專利名稱：鎢合金靶材銑削加工方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造行業(yè)中的機(jī)械加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種鎢合金靶材銑 削加工方法。
背景技術(shù)：
真空濺鍍是由電子在電場(chǎng)的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞，電 離出大量的氬離子和電子，電子飛向基片，氬離子在電場(chǎng)的作用下加速轟擊靶材，濺射出大 量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜，而最終達(dá)到對(duì)基片表面鍍膜 的目的。在進(jìn)行真空濺鍍的過程中經(jīng)常會(huì)使用到鎢合金靶材。鎢的機(jī)械物理性能鎢是一 種難熔金屬，它具有熔點(diǎn)高(達(dá)3400°C )、密度大(19. 32g/cm3)、耐化學(xué)腐蝕性好及高溫強(qiáng) 度高等特點(diǎn)，燒結(jié)的富鎢合金其抗拉強(qiáng)度可高達(dá)1700MPa。下表中列出了難熔金屬鎢的物理 機(jī)械性能
權(quán)利要求
1.一種鎢合金靶材加工方法，包括提供鎢合金靶材半成品，對(duì)鎢合金靶材半成品進(jìn) 行精加工，其特征在于，所述精加工步驟中鎢合金靶材平面采用PCBN刃面銑刀加工，所述 鎢合金靶材側(cè)面采用鎢鋼立銑刀加工。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎢合金靶材加工方法，其特征在于，所述精加工過程中冷卻 鎢合金靶材及刀具。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鎢合金靶材加工方法，其特征在于，所述冷卻方式采用空冷。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎢合金靶材加工方法，其特征在于，所述精加工步驟中先采 用PCBN刃面銑刀加工鎢合金靶材平面，后采用鎢鋼立銑刀加工鎢合金靶材側(cè)面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的鎢合金靶材加工方法，其特征在于，所述PCBN刃 面銑刀刀刃數(shù)目為3個(gè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鎢合金靶材加工方法，其特征在于，所述面銑刀主軸轉(zhuǎn)速范 圍包括400r/min 600r/min，進(jìn)給速度范圍包括150mm/min 250mm/min，背吃刀量范 圍包括0. Olmm 0. 03mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鎢合金靶材加工方法，其特征在于，所述面銑刀主軸轉(zhuǎn)速為 500r/mino
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鎢合金靶材加工方法，其特征在于，所述面銑刀進(jìn)給速度為 200mm/mino
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的鎢合金靶材加工方法，其特征在于，所述面銑刀背吃刀量為 0. 02mmo
10.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的鎢合金靶材加工方法，其特征在于，所述鎢鋼立 銑刀主軸轉(zhuǎn)速范圍包括1400r/min 1600r/min，進(jìn)給速度范圍包括35mm/min 45mm/ min,背吃刀量范圍包括0. Olmm 0. 03mm。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的鎢合金靶材加工方法，其特征在于，所述鎢鋼立銑刀主軸 轉(zhuǎn)速為1500r/min。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的鎢合金靶材加工方法，其特征在于，所述鎢鋼立銑刀進(jìn)給 速度為40mm/min。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的鎢合金靶材加工方法，其特征在于，所述鎢鋼立銑刀背吃 刀量為0. 02mm。
全文摘要
一種鎢合金靶材加工方法，包括提供鎢合金靶材半成品，對(duì)鎢合金靶材半成品進(jìn)行精加工，所述精加工步驟中鎢合金靶材平面采用PCBN刃面銑刀加工，所述鎢合金靶材側(cè)面采用鎢鋼立銑刀加工。采用本發(fā)明提供的鎢合金靶材加工方法，可以避免在加工過程中出現(xiàn)掉角，同時(shí)可以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜曲面的鎢合金靶材加工，并且解決加工周期長(zhǎng)，生產(chǎn)效率低問題。
文檔編號(hào)B23C3/00GK102145403SQ20111008695
公開日2011年8月10日 申請(qǐng)日期2011年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月7日
發(fā)明者姚力軍, 潘杰, 王學(xué)澤, 范文新 申請(qǐng)人:寧波江豐電子材料有限公司