專利名稱：一種三棱鏡雙面鍍膜夾具及其工藝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種鍍膜夾具及其工藝方法，尤其是一種三棱鏡雙面鍍膜夾具及其工藝方法。
背景技術(shù)：
光學(xué)三棱鏡鍍膜加工過程，通常采用的是每個(gè)面單獨(dú)加工，即棱鏡研磨加工完畢后將零件裝入專用清洗欄框內(nèi)進(jìn)行超聲波清洗，洗凈后檢查確認(rèn)待加工面是否清潔并放入專用套環(huán)內(nèi)，再放在鍍膜機(jī)傘形架上等待鍍膜，待鍍膜機(jī)傘形架全部裝滿零件后將鍍膜機(jī)真空室門打開，將傘架放在其固定架上。檢查確認(rèn)所有鏡片均放平穩(wěn)，并將鍍膜材料放入鍍膜機(jī)電子槍坩堝后關(guān)閉鍍膜機(jī)真空室門，對(duì)真空室進(jìn)行抽真空并加熱，待真空室加熱后進(jìn)行蒸發(fā)成膜，成膜完畢后待真空室內(nèi)溫度降至一定值后對(duì)真空室充氣。真空室開門后取出零件放入超凈工作臺(tái)冷卻，待零件冷卻至室溫后將零件從專用套環(huán)中取出裝入再次裝入專用清洗欄框內(nèi)進(jìn)行二次清洗。清洗完畢后再次進(jìn)行檢查重復(fù)上述過程對(duì)第二面進(jìn)行鍍膜?？梢娪纱斯に嚰庸こ龅睦忡R在其加工面的邊緣不可避免地會(huì)出現(xiàn)無法蒸鍍到的亮邊。本發(fā)明就是解決這一問題，并將二次加工流程縮減為一次。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是開發(fā)一種三棱鏡雙面鍍膜夾具并提供使用其夾具的鍍膜工藝方法。該鍍膜工藝方法具有二個(gè)加工面同時(shí)鍍膜，做到零膜欠，提高作業(yè)效率，提高產(chǎn)量，改善生產(chǎn)品質(zhì)，減少夾具的投入等特點(diǎn)。本發(fā)明是通過下列技術(shù)方案來解決的該三棱鏡雙面鍍膜夾具，包括夾具基板和與其相配合的棱鏡壓板、鎖緊螺絲三個(gè)部分組成，。夾具基板上設(shè)有一個(gè)大方孔和螺絲孔， 方孔兩端對(duì)稱的設(shè)有平行排列的V型槽，棱鏡壓板設(shè)有通孔與夾具基板的螺絲孔對(duì)應(yīng)配合，并通過鎖緊螺絲將棱鏡壓板固定在夾具基板上。使用上述夾具的鍍膜工藝方法，它依次包括下列步驟a將三棱鏡研磨加工完品裝入鍍膜夾具后放入通用洗凈欄框內(nèi)進(jìn)行超聲波清洗， 洗凈后將零件連同夾具，同放入鍍膜傘形架內(nèi)，此時(shí)必需將棱鏡的棱線與傘形架的半徑方向保持一致；b將傘形架在鍍膜機(jī)內(nèi)放置好后關(guān)門抽真空，待真空度到達(dá)2. 5*E 3 3.0 3Pa，溫度到達(dá)340-350°C后開始成膜，由于是將二平面同時(shí)成膜，而平面又是相互垂直的， 因此在膜厚控制上相比單一平面要厚，其系數(shù)為原厚度的0. 5-0. 75倍；c成膜結(jié)束后待真空室冷卻至250-220°C后對(duì)真空室充氣，真空室開門后取出零件放入超凈工作臺(tái)冷卻；d待零件冷卻至室溫后將零件從專用套環(huán)中取出用分光光度計(jì)進(jìn)行光譜檢查，二平面均達(dá)到圖面設(shè)計(jì)值要求。


圖1為本發(fā)明實(shí)施例整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明實(shí)施例棱鏡放置示意圖。
具體實(shí)施例方式如圖所示，本發(fā)明實(shí)施例主要由夾具基板1、棱鏡壓板2、鎖緊螺絲3三個(gè)部分組成。在夾具基板1上按所加工的棱鏡4規(guī)格要求設(shè)有一個(gè)大方孔，在方孔兩端對(duì)稱的設(shè)有三個(gè)平行的V型槽5，V型槽5與所加工的棱鏡4相配合，在夾具基板1上還設(shè)計(jì)有4個(gè)螺絲孔分別與兩塊棱鏡壓板2上設(shè)有的兩個(gè)通孔對(duì)應(yīng)配合。使用時(shí)，將棱鏡4的兩個(gè)直角面朝向V型槽5，放入V型槽5內(nèi)，再將2塊棱鏡壓板 2放在棱鏡4的兩端的上方，棱鏡壓板2的兩個(gè)通孔分別與夾具基板1上的螺絲孔對(duì)齊，再用四個(gè)鎖緊螺絲3將兩塊棱鏡壓板2鎖緊在夾具基板1上，完成組裝。在進(jìn)行鍍膜生產(chǎn)時(shí)， 棱鏡4的兩個(gè)直角面同時(shí)朝向鍍膜加工方向，一次即可完成兩個(gè)直角面的鍍膜加工。實(shí)施例1棱鏡二直角面單層MgF2膜同時(shí)成膜將三棱鏡研磨加工完品裝入上述鍍膜夾具后放入通用洗凈欄框內(nèi)進(jìn)行超聲波清洗，洗凈后將零件連同夾具一同放入鍍膜傘形架內(nèi)，此時(shí)必需將棱鏡的棱線與傘形架的半徑方向保持一致，將傘形架在鍍膜機(jī)內(nèi)放置好后關(guān)門抽真空，待真空度到達(dá)3. 0*E 3Pa，溫度到達(dá)340°C后開始成膜，由于是將二平面同時(shí)成膜，而二平面又是相互垂直的，因此在膜厚控制上相比單一平面要厚，其系數(shù)為原厚度的0. 7倍，成膜結(jié)束后待真空室冷卻至230°C 以下后對(duì)真空室充氣，真空室開門后取出零件放入超凈工作臺(tái)冷卻，待零件冷卻至室溫后將零件從專用套環(huán)中取出用分光光度計(jì)進(jìn)行光譜檢查，二平面均達(dá)到圖面設(shè)計(jì)值要求。實(shí)施例2將三棱鏡研磨加工完品裝入上述鍍膜夾具后放入通用洗凈欄框內(nèi)進(jìn)行超聲波清洗，洗凈后將零件連同夾具一同放入鍍膜傘形架內(nèi)，此時(shí)必需將棱鏡的棱線與傘形架的半徑方向保持一致，將傘形架在鍍膜機(jī)內(nèi)放置好后關(guān)門抽真空，待真空度到達(dá)2. 6*E 3Pa, 溫度到達(dá)315°C后開始成膜，由于是將二平面同時(shí)成膜，而二平面又是相互垂直的，因此在膜厚控制上相比單一平面要厚，其系數(shù)為原厚度的0. 55倍，成膜結(jié)束后待真空室冷卻至 210°C以下后對(duì)真空室充氣，真空室開門后取出零件放入超凈工作臺(tái)冷卻，待零件冷卻至室溫后將零件從專用套環(huán)中取出用分光光度計(jì)進(jìn)行光譜檢查，二平面均達(dá)到圖面設(shè)計(jì)值要求。實(shí)施例3對(duì)于三棱鏡雙面多層鍍膜結(jié)構(gòu)是由二種鍍膜材料交替鍍膜面成，對(duì)于其中高折射率材料鈦酸鑭由于其成膜基體角度發(fā)生變化不但其成膜厚度發(fā)生0. 7倍系數(shù)變化且其生長(zhǎng)晶格也發(fā)生變異，導(dǎo)致其折射率也發(fā)生變化，經(jīng)過多次試驗(yàn)測(cè)量發(fā)現(xiàn)其光學(xué)折射率由平面時(shí)的2. 2(550nm)左右下降至2. 0左右，將這些參數(shù)測(cè)定后對(duì)各膜層厚度進(jìn)行優(yōu)化，計(jì)算出一個(gè)最優(yōu)參數(shù)輸入鍍膜機(jī)，再按實(shí)施例1的工藝流程將零件放入鍍膜機(jī)，待零件鍍出后用分光光度計(jì)進(jìn)行光譜測(cè)量可完全達(dá)到單面鍍膜的分光效果，符合圖面要求。
權(quán)利要求
1.一種三棱鏡雙面鍍膜夾具，包括夾具基板和與其相配合的棱鏡壓板、鎖緊螺絲三個(gè)部分組成，其特征在于夾具基板上設(shè)有一個(gè)大方孔和螺絲孔，方孔兩端對(duì)稱的設(shè)有平行排列的V型槽，棱鏡壓板設(shè)有通孔與夾具基板的螺絲孔對(duì)應(yīng)配合，并通過鎖緊螺絲將棱鏡壓板固定在夾具基板上。
2.一種使用權(quán)利要求1所述夾具的鍍膜工藝方法，其特征在于它依次包括下列步驟 a將三棱鏡研磨加工完品裝入鍍膜夾具后放入通用洗凈欄框內(nèi)進(jìn)行超聲波清洗，洗凈后將零件連同夾具一同放入鍍膜傘形架內(nèi)，此時(shí)必需將棱鏡的棱線與傘形架的半徑方向保持一致；b將傘形架在鍍膜機(jī)內(nèi)放置好后關(guān)門抽真空，待真空度到達(dá)2. 5*E 3 3.0*E 3Pa, 溫度到達(dá)310-350°C后開始成膜，由于是將二平面同時(shí)成膜，而平面又是相互垂直的，因此在膜厚控制上相比單一平面要厚，其系數(shù)為原厚度的0. 5-0. 75倍；c成膜結(jié)束后待真空室冷卻至250-220°C以下后對(duì)真空室充氣，真空室開門后取出零件放入超凈工作臺(tái)冷卻；d待零件冷卻至室溫后將零件從專用套環(huán)中取出用分光光度計(jì)進(jìn)行光譜檢查，二平面均達(dá)到圖面設(shè)計(jì)值要求。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種三棱鏡雙面鍍膜夾具及其工藝方法。該鍍膜夾具包括夾具基板和與其相配合的棱鏡壓板、鎖緊螺絲三個(gè)部分組成。使用該夾具的鍍膜工藝方法是將三棱鏡研磨加工完品裝入鍍膜夾具后放入通用洗凈欄框內(nèi)進(jìn)行超聲波清洗，洗凈后將零件連同夾具一同放入鍍膜傘形架內(nèi)；將傘形架在鍍膜機(jī)內(nèi)放置好后關(guān)門抽真空，待真空度到達(dá)3.0*E 3Pa～2.5*E 3Pa，溫度到350-310℃后開始成膜，成膜后待真空室冷卻至220-250℃后對(duì)真空室充氣，真空室開門后取出零件放入超凈工作臺(tái)冷卻；待零件冷卻至室溫后將零件從專用套環(huán)中取出用分光光度計(jì)進(jìn)行光譜檢查，二平面均達(dá)到圖面設(shè)計(jì)值要求。該鍍膜工藝方法具有二個(gè)加工面同時(shí)鍍膜，做到零膜欠，提高作業(yè)效率，提高產(chǎn)量，改善生產(chǎn)品質(zhì)，減少夾具的投入等特點(diǎn)。
文檔編號(hào)C23C14/22GK102433534SQ20101050303
公開日2012年5月2日 申請(qǐng)日期2010年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月29日
發(fā)明者曹建寧 申請(qǐng)人:江西鳳凰富士膠片光學(xué)有限公司