專利名稱：用于激光刻膜的激光設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種激光裝置。具體涉及一種用于激光刻膜的激 光設(shè)備。
背景技術(shù)：
在薄膜光伏太陽能電池制造中，需要對其上的a-Si膜層、Al膜層 TCO膜層進(jìn)行刻畫。特別是在對a-Si膜層和Al膜層進(jìn)行刻畫時，由于 現(xiàn)有的激光刻膜機(jī)所使用的激光器都是輸出高斯光束，很容易出現(xiàn)灼 傷TCO膜層的問題，因此容易產(chǎn)生廢品，以造成高額的損失。 實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種能將激光輸出的高斯光東轉(zhuǎn)換為 近似平頂?shù)母咚构鈻|的用于激光刻膜的激光設(shè)備。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型有如下技術(shù)方案 本實(shí)用新型的一種用于激光刻膜的激光設(shè)備，包括在激光設(shè)備輸 出端的準(zhǔn)直系統(tǒng)、擴(kuò)束系統(tǒng)、聚焦系統(tǒng)，所述激光設(shè)備中具有輸出為 532nm波長的基膜綠激光的激光器，與激光器連接的激光光纖耦合裝 置，與激光光纖耦合裝置連接的芯徑為0.2mm，數(shù)值孔徑為0.12mm 的階躍光纖，與階躍光纖連接的具有焦距F49-21的光纖耦合鏡的光 纖耦合裝置。其中，所述光纖耦合鏡為焦距F:20的光纖耦合鏡。 其中，所述激光光纖耦合裝置包括左立板、右立板、上立板、下 立板、上蓋板、底板、螺塞，所述左立板、右立板、上立板、下立板 分別位于激光光纖耦合裝置的四周，上蓋板、底板分別位于激光光纖 耦合裝置上，下，螺塞位于激光光纖耦合裝置端部。其中，所述光纖耦合裝置包括聚焦鏡簡、外套筒、端蓋、平移接頭、光纖耦合鏡，所述光纖耦合鏡位于聚焦鏡簡內(nèi)，外套簡在聚焦鏡 筒的外圍，平移接頭在外套簡的端部，端蓋固定在外套簡的端部。由于釆取了以上技術(shù)方案，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于 本實(shí)用新型能把激光設(shè)備輸出的高斯光束轉(zhuǎn)換為近似平頂?shù)母咚构鈻|，從而保證用激光刻畫薄膜光伏太陽能電池中的a-Si膜層和Al膜層時，不灼傷TCO膜層，因此保證了不出廢品。


圖i為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型激光光纖耦合裝置的放大示意圖；圖3為圖l的俯視圖；圖4為本實(shí)用新型光纖耦合裝置的放大示意圖。圖中1、機(jī)柜；2、激光器；3、激光光纖耦合裝置；4、光纖耦 合裝置；5、聚焦系統(tǒng)；6、左立板；7、右立板；8、上立板；9、下 立板；10、上蓋板；11、底板；12、螺塞；13、聚焦鏡簡；14、調(diào)節(jié) 圈；15、螺紋圈；16、鏡片壓圈；17、滑環(huán)；18、光纖耦合鏡；19、 外套簡；20、平移接頭；21、端蓋；22、彈簧；23、彈簧壓板。
具體實(shí)施方式
以下實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型，但不用來限制本實(shí)用新型的范圍。參見圖1-圖4,本實(shí)用新型的一種用于激光刻膜的激光設(shè)備，由 準(zhǔn)直系統(tǒng)、擴(kuò)東系統(tǒng)、聚焦系統(tǒng)5、 532nm波長的基膜綠激光的激光 器2、激光光纖耦合裝置3、芯徑為0.2mm、數(shù)值孔徑為0.12mm的階躍 光纖、光纖耦合裝置4組成；所述激光光纖耦合裝置2由左立板6、右 立板7、上立板8、下立板9、上蓋板IO、底板ll、螺塞12組成；所述 光纖耦合裝置4聚焦鏡簡13、外套簡19、端蓋21、平移接頭20、光纖 耦合鏡18組成。本實(shí)用新型在532nm波長的基膜綠激光的激光器2的輸出端使用4焦距F-20的光纖耦合鏡18耦合進(jìn)芯徑為0.2mm，數(shù)值孔徑為0.12mm的階躍光纖，再輸出通過光東準(zhǔn)直后，進(jìn)行擴(kuò)東聚焦后進(jìn)行激光刻膜 工作。本實(shí)用新型主要解決的問題時把激光器輸出的高斯光束轉(zhuǎn)換為 近似平頂?shù)母咚构馐?，從而使激光?在刻畫膜光伏太陽能電池中的 a-Si膜層和Al膜層時，不灼傷TCO膜層，已保證膜光伏太陽能電池的 生產(chǎn)質(zhì)量。顯然，本實(shí)用新型的上述實(shí)施例僅僅是為清楚地說明本實(shí)用新型 所作的舉例，而并非是對本實(shí)用新型的實(shí)施方式的限定。對于所屬領(lǐng) 域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形 式的變化或變動。這里無法對所有的實(shí)施方式予以窮舉。凡是屬于本 實(shí)用新型的技術(shù)方案所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本實(shí) 用新型的保護(hù)范圍之列。
權(quán)利要求1、一種用于激光刻膜的激光設(shè)備，包括在激光設(shè)備輸出端的準(zhǔn)直系統(tǒng)、擴(kuò)束系統(tǒng)、聚焦系統(tǒng)，其特征在于激光設(shè)備中具有輸出為532nm波長的基膜綠激光的激光器，與激光器連接的激光光纖耦合裝置，與激光光纖耦合裝置連接的芯徑為0.2mm，數(shù)值孔徑為0.12mm的階躍光纖，與階躍光纖連接的具有光纖耦合鏡的光纖耦合裝置。
2、 如權(quán)利要求l所述的一種用于激光刻膜的激光設(shè)備，其特征在 于所述激光光纖耦合裝置包括左立板、右立板、上立板、下立板、 上蓋板、底板、螺塞，所述左立板、右立板、上立板、下立板分別位 于激光光纖耦合裝置的四周，上蓋板、底板分別位于激光光纖耦合裝 置上，下，螺塞位于激光光纖耦合裝置端部。
3、 如權(quán)利要求l所述的一種用于激光刻膜的激光設(shè)備，其特征在 于所述光纖耦合裝置包括聚焦鏡簡、外套簡、端蓋、平移接頭、光 纖耦合鏡，所述光纖耦合鏡位于聚焦鏡簡內(nèi)，外套筒在聚焦鏡簡的外 圍，平移接頭在外套簡的端部，端蓋固定在外套簡的端部。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種激光裝置。本實(shí)用新型公開了一種用于激光刻膜的激光設(shè)備，包括在激光設(shè)備輸出端的準(zhǔn)直系統(tǒng)、擴(kuò)束系統(tǒng)、聚焦系統(tǒng)，所述激光設(shè)備中具有輸出為532nm波長的基膜綠激光的激光器，與激光器連接的激光光纖耦合裝置，與激光光纖耦合裝置連接的芯徑為0.2mm，數(shù)值孔徑為0.12mm的階躍光纖，與階躍光纖連接的具有焦距F＝19-21的光纖耦合鏡的光纖耦合裝置。本實(shí)用新型主要解決的問題時把激光器輸出的高斯光束轉(zhuǎn)換為近似平頂?shù)母咚构馐?，從而使激光?在刻畫膜光伏太陽能電池中的a-Si膜層和Al膜層時，不灼傷TCO膜層，以保證膜光伏太陽能電池的生產(chǎn)質(zhì)量。
文檔編號B23K26/38GK201380363SQ20082024112
公開日2010年1月13日 申請日期2008年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月30日
發(fā)明者斌 付, 揚(yáng) 劉, 文 孫, 建 曹 申請人:武漢楚天激光(集團(tuán))股份有限公司