專利名稱：一種解決鍍膜玻璃邊緣效應(yīng)的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種玻璃制造行業(yè)，特別是涉及一種在對(duì)玻璃鍍膜時(shí)解決邊緣效應(yīng) 的方法。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的磁控濺射鍍膜方式中，由于電場(chǎng)在玻璃邊緣分布與玻璃中部分布不一 致，導(dǎo)致在玻璃的邊部鍍的膜層要比玻璃中部厚2%-3%。目前解決的辦法，是將玻 璃的擺放位置固定，通過(guò)調(diào)節(jié)玻璃邊部的工藝氣體及縮小玻璃邊部的擋板開(kāi)口來(lái)進(jìn)行調(diào) 節(jié)。但是，這種方法只能針對(duì)固定放置的玻璃進(jìn)行調(diào)整，假如玻璃的擺放位置變了，則 邊緣效應(yīng)將無(wú)法解決。而在實(shí)際的生產(chǎn)過(guò)程中，玻璃的規(guī)格不一，其擺放位置也難以固 定，此問(wèn)題無(wú)法得到解決。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種解決鍍膜玻璃邊緣效應(yīng)的方法。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案
一種解決鍍膜玻璃邊緣效應(yīng)的方法，其利用磁控濺射的方法將靶材原子沉積在 玻璃的表面，在位于玻璃上方的所述的靶材的濺射通道上布有惰性氣體，在玻璃的下方 布有減緩濺射的工藝氣體。
優(yōu)選地，所述的惰性氣體為氬氣。
優(yōu)選地，所述的減緩濺射的工藝氣體為氧氣或者氮?dú)狻?br> 本發(fā)明的有益效果是不改變?cè)械脑O(shè)備和方法，只在玻璃的下方布減緩濺射 的氣體(氧氣或者氮?dú)獾?，而由于玻璃的阻擋作用，這些減緩濺射的氣體只會(huì)從玻璃的 邊緣進(jìn)入濺射區(qū)域，從而就降低了玻璃邊緣的濺射速度，減薄了邊部的膜層的厚度，從 而解決了鍍膜玻璃的邊緣效應(yīng)的問(wèn)題。


附圖1為本發(fā)明的解決鍍膜玻璃邊緣效應(yīng)的布?xì)夥绞绞疽鈭D。
附圖中1、玻璃；2、磁體3、靶材；4、氬氣；5、氮?dú)狻?br> 具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖所示的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案作以下詳細(xì)描述
如附圖1所示，本發(fā)明中利用磁控濺射的方法將吸附在磁體2上的靶材3的原子 沉積在玻璃1的表面形成膜層，在位于玻璃1上方的靶材3的濺射通道上布有氬氣4，在 玻璃1的下方布有氮?dú)?。
上述的實(shí)施例中的氬氣4也可以選用其它的惰性氣體，上述的氮?dú)?也可以用氧 氣來(lái)代替。
上述實(shí)施例在不改變?cè)械脑O(shè)備和方法的基礎(chǔ)上，在玻璃的下方布減緩濺射的 工藝氣體(氧氣或者氮?dú)獾?，使得玻璃的邊緣的濺射速度減慢，從而實(shí)現(xiàn)消除鍍膜玻璃 的邊緣效應(yīng)。
上述實(shí)施例只為說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的 人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本 發(fā)明精神所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種解決鍍膜玻璃邊緣效應(yīng)的方法，其利用磁控濺射的方法將靶材原子沉積在玻 璃的表面，在位于玻璃上方的所述的靶材的濺射通道上布有惰性氣體，其特征在于在 玻璃的下方布有減緩濺射的工藝氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種解決鍍膜玻璃邊緣效應(yīng)的方法，其特征在于所述的 惰性氣體為氬氣。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種解決鍍膜玻璃邊緣效應(yīng)的方法，其特征在于所述的 減緩濺射的工藝氣體為氧氣或者氮?dú)狻?br> 全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種解決鍍膜玻璃邊緣效應(yīng)的方法，其利用磁控濺射的方法將靶材原子沉積在玻璃的表面，在位于玻璃上方的所述的靶材的濺射通道上布有氬氣，在玻璃的下方布有減緩濺射的工藝氣體，所述的減緩濺射的工藝氣體為氧氣或者氮?dú)?。本發(fā)明在不改變?cè)械脑O(shè)備和方法的基礎(chǔ)上，只在玻璃的下方布減緩濺射的氣體(氧氣或者氮?dú)獾?，而由于玻璃的阻擋作用，這些減緩濺射的氣體只會(huì)從玻璃的邊緣進(jìn)入濺射區(qū)域，從而就降低了玻璃邊緣的濺射速度，減薄了邊部的膜層的厚度，從而解決了鍍膜玻璃的邊緣效應(yīng)的問(wèn)題。
文檔編號(hào)C23C14/35GK102021523SQ20101029602
公開(kāi)日2011年4月20日 申請(qǐng)日期2010年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月29日
發(fā)明者武瑞軍 申請(qǐng)人:吳江南玻華東工程玻璃有限公司