專利名稱：研磨加工用夾具組及多個(gè)被研磨體的研磨方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及研磨加工用夾具組及多個(gè)被研磨體的研磨方法。更具體地說，本發(fā)明涉及一種由多個(gè)夾具單元組合而成的研磨加工用夾具組及高效的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其中可以將多個(gè)被研磨體(例如，陶瓷電子部件等)配置在研磨夾具(靠模板)上，并可以在被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，平穩(wěn)且準(zhǔn)確地進(jìn)行使被研磨體從研磨夾具上脫離之前的一系列工序，而不會(huì)損傷多個(gè)被研磨體、且不會(huì)改變從一系列工序開始到結(jié)束期間的多個(gè)被研磨體的配置圖案。
背景技術(shù)：
在對(duì)多個(gè)被研磨體(例如，陶瓷電子部件等)施加拋光等研磨加工的情況下，存在下述要求，即，在防止研磨加工中由被研磨體的配置位置差異引起的偏移或損傷發(fā)生的同時(shí)，為了研磨加工后的各操作(例如，被研磨體研磨后的單獨(dú)管理等)的便利，從多個(gè)被研磨體相互不接觸且以規(guī)定的配置圖案排列放置的規(guī)定配置托架上，通過手工操作將多個(gè)被研磨體以形成適合研磨加工的配置圖案的方式移送到粘著帶的粘著面上；在將被研磨體從粘著帶的粘著面轉(zhuǎn)印到研磨夾具(靠模板)上的狀態(tài)下進(jìn)行研磨加工；研磨加工結(jié)束后，使被研磨體從研磨夾具(靠模板)脫離，并通過手工操作以和配置托架上的配置圖案相同的設(shè)置圖案將多個(gè)被研磨體再配置在脫離托架上。
但是，在通過手工操作將多個(gè)被研磨體、特別是包含如梁狀突起部那樣的機(jī)械強(qiáng)度小的部分的微細(xì)且數(shù)量多的陶瓷電子部件放置到配置托架上的情況下，當(dāng)用小鑷子等硬的工具夾取、碰它們時(shí)，會(huì)對(duì)被研磨體產(chǎn)生損傷，而且，在被研磨體具有相互易于纏結(jié)的復(fù)雜形狀(例如，コ字形)時(shí)，還會(huì)出現(xiàn)由相互纏結(jié)、刮擦引起的損傷。而且，在將被研磨體粘附到粘著帶的粘著面上之后轉(zhuǎn)印到研磨夾具上的情況中，在將其從粘著面上剝離時(shí)會(huì)產(chǎn)生碎屑，從而使被研磨體的品質(zhì)降低。另外，在保持配置圖案的同時(shí)，通過手工操作將多個(gè)被研磨體放置在配置托架上、轉(zhuǎn)印到粘著帶上的工作是費(fèi)時(shí)且非常繁瑣的操作，而且是沒有效率的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述問題而提出的，本發(fā)明的目的在于提供一種由多個(gè)夾具單元組合而成的研磨加工用夾具組及高效的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其可以將多個(gè)被研磨體(例如，陶瓷電子部件等)配置在研磨夾具(靠模板)上，并可以在被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，平穩(wěn)且準(zhǔn)確地進(jìn)行使被研磨體從研磨夾具上脫離之前的一系列工序，而不會(huì)損傷多個(gè)被研磨體、且不會(huì)改變從一系列工序開始到結(jié)束期間的多個(gè)被研磨體的配置圖案。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明，提供以下研磨加工用夾具組及多個(gè)被研磨體的研磨方法。
一種研磨加工用夾具組，由多個(gè)研磨夾具單元組成，其用在將多個(gè)被研磨體配置在研磨夾具(靠模板)上，在所述被研磨體的研磨加工結(jié)束之后、直到使所述被研磨體從所述研磨夾具脫離的一系列工序中，其特征在于，所述夾具單元包括多個(gè)配置用小型托架，其可以將以規(guī)定的載放圖案排列載放在起始托架表面上的多個(gè)被研磨體，以分割成規(guī)定的局部圖案的狀態(tài)從所述起始托架的表面上移送到其表面上；具有和所述起始托架相對(duì)應(yīng)的形狀的分割托架，其可以在所述被研磨體向所述配置用小型托架移送的時(shí)候，以所述局部圖案集合而成的整體圖案成為所述載放圖案的方式預(yù)先配置收放多個(gè)所述配置用小型托架，而且可以在收放所述配置用小型托架的狀態(tài)下將所述被研磨體從所述起始托架上移送到所述配置用小型托架上；分割板，其可以從所述分割托架上將收放在該托架上的多個(gè)所述配置用小型托架，以規(guī)定的配置圖案移送到其表面上，同時(shí)，可以將載放在被移送的所述配置用小型托架上的所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到所述研磨夾具的表面上；脫離用小型托架，其可以在以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到所述研磨夾具的表面上的所述被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，以所述配置圖案配置到所述分割板的表面上，而且，可以將通過規(guī)定的剝離處理從所述研磨夾具的表面上脫離的所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)和分割成所述局部圖案的狀態(tài)移送。通過組合使用所述夾具單元，所述研磨加工用夾具組可以在不使所述被研磨體相互接觸的情況下，成批地將它們配置在所述研磨夾具上，且在所述被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，使研磨后的所述被研磨體從所述研磨夾具上脫離。
如所述[1]所述的研磨加工用夾具組，其特征在于，所述分割托架及所述起始托架具備在將所述被研磨體從所述起始托架移送到所述配置用小型托架上時(shí)、確定相互位置的第一定位機(jī)構(gòu)。
如所述[1]或[2]所述的研磨加工用夾具組，其特征在于，所述分割托架及所述配置用小型托架具備在所述配置用小型托架排列、收放到所述分割托架上時(shí)、確定相互位置的第二定位機(jī)構(gòu)。
如所述[1]～[3]中任一項(xiàng)所述的研磨加工用夾具組，其特征在于，所述分割板及所述配置用小型托架具備在所述配置用小型托架配置到所述分割板的表面上時(shí)、確定相互位置的第三定位機(jī)構(gòu)。
如所述[1]～[4]中任一項(xiàng)所述的研磨加工用夾具組，其特征在于，所述分割板及所述研磨夾具具備在將載放在所述配置用小型托架上的所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到所述研磨夾具的表面上時(shí)、確定相互位置的第四定位機(jī)構(gòu)，其中所述配置用小型托架配置在所述分割板的表面上。
如所述[1]～[5]中任一項(xiàng)所述的研磨加工用夾具組，其特征在于，所述分割板及所述脫離用小型托架具備在所述脫離用小型托架配置到所述分割板的表面上時(shí)、確定相互位置的第五定位機(jī)構(gòu)。
如所述[1]～[6]中任一項(xiàng)所述的研磨加工用夾具組，其特征在于，所述脫離用小型托架具有收放被移送的所述被研磨體的穴部，而且，在該穴部的底面形成和外部連通的貫通孔。
如所述[1]～[6]中任一所述的研磨加工用夾具組，其特征在于，所述配置用小型托架及所述脫離用小型托架具有收放被移送的所述被研磨體的穴部，而且所述脫離用小型托架的穴部的收放面積比所述配置用小型托架的穴部的收放面積大。
一種將多個(gè)被研磨體配置在研磨夾具(靠模板)上、對(duì)所述被研磨體進(jìn)行研磨加工，并在所述被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，使所述被研磨體從所述研磨夾具上脫離的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于在將多個(gè)配置用小型托架以一種方式預(yù)先排列收放在具有和起始托架相對(duì)應(yīng)之形狀的分割托架上的狀態(tài)下，將所述被研磨體從所述起始托架上移送到所述配置用小型托架上，其中所述多個(gè)配置用小型托架可以將以規(guī)定的載放圖案排列設(shè)置在所述起始托架的表面上的多個(gè)被研磨體、以分割成規(guī)定的局部圖案的狀態(tài)從所述起始托架的表面上移送到它們的表面上，所述方式為所述局部圖案集合而成的整體圖案形成所述載放圖案的方式；將收放在所述分割托架上的多個(gè)所述配置用小型托架以規(guī)定的配置圖案移送到分割板的表面上；將載放在所述配置用小型托架上的所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)設(shè)置到所述研磨夾具的表面上；對(duì)以轉(zhuǎn)印狀態(tài)設(shè)置到所述研磨夾具表面上的所述被研磨體進(jìn)行研磨加工；在研磨加工結(jié)束之后，將通過規(guī)定的剝離處理從所述研磨夾具的表面上脫離的、研磨加工后的所述被研磨體，以轉(zhuǎn)印狀態(tài)和分割成所述局部圖案的狀態(tài)移送到以所述配置圖案設(shè)置在所述分割板的表面上的脫離用小型托架上。
如所述[9]所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于，在將載放在所述配置用小型托架上的所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到所述研磨夾具的表面上時(shí)，預(yù)先在所述研磨夾具的表面上設(shè)置粘結(jié)劑，通過所述粘結(jié)劑將所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)固定到所述研磨夾具的表面上。
如所述[10]所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于，在預(yù)先將粘結(jié)劑設(shè)置在所述研磨夾具的表面上，并通過所述粘結(jié)劑將所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)固定到所述研磨夾具的表面上時(shí)，在預(yù)先將具有規(guī)定硬度的彈性體設(shè)置在所述粘結(jié)劑的表面上的狀態(tài)下，對(duì)其進(jìn)行擠壓加工。
一種如所述[9]～[11]中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于，作為所述脫離用小型托架，使用一種具有收放被移送的所述被研磨體的穴部，而且在所述穴部的底面形成和外部連通的貫通孔之托架。
如所述[9]～[12]中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于，作為所述配置用小型托架及所述脫離用小型托架，使用具有容納被移送的所述被研磨體的穴部之托架，而且所述脫離用小型托架使用其穴部的容納面積比所述配置用小型托架的穴部的容納面積大之托架。
如所述[9]～[13]中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于，作為所述分割托架及所述起始托架使用下述托架，其具有在將所述被研磨體從所述起始脫架移送到所述配置用小型托架上時(shí)、確定相互位置的第一定位機(jī)構(gòu)。
如所述[9]～[14]中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于，作為所述分割托架及所述配置用小型托架，使用下述托架，其具有在所述配置用小型托架設(shè)置、收放到所述分割托架上時(shí)、確定相互位置的第二定位機(jī)構(gòu)。
如所述[9]～[15]中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于，作為所述分割板及所述配置用小型托架，使用下述托架，其具有在所述配置用小型托架配置到所述分割板的表面上時(shí)、確定相互位置的第三定位機(jī)構(gòu)。
如所述[9]～[15]中任一所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于，作為所述分割板及所述脫離用小型托架，使用下述托架，其具有在所述脫離用小型托架配置到所述分割板的表面上時(shí)、確定相互位置的第四定位機(jī)構(gòu)。
一種將多個(gè)被研磨體配置在研磨夾具(靠模板)上、對(duì)所述被研磨體進(jìn)行研磨加工，并在所述被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，使所述被研磨體從所述研磨夾具上脫離的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于在所述研磨夾具的表面上預(yù)先設(shè)置粘結(jié)劑，并在所述被研磨體貫通所述粘結(jié)劑后一半以上的部分埋入所述粘結(jié)劑中的狀態(tài)下將所述被研磨體配置、固定在所述研磨夾具的表面上。
如所述[18]所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于，在預(yù)先將粘結(jié)劑設(shè)置在所述研磨夾具的表面上，并在所述被研磨體貫通所述粘結(jié)劑后一半以上的部分埋入所述粘結(jié)劑中的狀態(tài)下將所述被研磨體配置、固定在所述研磨夾具的表面上時(shí)，在將具有規(guī)定硬度的彈性體預(yù)先設(shè)置在所述粘結(jié)劑的表面上的狀態(tài)下對(duì)其進(jìn)行擠壓加工，使所述粘結(jié)劑相對(duì)于所述研磨夾具的埋入高度降低。
一種將多個(gè)被研磨體配置在研磨夾具(靠模板)上、對(duì)所述被研磨體進(jìn)行研磨加工，并在所述被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，使所述被研磨體從所述研磨夾具上脫離的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于在所述研磨夾具的表面上預(yù)先設(shè)置粘結(jié)劑，在所述被研磨體貫通比所述被研磨體厚的定點(diǎn)墊片和所述粘結(jié)劑、且一半以上的部分埋入所述粘結(jié)劑中的狀態(tài)下將所述被研磨體配置、固定在所述研磨夾具的表面上。
如所述[20]所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于，作為所述定點(diǎn)墊片使用一種和平臺(tái)接觸的面被倒角的定點(diǎn)墊片。
如所述[20]或[21]所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于，作為所述定點(diǎn)墊片使用材料為陶瓷的部件。
如所述[1]～[22]中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于，所述被研磨體為一種包含機(jī)械強(qiáng)度小的部分的被研磨體。
根據(jù)本發(fā)明，提供了一種由多個(gè)夾具單元組合而成的研磨加工用夾具組及高效的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其中可以將多個(gè)被研磨體(例如，陶瓷電子部件等)配置在研磨夾具(靠模板)上，并可以在被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，平穩(wěn)且準(zhǔn)確地進(jìn)行使被研磨體從研磨夾具上脫離之前的一系列工序，而不會(huì)損傷多個(gè)被研磨體、且不會(huì)改變從一系列工序開始到結(jié)束期間的多個(gè)被研磨體的配置圖案。


圖1為示意地表示將配置用小型托架放置在分割托架表面上的說明圖。圖1(a)表示配置前的狀態(tài)，圖1(b)表示配置后的狀態(tài)。
圖2為示意地表示將多個(gè)被研磨體從起始托架的表面上移送到配置用小型托架的換裝穴中的方法的說明圖，其中小型托架已經(jīng)被放置在分割托架的表面上，圖2(a)表示移送前的狀態(tài)，圖2(b)表示移送后的狀態(tài)。
圖3為示意地表示將移送多個(gè)研磨體的配置用小型托架配置在分割板表面上之前的處理方法的說明圖，圖3(a)表示處理前的狀態(tài)，圖3(b)表示處理后的狀態(tài)。
圖4為示意地表示將移送多個(gè)被研磨體的配置用小型托架配置在分割板表面上的方法的說明圖，圖4(a)表示配置前的狀態(tài)，圖4(b)表示配置后的狀態(tài)。
圖5為示意地表示將移送多個(gè)被研磨體的配置用小型托架定位配置在分割板的表面上并固定到固定夾具上的方法的說明圖，圖5(a)表示將配置用小型托架定位配置到分割板上的方法，圖5(b)表示將其固定到固定夾具上的方法。
圖6為示意地表示將載放在配置用小型托架1上的被研磨體重疊在研磨夾具的表面上并以轉(zhuǎn)印狀態(tài)設(shè)置到其上的方法的說明圖，圖6(a)表示重疊前的狀態(tài)，圖6(b)表示重疊后的狀態(tài)。
圖7為示意地表示在將載放在配置用小型托架1上的被研磨體配置在研磨夾具的表面上之后、進(jìn)行擠壓加工的方法的說明圖，圖7(a)表示擠壓加工前的狀態(tài)，圖7(b)表示擠壓加工后的狀態(tài)，圖7(c)表示圖7(b)中A部分的放大圖。
圖8為示意地表示將脫離用小型托架配置在研磨夾具的表面上的方法的說明圖，圖8(a)表示配置前的狀態(tài)，圖8(b)表示配置后的狀態(tài)。
圖9為示意地表示將從研磨夾具脫離的被研磨體移送到配置在分割板表面上的脫離用小型托架上的方法的說明圖，圖9(a)表示移送前的狀態(tài)，圖9(b)表示移送后的狀態(tài)。
圖10為示意地表示將移送被研磨體的脫離用小型托架配置在分割托架表面上的方法的說明圖，圖10(a)表示配置前的狀態(tài)，圖10(b)表示配置后的狀態(tài)。
圖11為示意地表示將被研磨體從脫離用小型托架移送到配置用小型托架上的方法的說明圖，圖11(a)表示移送前的狀態(tài)，圖11(b)表示移送后的狀態(tài)。
圖中1-配置用小型托架，2-分割托架，3-分割板，4-脫離用小型托架，10-被研磨體，11-換裝穴，41-脫離穴，51-第一定位機(jī)構(gòu)(第一定位銷·孔)，52-第二定位機(jī)構(gòu)(第二定位銷·孔)，53-夾子，54-第一保護(hù)用罩，55-第三定位機(jī)構(gòu)(第三定位銷·孔)，56-第二夾子，57-第二保護(hù)用罩，58-固定夾具，59-彈性定位銷，60-定位銷，61-第四定位機(jī)構(gòu)(第四定位銷·孔)，62-第三夾子，63-第五定位機(jī)構(gòu)(第五定位銷·孔)，100-起始托架，101-載放穴，200-研磨夾具，201-粘接劑，300-用熱板，400-彈性體，450-錘，500-壓具，600-儲(chǔ)存槽，601-脫離劑。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的研磨加工用夾具組為用在下述一系列工序中的裝置，所述的一系列工序?yàn)閷⒍鄠€(gè)被研磨體配置在研磨夾具(靠模板)上，并在被研磨體的研磨加工結(jié)束之后直到使被研磨體從研磨夾具上脫離的工序；而且，本發(fā)明的研磨加工用夾具組為多個(gè)夾具單元組合而成的裝置。即，作為夾具單元，包括配置用小型托架、分割托架、分割板及脫離用小型托架。下面，以各夾具單元的構(gòu)成及其使用方法為中心，參照附圖詳細(xì)說明用于實(shí)施本發(fā)明的最佳方式。
如圖1(a)、1(b)所示，配置用小型托架1如此構(gòu)成，以便可以將多個(gè)被研磨體10在分割成規(guī)定的局部圖案的狀態(tài)下從起始托架100的載放穴101移送到換裝穴11中，其中，所述多個(gè)被研磨體以規(guī)定的載放圖案排列設(shè)置于形成在起始托架100(參照?qǐng)D2(a))的表面上的載放穴101(參照?qǐng)D2(a))中，所述換裝穴11與上述局部圖案對(duì)應(yīng)地形成在托架1的表面上。另外，圖1(a)表示使用了三個(gè)配置用小型托架1的情況。對(duì)構(gòu)成配置用小型托架1的材料不作特別限制，例如，作為優(yōu)選例，可以使用聚碳酸酯等。
如圖1(a)、1(b)所示，分割托架2如此構(gòu)成，以便具有和起始托架1對(duì)應(yīng)的形狀，其中，可以在被研磨體10向配置用小型托架1的換裝穴11移送期間，以上述局部圖案集合而成的整體圖案成為起始托架100(參照?qǐng)D2(a))上的載放圖案的方式預(yù)先配置收放多個(gè)配置用小型托架1，并且可以在收放配置用小型托架1的狀態(tài)下將被研磨體10從起始托架100上移送到配置用小型托架1上。對(duì)構(gòu)成分割托架2的材料不作特別限制，例如，作為優(yōu)選例，可以使用鋁、不銹鋼等。
如圖1(a)、1(b)所示，優(yōu)選的是，分割托架2及配置用小型托架1具有在配置用小型托架1設(shè)置、收放到分割托架2上時(shí)確定相互位置的第二定位機(jī)構(gòu)(第二定位銷·孔)52。優(yōu)選的是，定位后，由三個(gè)第一夾子53固定。
如圖2(a)、2(b)所示，為了將以規(guī)定的載放圖案排列放置在起始托架100表面上的多個(gè)被研磨體10在分割成規(guī)定的局部圖案的狀態(tài)下，從起始托架100的表面上移送到配置用小型托架1表面上和上述局部圖案對(duì)應(yīng)地形成的換裝穴11中，將載放被研磨體10的起始托架100和收放配置用小型托架1的分割托架2重疊在一起。而且，圖2(a)表示重疊前的狀態(tài)，圖2(b)表示重疊后的狀態(tài)。在圖2(b)中，載放在起始托架100的表面上的被研磨體10被移送到配置用小型托架1的換裝穴11中，從而在起始托架100的表面上，僅示出變空的載放穴101。
如圖2(a)所示，優(yōu)選的是，在分割托架2及起始托架100上，具備在將被研磨體10從起始脫架100的載放穴101移送到配置用小型托架1的換裝穴11上時(shí)、確定相互位置的第一定位機(jī)構(gòu)(第一定位銷·孔)51。
如圖3(a)、3(b)所示，為了將多個(gè)配置用小型托架1以規(guī)定的配置圖案移送到分割板3(參照?qǐng)D4(a))的表面上，首先，在圖2(b)所示的、被研磨體10被移送到換裝穴11中的配置用小型托架1和分割托架2的組合體的表面上覆蓋第一保護(hù)用罩54之后，取下第一夾子53，并將被研磨體10被移送到換裝穴11中的配置用小型托架1以規(guī)定的配置圖案移送到后述的分割板3的表面上。在圖3(b)及后述的圖4(b)中，示出移送六個(gè)配置用小型托架1的情況。
如圖4(a)、4(b)所示，分割板3如此構(gòu)成，以便可以從圖3(b)所示的分割托架2上將收放在其上的多個(gè)配置用小型托架1，以規(guī)定的配置圖案移送到分割板3的表面上，同時(shí)，如后所述，可以將載放在被移送的配置用小型托架1上的被研磨體10以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到研磨夾具的表面上。對(duì)構(gòu)成分割板3的材料不作特別限制，例如，作為優(yōu)選例，可以使用鋁、不銹鋼等。
如圖5(a)所示，優(yōu)選的是，分割板3及配置用小型托架1具有在配置用小型托架1配置到分割板3的表面上時(shí)、確定相互位置的第三定位機(jī)構(gòu)(第三定位銷·孔)55。優(yōu)選的是，定位后，由六個(gè)第二夾子56固定，同時(shí)用第二罩57覆蓋表面。如圖5(b)所示，優(yōu)選的是，在分割板3和配置用小型托架1之間的定位結(jié)束后，將設(shè)置了配置用小型托架1的分割板3固定到具有彈性定位銷59和定位銷60的固定夾具58上。
如圖6(a)所示，固定到固定夾具58上的、設(shè)置了配置用小型托架1的分割板3，在取下夾子56及第二保護(hù)罩57之后，如圖6(b)所示，和研磨夾具200疊置，從而將載放在配置用小型托架1的換裝穴11(參照?qǐng)D1(a))中的被研磨體10以轉(zhuǎn)印狀態(tài)設(shè)置到研磨夾具200的表面上。這種情況下，優(yōu)選的是，在分割板3及研磨夾具200中，具備確定相互位置的第四定位機(jī)構(gòu)(第四定位銷·孔)61。另外，在研磨夾具200的表面上，最好預(yù)先設(shè)置粘結(jié)劑201。作為粘結(jié)劑201，例如可以使用石蠟等。這種情況下，從可靠地將被研磨體10固定到研磨夾具200的表面上的觀點(diǎn)看，最好在貫通粘結(jié)劑201后一半以上的部分位于粘結(jié)劑201中的狀態(tài)下將被研磨體10配置在研磨夾具200的表面上。
如圖7(a)所示，為了進(jìn)一步將被研磨體10可靠地固定到研磨夾具200的表面上，優(yōu)選的是，用熱板300、表面具有規(guī)定硬度的彈性體400及錘450夾住研磨夾具200，在預(yù)先將彈性體400設(shè)置在粘結(jié)劑201的表面上的狀態(tài)及加熱的狀態(tài)下，用壓具500對(duì)其進(jìn)行擠壓。這樣，如圖7(b)、7(c)所示，使粘結(jié)劑201相對(duì)于研磨夾具200的埋入高度降低，在保持從側(cè)面支撐被研磨體的功能的同時(shí)，可以防止研磨時(shí)粘結(jié)劑與平臺(tái)接觸，從而從加工開始時(shí)就可以高效地加工被研磨體。
對(duì)配置、固定在研磨夾具200表面上的被研磨體10的研磨加工的方法不作特別限制，例如，可以采用磨削加工、研磨加工、拋光加工等。
如圖8(a)所示，當(dāng)以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到研磨夾具200表面上的被研磨體10的研磨加工結(jié)束之后(參照?qǐng)D6(b))，脫離用小型托架4以配置圖案設(shè)置在分割板3的表面上，而且如后所述，可以將通過規(guī)定的剝離處理從研磨夾具200的表面上脫離的被研磨體10在轉(zhuǎn)印狀態(tài)和分割成局部圖案的狀態(tài)下移送到脫離穴41中。作為構(gòu)成脫離用小型托架4的材料，優(yōu)選使用具有耐溶劑性的樹脂，例如，作為優(yōu)選例，可以使用聚醚醚酮(PEEK)。
為了將被研磨體10在分割成局部圖案的狀態(tài)下移送到脫離用小型托架4的脫離穴41中，首先，如圖8(a)所示，將脫離用小型托架4以上述配置圖案設(shè)置在分割板3的表面上，然后將它們?cè)O(shè)置到具有彈性定位銷59和定位銷60的固定夾具58上，用第三夾子62固定。這種情況中，優(yōu)選的是，分割板3及脫離用小型托架4具有在脫離用小型托架4配置到分割板3的表面上時(shí)、確定相互位置的第五定位機(jī)構(gòu)(第五定位銷·孔)63。接著，如圖8(b)所示，將配置有被研磨體10的研磨夾具200疊置在脫離用小型托架4以配置圖案設(shè)置在其表面上的分割板3的表面上。接著，將由規(guī)定的剝離處理脫離的被研磨體10在轉(zhuǎn)印狀態(tài)和分割成局部圖案的狀態(tài)下移送到脫離穴41中。
如圖9(a)所示，對(duì)于上述剝離處理，使脫離用小型托架4以配置圖案設(shè)置在其表面上的分割板3和配置有被研磨體10的研磨夾具200相互重疊而成的組件在儲(chǔ)存槽600中浸漬1～2小時(shí)，其中所述儲(chǔ)存槽600儲(chǔ)存有規(guī)定的脫離劑601，例如異丙醇，然后，如圖9(b)所示，取下研磨夾具200，從研磨夾具200脫離的被研磨體10在轉(zhuǎn)印狀態(tài)且分割成局部圖案的狀態(tài)下被移送到脫離用小型托架4的脫離穴41中。
優(yōu)選的是，脫離用小型托架4具有收放被移送的被研磨體10的穴部(脫離穴41)，而且，在該脫離穴41的底面形成和外部連通的貫通孔(圖中未示出)。通過如此構(gòu)造，能使脫離劑601通過貫通孔更有效地?cái)U(kuò)散，從而可以更有效地使被研磨體10從研磨夾具200上脫離。
優(yōu)選的是，配置用小型托架1及脫離用小型托架4具有容納被移送的被研磨體10的穴部(換裝穴11、脫離穴41)，而且脫離用小型托架1的穴部(脫離穴41)的容納面積比配置用小型托架4的穴部(換裝穴11)的容納面積大。通過如此構(gòu)造，在使被研磨體10從研磨夾具200脫離時(shí)，被研磨體10可以由脫離穴41覆蓋，從而能有效地防止脫離的被研磨體10由于和夾具接觸等而受到損傷等，并能將被研磨體10可靠地收放在脫離穴41中。
如圖10(a)所示，將被研磨體10在轉(zhuǎn)印狀態(tài)和分割成局部圖案的狀態(tài)下被移送的脫離用小型托架4從分割板3提起，如圖10(b)所示，將所述脫離用小型托架移送到分割托架2上。這種情況中的定位和固定方法與上述情況相同。
如圖11(a)所示，使移送脫離用小型托架4的分割板2和載放穴101處于空置狀態(tài)的起始托架100重疊，如圖11(b)所示，得到脫離穴41變空的脫離用小型托架4被移送的分割板2、以及被研磨體被移送到載放穴101中的起始托架100，由此結(jié)束一系列工序。這種情況中，能有效地防止由于預(yù)先在起始托架100的表面上設(shè)置脫離劑601(例如，使起始托架100浸漬在脫離劑601中)而由起始托架100表面的浸濕性的不均勻引起的氣泡的產(chǎn)生，從而能可靠的進(jìn)行被研磨體的移送。
下面，說明本發(fā)明的多個(gè)被研磨體的研磨方法(第1方法)，作為所使用的研磨加工用夾具組可以使用上面所述的研磨加工用夾具組。
本發(fā)明的多個(gè)被研磨體的研磨方法(第1方法)為一種將多個(gè)被研磨體配置在研磨夾具(靠模板)上、對(duì)被研磨體進(jìn)行研磨加工，并在被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，使被研磨體從研磨夾具上脫離的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于在將多個(gè)配置用小型托架以一種方式預(yù)先配置收放在具有和起始托架相對(duì)應(yīng)之形狀的分割托架上的狀態(tài)下，將被研磨體從起始托架上移送到配置用小型托架上，其中所述多個(gè)配置用小型托架為可以將以規(guī)定的載放圖案排列設(shè)置在起始托架的表面上的多個(gè)被研磨體、在分割成規(guī)定的局部圖案的狀態(tài)下從起始托架的表面上移送到它們的表面上的配置用小型托架，所述方式為上述局部圖案集合而成的整體圖案形成所述載放圖案的方式；將收放在分割托架上的多個(gè)配置用小型托架以規(guī)定的配置圖案移送到分割板的表面上；將載放在配置用小型托架上的被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)設(shè)置到研磨夾具的表面上；對(duì)以轉(zhuǎn)印狀態(tài)設(shè)置到研磨夾具表面上的被研磨體進(jìn)行研磨加工；在研磨加工結(jié)束之后，將通過規(guī)定的剝離處理從研磨夾具表面上脫離的、研磨加工后的被研磨體，在轉(zhuǎn)印狀態(tài)且分割成局部圖案的狀態(tài)下移送到以配置圖案設(shè)置在分割板表面上的脫離用小型托架上。
優(yōu)選的是，在將載放在配置用小型托架上的被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到研磨夾具的表面上時(shí)，預(yù)先在研磨夾具的表面上設(shè)置粘結(jié)劑，通過粘結(jié)劑將被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)固定到研磨夾具的表面上。粘結(jié)劑可以使用上面提及的。
優(yōu)選的是，在預(yù)先將粘結(jié)劑設(shè)置在研磨夾具的表面上，并通過粘結(jié)劑將被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)固定到研磨夾具的表面上時(shí)，在預(yù)先將具有規(guī)定硬度的彈性體設(shè)置在粘結(jié)劑表面上的狀態(tài)下，對(duì)其進(jìn)行擠壓加工。彈性體、擠壓加工用夾具可以使用上面提及的。
優(yōu)選的是，作為脫離用小型托架，使用下述托架，其設(shè)有容納被移送的被研磨體的穴部，而且在所述穴部的底面形成和外部連通的貫通孔。
優(yōu)選的是，作為配置用小型托架及脫離用小型托架，使用具有容納被移送的被研磨體的穴部的托架，而且，作為脫離用小型托架，使用其穴部的容納面積比配置用小型托架的穴部的容納面積大的托架。
優(yōu)選的是，作為分割托架及起始托架，使用下述托架，其具有在將被研磨體從起始托架移送到配置用小型托架上時(shí)、確定相互位置的第一定位機(jī)構(gòu)。作為第一定位機(jī)構(gòu)可以使用上面提及的。
優(yōu)選的是，作為分割托架及配置用小型托架，使用下述托架，其具有在配置用小型托架設(shè)置、收放到分割托架上時(shí)、確定相互位置的第二定位機(jī)構(gòu)。作為第二定位機(jī)構(gòu)可以使用上面提及的。
優(yōu)選的是，作為分割板及配置用小型托架，使用下述結(jié)構(gòu)，其具有在配置用小型托架配置到分割板的表面上時(shí)、確定相互位置的第三定位機(jī)構(gòu)。作為第三定位機(jī)構(gòu)可以使用上面提及的。
優(yōu)選的是，作為分割板及脫離用小型托架，使用下述結(jié)構(gòu)，其具有在脫離用小型托架配置到分割板上時(shí)、確定相互位置的第四定位機(jī)構(gòu)。作為第四定位機(jī)構(gòu)可以使用上面提及的。
下面，說明本發(fā)明的多個(gè)被研磨體的研磨方法(第2方法)，其中用到的研磨加工用夾具組可以使用上面所述的研磨加工用夾具組。
本發(fā)明的多個(gè)被研磨體的研磨方法(第2方法)為一種將多個(gè)被研磨體配置在研磨夾具(靠模板)上、對(duì)被研磨體進(jìn)行研磨加工，并在被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，使被研磨體從研磨夾具上脫離的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于在研磨夾具的表面上預(yù)先設(shè)置粘結(jié)劑，并在被研磨體貫通粘結(jié)劑后一半以上的部分埋入粘結(jié)劑中的狀態(tài)下將被研磨體配置、固定在研磨夾具的表面上。作為粘結(jié)劑，可以使用上述提及的。
優(yōu)選的是，在預(yù)先將粘結(jié)劑設(shè)置在研磨夾具的表面上，并在被研磨體貫通粘結(jié)劑后一半以上的部分埋入粘結(jié)劑中的狀態(tài)下將被研磨體配置、固定在研磨夾具的表面上時(shí)，在將具有規(guī)定硬度的彈性體預(yù)先設(shè)置在粘結(jié)劑表面上的狀態(tài)下對(duì)其進(jìn)行擠壓加工，使粘結(jié)劑相對(duì)于研磨夾具的埋入高度降低。彈性體、擠壓加工用夾具可以使用上面提及的。
本發(fā)明的多個(gè)被研磨體的研磨方法(第3方法)為一種將多個(gè)被研磨體配置在研磨夾具(靠模板)上、對(duì)被研磨體進(jìn)行研磨加工，并在被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，使被研磨體從研磨夾具上脫離的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于在所述研磨夾具的表面上預(yù)先設(shè)置粘結(jié)劑，在所述被研磨體貫通比所述被研磨體厚的定點(diǎn)墊片(spot spacer)和所述粘結(jié)劑、且一半以上的部分埋入粘結(jié)劑中的狀態(tài)下將被研磨體配置、固定在研磨夾具的表面上。
通過如此構(gòu)造，在加工初期，由于首先研磨(磨削)定點(diǎn)墊片，所以可以在加工初期的階段中刮出夾在被研磨體的表面和平臺(tái)之間的異物，同時(shí)，能防止由于被研磨體的厚度的偏差而僅有一部分被研磨體和平臺(tái)接觸、從而過度的壓力加在一部分被研磨體上的情況。
這種情況中，優(yōu)選的是，定點(diǎn)墊片和平臺(tái)接觸的面被倒角(例如角部倒角等)。通過如此構(gòu)造，在加工開始時(shí)，僅有定點(diǎn)墊片和平臺(tái)接觸，從而能有效地防止損傷平臺(tái)。
而且，優(yōu)選的是，作為定點(diǎn)墊片，使用質(zhì)地為陶瓷的部件(例如，氧化鋯、氧化鋁等)。通過如此構(gòu)造，由研磨除去的氧化鋯或氧化鋁離子化的情況減少，從而能有效地防止使加工液惡化的情況。而且，能有效地防止通過在后進(jìn)行的清除難以除去的污染。
在本發(fā)明中，在被研磨體包含機(jī)械強(qiáng)度小的部分的情況下，能充分地發(fā)揮所述效果。
下面，通過實(shí)施例進(jìn)一步詳細(xì)地說明本發(fā)明，但是，本發(fā)明不受這些實(shí)施例的任何限制。
(實(shí)施例1)作為被研磨體，使用陶瓷(氧化鋯、PZT)和金屬(金、鉑)的層疊體。由于被研磨體形成為兩個(gè)梁伸出的コ字形狀，所以存在稍有一點(diǎn)外力就被破壞的擔(dān)憂。將預(yù)先放入起始托架中的被研磨體移到配置用小型托架上，然后再移到分割板、研磨夾具(靠模板)上。進(jìn)行擠壓時(shí)，作為彈性體，使用硬度50、厚度3mm的彈性體(硅橡膠)。通過彈性變形形成20μm以上的變形，使粘結(jié)劑(日化精工社制、商品名シフトヮックス)相對(duì)于研磨夾具的埋入高度降低。加工余量為10～15μm，加工中主要只有被研磨體接觸到平臺(tái)?？梢苑乐拐辰Y(jié)劑與平臺(tái)及加工液接觸，從而能防止由于磨削液的不足或施加給被研磨體的表面壓力降低所引起的加工效率的低下。在研磨加工中，使用市場(chǎng)上出售的研磨加工用水性漿液(エンギス社制、商品名ダィャモンドスラリ一漿液，鉆石的平均粒徑0.5μm)、錫平臺(tái)(ラッポマスタ一SFT社制)及研磨裝置(研磨總SFT社制、商品名ラポリッシュ15)。通過使水性漿液和粘結(jié)劑(石蠟)如上那樣組合，可以防止兩者相互反應(yīng)，同時(shí)能防止鉆石的分散性惡化。接著，對(duì)324個(gè)表面積為4.5mm的被研磨體施加900g的載荷。另外，在使用上述降低粘結(jié)劑(石蠟)的高度的方法的情況中，雖然粘結(jié)劑(石蠟)的埋入高度未降低的部分少量殘留在被研磨體附近，在研磨加工中與平臺(tái)及漿液接觸而被削去，但是，由于不會(huì)在加工液中溶出，所以不會(huì)成為問題。而且，脫離用小型托架的穴部(脫離穴)的容納面積相對(duì)于配置用小型托架的穴部(換裝穴)的容納面積而言，縱橫方向各大0.4mm。這樣，在加工后裝載已經(jīng)裝載了脫離用小型托架的分割板時(shí)，被研磨體不會(huì)接觸到托架，從而能在不發(fā)生損傷的情況下進(jìn)行收放過程。在接著進(jìn)行的剝離工序中，通過在溶劑中浸漬1小時(shí)并照射超聲波，可以使被研磨體從靠模板上剝離。
(實(shí)施例2)在實(shí)施例2中，除了在靠模板上另外設(shè)置定點(diǎn)墊片之外，其余的和實(shí)施例1相同。而且，作為定點(diǎn)墊片，使用外徑為3mm且比被研磨體僅厚25μm的墊片。另外，為了防止加工初期給平臺(tái)施加過度的載荷，定點(diǎn)墊片和平臺(tái)的接觸面?zhèn)缺坏菇?。通過設(shè)置所述定點(diǎn)墊片，不進(jìn)行以前必需的由刷子除去被研磨體表面的異物的過程，就能防止劃痕的產(chǎn)生，同時(shí)能防止由刷子造成的對(duì)被研磨體的損傷。
在實(shí)現(xiàn)每10分鐘3μm以上的除去量時(shí)，直到最后，都能防止加工效率的降低、劃痕及碎屑的產(chǎn)生。
本發(fā)明的研磨加工用夾具組及多個(gè)被研磨體的研磨方法可以被有效地用在陶瓷電子部件制造等領(lǐng)域中，其中需要成批研磨多個(gè)、特別是包含韌性小的部分的微細(xì)且數(shù)量多的被研磨體。
權(quán)利要求
1.一種研磨加工用夾具組，由多個(gè)研磨夾具單元組成，其用在將多個(gè)被研磨體配置在研磨夾具(靠模板)上，在所述被研磨體的研磨加工結(jié)束之后、直到使所述被研磨體從所述研磨夾具脫離的一系列工序中，其特征在于所述夾具單元包括多個(gè)配置用小型托架，其可以將以規(guī)定的載放圖案排列載放在起始托架表面上的多個(gè)被研磨體，在分割成規(guī)定的局部圖案的狀態(tài)下從所述起始托架的表面上移送到其表面上；分割托架，其具有和所述起始托架相對(duì)應(yīng)的形狀，可以在所述被研磨體向所述配置用小型托架移送之時(shí)，以所述局部圖案集合而成的整體圖案成為所述載放圖案的方式預(yù)先配置收放多個(gè)所述配置用小型托架，而且可以在收放所述配置用小型托架的狀態(tài)下將所述被研磨體從所述起始托架上移送到所述配置用小型托架上；分割板，其可以從所述分割托架上將收放在該托架上的多個(gè)所述配置用小型托架，以規(guī)定的配置圖案移送到其表面上，同時(shí)，可以將載放在被移送的所述配置用小型托架上的所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到所述研磨夾具的表面上；脫離用小型托架，其可以在以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到所述研磨夾具的表面上的所述被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，以所述配置圖案配置到所述分割板的表面上，而且，可以將通過規(guī)定的剝離處理從所述研磨夾具的表面上脫離的所述被研磨體，以轉(zhuǎn)印狀態(tài)和分割成所述局部圖案的狀態(tài)移送，通過組合使用所述夾具單元，所述研磨加工用夾具組可以在不使所述被研磨體相互接觸的情況下，成批地將它們配置在所述研磨夾具上，并且在所述被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，使研磨后的所述被研磨體從所述研磨夾具上脫離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨加工用夾具組，其特征在于所述分割托架及所述起始托架具備在將所述被研磨體從所述起始托架移送到所述配置用小型托架上時(shí)確定相互位置的第一定位機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的研磨加工用夾具組，其特征在于所述分割托架及所述配置用小型托架具備在所述配置用小型托架排列、收放到所述分割托架上時(shí)確定相互位置的第二定位機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的研磨加工用夾具組，其特征在于所述分割板及所述配置用小型托架具備在所述配置用小型托架配置到所述分割板的表面上時(shí)確定相互位置的第三定位機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的研磨加工用夾具組，其特征在于所述分割板及所述研磨夾具具備在將載放在所述配置用小型托架上的所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到所述研磨夾具的表面上時(shí)確定相互位置的第四定位機(jī)構(gòu)，其中所述配置用小型托架配置在所述分割板的表面上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的研磨加工用夾具組，其特征在于所述分割板及所述脫離用小型托架具備在所述脫離用小型托架配置到所述分割板的表面上時(shí)確定相互位置的第五定位機(jī)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的研磨加工用夾具組，其特征在于所述脫離用小型托架具有收放被移送的所述被研磨體的穴部，而且，在所述穴部的底面形成和外部連通的貫通孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的研磨加工用夾具組，其特征在于所述配置用小型托架及所述脫離用小型托架具有收放被移送的所述被研磨體的穴部，而且所述脫離用小型托架的穴部的收放面積比所述配置用小型托架的穴部的收放面積大。
9.一種多個(gè)被研磨體的研磨方法，其將多個(gè)被研磨體配置在研磨夾具(靠模板)上、對(duì)所述被研磨體進(jìn)行研磨加工，并在所述被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，使所述被研磨體從所述研磨夾具上脫離，其特征在于在將多個(gè)配置用小型托架以一種方式預(yù)先排列并收放在具有和起始托架相對(duì)應(yīng)之形狀的分割托架上的狀態(tài)下，將所述被研磨體從所述起始托架上移送到所述配置用小型托架上，其中所述多個(gè)配置用小型托架可以將以規(guī)定的載放圖案排列設(shè)置在所述起始托架的表面上的多個(gè)被研磨體、以分割成規(guī)定的局部圖案的狀態(tài)從所述起始托架的表面上移送到它們的表面上，所述方式為所述局部圖案集合而成的整體圖案形成所述載放圖案的方式；將收放在所述分割托架上的多個(gè)所述配置用小型托架以規(guī)定的配置圖案移送到分割板的表面上；將載放在所述配置用小型托架上的所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到所述研磨夾具的表面上；對(duì)以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到所述研磨夾具表面上的所述被研磨體進(jìn)行研磨加工；在研磨加工結(jié)束之后，將通過規(guī)定的剝離處理從所述研磨夾具的表面上脫離的、研磨加工后的所述被研磨體，以轉(zhuǎn)印狀態(tài)且分割成所述局部圖案的狀態(tài)移送到以所述配置圖案配置在所述分割板的表面上的脫離用小型托架上。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于在將載放在所述配置用小型托架上的所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到所述研磨夾具的表面上時(shí)，預(yù)先在所述研磨夾具的表面上設(shè)置粘結(jié)劑，通過所述粘結(jié)劑將所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)固定到所述研磨夾具的表面上。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于在預(yù)先將粘結(jié)劑設(shè)置在所述研磨夾具的表面上，并通過所述粘結(jié)劑將所述被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)固定到所述研磨夾具的表面上時(shí)，在預(yù)先將具有規(guī)定硬度的彈性體設(shè)置在所述粘結(jié)劑的表面上的狀態(tài)下，對(duì)其進(jìn)行擠壓加工。
12.根據(jù)權(quán)利要求9～11中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于作為所述脫離用小型托架，使用一種具有收放被移送的所述被研磨體的穴部，而且在所述穴部的底面形成和外部連通的貫通孔的托架。
13.根據(jù)權(quán)利要求9～12中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于作為所述配置用小型托架及所述脫離用小型托架使用具有收放被移送的所述被研磨體的穴部的托架，而且所述脫離用小型托架使用其穴部的收放面積比所述配置用小型托架的穴部的收放面積大的托架。
14.根據(jù)權(quán)利要求9～13中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于作為所述分割托架及所述起始托架，使用下述托架，其具有在將所述被研磨體從所述起始脫架移送到所述配置用小型托架上時(shí)確定相互位置的第一定位機(jī)構(gòu)。
15.根據(jù)權(quán)利要求9～14中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于作為所述分割托架及所述配置用小型托架，使用下述托架，其具有在所述配置用小型托架排列、收放到所述分割托架上時(shí)確定相互位置的第二定位機(jī)構(gòu)。
16.根據(jù)權(quán)利要求9～15中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于作為所述分割板及所述配置用小型托架，使用下述托架，其具有在所述配置用小型托架配置到所述分割板的表面上時(shí)確定相互位置的第三定位機(jī)構(gòu)。
17.根據(jù)權(quán)利要求9～16中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于作為所述分割板及所述脫離用小型托架，使用下述托架，其具有在所述脫離用小型托架配置到所述分割板的表面上時(shí)確定相互位置的第四定位機(jī)構(gòu)。
18.一種多個(gè)被研磨體的研磨方法，其將多個(gè)被研磨體配置在研磨夾具(靠模板)上、對(duì)所述被研磨體進(jìn)行研磨加工，并在所述被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，使所述被研磨體從所述研磨夾具上脫離，其特征在于在所述研磨夾具的表面上預(yù)先設(shè)置粘結(jié)劑，并在所述被研磨體貫通所述粘結(jié)劑后一半以上的部分埋入所述粘結(jié)劑中的狀態(tài)下將所述被研磨體配置、固定在所述研磨夾具的表面上。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于在預(yù)先將粘結(jié)劑設(shè)置在所述研磨夾具的表面上，并在所述被研磨體貫通所述粘結(jié)劑后一半以上的部分埋入所述粘結(jié)劑中的狀態(tài)下將所述被研磨體配置、固定在所述研磨夾具的表面上時(shí)，在將具有規(guī)定硬度的彈性體預(yù)先設(shè)置在所述粘結(jié)劑的表面上的狀態(tài)下對(duì)其進(jìn)行擠壓加工，使所述粘結(jié)劑相對(duì)于所述研磨夾具的埋入高度降低。
20.一種多個(gè)被研磨體的研磨方法，其將多個(gè)被研磨體配置在研磨夾具(靠模板)上、對(duì)所述被研磨體進(jìn)行研磨加工，并在所述被研磨體的研磨加工結(jié)束之后，使所述被研磨體從所述研磨夾具上脫離，其特征在于在所述研磨夾具的表面上預(yù)先設(shè)置粘結(jié)劑，在所述被研磨體貫通比所述被研磨體厚的定點(diǎn)墊片和所述粘結(jié)劑、且一半以上的部分埋入所述粘結(jié)劑中的狀態(tài)下將所述被研磨體配置、固定在所述研磨夾具的表面上。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于作為所述定點(diǎn)墊片，使用一種和平臺(tái)接觸的面被倒角的定點(diǎn)墊片。
22.根據(jù)權(quán)利要求20或21所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于作為所述定點(diǎn)墊片，使用質(zhì)地為陶瓷的部件。
23.根據(jù)權(quán)利要求1～22中任一項(xiàng)所述的多個(gè)被研磨體的研磨方法，其特征在于作為所述被研磨體，使用一種包含機(jī)械強(qiáng)度小的部分的被研磨體。
全文摘要
本發(fā)明提供一種研磨加工用夾具組及多個(gè)被研磨體的研磨方法，其不會(huì)損傷被研磨體、不會(huì)改變開始到結(jié)束期間的多個(gè)被研磨體的配置圖案。研磨加工用夾具組用在將多個(gè)被研磨體配置在研磨夾具上，在被研磨體的研磨加工結(jié)束之后直到使被研磨體從研磨夾具脫離的一系列工序中，且由多個(gè)夾具單元組成，包括配置用小型托架；分割托架，其可在收容配置用小型托架的狀態(tài)下將被研磨體從起始托架上移送到配置用小型托架上；分割板，其可將載放在配置用小型托架上的被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)配置到研磨夾具的表面上；脫離用小型托架，其可在被研磨體的研磨加工結(jié)束后，將通過規(guī)定的剝離處理從研磨夾具的表面上脫離的被研磨體以轉(zhuǎn)印狀態(tài)和分割成局部圖案的狀態(tài)移送。
文檔編號(hào)B24B37/04GK1772433SQ200510114309
公開日2006年5月17日 申請(qǐng)日期2005年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月10日
發(fā)明者北村和正, 恒岡克幸, 長(zhǎng)江智毅 申請(qǐng)人:日本礙子株式會(huì)社