專利名稱：石墨框周轉(zhuǎn)裝載車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光伏電池生產(chǎn)過程中使用的工位器具，尤其涉及一種PECVD用石墨框 的周轉(zhuǎn)裝載車。
背景技術(shù)：
PECVD是太陽能電池片等離子體化學(xué)沉積鍍膜法的簡稱，在太陽能電池的生產(chǎn)過 程中，對硅片鍍膜是提高太陽能吸收效率的關(guān)鍵技術(shù)，根據(jù)硅片的光電轉(zhuǎn)換發(fā)電原理，光線 照射到硅片上存在反射，硅片的光學(xué)損失和復(fù)合損失都會使太陽能電池的輸出低于理想 值，對硅片表面進行鍍膜處理是目前工業(yè)化生產(chǎn)應(yīng)用層面上的成熟技術(shù)，目前，硅片鍍膜多 數(shù)采用平板式等離子體化學(xué)沉積法，即通過PECVD在硅片表面形成一層減反射膜。太陽能電池鍍膜設(shè)備的化學(xué)沉積鍍膜原理是在密閉的真空沉積源中裝有多根真 空石英管，在每根真空石英管中放有一根銅管，向沉積源中通入硅烷和氨氣，再通過電控部 分使真空石英管中的銅管發(fā)射出微波，在高溫條件下，沉積源中的硅烷、氨氣反應(yīng)生成氮化 硅，氮化硅會慢慢沉積在電池片表面上，從而實現(xiàn)硅片鍍膜。由于氮化硅具有良好的減反射 性能，因此在硅片的吸光面進行鍍膜可以大幅度提高太陽能電池的吸光效率。在整個沉積過程中，電池片被掛放于如圖1所示的方形石墨框上的框格中，石墨 框放置于沉積源上方，反應(yīng)生成的氮化硅向上沉積于電池片表面，同時也有部分沉積在石 墨框上，因此，在PECVD之后，需要將沉積在石墨框上的氮化硅去除。目前，將石墨框運送到 下道清洗工序是靠人工搬運，然而由于在PECVD之后石墨框的溫度較高，人工無法用手直 接搬運，即使帶上厚重的隔熱手套，也忍受不了全程搬運的熱量，必須等冷卻之后再搬運， 由于石墨框的平面尺寸較大，重量也不輕，一個人一次只能搬運二至三個石墨框，不僅勞動 強度大，而且效率低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種石墨框周轉(zhuǎn)裝載車，它不僅能在PECVD之后石墨框無需 冷卻直接搬運，而且一人一次就能輕松搬運幾十個石墨框，勞動強度小，生產(chǎn)效率高。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是本發(fā)明所述石墨框周轉(zhuǎn)裝載車，其特征是它包括底部框架、后支撐框架、傾斜框 架、前支撐柱和腳輪，底部框架水平放置，腳輪安裝在底部框架的底部；后支撐框架、傾斜 框架和前支撐柱均安裝在底部框架的上表面，傾斜框架與底部框架之間的夾角為90° 150°，后支撐框架的高端與傾斜框架的高端固定連接，底部框架、后支撐框架和傾斜框架 長度相同，且為石墨框邊長的6/10 9/10，傾斜框架的寬度為石墨框邊長的6/10 9/10， 兩個前支撐柱焊接在底部框架的外側(cè)角上，其高度為30毫米 100毫米。進一步，傾斜框架與底部框架之間的夾角為120°，底部框架、后支撐框架和傾斜 框架長度相同，且為石墨框邊長的9/10，傾斜框架的寬度為石墨框邊長的7/10。有了本發(fā)明，操作人員可以將石墨框周轉(zhuǎn)裝載車直接推到石墨框下線處，戴上隔
3熱手套可以將剛下線的高溫石墨框逐塊搬放在底部框架和傾斜框架上，由于搬運是瞬間動 作，高溫石墨框不會煬傷操作人員的手，石墨框在PECVD之后，可以直接下線運到下道清洗 工序，無需等石墨框冷卻再搬運，這樣不僅不影響鍍膜生產(chǎn)，而且有利于降低鍍膜車間的溫 度，同時，較高溫度的石墨框在下道清洗工序中更利于清除沉積在石墨框上的氮化硅。搬運 石墨框的工作一個人就能獨立完成，且一次可運輸幾十塊石墨框，不僅搬運勞動強度低，而 且搬運效率高。


圖1為石墨框的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1_底部框架；2-后支撐框架；3-傾斜框架；4-前支撐柱；5-腳輪。
具體實施例方式下面結(jié)合

本發(fā)明的
具體實施例方式本發(fā)明所述石墨框周轉(zhuǎn)裝載車，如圖2所示，它由底部框架1、后支撐框架2、傾斜 框架3、前支撐柱4和腳輪5組成，底部框架1水平放置，腳輪5安裝在底部框架1的底部； 后支撐框架2、傾斜框架3和前支撐柱4均安裝在底部框架1的上表面，傾斜框架3與底部 框架1之間的夾角為120°，后支撐框架2的高端與傾斜框架3的高端固定連接，底部框架 1、后支撐框架2和傾斜框架3長度相同，且為石墨框邊長的9/10，傾斜框架3的寬度為石墨 框邊長的6/10，兩個前支撐柱4焊接在底部框架1的外側(cè)角上，其高度為50毫米。本發(fā)明的實施方式很多，傾斜框架3與底部框架1之間的夾角在90° 150°之 間均可，底部框架1、后支撐框架2和傾斜框架3長度相同，且為石墨框邊長的6/10 9/10， 傾斜框架3的寬度為石墨框邊長的6/10 9/10均可。
權(quán)利要求
一種石墨框周轉(zhuǎn)裝載車，其特征是它包括底部框架(1)、后支撐框架(2)、傾斜框架(3)、前支撐柱(4)和腳輪(5)，底部框架(1)水平放置，腳輪(5)安裝在底部框架(1)的底部；后支撐框架(2)、傾斜框架(3)和前支撐柱(4)均安裝在底部框架(1)的上表面，傾斜框架(3)與底部框架(1)之間的夾角為90°～150°，后支撐框架(2)的高端與傾斜框架(3)的高端固定連接，底部框架(1)、后支撐框架(2)和傾斜框架(3)長度相同，且為石墨框邊長的6/10～9/10，傾斜框架(3)的寬度為石墨框邊長的6/10～9/10，兩個前支撐柱(4)焊接在底部框架(1)的外側(cè)角上，其高度為30毫米～100毫米。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述石墨框周轉(zhuǎn)裝載車，其特征是傾斜框架(3)與底部框架(1)之 間的夾角為120°，底部框架(1)、后支撐框架(2)和傾斜框架(3)的長度為石墨框邊長的 9/10，傾斜框架(3)的寬度為石墨框邊長的7/10。
全文摘要
一種石墨框周轉(zhuǎn)裝載車，它包括底部框架、后支撐框架、傾斜框架、前支撐柱和腳輪，底部框架水平放置，腳輪安裝在底部框架的底部；后支撐框架、傾斜框架和前支撐柱均安裝在底部框架的上表面，傾斜框架與底部框架之間的夾角為90°～150°，后支撐框架的高端與傾斜框架的高端固定連接，底部框架、后支撐框架和傾斜框架長度為石墨框邊長的6/10～9/10，傾斜框架的寬度為石墨框邊長的6/10～9/10，前支撐柱高度為30毫米～100毫米。石墨框下線后可以直接運到下道清洗工序，不影響鍍膜生產(chǎn)，有利于降低鍍膜車間的溫度，還利于氮化硅的清除。降低了搬運石墨框的勞動強度，提高了搬運效率。
文檔編號C23C16/00GK101905709SQ201010249918
公開日2010年12月8日 申請日期2010年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月7日
發(fā)明者滕息生 申請人:常州億晶光電科技有限公司