板上的安裝位置的對準記號。具體說來，在吸附保持薄片部件的吸附 頭部部分使用棱鏡，使包含薄片部件和基板的兩對準記號的兩部件的像被棱鏡
的斜面反射，投影至獨立于吸附頭部固定配置在吸附頭部側方的CCD攝像機上。 另外，在根據(jù)兩對準記號的辨識結果校正相對于薄片部件的安裝位置的錯位 時，使保持基板的保持板向水平方向的縱橫向移動，并繞薄片部件的中心軸旋 轉(例如參照專利文獻l)。
專利文獻l: W02003/041478
發(fā)明公開
發(fā)明所要解決的技術問題
近年來，為提高大批量生產(chǎn)的效率，基板尺寸有擴大的趨勢，需要進行高 密度安裝的基板也是其中之一。以往的接合裝置由使薄片保持吸附頭部沿上下 方向移動的機構、以及使基板保持板沿水平方向及旋轉方向移動的機構構成。 因此，在沿襲以往的結構來對應大型基板、利用薄片保持吸附頭部將薄片部件 安裝至基板全域時，需要2倍的基板安裝區(qū)域、以及以基板的對角長度為旋轉 區(qū)域的移動進程，因此會導致裝置大型化。
為解決該問題，使吸附頭部側旋轉的方法是有效的。然而，由于CCD攝像
機與棱鏡的相對關系發(fā)生變化，薄片及基板的對準記號的形狀會發(fā)生變化。另 外，即使對CCD攝像機與棱鏡的相對關系進行校正，也會使得到的位置測定結 果惡化。
另外，為解決該問題，若使CCD攝像機與棱鏡的相對關系一致地將CCD
攝像機單元安裝至旋轉軸，則會導致吸附頭部的旋轉軸(e軸)上承受的負荷
增加、或吸附頭部周圍需要較大的空間等問題，導致成本增加或大型化。 用于解決技術問題的技術方案
鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種以簡單的裝置結構提高安裝精 度的接合裝置。
因此，為實現(xiàn)上述目的本發(fā)明具有以下結構。 即本發(fā)明的接合裝置，用以將薄片部件安裝到保持在工件保持構件的工件
上，其特征在于，包括吸附頭部，該吸附頭部包含呈箱狀且至少側面的一
部分和下面開口的框體及安裝于所述框體的下面開口 、用以保持所述薄片
部件的透明的薄片保持構件；在所述吸附頭部的框體側面的開口內(nèi)進退、 透過所述薄片保持構件而對被所述薄片保持構件保持的薄片部件和被所述 工件保持構件保持的工件的用以識別薄片部件安裝部位的基準位置進行辨 識的辨識構件；使所述吸附頭部繞保持所述薄片部件的該薄片部件的中心 縱軸旋轉的第1驅動構件；使所述吸附頭部和所述工件保持構件相對地升 降的第2驅動構件；使所述吸附頭部和所述工件保持構件相對地水平移動 的第3驅動構件；以及根據(jù)所述辨識構件的辨識結果檢測出所述薄片部件 和工件的基準位置之間的相對位置偏移，驅動控制所述第1驅動構件和第3 驅動構件以校正其位置偏移的控制構件。
若使用本發(fā)明的接合裝置，通過驅動吸附頭部使其繞薄片部件的中心縱 軸旋轉，故無需使基板旋轉。也就是說，無需確?？紤]大于工件的縱橫長 度的對角長度進行旋轉的空間。其結果可使裝置結構簡單化。另外，辨識 構件在吸附頭部的側部開口進退，始終能夠以一定角度及一定距離辨識薄 片部件和工件，因此不會因光學投影角度的變化等引起圖像的變化(扭曲)。 由此，可正確地辨識薄片部件與工件的位置，以提高安裝精度。
另外，辨識構件最好包括用以辨識薄片部件和工件的兩基準位置的CCD 攝像機、以及設置于CCD攝像機的進退方向的前側、將薄片部件和工件的基準 位置投影在CCD攝像機上的投影構件。
若使用該結構，在接收薄片部件后，在安裝時無需使辨識構件退避，因此 可縮短動作時間。
另外，最好具有2臺所述CCD攝像機，使投影構件將薄片部件和工件的 基準位置分別投影在2臺CCD攝像機上。此時，可采用以下結構。投影構件包 括映射出薄片部件和工件的兩基準位置的l對第l反光鏡、以及將映射在第 1反光鏡上的基準位置的像反射并投影在CCD攝像機上的1對第2反光鏡。
而且，在薄片部件和工件的兩基準位置是設置在各自的角部的2處的對準 記號時，最好將一方的兩角部的所述對準記號映射在一方的第1反光鏡上，利 用第2反光鏡反射并投影在一方的CCD攝像機上，將另一方的兩角部的對準記 號映射在另一方的第1反光鏡上，利用第2反光鏡反射并投影在另一方的CCD 攝像機上。
若使用該結構，可利用單獨的投影構件分別辨識薄片部件和工件，因此即 使在吸附頭部的狹窄的開口內(nèi)，也能以寬闊的視野正確地辨識兩部件的基準位 置。例如，在存在有多個遠離薄片部件的基準位置(對準記號)時，可通過l 次處理來辨識全部的對準記號。另外，可將在以正面朝上狀態(tài)安裝的薄片部件 上形成的凸起構成薄片部件的基準位置。
另外，為了實現(xiàn)裝置的簡化，最好使吸附頭部在將薄片部件安裝至基板的 作用位置與其上方的待機位置間升降，或使吸附頭部相對于基板面水平移動， 又或者使上述兩種結構組合。
另外，第2驅動構件最好是致動器，包括在氣缸內(nèi)滑行移動的活塞以及從 該活塞的前端延伸出的推桿，活塞可在氣缸內(nèi)繞軸心旋轉。另外，最好利用連 桿機構使第2驅動構件的氣缸的推桿與第1驅動構件連結，將該第2驅動構件 的驅動力變換為第1驅動構件的旋轉力。
也就是說，若使用該結構，第2驅動構件的活塞推桿的旋轉力通過連桿機 構間接傳遞至第l驅動構件，因此在吸附頭部具有第1驅動構件時，可簡化吸
附頭部側的結構。也就是說，由于可使吸附頭部側的結構輕量化，因此，例如 在使吸附頭部側升降時可容易地進行升降調(diào)整，且不會對薄片部件過度加壓。
另外，最好使推桿的外周面上具有導向器，且連桿機構包括2根連結桿、 以及與2根連結桿的彎曲動作聯(lián)動地使兩連結桿的連節(jié)部分滑行，以使兩連結 桿的長度成為一定的伸縮導向器。
而且，最好具有固定于與推桿側連結的連結桿的前端的刻度板，且還 包括用以檢測與連結桿的旋轉聯(lián)動的刻度板的旋轉角度的檢測構件；以及 根據(jù)檢測構件的檢測結果對吸附頭部進行定位的控制構件。
若使用該結構，可提高吸附頭部的位置對準精度。
另外，本發(fā)明的控制構件中，最好預先使控制構件利用具有與薄片部件 的安裝位置相關聯(lián)的刻度板的主基板，求得辨識構件所辨識出的各安裝位 置的位置情報與所述第1至第3驅動構件所具有的驅動軸的相關關系并存 儲，在將薄片部件安裝至工件時，利用相關關系驅動控制各驅動構件以抵 消各驅動構件的驅動軸的錯位。
若使用該結構，可提高薄片部件安裝至工件時的安裝精度。
發(fā)明效果
本發(fā)明的接合裝置通過驅動吸附頭部使其繞薄片部件的中心縱軸旋轉， 故無需使基板旋轉，因此無需確保供大于薄片部件的工件旋轉的空間。其 結果可使裝置結構簡單化。另外，辨識構件在吸附頭部的側部開口進退， 始終能夠以一定角度及一定距離辨識薄片部件和工件，因此不會因光學投 影角度的變化等引起圖像的變化(扭曲)。由此，可正確地辨識薄片部件 和工件的位置，以提高安裝精度。


圖1是實施例的壓接系統(tǒng)的立體圖。 圖2是表示安裝單元的概略結構的主視圖。 圖3是表示連桿機構的結構的俯視圖。 圖4是表示辨識部的概略結構的側視圖。
圖5是表示投影部的概略結構的俯視圖。
圖6是表示投影在CCD攝像機上的圖像的圖。
(符號說明)
w 基板3安裝單元
11薄片部件14基板保持臺
15 可動板17吸附頭部
18 水平驅動機構19升降驅動機構
20 旋轉驅動機構22吸附部
29A、 29B 控制部37CCD攝像機
39a第1反射鏡39b第2反射鏡
具體實施例方式
以下，參照附圖對本發(fā)明的實施例進行說明。另外，本實施例中，以 將帶凸起的電子部件作為薄片部件安裝至基板的情況為例進行說明。另外，
表示了其它薄片部件例如ic芯片、半導體片、光元件、表面安裝部件、晶
片等無關種類和大小地與基板接合的一側的全部形態(tài)。
另外，表示了基板例如樹脂基板、玻璃基板、薄膜基板、金屬基板(例 如銅基板)等與薄片部件接合的一側的全部形態(tài)。
圖1是本實施例的壓接系統(tǒng)的立體圖。
本實施例的薄片安裝裝置大致分為裝置基臺1、配設在該裝置基臺1 的前側(圖1的左端)的基板供給單元2、配設在裝置基臺1的里側的安裝 單元3、配設在安裝單元3左邊的薄片部件供給單元4。
基板供給單元2是上部具有可上下開閉擺動的開閉門5的箱狀，內(nèi)部
具有用以載置作為工件的基板W的載置板6;以及將載置于該載置板6
的基板W從表面吸附保持并搬運至下述的安裝單元3側的可動板15上的基 板保持臺14的搬運機構7。
載置板6的表面以規(guī)定間隔立設有可插入形成在基板W上的定位孔的 定位栓8。
搬運機構7具有可吸附基板W的表面的吸附板9，使該吸附板9可沿 載置板6的上方和基板保持臺14的上方的1軸(Y)方向移動，且可在載 置板6和基板保持臺14的相對位置升降(沿Z軸方向)。另外，吸附板9 通過未圖示的配管與泵連通連接。
安裝單元3如圖1至圖4所示，包括對被搬運機構7搬運的基板W 進行保持的保持部10;將薄片部件11吸附保持并安裝至基板W的壓接單元
12;以及用以辨識預先設置在基板W和薄片部件11上的對準記號的辨識部13。
保持部10包括基板保持臺14和可動板15，該基板保持臺14將表面 被搬運機構7的吸附板9吸附保持并搬運過來的基板W以水平姿勢吸附保 持；可動板15可使基板保持臺14沿水平1軸(Y)方向移動。可動板15 通過使未圖示的馬達正逆旋轉驅動，可沿導軌16螺桿進給而前后移動。另 外，保持部IO也可以是直線板。另外，基板保持臺14的下部內(nèi)藏有未圖 示的加熱器，可從里面對基板W進行加熱。
壓接單元12包括將薄片部件H吸附保持的吸附頭部17;使吸附頭 部17沿水平1軸(X)方向移動的水平驅動機構18;使吸附頭部17沿上下 (Z)方向移動的升降驅動機構19;使吸附頭部17繞Z軸(e )方向旋轉 的旋轉驅動機構20;以及在吸附頭部17的開口內(nèi)進退的CCD攝像機37。 另外，水平驅動機構18相當于本發(fā)明的第3驅動構件，升降驅動機構19 相當于本發(fā)明的第2驅動構件，旋轉驅動機構20相當于本發(fā)明的第1驅動 構件，CCD攝像機37相當于辨識構件。
吸附頭部17安裝在升降驅動機構19的下端，該升降驅動機構19固定 在可動臺25上，該可動臺25利用水平驅動機構18可沿立設于裝置基臺1 的框架23的導軌24移動。吸附頭部17包括倒放的凹字狀的框體21;以 及安裝在框體下部的開口的由透明的玻璃板構成的吸附部22。吸附部22 形成有使形成于下面中央的開口與形成于側部的開口連通的流路，并通過 未圖示的泵和軟管連通連接。也就是說，通過泵的動作使下面開口作為吸 附孔來吸附保持薄片部件11。另外，也可在吸附部22的下面再安裝與薄片200680016241.9
說明書第7/ll頁
部件11的形狀相對應的由透明的玻璃板等構成的配件。另外，吸附部22 相當于本發(fā)明的薄片保持構件。
水平驅動機構18通過使馬達Ml正逆旋轉驅動，使可動臺25沿導軌 24在水平(X)方向往復移動。另外，水平驅動機構18也可以是直線板。
升降驅動機構19是由氣缸26、在氣缸26內(nèi)移動的活塞27、以及從該 活塞27的前端延伸出的推桿28構成的致動器。該活塞27及推桿28在氣 缸內(nèi)繞軸心自由旋轉。而且，在氣缸26內(nèi)與活塞27間的壓力室中，形成 有供給流體或排氣的流路，來自泵的氣體供給及排氣可利用控制部29A控 制內(nèi)壓。另外，控制部29A及下述控制部29B相當于本發(fā)明的控制構件。
升降驅動機構19的圖2中的左側以馬達M2的旋轉軸向下的狀態(tài)安裝 有構成旋轉驅動機構20的馬達M2。馬達M2的旋轉軸上設有通過推桿導向 器G與致動器的推桿28連結的連桿機構32。
連桿機構32如圖3所示，在2根連結桿33a、 33b的連結部具有伸縮 導向器34。 一方的連結桿33a的前端與馬達M2連結，另一方的連結桿33b 的前端與致動器地推桿28的推桿導向器G連結。也就是說，隨著馬達M2 的正逆轉驅動，兩連結桿33a、 33b左右擺動，旋轉動力被傳遞至推桿28 使活塞27在氣缸內(nèi)旋轉。另外，在連結桿33a、 33b擺動時，伸縮導向器 34隨著馬達M2的旋轉軸與推桿28間的距離變化而伸縮。另外，連結桿33b 利用推桿導向器G可不跟隨推桿28進退地維持一定高度。
另外，連結桿33b上安裝有扇狀的刻度板35，利用鄰近配置在該刻度 板側面的由存儲器構成的編碼器36來進行讀取。即通過讀取活塞27的旋 轉角度并將其結果發(fā)送至控制部29B，來讀取吸附頭部17繞Z軸的旋轉角 度。另外，編碼器36相當于本發(fā)明的檢測構件，控制部29B相當于控制構 件。
辨識部13如圖4至圖6所示，由2個CCD攝像機37和投影部38構成， 投影部38位于各CCD攝像機37的前端，用以捕捉被吸附頭部17吸附保持 的薄片部件11的對準記號R2和基板W的對準記號Rl并將其投影在CCD攝 像機37上。
投影部38由第1反射鏡39a和第2反射鏡39b構成，該第1反射鏡 39a映照出位于下方的薄片部件11的對準記號，映照在該第1反射鏡39a 上的對準記號映射在該第2反射鏡39b上，并投影在處于90度后方的CCD 攝像機37上。
投影部38如圖4所示，通過馬達M3的正逆轉驅動可沿設置于可動臺 25的下面的導軌40進退移動。也就是說，使投影部在吸附頭部17的開口 內(nèi)進退。
薄片部件供給單元4如圖l所示，包括用以載置薄片部件11的載置
板41，該薄片部件11被保持在對半導體片進行切割加工后的環(huán)狀框架上， 或被排列在薄片托盤中；將薄片部件11吸附保持并搬運的薄片部件搬運機 構42;以及接受搬運來的薄片部件11、并轉交給吸附頭部17的中繼部和 滑行板43。
薄片部件搬運機構42包括可在沿裝置基臺1的Y方向延伸的導軌 44上前后移動的可動框架45;可沿朝向該可動框架45的前面的導軌46向 水平(Y)方向移動的可動臺47，而且，該可動臺47上上下可動地配置有 可吸附保持薄片部件11的吸附頭48。也就是說，載置在載置板41上的規(guī) 定位置的薄片部件11被吸附頭48吸附保持，被交付至中繼部50，然后被 交付至滑行板43
滑行板43可沿立設于裝置基臺1的框架的水平(Y)方向移動，以接 收被薄片部件搬運機構42搬運至中繼部50的薄片部件11。也就是說，滑 行板43將薄片部件11搬運至可被吸附頭部17吸附的位置。
接下來，參照圖1至圖6對具有上述結構的接合裝置的動作進行說明。 另外，本實施例說明了從環(huán)狀框架的里面對通過膠帶保持在其中央的半導 體片進行切割加工、將多個呈凸起電極位于表面的狀態(tài)、即正面朝上狀態(tài) 的薄片部件ll安裝到片狀的樹脂基板上的情況。此時，在從環(huán)狀框架吸附 保持薄片部件11時，薄片部件11的背面轉印有熱固性粘合劑。
首先，在載置于基板供給單元2的載置板6前，將刻有與基板W的安 裝部位相關聯(lián)的基準刻度的主基板載置于載置板并利用銷9進行位置對準。
然后，利用搬運機構7搬運主基板，將其載置于安裝單元3的基板保持臺
14，同時使安裝單元3及辨識部13動作，從被送入吸附頭部17的開口內(nèi) 的投影部38依次映射出主基板上的基準刻度，并從CCD攝像機將其圖像數(shù) 據(jù)取入，通過CCD攝像機37、基板保持臺14等的各驅動軸(X、 Y、 Z)的 坐標和根據(jù)圖像數(shù)據(jù)求得的各驅動軸(X、 Y、 Z)的坐標來求得CCD攝像機 37與各軸的相關關系，并作為相關函數(shù)存儲在裝置本體中。
接下來，對作為安裝對象的基板W進行安裝薄片部件11的處理。首先， 在薄片部件供給單元4的載置板41上設置用以保持被切割加工后的半導體 片的環(huán)狀的框架。然后，使基板供給單元2的開閉門5開放，將基板W對 位后載放在載置板6上，然后使開閉門5關閉。使開閉門5關閉后，吸附 板9進行動作，在基板W的相對位置下降，從表面吸附保持基板W并搬運 至基板保持臺14。
吸附板移動至基板保持臺14的上方后，吸附板9下降，使基板W的背 面與基板保持臺14抵接，然后解除吸附板側的吸附。解除吸附后的吸附板 9返回待機位置。在吸附板的吸附被解除的同時，使基板保持臺14的吸附 動作以吸附保持基板W。
將該基板W搬運至基板保持臺14的同時，將薄片部件11從薄片部件 供給單元4交付給安裝單元3的吸附頭部17。具體說來，使裝設有吸附頭 48的可動框架45及可動臺47沿水平(X、 Y)方向移動，將規(guī)定的薄片部 件11以正面朝上狀態(tài)吸附保持。吸附保持有薄片部件11的吸附頭48利用 可動臺47向圖中的右端移動并將薄片部件11交付給中繼部50，因此中繼 部50將薄片部件11交付至滑動板43上。
接收到薄片部件11的可動臺47沿導軌移動至向吸附頭部17交付薄片 部件11的位置。
利用可動臺25的移動將薄片部件11沿導軌24移動至安裝的位置。吸 附頭部17將被滑動板43搬運至安裝位置的薄片部件11吸附保持。
預先位于吸附頭部17的開口內(nèi)的投影部38如圖6所示，將標注于基 板W的對準記號Rl、以及位于薄片部件11的對角位置的2個凸起R2作為
對準記號，映照在構成左右一對的第l及第2反射鏡39a、 39b上，使基板 W的圖中右側的對準記號Rl投影在一方的CCD攝像機37上，使基板W的圖 中左側的對準記號Rl投影在另一方的CCD攝像機37上。
然后，使薄片部件11的圖中右側的對準記號R2投影在一方的CCD攝 像機37上，使薄片部件11的圖中左側的對準記號R2投影在另一方的CCD 攝像機37上。
控制部29B將通過CCD攝像機37取得的兩對準記號與預先存儲的基準 位置相比較。在比較結果為發(fā)生位置偏差時，利用借助主基板所取得的相 關函數(shù)算出校正值。
另外，控制部29B根據(jù)該校正值，使可動板15沿水平(Y)方向移動， 使可動臺沿水平(X)方向移動，且使吸附頭部17繞Z軸旋轉(0 )，以 進行對準。
在完成對準后，使致動器動作使得吸附頭部17下降，將薄片部件11 推壓至基板W的安裝部位。此時，利用控制部29A使氣缸的壓力室的壓力 保持一定，因此薄片部件ll被施加既定的推壓力。另外，在推壓的同時， 內(nèi)藏于基板保持臺14的加熱器對薄片部件11的背面的粘合劑進行加熱， 以促進聚合反應。然后， 一旦粘合劑的聚合反應完成，吸附頭部17返回上 方的待機位置。聚合反應完成后，薄片部件11固定于基板W。
在對基板W上的所有薄片部件11的安裝部位進行了這一系列的動作 后，吸附板9進行動作，向基板保持臺14移動，將安裝有薄片部件ll的 基板W吸附保持并搬運至基板供給單元2的載置板6。若將該基板從基板供 給單元2取出，則將薄片部件11安裝至基板W的一系列處理結束。
上述本實施例的接合裝置中，使吸附頭部17繞軸心旋轉，因此無需使 大于薄片部件11的基板W旋轉。換句話說，由于吸附頭部17的旋轉半徑 小于正方形或矩形的基板W的旋轉半徑，因此可使裝置小型化。另外，使 投影部在吸附頭部17的開口內(nèi)進退以辨識基板W與薄片部件11的對準記 號，因此可使光學上的攝像條件保持一定，而且，可將從反射鏡至CCD攝 像機37保持一定距離的圖像投影至CCD攝像機。其結果是，不會受到隨投
影角度變化的棱鏡等的投影像的變化的影響，因此投影在CCD攝像機37上 的對準記號不發(fā)生變形，可正確地被辨識，從而防止安裝錯誤。
另外，為了在投影部個別辨識基板W和薄片部件11的對準記號，使第 1及第2反射鏡39a、 39b與CCD攝像機37個別配置，因此可根據(jù)每個CCD 攝像機37的圖像數(shù)據(jù)，平行地進行定位處理。也就是說，通過對定位處理 進行平行處理，可提高安裝速度。另外，此時，在基板W和薄片部件11的 對準記號的距離較遠時，能有效地發(fā)揮功能。
另外，連桿機構32利用導向推桿中心的同心圓上的角度檢測用的刻度 板35和編碼器36，可不受連桿機構32的劣化所造成的損失誤差等影響地 進行高精度的旋轉控制。另外，由于僅使吸附頭部17的部分旋轉，可使旋 轉機構小型化且輕量化。
另外，本發(fā)明并不限定于上述實施例，可進行如下變形。
(1) 上述實施例中，僅使可動板15沿水平(Y)方向移動，然而也可 使其沿X方向移動。此時，與使基板W旋轉相比，可使移動半徑減小。
(2) 上述實施例中，為了在投影部個別辨識基板W和薄片部件11的 對準記號，使第1及第2反射鏡39a、 39b與CCD攝像機37個別配置，然 而也可采用單一的結構。另外，在采用單一的結構時，最好是薄片部件ll 較小，且基板W和對準記號較接近的情況。
(3) 本發(fā)明的薄片安裝裝置包含用以裝設薄片的單純的裝配裝置、及
具有加熱加壓工序的接合裝置等各種形態(tài)的裝置。
(4) 實施例中，將薄片2以正面朝上狀態(tài)收納在薄片托盤中，然而本 發(fā)明并不限定于此，也可在將晶片切割的狀態(tài)下，將其正面朝上地來供給。
(5) 辨識構件并不限定為CCD攝像機37，也可使用CM0S或攝像管。
產(chǎn)業(yè)上的利用可能性
綜上所述，本發(fā)明適用于將電子部件等薄片部件安裝至由玻璃或樹脂 基板等構成的工件上。
權利要求
1、一種接合裝置，用以將薄片部件安裝到保持在工件保持構件的工件上，其特征在于，包括吸附頭部，該吸附頭部包含呈箱狀且至少側面的一部分和下面開口的框體以及安裝于所述框體的下面開口用以保持所述薄片部件的透明的薄片保持構件；在所述吸附頭部的框體側面的開口內(nèi)進退、透過所述薄片保持構件而對被所述薄片保持構件保持的薄片部件和被所述工件保持構件保持的工件的用以識別薄片部件安裝部位的基準位置進行辨識的辨識構件；使所述吸附頭部繞保持所述薄片部件的該薄片部件的中心縱軸旋轉的第1驅動構件；使所述吸附頭部和所述工件保持構件相對地升降的第2驅動構件；使所述吸附頭部和所述工件保持構件相對地水平移動的第3驅動構件；以及根據(jù)所述辨識構件的辨識結果檢測出所述薄片部件和工件的基準位置之間的相對位置偏移、并驅動控制所述第1驅動構件和第3驅動構件以校正其位置偏移的控制構件。
2、 如權利要求l所述的接合裝置，其特征在于，所述辨識構件包括用以辨識所述薄片部件和所述工件的兩基準位置的 CCD攝像機；以及設置于所述CCD攝像機的進退方向的前側、將所述薄片部件和所述工件 的基準位置投影在CCD攝像機上的投影構件。
3、 如權利要求2所述的接合裝置，其特征在于， 具有2臺所述CCD攝像機，所述投影構件將所述薄片部件和所述工件的基準位置分別投影在所述2 臺CCD攝像機上。
4、 如權利要求3所述的接合裝置，其特征在于，所述投影構件包括映射出所述薄片部件和所述工件的兩基準位置的1對第l反光鏡；以及將映射在所述第1反光鏡上的基準位置的像反射并投影在所述CCD攝像機上的1對第2反光鏡。
5、 如權利要求4所述的接合裝置，其特征在于，所述薄片部件和所述工件的兩基準位置是設置在各自角部的2處對準記號，將一方的兩角部的所述對準記號映射在一方的第1反光鏡上，并利用第2 反光鏡反射并投影在一方的CCD攝像機上，將另一方的兩角部的對準記號映射 在另一方的第1反光鏡上，并利用第2反光鏡反射并投影在另一方的CCD攝像機上。
6、 如權利要求l所述的接合裝置，其特征在于，所述薄片部件的基準位置是在以正面朝上的狀態(tài)安裝的薄片部件上形成的凸起。
7、 如權利要求l所述的接合裝置，其特征在于，所述第2驅動構件使所述吸附頭部在將薄片部件安裝至基板的作用位置與其上方的待機位置間升降。
8、 如權利要求l所述的接合裝置，其特征在于，所述第3驅動構件使所述吸附頭部相對于所述基板面作水平移動。
9、 如權利要求1所述的接合裝置，其特征在于， 所述薄片保持構件上形成有吸附所述薄片的吸附孔。
10、 如權利要求1所述的接合裝置，其特征在于，所述第2驅動構件是致動器，包括在氣缸內(nèi)滑行移動的活塞以及從該活塞 的前端延伸出的推桿，所述活塞可在氣缸內(nèi)繞軸心旋轉，利用連桿機構使所述第2驅動構件的氣缸的推桿與所述第1驅動構件連 結，并將該第2驅動構件的驅動力變換為所述第1驅動構件的旋轉力。
11、 如權利要求IO所述的接合裝置，其特征在于， 所述推桿的外周面上具有導向器， 所述連桿機構包括2根連結桿；以及與所述2根連結桿的彎曲動作聯(lián)動地使兩連結桿的連節(jié)部分滑行、以使兩 連結桿的長度成為一定的伸縮導向器。
12、 如權利要求10所述的接合裝置，其特征在于，具有固定于與所述推桿側連結的連結桿的前端的刻度板，且還包括用以檢測與所述連結桿的旋轉聯(lián)動的刻度板的旋轉角度的 檢測構件；以及根據(jù)所述檢測構件的檢測結果對所述吸附頭部進行定位的控制構件。
13、 如權利要求l所述的接合裝置，其特征在于，所述控制構件利用具有與薄片部件的安裝位置相關聯(lián)的刻度板的主基 板，預先求得辨識構件所辨識出的各安裝位置的位置情報與所述第1至第3 驅動構件所具有的驅動軸的相關關系并存儲，在將薄片部件安裝至所述工件時，利用相關關系驅動控制各驅動構件 以抵消各驅動構件的驅動軸的錯位。
全文摘要
使凹形狀的框體倒轉并在框體的下部開口安裝透明吸附部來構成吸附頭部，將具有2塊反射鏡的投影部從該吸附頭部的側部開口向前端送入。然后，將被吸附部吸附保持的薄片部件的表面所形成的起到對準記號作用的凸起電極、以及標注在基板表面的對準記號映射在投影部的兩反射鏡上。映射在該兩反射鏡上的兩對準記號被投影在與吸附頭部分離地配置在側方側的CCD攝像機上。
文檔編號H01L21/52GK101176197SQ20068001624
公開日2008年5月7日 申請日期2006年5月25日 優(yōu)先權日2005年5月31日
發(fā)明者新井義之, 晴孝志 申請人:東麗工程株式會社