一字激光光源的蝕刻裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種蝕刻裝置，尤其涉及一種以激光蝕刻透明導(dǎo)電膜的干式蝕刻
目.0
【背景技術(shù)】
[0002]伴隨著移動(dòng)信息裝置例如移動(dòng)電話、導(dǎo)航系統(tǒng)等消費(fèi)性電子產(chǎn)品的高能性和多樣性的發(fā)展，在顯示裝置的前方已廣泛地安裝有具透光性的觸控面板(touch panel)。
[0003]一般來(lái)說(shuō)，觸控面板的觸控裝置包括一保護(hù)蓋板、一絕緣遮光層、一感測(cè)電極層及一信號(hào)傳送層。其中，保護(hù)蓋板具有供使用者操作的一感應(yīng)區(qū)與圍繞該感應(yīng)區(qū)的一周邊區(qū)，絕緣遮光層形成于保護(hù)蓋板的周邊區(qū)，感測(cè)電極層形成于保護(hù)蓋板的感應(yīng)區(qū)與部分周邊區(qū)，信號(hào)傳送層形成于絕緣遮光層上且與感測(cè)電極層電性連結(jié)，讓感測(cè)電極層上產(chǎn)生的電信號(hào)可經(jīng)由信號(hào)傳送層傳遞至外部檢測(cè)電路，并藉由外部檢測(cè)電路判斷觸控位置。
[0004]其中，所謂的感測(cè)電極層及一信號(hào)傳送層，可以是以一光學(xué)透明膠片該表面可以有硬化層，進(jìn)一步在于該表面形成一透明導(dǎo)電層，該透明導(dǎo)電層可以是有機(jī)或無(wú)機(jī)導(dǎo)電材料等，經(jīng)涂布或蒸鍍而成，而構(gòu)成的透明導(dǎo)電層可再于該導(dǎo)電層上以銀膠經(jīng)印刷形成一銀膠導(dǎo)電層，之后再以蝕刻方式如濕式或干式，以干式蝕刻如激光方式進(jìn)行蝕刻，其中透明導(dǎo)電層經(jīng)蝕刻后形成線路即所謂的感測(cè)電極層，銀膠導(dǎo)電層經(jīng)蝕刻后形成線路即所謂的信號(hào)傳送層。
[0005]前述的激光蝕刻方式是利用一特定脈沖能量低于100瓦的激光光源進(jìn)行蝕刻，以一單一激光光束結(jié)合于一可經(jīng)電腦路徑設(shè)定的X-Y平臺(tái)，經(jīng)電腦程序的特定路徑安排，以驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)輔助該激光光源對(duì)透明導(dǎo)電層上的導(dǎo)電層延伸更大線路區(qū)域的蝕刻，蝕刻寬度可以精確至50um以下。不過(guò)以單一激光光束進(jìn)行透明導(dǎo)電層的一整面的線路蝕刻，耗時(shí)不利量產(chǎn)效益，且單一激光光束蝕刻單一透明導(dǎo)電層的線路易產(chǎn)生蝕刻不良缺憾風(fēng)險(xiǎn)提高。
[0006]現(xiàn)在另一種高能量的激光技術(shù)，提供一面狀(一字)光束，可做為切割或進(jìn)一步與光罩結(jié)合作為塑料焊接之用，據(jù)此有別于單一激光光束的一字型激光面光束技術(shù)進(jìn)一步結(jié)合光罩技術(shù)可以加以改良利用，作為透明導(dǎo)電層的干式蝕刻量產(chǎn)技術(shù)設(shè)計(jì)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型的主要目的，在于解決傳統(tǒng)缺失，本實(shí)用新型提供一種一字激光光源的蝕刻裝置，可做為透明導(dǎo)電膠片上的導(dǎo)電層的激光蝕刻加工技術(shù)之用，可以提升透明導(dǎo)電月父片的特定線路蝕刻后的良率。
[0008]為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型提供一種一字激光光源的蝕刻裝置，以對(duì)光罩及透明導(dǎo)電膠片的導(dǎo)電材料層呈相對(duì)移動(dòng)進(jìn)行蝕刻處理，其包括:
[0009]一機(jī)臺(tái)；
[0010]一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，架設(shè)于該機(jī)臺(tái)上，由一致動(dòng)元件、一驅(qū)動(dòng)桿及一被驅(qū)動(dòng)桿組成，該驅(qū)動(dòng)桿與該致動(dòng)元件連接；另，該被驅(qū)動(dòng)桿上具有至少一滑孔及一與該驅(qū)動(dòng)桿嚙合的驅(qū)動(dòng)孔；
[0011]一字激光模塊，設(shè)于架設(shè)在該機(jī)臺(tái)上的該被驅(qū)動(dòng)桿上，該一字激光模塊以產(chǎn)生一字激光光源輸出；
[0012]一固定承座，架設(shè)于機(jī)臺(tái)上且設(shè)于該滑孔中；
[0013]其中，該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的致動(dòng)元件驅(qū)動(dòng)時(shí)，以驅(qū)動(dòng)該驅(qū)動(dòng)桿轉(zhuǎn)動(dòng)，使該被驅(qū)動(dòng)桿帶動(dòng)該一字激光模塊于該固定承座上移動(dòng)，同時(shí)該一字激光模塊所產(chǎn)生的一字激光光源與一字激光光源移動(dòng)方向垂直，在移動(dòng)時(shí)該一字激光光源透射穿過(guò)該光罩，使該一字激光光源的能量讓透明導(dǎo)電膠片上的導(dǎo)電層熔毀蝕刻，形成特定線路。
[0014]其中，該機(jī)臺(tái)上具有一承載座，該承載座上具有一多個(gè)支撐桿所組成的固定架。
[0015]其中，該致動(dòng)元件為馬達(dá)、汽缸，或者馬達(dá)連接減速機(jī)。
[0016]其中，該驅(qū)動(dòng)桿為渦桿，架設(shè)于該固定架上。
[0017]其中，該驅(qū)動(dòng)孔內(nèi)具有一與該驅(qū)動(dòng)桿嚙合的齒面。
[0018]其中，該固定承座由二導(dǎo)桿組成，該二導(dǎo)桿以穿射于該被驅(qū)動(dòng)桿的二滑孔中，并架設(shè)在該固定架上。
[0019]其中，該一字激光光源提供脈沖式面型光束。
[0020]其中，該一字激光光源經(jīng)電子驅(qū)動(dòng)方式形成面型光束。
[0021]其中，該一字激光光源在激光光束射出前端安裝一光學(xué)裝置如光柵形成面型光束。
[0022]其中，該一字激光光源在激光光束射出前端安裝一光學(xué)裝置經(jīng)電子驅(qū)動(dòng)方式形成面型光束。
[0023]其中，該一字激光光源以多個(gè)激光光源并列，并在光束前端設(shè)置一透鏡調(diào)整形成一字形面光源。
[0024]其中，該一字激光光源在激光光束射出前端安裝一結(jié)合驅(qū)動(dòng)裝置的透鏡組。
[0025]其中，該一字激光光源在激光光束射出前端安裝一集塵裝置。
[0026]其中，該光罩上具有一透光區(qū)域及一不透光區(qū)域。
[0027]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。
【附圖說(shuō)明】
[0028]圖1，本實(shí)用新型的一字激光光源的蝕刻裝置的外觀示意圖；
[0029]圖2，本實(shí)用新型的被驅(qū)動(dòng)桿與一字激光光模塊組接示意圖；
[0030]圖3，本實(shí)用新型的一字激光光源的蝕刻裝置的上視動(dòng)作示意圖；
[0031]圖4，本實(shí)用新型的一字激光光源的蝕刻裝置的側(cè)視動(dòng)作示意圖；
[0032]圖5，本實(shí)用新型的一字激光光源的蝕刻裝置的另一側(cè)視動(dòng)作示意圖。
[0033]其中，附圖標(biāo)記
[0034]機(jī)臺(tái)I
[0035]承載座11
[0036]固定架12
[0037]驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2
[0038]致動(dòng)元件21
[0039]第一驅(qū)動(dòng)桿22
[0040]被驅(qū)動(dòng)桿23
[0041]滑孔231
[0042]驅(qū)動(dòng)孔232
[0043]齒面2321
[0044]一字激光模塊3
[0045]一字激光光源31
[0046]固定承座4
[0047]導(dǎo)桿41
[0048]透明導(dǎo)電膠片5
[0049]透明膠片51
[0050]導(dǎo)電層52
[0051]光罩6
[0052]透光區(qū)域61
[0053]不透光區(qū)域62。
【具體實(shí)施方式】
[0054]茲有關(guān)本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容及詳細(xì)說(shuō)明，現(xiàn)配合【附圖說(shuō)明】如下:
[0055]請(qǐng)參閱圖1及圖2，本實(shí)用新型的一字激光光源的蝕刻裝置的外觀及被驅(qū)動(dòng)桿與一字激光光模塊組接示意圖。如圖所示:本實(shí)用新型的一字激光光源的蝕刻裝置，包括:一機(jī)臺(tái)1、一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2、一字激光模塊3及一固定承座4。
[0056]該機(jī)臺(tái)1，其上具有一承載座11，該承載座11上具有一多個(gè)支撐桿所組成的固定架12。
[0057]該驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)2，是架設(shè)于該固定架12上，由一致動(dòng)元件21、一驅(qū)動(dòng)桿22及一被驅(qū)動(dòng)桿23組成。該致動(dòng)元件21為馬達(dá)、汽缸，或者馬達(dá)連接減速機(jī)。該第一驅(qū)動(dòng)桿22為渦桿，是與該致動(dòng)元件21連接，并受該馬達(dá)驅(qū)動(dòng)或者減速機(jī)驅(qū)動(dòng)而旋轉(zhuǎn)。該被驅(qū)動(dòng)桿23是以穿設(shè)于該一字激光模塊3中，該被驅(qū)動(dòng)桿23上具有至少一外露于一字激光模塊3外部的滑孔231及一驅(qū)動(dòng)孔232，該驅(qū)動(dòng)孔