專利名稱：多元素摻雜磷酸鍶的發(fā)光薄膜及其制備方法和應用的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于半導體光電材料領域，具體涉及一種多元素摻雜磷酸鍶的發(fā)光薄膜及其制備方法和應用。
背景技術：
薄膜電致發(fā)光顯示器(TFELD)由于其主動發(fā)光、全固體化、耐沖擊、反應快、視角大、適用溫度寬、工序簡單等優(yōu)點，已引起了廣泛的關注，且發(fā)展迅速。以ZnS:Mn為發(fā)光層的單色TFELD已發(fā)展成熟并已實現(xiàn)商業(yè)化。目前，TFELD的研究重點是藍光亮度的提高，從而實現(xiàn)彩色及至全色TFELD。在發(fā)光體系材料中，Sr2P2O7:Eu，Sr2P2O7: Sn和(Sr，Mg) 2P207:Eu等磷酸類熒光粉能夠得到良好的藍色到紫外的激發(fā)。但是，磷酸鹽在制備成薄膜電致發(fā)光材料仍存在技術瓶 頸，如成膜后薄膜的質(zhì)量欠佳，波長范圍窄等問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術問題在于克服現(xiàn)有技術之缺陷，提供一種多元素摻雜磷酸鍶薄膜及其制備方法和應用。本發(fā)明實施例是這樣實現(xiàn)的，第一方面提供一種多元素摻雜磷酸鍶薄膜，所述多元素摻雜磷酸鍶薄膜的通式為Sr2_x_y_zP207:xSn4+，yTi4+，zEu3+，其中，x取值為0. 01 0. 1，y取值為0. 005 0. 05，z取值為0. 01 0. 04。本發(fā)明實施例的另一目的在于提供上述多元素摻雜磷酸鍶薄膜的制備方法，其包括如下步驟稱取SrO粉體、P2O5粉體、SnO2粉體、TiO2粉體和Eu2O3粉體混合，混合物中各組份的摩爾比為 SrO P2O5 SnO2 TiO2 Eu2O3 為(2-x-y-z) I x y z/2，其中，x取值為0. 01 0. 1，y取值為0. 005 0. 05，z取值為0. 01 0. 04，將所述混合物燒結作為靶材；將所述靶材裝入磁控濺射腔體內(nèi)，抽真空，設置工作壓強為0. 2Pa 4. 5Pa，通入惰性氣體和氫氣的混合氣體，混合氣體流量為15sccm 30sccm,襯底溫度為350°C 750°C，濺射功率為30W 200W，濺射得多元素摻雜磷酸鍶薄膜。本發(fā)明實施例的另一目的在于提供上述多元素摻雜磷酸鍶薄膜在場發(fā)射器件、陰極射線管和/或電致發(fā)光器件中的應用。本發(fā)明實施例的多元素摻雜磷酸鍶，通過Sn、Ti和Eu摻雜磷酸鍶，獲得發(fā)光范圍寬，熱穩(wěn)定性和化學穩(wěn)定性高的薄膜。上述制備方法采用磁控濺射法，其具有沉積速率高、薄膜附著性好、易控制并能實現(xiàn)大面積沉積等優(yōu)點。進一步，該薄膜在光電半導體的應用中表現(xiàn)出穩(wěn)定性高、壽命長的優(yōu)勢。


圖I是本發(fā)明實施例的多元素摻雜磷酸鍶薄膜的制備方法的流程圖；圖2是以本發(fā)明實施例的多元素摻雜磷酸鍶薄膜作為做發(fā)光層的電致發(fā)光器件的結構不意圖；圖3是本發(fā)明實施例I制備的多元素摻雜磷酸鍶薄膜電致發(fā)光光譜圖。
具體實施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發(fā)明作進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。本發(fā)明實施例是這樣實現(xiàn)的，第一方面提供一種多元素摻雜磷酸鍶薄膜，所述多元素摻雜磷酸鍶薄膜的通式為Sr2_x_y_zP207:xSn4+，yTi4+，zEu3+，其中，x取值為0. 01 0. 1，y取值為0. 005 0. 05，z取值為0. 01 0. 04。優(yōu)選地，x取值為0. 04 0. 06，y取值為 0. 01 0. 03，Z 取值為 0. 01 0. 03?；|(zhì)材料磷酸鈰具有化學穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性高的優(yōu)點，通過摻雜Sn、Ti和Eu可以獲得藍色，綠色和紅色的激發(fā)發(fā)光，從而能夠作為白光材料進一步應用。本發(fā)明實施例的另一目的在于提供本發(fā)明實施例的多元素摻雜磷酸鍶薄膜的制備方法，請參閱圖I，其包括如下步驟SOl :稱取SrO粉體、P2O5粉體、SnO2粉體、TiO2粉體和Eu2O3粉體混合，混合物中各組份的摩爾比為 SrO P2O5 SnO2 TiO2 Eu2O3 為(2-x-y-z) I x y z/2，其中，x取值為0. 01 0. 1，y取值為0. 005 0. 05，z取值為0. 01 0. 04，將所述混合物燒結作為靶材；S02 :將所述靶材裝入磁控濺射腔體內(nèi)，抽真空，設置工作壓強為0. 2Pa 4. 5Pa，通入惰性氣體和氫氣的混合氣體，混合氣體流量為15sccm 30sccm,襯底溫度為350°C 750°C，濺射功率為30W 200W，濺射得多元素摻雜磷酸鍶薄膜。步驟SOI中，將SrO粉體、P2O5粉體、SnO2粉體、TiO2粉體和Eu2O3粉體均勻混合，例如在900°C 1300°C溫度下燒結，制成大約050X2mm的陶瓷靶材。優(yōu)選地，燒結溫度為1200°C。上述粉體的純度優(yōu)選大于99.99%?；旌衔镏懈鹘M份的摩爾比為SrO P2O5 SnO2 TiO2 Eu2O3 為(2-x-y-z) I x y z/2，其中，x 取值為 0. 01 0. l，y取值為0.005 0.05，z取值為0.01 0.04。基體成分和摻雜元素的含量是影響薄膜性能和結構的重要因素。通過選取合適的摻雜離子，得到470nm，520nm，550nm和680nm的藍綠紅發(fā)光。其各個位置的發(fā)光可以隨著摻雜濃度的改變而發(fā)生改變。但是，摻雜金屬離子對材料結構有影響，外來金屬離子進入晶格，使晶體結構發(fā)生部分畸變，因此，摻雜量過大，會導致晶格畸變過大，擾亂晶格中的離子有序化或?qū)е虏牧现猩呻s相，會使材料性能嚴重弱化。優(yōu)選地，所述X取值為0. 04 0. 06，y取值為0. 01 0. 03，z取值為0. 01 0. 03。步驟S02中，襯底為藍寶石、石英玻璃、硅片等硬質(zhì)襯底。使用前用丙酮、無水乙醇和去離子水超聲洗滌。也可以根據(jù)進一步應用選用襯底，如ITO玻璃襯底。靶材與襯底的距離優(yōu)選為50mm 90mm。更優(yōu)選地,祀材與襯底的距離為70mm。祀材裝入派射腔體內(nèi)后，用機械泵或者分子泵將腔體的真空度抽至1.0X10_3Pa 1.0X10_5Pa以上，優(yōu)選為6.0X10_4Pa。要得到性能優(yōu)異的多元素摻雜磷酸鍶薄膜，工藝條件設置非常重要。濺射腔內(nèi)的工作氣體為惰性氣體和氫氣的混合氣體，其中，氫氣體積百分比為1% 15%，優(yōu)選為3% 8%。優(yōu)選地，混合氣體流量為20sccm 25sccm，工作壓強為0. 8Pa 2. 5Pa，襯底溫度為400°C 600°C，濺射功率為100W 140W。進一步，對制得的多元素摻雜磷酸鍶薄膜進行退火處理，能夠提高薄膜的性能。對上述特定工藝條件下制得的多元素摻雜磷酸鍶薄膜進行退火處理，退火處理包括將含氮硅酸鎂薄膜升溫至退火溫度并保溫的過程。退火溫度為500°C 800°C。退火環(huán)境可以為惰性氣體，如氮氣，氬氣等，或者真空退火。在本發(fā)明一個優(yōu)選實施例中，退火處理是在0. OlPa的真空爐中退火。退火溫度優(yōu)選為550°C 650°C。退火升溫不易過快或者過慢，升溫速率為1°C /min 10°C /min,優(yōu)選地,升溫速率為5°C /min 8°C/min。升溫至退火溫度后，保持Ih 3h，優(yōu)選地，保持2h。退火提高了薄膜的結晶質(zhì)量，增加薄膜，提高薄膜的發(fā)光效率。本發(fā)明實施例還提供上述多元素摻雜磷酸鍶薄膜在場發(fā)射器件、陰極射線管和/或電致發(fā)光器件中的應用。以電致發(fā)光器件為例，請參閱圖2，示出采用上述實施例中多元素摻雜磷酸鍶薄膜電致發(fā)光器件，其包括依次層疊設置的玻璃基層21、陽極22、發(fā)光層23、和陰極24。陽極22可采用氧化銦錫(簡稱為IT0)，發(fā)光層23包含本發(fā)明實施例中的多元 素摻雜磷酸鍶薄膜；陰極24可以是但不限于金屬Ag。因而，在一個具體實施例中，薄膜電致發(fā)光器件結構表示為玻璃/ITO/多元素摻雜磷酸鍶薄膜/Ag。各層可采用現(xiàn)有方法形成，如可以采用帶有ITO層的玻璃襯底，采用磁控濺射方法濺射上述多元素摻雜磷酸鍶薄膜，再蒸鍍Ag層。本發(fā)明實施例提供一種多元素摻雜磷酸鍶薄膜，通過調(diào)節(jié)各成分的組成，獲得多波長發(fā)射，結晶度高的多元素摻雜磷酸鍶薄膜。該多元素摻雜磷酸鍶薄膜的制備方法，采用磁控濺射法，實現(xiàn)了薄膜發(fā)光強度高，性能穩(wěn)定，同時保持較好的使用壽命。而且，采用惰性氣體和氫氣的混合氣體對濺射所得的多元素摻雜磷酸鍶薄膜進行退火處理，能夠提高薄膜的發(fā)光效率，較少量的摻雜就可以獲得性能優(yōu)異的薄膜，在藍光區(qū)、綠光區(qū)和紅光區(qū)均有較強的發(fā)射。以下結合具體實施例對本發(fā)明的具體實現(xiàn)進行詳細描述實施例I :選用純度為99. 99 %的SrO粉體、P2O5粉體、SnO2粉體、TiO2粉體和Eu2O3粉體混合，混合物中各組份的摩爾比為SrO P2O5 SnO2 TiO2 ；Eu203為1.89 I 0.05 0.02 0.01，310粉體的質(zhì)量為195.88，？205 粉體的質(zhì)量為1428，51102粉體的質(zhì)量為3g，TiO2粉體的質(zhì)量為I. 6g, Eu2O3粉體的質(zhì)量為3. 52g。經(jīng)過均勻混合后，1200°C高溫燒結成O50X 2mm的陶瓷靶材，并將靶材裝入真空腔體內(nèi)。先后用丙酮、無水乙醇和去離子水超聲清洗藍寶石襯底，然后用濃磷酸腐蝕，再用去離子水沖洗，最后用高溫氮氣吹干，放入真空腔體。把靶材和襯底的距離設定為70_。用機械泵和分子泵把腔體的真空度抽到5. OXlO^4Pa,向真空腔體通入的氬氣和氫氣的混合氣體，其中，氫氣含量為5% (體積比百分含量)，氣體流量為20SCCm，壓強調(diào)節(jié)為I. OPa，襯底溫度設定為550°C，濺射功率調(diào)節(jié)為120W，濺射得到多元素摻雜磷酸鍶薄膜。再將所得多元素摻雜磷酸鍶薄膜在0. OlPa的真空爐中退火，其中，退火溫度為650°C，升溫速率為6°C /min，保溫時間為2h。得到的薄膜樣品化學式為 Sr1. S9P2O7 0. 05Sn4+0. 02Ti4+，0. 02Eu3+。
實施例2 選用純度為99. 99 %的SrO粉體、P2O5粉體、SnO2粉體、TiO2粉體和Eu2O3粉體混合，混合物中各組份的摩爾比為SrO P2O5 SnO2 TiO2 ；Eu203為1.81 I 0. I 0. 05 0.02，其中，SrO粉體的質(zhì)量為187. 5g，P2O5粉體的質(zhì)量為142g，SnO2粉體的質(zhì)量為6g, TiO2粉體的質(zhì)量為4g, Eu2O3粉體的質(zhì)量為7. 04g。經(jīng)過均勻混合后，1200°C高溫燒結成050X2mm的陶瓷靶材，并將靶材裝入真空腔體內(nèi)。先后用丙酮、無水乙醇和去離子水超聲清洗藍寶石襯底，然后用濃磷酸腐蝕，再用去離子水沖洗，最后用高溫氮氣吹干，放入真空腔體。把靶材和襯底的距離設定為70_。用機械泵和分子泵把腔體的真空度抽到5. 0X10_4Pa，向真空腔體通入的氬氣和氫氣的混合氣體，其中，氫氣含量為5%(體積百分含量)，氣體流量為20SCCm，壓強調(diào)節(jié)為0. 2Pa，襯底溫度設定為350°C，濺射功率調(diào)節(jié)為100W，濺射得到多元素摻雜磷酸鍶薄膜。再將所得多元素摻雜磷酸鍶薄膜在0. OlPa的真空爐中退火，其中，退火溫度為750°C，升溫速率為10°C /min，保溫時間為2h。得到的薄膜樣品化學式為 SrL81P207:0. ISn4+, 0. 05Ti4+，0. 04Eu3+。實施例3 選用純度為99. 99 %的SrO粉體、P2O5粉體、SnO2粉體、TiO2粉體和Eu2O3粉體混合，混合物中各組份的摩爾比為SrO P2O5 SnO2 TiO2 Eu2O3為1.97 I 0.01 0. 005 0.005，其中，SrO粉體的質(zhì)量為204. lg，P2O5粉體的質(zhì)量為142g，SnO2粉體的質(zhì)量為0. 6g，TiO2粉體的質(zhì)量為0. 8g，Eu2O3粉體的質(zhì)量為I. 76g。經(jīng)過均勻混合后，900°C高溫燒結成O50X 2mm的陶瓷靶材，并將靶材裝入真空腔體內(nèi)。先后用丙酮、無水乙醇和去離子水超聲清洗藍寶石襯底，然后用濃磷酸腐蝕，再用去離子水沖洗，最后用高溫氮氣吹干，放入真空腔體。把靶材和襯底的距離設定為60_。用機械泵和分子泵把腔體的真空度抽到7. OX 10_4Pa，向真空腔體通入的氬氣和氫氣的混合氣體，其中，氫氣含量為8% (體積百分含量)，氣體流量為15SCCm，壓強調(diào)節(jié)為4. 5Pa，襯底溫度設定為350°C，濺射功率調(diào)節(jié)為30W，濺射得到多元素摻雜磷酸鍶薄膜。再將所得多元素摻雜磷酸鍶薄膜在0. OlPa的真空爐中退火，其中，退火溫度為650°C，升溫速率為5°C /min，保溫時間為I. 5h。得到的薄膜樣品化學式為 SrL97P207:0. OlSn4+O. 005Ti4+,0. 0IEu3+0實施例4:選用純度為99. 99 %的SrO粉體、P2O5粉體、SnO2粉體、TiO2粉體和Eu2O3粉體混合，混合物中各組份的摩爾比為SrO P2O5 SnO2 TiO2 Eu2O3為
1.91 I 0.03 0. 03 0.0015，其中，SrO粉體的質(zhì)量為198. 64g，P2O5粉體的質(zhì)量為142g，SnO2粉體的質(zhì)量為I. 8g，TiO2粉體的質(zhì)量為2. 4g，Eu2O3粉體的質(zhì)量為5. 28g。經(jīng)過均勻混合后，1300°C高溫燒結成060X2mm的陶瓷靶材，并將靶材裝入真空腔體內(nèi)。先后用丙酮、無水乙醇和去離子水超聲清洗藍寶石襯底，然后用濃磷酸腐蝕，再用去離子水沖洗，最后用高溫氮氣吹干，放入真空腔體。把靶材和襯底的距離設定為50mm。用機械泵和分子泵把腔體的真空度抽到8. OX 10_4Pa，向真空腔體通入的氬氣和氫氣的混合氣體，其中，氫氣含量為I % (體積百分含量)，氣體流量為30SCCm，壓強調(diào)節(jié)為0. 2Pa，襯底溫度設定為750°C，濺射功率調(diào)節(jié)為200W，濺射得到多元素摻雜磷酸鍶薄膜。再將所得多元素摻雜磷酸鍶薄膜在0. OlPa的真空爐中退火，其中，退火溫度為800°C，升溫速率為1°C /min,保溫時間為Ih。得到的薄膜樣品化學式為 Srh91P2O7 = O. 03Sn4+0. 03Ti4+，0. 03Eu3+。
實施例5 選用純度為99. 99 %的SrO粉體、P2O5粉體、SnO2粉體、TiO2粉體和Eu2O3粉體混合，混合物中各組份的摩爾比為SrO P2O5 SnO2 TiO2 Eu2O3為1.89 I 0. 08 0.01 0.01，其中，SrO粉體的質(zhì)量為 196. 56g，P205粉體的質(zhì)量為 142g，SnO2粉體的質(zhì)量為4. 8g，TiO2粉體的質(zhì)量為0. 8g，Eu2O3粉體的質(zhì)量為3. 52g。經(jīng)過均勻混合后，1250°C高溫燒結成060X2mm的陶瓷靶材，并將靶材裝入真空腔體內(nèi)。先后用丙酮、無水乙醇和去離子水超聲清洗藍寶石襯底，然后用濃磷酸腐蝕，再用去離子水沖洗，最后用高溫氮氣吹干，放入真空腔體。把靶材和襯底的距離設定為90mm。用機械泵和分子泵把腔體的真空度抽到8. 0Xl(T4Pa，向真空腔體通入的氬氣和氫氣的混合氣體，其中，氫氣含量為15% (體積百分含量)，氣體流量為25SCCm，壓強調(diào)節(jié)為0. 8Pa，襯底溫度設定為400°C，濺射功率調(diào)節(jié)為120W，濺射得到多元素摻雜磷酸鍶薄膜。再將所得多元素摻雜磷酸鍶薄膜在惰性氣體中退火，其中，退火溫度為550°C，升溫速率為5°C /min，保溫時間為3h。得到的薄膜樣品化學式為 Sr1.89P2070. 08Sn4+，0. OlTi4+, 0. 02Eu3+。 實施例6 選用純度為99. 99 %的SrO粉體、P2O5粉體、SnO2粉體、TiO2粉體和Eu2O3粉體混合，混合物中各組份的摩爾比為SrO P2O5 SnO2 TiO2 Eu2O3為
1.91 I 0. 06 0.01 0.01，其中，SrO粉體的質(zhì)量為198. 64g，P2O5粉體的質(zhì)量為142g，SnO2粉體的質(zhì)量為3. 6g，TiO2粉體的質(zhì)量為0. 8g，Eu2O3粉體的質(zhì)量為3. 52g。經(jīng)過均勻混合后，1250°C高溫燒結成060X2mm的陶瓷靶材，并將靶材裝入真空腔體內(nèi)。然后，先后用丙酮、無水乙醇和去離子水超聲清洗帶ITO的玻璃襯底，并對其進行氧等離子處理，放入真空腔體。把靶材和襯底的距離設定為80mm。用機械泵和分子泵把腔體的真空度抽到6. OX 10_4Pa，向真空腔體通入的氬氣和氫氣的混合氣體，其中，氫氣含量為3% (體積百分含量)，氣體流量為25sCCm，壓強調(diào)節(jié)為2. 5Pa，襯底溫度設定為600°C，濺射功率調(diào)節(jié)為150W，濺射得到多元素摻雜磷酸鍶薄膜。再將所得多元素摻雜磷酸鍶薄膜在惰性氣體中退火，其中，退火溫度為600°C，升溫速率為5°C /min，保溫時間為3h。得到的薄膜樣品化學式為 Sr191P207:0. 06Sn4+，0. OlTi4+,0. 02Eu3+。實施例7 選用純度為99. 99 %的SrO粉體、P2O5粉體、SnO2粉體、TiO2粉體和Eu2O3粉體混合，混合物中各組份的摩爾比為SrO P2O5 SnO2 TiO2 Eu2O3為1.9 I 0.04 0.04 0.01，其中，SrO粉體的質(zhì)量為197. 6g，P2O5粉體的質(zhì)量為142g，SnO2粉體的質(zhì)量為2. 4g，TiO2粉體的質(zhì)量為3. 2g, Eu2O3粉體的質(zhì)量為3. 52g。經(jīng)過均勻混合后，1250°C高溫燒結成060X2mm的陶瓷靶材，并將靶材裝入真空腔體內(nèi)。然后，先后用丙酮、無水乙醇和去離子水超聲清洗帶ITO的玻璃襯底，并對其進行氧等離子處理，放入真空腔體。把靶材和襯底的距離設定為60mm。用機械泵和分子泵把腔體的真空度抽到7. OX 10_4Pa，向真空腔體通入的氬氣和氫氣的混合氣體，其中，氫氣含量為4% (體積百分含量)，氣體流量為25SCCm，壓強調(diào)節(jié)為I. 8Pa，襯底溫度設定為450°C，濺射功率調(diào)節(jié)為90W，濺射得到多元素摻雜磷酸鍶薄膜。再將所得多元素摻雜磷酸鍶薄膜在惰性氣體中退火，其中，退火溫度為650°C，升溫速率為8°C /min，保溫時間為I. 5h。得到的薄膜樣品化學式為 Sr19P207:0. 04Sn4+，0. 04Ti4+，0. 02Eu3+。
圖3是本發(fā)明實施例I制備的多元素摻雜磷酸鍶薄膜的電致發(fā)光光譜圖，其在470nm處有很強的藍光發(fā)射峰，在520nm、550nm和680nm的綠光和紅光區(qū)也有較強的發(fā)射峰，是一種性能良好的白光材料。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精 神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權利要求
1.一種多元素摻雜磷酸鍶薄膜，其特征在于，所述多元素摻雜磷酸鍶薄膜的通式為Sr2_x-y-zP207:xSn4+，yTi4+, zEu3+，其中，x 取值為(λ Ol (λ 1，y 取值為(λ 005 (λ 05，ζ 取值為 O. 01 O. 04。
2.如權利要求I所述的多元素摻雜磷酸鍶薄膜，其特征在于，所述X取值為O.04 O.06，y 取值為 O. 01 O. 03，z 取值為 O. 01 O. 03。
3.—種多元素摻雜磷酸鍶薄膜的制備方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟 稱取SrO粉體、P2O5粉體、SnO2粉體、TiO2粉體和Eu2O3粉體混合，混合物中各組份的摩爾比為 SrO P2O5 SnO2 TiO2 Eu2O3 為(2-x-y-z) I x y z/2，其中，x 取值為O. 01 O. 1，y取值為O. 005 O. 05，z取值為O. 01 O. 04，將所述混合物燒結作為靶材； 將所述靶材裝入磁控濺射腔體內(nèi)，抽真空，設置工作壓強為O. 2Pa 4. 5Pa，通入惰性氣體和氫氣的混合氣體，混合氣體流量為15sccm 30sccm,襯底溫度為350°C 750°C,派射功率為30W 200W，濺射得多元素摻雜磷酸鍶薄膜。
4.如權利要求3所述的多元素摻雜磷酸鍶薄膜的制備方法，其特征在于，對制得的多元素摻雜磷酸鍶薄膜進一步進行退火處理。
5.如權利要求4所述的多元素摻雜磷酸鍶薄膜的制備方法，其特征在于，所述退火處理的退火溫度為500°C 800°C，所述退火的保溫時間為Ih 3h。
6.如權利要求3所述的多元素摻雜磷酸鍶薄膜的制備方法，其特征在于，X取值為O.04 O. 06，y 取值為 O. 01 O. 03，z 取值為 O. 01 O. 03。
7.如權利要求3所述的多元素摻雜磷酸鍶薄膜的制備方法，其特征在于，所述混合氣體中氫氣的體積百分含量為1% 15%。
8.如權利要求3所述的多元素摻雜磷酸鍶薄膜的制備方法，其特征在于，所述混合氣體中氫氣的體積百分含量為3% 8%。
9.如權利要求3至8擇一所述的多元素摻雜磷酸鍶薄膜的制備方法，其特征在于，所述腔體的工作壓強為O. 8Pa 2. 5Pa，所述襯底溫度為400°C 600°C，所述濺射功率為IOOff 140W。
10.如權利要求I或2所述的多元素摻雜磷酸鍶薄膜在場發(fā)射器件、陰極射線管和/或電致發(fā)光器件中的應用。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導體光電材料領域，提供一種多元素摻雜磷酸鍶薄膜，所述多元素摻雜磷酸鍶薄膜的通式為Sr2-x-y-zP2O7:xSn4+，yTi4+，zEu3+，其中，x取值為0.01～0.1，y取值為0.005～0.05，z取值為0.01～0.04，本發(fā)明還提供上述多元素摻雜磷酸鍶薄膜的制備方法以及采用此方法獲得的多元素摻雜磷酸鍶薄膜在場發(fā)射器件、陰極射線管和/或電致發(fā)光器件中的應用。
文檔編號C23C14/06GK102796984SQ20111013366
公開日2012年11月28日 申請日期2011年5月23日 優(yōu)先權日2011年5月23日
發(fā)明者周明杰, 王平, 陳吉星, 馮小明 申請人:海洋王照明科技股份有限公司, 深圳市海洋王照明技術有限公司