專利名稱：研磨方法和利用該方法制造液晶顯示器的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種研磨方法和利用該方法制造液晶顯示器(LCD)的方法，尤其涉及一種雙向研磨的研磨方法和利用該方法制造LCD的方法。
背景技術(shù)：
隨著對(duì)信息顯示的關(guān)注和對(duì)便攜式信息介質(zhì)的需求的增加，用于替代傳統(tǒng)的顯示裝置、即陰極射線管(CRT)的平板顯示器(FPD)的研究和商業(yè)化正在積極地進(jìn)行中。這些平板顯示器之一的液晶顯示器(LCD)利用液晶(LC)的光學(xué)各向異性顯示圖像。由于其優(yōu)秀的分辨率、顏色再現(xiàn)特性和畫面質(zhì)量，液晶顯示器正積極地應(yīng)用于筆記本、臺(tái)式顯示器等寸。一般來說，液晶顯示器指的是這樣一種顯示器，其能夠基于圖像信息將數(shù)據(jù)信號(hào)分別提供給LC單元，控制以矩陣形式排列的LC單元的每一光透射率，從而顯示期望的圖像。下面將參考圖1對(duì)液晶顯示器進(jìn)行更詳細(xì)的解釋。圖1是示意性地說明現(xiàn)有技術(shù)中液晶顯示器(IXD)的結(jié)構(gòu)的分解透視圖。如圖1所示，液晶顯示器主要包括濾色器基板5、陣列基板10、以及放置在濾色器基板5和陣列基板10之間的LC層40。濾色器基板5由以下組成由多個(gè)子濾色器7構(gòu)成的用于實(shí)現(xiàn)紅、綠、藍(lán)(RGB)的濾色器(C)；用于將子濾色器7彼此分開并且屏蔽通過LC層40的光線的黑矩陣6;以及用于給LC層40提供電壓的透明公共電極8。陣列基板10由以下組成設(shè)置在水平和垂直方向上以限定多個(gè)像素區(qū)域(P)的多條柵線16和數(shù)據(jù)線17 ；形成在柵線16和數(shù)據(jù)線17之間的每一交叉處的開關(guān)器件、即薄膜晶體管(TFT)；以及形成在像素區(qū)域⑵中的像素電極18。像素區(qū)域(P)指的是和濾色器基板5的一個(gè)子濾色器7對(duì)應(yīng)的一個(gè)子像素。這里， 將三種類型的子濾色器7 (RGB)相互組合而獲得彩色圖像。即，三個(gè)子像素(RGB)組成一個(gè)像素，薄膜晶體管(T)分別與所述子像素(RBG)連接。用于對(duì)LC層40的LC分子取向的取向?qū)?未示出)印刷在濾色器基板5和陣列基板10上。這里，通過利用多個(gè)輥的印刷方法形成該取向?qū)?。摩擦所述形成在濾色器基板5和陣列基板10上的取向?qū)?，以使液晶在恒定的方向上定向。結(jié)果是，在恒定的方向上形成了槽。圖2是示意性說明現(xiàn)有技術(shù)中的研磨工序的透視圖。如圖2所示，在基板10上形成的取向?qū)?未示出)經(jīng)歷研磨工序，以便在取向?qū)拥谋砻嫔闲纬刹?。研磨工序指的是利用研磨?0在恒定方向上研磨取向?qū)拥谋砻妫鲅心ポ?0上卷繞有研磨布(robbing cloth) 35。盡管未圖示，不過一旦研磨取向?qū)拥谋砻?，就?huì)在取向?qū)拥谋砻嫔闲纬晌⑿〉牟?。采用由軟纖維形成的織物作為研磨布35。包括研磨輥30的研磨設(shè)備相對(duì)較為簡(jiǎn)易O一般來說，通過在期望預(yù)傾角的形成方向上的單一摩擦來執(zhí)行研磨工序。由于形成在像素區(qū)域(P)之間的例如柱狀襯墊料(CS)等高臺(tái)階圖案，在圖案的末端可能不能正常執(zhí)行研磨工序。這可能會(huì)導(dǎo)致向錯(cuò)(disclination)、研磨擦痕、研磨拖尾 (tails)等。在這種情況下，無論取向?qū)邮欠癖淮_定為次品，都可能會(huì)增加黑色亮度。這種問題可能是由研磨工序引起的，并且可能隨著研磨布35沒有正常通過圖案末端而出現(xiàn)。圖案的高度越高，研磨工序就會(huì)越差。此外，因?yàn)檠心ゲ?5根據(jù)圖案的形狀向一側(cè)傾斜，所以在圖案的末端可能不能正常執(zhí)行研磨工序。這可能受到圖案形狀或者研磨布35的方向的影響。此外，為了防止由于高臺(tái)階圖案而產(chǎn)生的漏光，黑矩陣的尺寸被限制為大于預(yù)定值。這可能會(huì)降低孔徑比和亮度。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明一方面提供一種能夠通過雙向研磨減少向錯(cuò)和研磨拖尾的研磨方法，以及利用該方法制造液晶顯示器(LCD)的方法。為了實(shí)現(xiàn)這些和其它優(yōu)點(diǎn)，并根據(jù)本說明書的目的，如本文具體化和概括說明的， 提供了一種研磨方法，該方法包括將上面形成有取向?qū)拥幕逖b載在工作臺(tái)上；通過在和期望預(yù)傾角的形成方向相反的方向上旋轉(zhuǎn)第一研磨輥，在取向?qū)由蠄?zhí)行初級(jí)研磨工序， 第一研磨輥上卷繞有第一研磨布；和通過在期望預(yù)傾角的形成方向上旋轉(zhuǎn)第二研磨輥，在初級(jí)研磨后的取向?qū)由蠄?zhí)行次級(jí)研磨工序，第二研磨輥上卷繞有第二研磨布。為了實(shí)現(xiàn)這些和其它優(yōu)點(diǎn)，并根據(jù)本說明書的目的，如本文具體化和概括說明的， 提供了一種制造液晶顯示器(LCD)的方法，該方法包括提供其上具有多個(gè)陣列基板的母基板和其上具有多個(gè)濾色器基板的母基板；對(duì)陣列基板執(zhí)行陣列工序，對(duì)濾色器基板執(zhí)行濾色器工序；在經(jīng)歷過陣列工序和濾色器工序的母基板的每個(gè)表面上形成取向?qū)?；通過在和期望預(yù)傾角的形成方向相反的方向上旋轉(zhuǎn)第一研磨輥，在取向?qū)由蠄?zhí)行初級(jí)研磨工序， 第一研磨輥上卷繞有第一研磨布；通過在期望預(yù)傾角的形成方向上旋轉(zhuǎn)第二研磨輥，在初級(jí)研磨后的取向?qū)由蠄?zhí)行次級(jí)研磨工序，第二研磨輥上卷繞有第二研磨布；將經(jīng)歷過研磨工序的一對(duì)母基板彼此貼附；和將貼附的母基板切割成多個(gè)單位LCD面板。形成取向?qū)拥牟襟E可以包括在母基板上沉積由有機(jī)聚合物形成的取向材料；將取向材料初步干燥到60°C 80°C的溫度；和在80°C 200°C的溫度下硬化該取向材料。可以通過移動(dòng)上面裝載有母基板的工作臺(tái)和第一研磨輥中的至少一個(gè)，執(zhí)行所述初級(jí)研磨工序?？梢酝ㄟ^移動(dòng)上面裝載有母基板的工作臺(tái)和第二研磨輥中的至少一個(gè)，執(zhí)行所述次級(jí)研磨工序。第一和第二研磨布的毛可以配置為相對(duì)于第一和第二研磨輥的旋轉(zhuǎn)軸的垂直方向朝左側(cè)、右側(cè)和中間之一傾斜。這里，所述毛在左右方向上可以具有5° 37°的傾角?？梢詫⒁壕У蔚浇?jīng)歷過研磨工序且上面具有陣列基板和濾色器基板的母基板中的一個(gè)上，可以將密封劑涂到另一母基板上?？梢詫⑸厦娴芜^液晶的母基板貼附到上面涂過密封劑的母基板上。
可以將襯墊料形成在經(jīng)歷過研磨工序且上面具有陣列基板和濾色器基板的母基板中的一個(gè)上，可以將密封劑涂到另一母基板上?？梢詫⑸厦嫘纬闪艘r墊料的母基板貼附到上面涂過密封劑的母基板上。然后，可以將貼附的母基板切割成多個(gè)LCD面板，并將液晶注入到LCD面板中。本發(fā)明具有以下效果。首先，在和期望預(yù)傾角的形成方向相反的方向上執(zhí)行初級(jí)研磨工序，然后在期望預(yù)傾角的形成方向上執(zhí)行次級(jí)研磨工序。這可以減少例如柱狀襯墊料的高臺(tái)階圖案導(dǎo)致的偏差(declination)和研磨拖尾的發(fā)生。結(jié)果是，圖像的黑色亮度降低，對(duì)比率增加。此外，由于研磨拖尾減少，所以黑矩陣可具有更小的尺寸。這提高了孔徑比。從下文給出的詳細(xì)說明將更加明確地了解本發(fā)明更多的應(yīng)用范圍。但應(yīng)該理解的是，僅以說明性的方式給出了表示本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的詳細(xì)說明和具體例子，因?yàn)樵诒景l(fā)明的精神和范圍之內(nèi)的各種改變和修改對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員而言可以從詳細(xì)說明中明顯看出ο


所包含的附圖用于提供對(duì)發(fā)明的進(jìn)一步的理解，并引入組成說明書的一部分，附解了本發(fā)明的實(shí)施例，并與說明書一起用于解釋本發(fā)明的原理。在附圖中圖1是示意性說明現(xiàn)有技術(shù)中液晶顯示器(IXD)的結(jié)構(gòu)的分解透視圖；圖2是示意性說明現(xiàn)有技術(shù)中的研磨工序的透視圖。圖3是示意性說明本發(fā)明的研磨工序的透視圖。圖4是說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例制造液晶顯示器(IXD)的方法的流程圖；圖5是說明根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例制造液晶顯示器(IXD)的方法的流程圖；圖6是說明圖4和5所示的制造液晶顯示器的方法中的研磨方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在參考附圖對(duì)實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明。為參考附圖進(jìn)行說明的簡(jiǎn)要起見，相同或者等同的元件被賦予相同的參考數(shù)字，且不再重復(fù)這些元件的說明。下面，參考附圖詳細(xì)解釋本發(fā)明的研磨方法和利用該方法制造液晶顯示器(LCD) 的方法。圖3是示意性說明本發(fā)明的研磨工序的透視圖。如圖所示，本發(fā)明的研磨裝置包括第一研磨輥130a和第二研磨輥130b，所述第一研磨輥130a和第二研磨輥130b在不同方向上旋轉(zhuǎn)以進(jìn)行雙向研磨；工作臺(tái)120，所述工作臺(tái)120設(shè)置在第一研磨輥130a和第二研磨輥130b下方，所述工作臺(tái)120上安裝有基板 110以進(jìn)行研磨；和傳送裝置(未示出)，所述傳送裝置設(shè)置在第一研磨輥130a和第二研磨輥130b上方，被配置為傳送第一研磨輥130a和第二研磨輥130b。工作臺(tái)120形成為具有長(zhǎng)邊和短邊的長(zhǎng)方形。這里，第一研磨輥130a和第二研磨輥130b可以設(shè)置在工作臺(tái)120的長(zhǎng)邊的方向上。第一研磨輥130a和第二研磨輥130b中的每一個(gè)都形成為具有旋轉(zhuǎn)軸和外圓周表面的圓柱形。第一研磨布13 和第二研磨布13 分別卷繞在第一研磨輥130a和第二研磨輥130b的外圓周表面上。第一研磨布13 和第二研磨布13 是例如天鵝絨或者棉法蘭絨之類的織物，所述織物是通過在具有經(jīng)緯結(jié)構(gòu)的材料上編織柔軟的紡織品，如人造纖維、尼龍和棉紗而形成的。第一研磨布13 和第二研磨布13 用于通過研磨液晶顯示器的取向?qū)佣纬深A(yù)定的傾角。盡管未圖示，但是諸如電機(jī)的驅(qū)動(dòng)裝置(未示出)連接到第一研磨輥130a和第二研磨輥130b，從而使第一研磨輥130a和第二研磨輥130b中的每一個(gè)能夠以旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)。為了由該研磨裝置執(zhí)行研磨工序，將上面具有取向?qū)?未示出)的基板110裝載到工作臺(tái)120上。通過將由聚酰胺酸(其為有機(jī)聚合物)、可溶的聚酰亞胺等形成的取向材料沉積到基板Iio上，通過將取向材料干燥到60°C 80°C的溫度，然后通過在80°C 200°C的溫度下硬化該取向材料，可形成取向?qū)?。硬化后的取向?qū)映蔀榫埘啺?。這里，取向?qū)涌尚纬蔀楦采w包括柱狀襯墊料(⑶)的基板110的整個(gè)表面。對(duì)基板110上形成的取向?qū)訉?shí)施研磨工序，從而在取向?qū)颖砻嫔闲纬刹邸．?dāng)設(shè)定研磨條件時(shí)，需要考慮到的最重要事項(xiàng)之一是確定適當(dāng)?shù)难心?qiáng)度，并且在基板110的大面積上均勻施加該研磨強(qiáng)度。在本發(fā)明中，對(duì)取向?qū)訉?shí)施初級(jí)研磨工序。首先，向后旋轉(zhuǎn)第一研磨輥130a，所述第一研磨輥130a上卷繞有第一研磨布13fe。然后，移動(dòng)工作臺(tái)120和第一研磨輥130a中的至少一個(gè)，所述工作臺(tái)120上裝載有基板110。更具體地說，當(dāng)沿著箭頭的方向?qū)⒐ぷ髋_(tái) 120從基板110的一側(cè)移動(dòng)到基板110的另一側(cè)時(shí)，第一研磨輥130a在和期望預(yù)傾角的形成方向相反的方向上旋轉(zhuǎn)(即順時(shí)針方向)。通過這樣，執(zhí)行所述初級(jí)研磨工序。這里，第一研磨布13 的毛可以相對(duì)于第一研磨輥130a的旋轉(zhuǎn)軸的垂直方向朝左側(cè)、右側(cè)和中間之一傾斜。所述毛在左右方向上可以具有5° 37°的傾角。研磨布可以分成以下三類。當(dāng)研磨布的毛具有朝研磨方向的相反方向傾斜的向量分量、且具有相對(duì)于研磨輥的旋轉(zhuǎn)軸的垂直方向朝左側(cè)傾斜的向量分量時(shí)，該研磨布稱為L(zhǎng) 型研磨布。當(dāng)研磨布的毛具有朝研磨方向的相反方向傾斜的向量分量、且具有相對(duì)于研磨輥的旋轉(zhuǎn)軸的垂直方向朝右側(cè)傾斜的向量分量時(shí)，該研磨布稱為R型研磨布。當(dāng)研磨布的毛和研磨輥的旋轉(zhuǎn)軸的垂直方向平行時(shí)，該研磨布稱為V型研磨布。優(yōu)選地，所述毛在左右方向上可以具有5° 37°的傾角。然后，對(duì)取向?qū)訉?shí)施次級(jí)研磨工序。首先，向前旋轉(zhuǎn)第二研磨輥130b，所述第二研磨輥130b上卷繞有第二研磨布13 。然后，移動(dòng)工作臺(tái)120和第二研磨輥130b中的至少一個(gè)，所述工作臺(tái)120上裝載有基板110。更具體地說，第二研磨輥130b在期望預(yù)傾角的形成方向上旋轉(zhuǎn)(即逆時(shí)針方向)。這里，第二研磨布13 的毛可以相對(duì)于第二研磨輥130b的旋轉(zhuǎn)軸的垂直方向朝左側(cè)、右側(cè)和中間之一傾斜。第一研磨布13 和第二研磨布135b可以被配置為具有例如R型、L型和V型的各種傾斜方向，和前后方向上的各種預(yù)傾角。當(dāng)執(zhí)行研磨工序時(shí)，可以結(jié)合考慮例如痕跡寬度、旋轉(zhuǎn)速度等其它條件，根據(jù)每個(gè)模式選擇最佳的研磨布。第一研磨輥130a的旋轉(zhuǎn)軸和第二研磨輥130b的旋轉(zhuǎn)軸可以設(shè)置成彼此平行。通過首先在和預(yù)傾角的形成方向相反的方向(反向)上旋轉(zhuǎn)研磨輥130a，其次在正向上旋轉(zhuǎn)研磨輥130b，來執(zhí)行本發(fā)明的雙向研磨。S卩，在常規(guī)技術(shù)中，由于形成在像素區(qū)域(P)之間的例如柱狀襯墊料(⑶)等高臺(tái)階圖案的影響，在圖案的末端可能不能正常執(zhí)行研磨工序。這可能會(huì)導(dǎo)致向錯(cuò)、研磨擦痕、研磨拖尾等。但是，在本發(fā)明中，在和預(yù)傾角的形成方向相反的方向上執(zhí)行初級(jí)研磨工序，然后在正向上執(zhí)行次級(jí)研磨工序。這種雙向研磨會(huì)減少實(shí)施單向研磨工序時(shí)產(chǎn)生的向錯(cuò)和研磨拖尾。下面，參考附圖詳細(xì)解釋利用該研磨工序制造液晶顯示器的方法。圖4是說明根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例制造液晶顯示器(IXD)的方法的流程圖；圖 5是說明根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例制造液晶顯示器(LCD)的方法的流程圖。圖4示出了通過液晶注入形成液晶(LC)層的情況下制造液晶顯示器的方法，圖5 示出了通過液晶滴注形成LC層的情況下制造液晶顯示器的方法。制造液晶顯示器的工序大體上可以分成在下陣列基板上形成驅(qū)動(dòng)器件的驅(qū)動(dòng)器件陣列工序、在上濾色器基板上形成濾色器的濾色器工序、以及單元(cell)工序。首先，通過陣列工序在陣列基板上形成限定像素區(qū)域的多條柵線和數(shù)據(jù)線，并且在每個(gè)像素區(qū)域形成連接到所述柵線和數(shù)據(jù)線的驅(qū)動(dòng)器件、即薄膜晶體管(TFT) (SlOl)。通過陣列工序，還形成連接到TFT的像素電極，所述像素電極被配置為當(dāng)通過所述TFT施加信號(hào)時(shí)驅(qū)動(dòng)LC層。在濾色器基板上，通過濾色器工序形成濾色器層和公共電極(S10;3)。濾色器層由 RGB的子濾色器組成。在制造IPS(公平面轉(zhuǎn)換)液晶顯示器的情況中，在已經(jīng)通過陣列工序在上面形成了像素電極的下基板上形成公共電極。然后，為了給形成在濾色器基板和陣列基板之間的LC層的LC分子提供錨定力或表面錨固(預(yù)傾角和定向方向)，在每一濾色器基板和陣列基板上印刷取向?qū)?，然后?duì)取向?qū)訉?shí)施研磨工序(S102，S104)。在本實(shí)施例中，在和預(yù)傾角的形成方向相反的方向上實(shí)施初級(jí)研磨，在預(yù)傾角的形成方向上實(shí)施次級(jí)研磨。這樣會(huì)減少例如柱狀襯墊料的高臺(tái)階圖案引起的偏差和研磨拖尾產(chǎn)生。下面參考圖6對(duì)此進(jìn)行詳細(xì)說明。圖6是說明圖4和5所示的制造液晶顯示器的方法中的研磨方法的流程圖。一般來說，取向?qū)邮谴_定LC分子的定向和提高顯示特性的非常重要的因素。取向?qū)佑删埘０匪?其為有機(jī)聚合物)、或者可溶性基于聚酰亞胺的聚合物形成。在涂到基板上之后，干燥、加熱和硬化該材料，以形成取向?qū)?。取向劑印刷工序指的是這樣一種工序，其清洗所提供的濾色器基板或陣列基板， 和利用印刷設(shè)備將液晶取向劑均勻地沉積到濾色器基板或陣列基板的一個(gè)表面上(S201)。將液晶取向劑沉積到濾色器基板或陣列基板的一個(gè)表面上時(shí)，主要采用利用印刷設(shè)備的印刷方法。根據(jù)印刷方法，通過入口注入到排列成行的多個(gè)輥中的液晶取向劑被提供給所述輥的外圓周表面。然后，所述輥開始將液晶取向劑印刷到濾色器基板或陣列基板的一個(gè)表面上。
利用這種印刷方法涂布到濾色器基板或陣列基板上的取向劑具有約40nm-80nm 的厚度。一旦通過下述干燥和硬化工序硬化該取向劑，就完成了取向?qū)?。用于將印刷到濾色器基板或陣列基板的一個(gè)表面上的液晶取向劑干燥和硬化成取向?qū)拥挠不ば?20 按如下方式實(shí)施。在采用將上面涂了取向劑的濾色器基板或陣列基板放在預(yù)熱器中、且每一塊濾色器基板和陣列基板都被直接加熱的熱板(hot plate) 方法的情況中，通過初級(jí)低溫加熱印刷的取向劑被平面化，之后通過次級(jí)高溫加熱使取向劑的溶劑均勻蒸發(fā)。然后，將濾色器基板或陣列基板放入硬化爐中，之后對(duì)濾色器基板或陣列基板進(jìn)行最后的熱處理。結(jié)果是，取向劑完全實(shí)現(xiàn)為取向?qū)?。然后，為了給形成在濾色器基板和陣列基板之間的LC層的LC分子提供錨定力或表面錨固，對(duì)取向?qū)訉?shí)施研磨工序。這里，研磨工序是按如下方式實(shí)施的。首先，將諸如天鵝絨的研磨布切割成適當(dāng)?shù)拇笮　Ｈ缓?，將研磨布卷繞到研磨輥的外圓周表面上，然后利用該研磨輥研磨上面具有取向?qū)拥臑V色器基板或陣列基板。一旦研磨了取向?qū)拥谋砻?，就?huì)在該取向?qū)拥谋砻嫔闲纬晌⑿〉牟?。在本?shí)施例中，對(duì)取向?qū)訄?zhí)行初級(jí)研磨工序(S203)。首先，向后旋轉(zhuǎn)第一研磨輥， 第一研磨輥上卷繞有第一研磨布。然后，移動(dòng)工作臺(tái)和第一研磨輥中的至少一個(gè)，工作臺(tái)上裝載有濾色器基板或陣列基板。更具體地說，當(dāng)將工作臺(tái)從濾色器基板或陣列基板的一側(cè)移動(dòng)到另一側(cè)時(shí)，第一研磨輥在和期望預(yù)傾角的形成方向相反的方向上旋轉(zhuǎn)。然后，對(duì)取向?qū)訉?shí)施次級(jí)研磨工序(S204)。首先，向前旋轉(zhuǎn)第二研磨輥，第二研磨輥上卷繞有第二研磨布。然后，移動(dòng)工作臺(tái)和第二研磨輥中的至少一個(gè)，工作臺(tái)上裝載有濾色器基板或陣列基板。更具體地說，第二研磨輥在期望預(yù)傾角的形成方向上旋轉(zhuǎn)，從而對(duì)已經(jīng)歷過初級(jí)研磨工序的濾色器基板或陣列基板的取向?qū)訉?shí)施次級(jí)研磨工序。這里，第一研磨布和第二研磨布的毛可以相對(duì)于第一研磨輥和第二研磨輥的旋轉(zhuǎn)軸的垂直方向朝左側(cè)、右側(cè)和中間之一傾斜。第一研磨布和第二研磨布可以配置為具有例如R型、L型和V型的各種傾斜方向， 和前后方向上的各種預(yù)傾角。當(dāng)執(zhí)行研磨工序時(shí)，可以結(jié)合考慮例如痕跡寬度、旋轉(zhuǎn)速度等其它條件，根據(jù)每個(gè)模式選擇最佳的研磨布。第一研磨輥的旋轉(zhuǎn)軸和第二研磨輥的旋轉(zhuǎn)軸可以設(shè)置成彼此平行。如圖4和5所示，用取向?qū)訙y(cè)試儀對(duì)完全經(jīng)歷過研磨工序的濾色器基板和陣列基板執(zhí)行取向?qū)訙y(cè)試(S105)。如果研磨不均勻，則LC分子的取向度不一致。這會(huì)導(dǎo)致局部次品，從而導(dǎo)致其它光學(xué)特性低劣。用于研磨次品的測(cè)試包括初級(jí)測(cè)試和次級(jí)測(cè)試，所述初級(jí)測(cè)試用于測(cè)試在涂布的取向?qū)颖砻嫔鲜欠翊嬖谖埸c(diǎn)、條紋或者孔洞，所述次級(jí)測(cè)試用于測(cè)試研磨后的取向?qū)颖砻娴木鶆蚨?，和測(cè)試研磨后的取向?qū)颖砻嫔鲜欠翊嬖诓梁??？刹捎谜羝麥y(cè)試儀作為取向?qū)訙y(cè)試儀。下面，將對(duì)蒸汽測(cè)試儀進(jìn)行詳細(xì)解釋。蒸汽測(cè)試儀中設(shè)有蒸汽發(fā)生器。為了測(cè)試取向?qū)邮欠袷谴纹?，將形成有取向?qū)拥幕灞砻姹┞督o蒸汽發(fā)生器。然后，用設(shè)備觀察具有蒸汽(vaporous)的取向?qū)拥姆蔷鶆蛐裕缱兩?、亮度差異和凝聚，以測(cè)試均勻性。因?yàn)檎羝麥y(cè)試儀的處理簡(jiǎn)單，且不會(huì)對(duì)被測(cè)試的基板造成損害，所以可以提高生產(chǎn)率。利用蒸汽測(cè)試儀測(cè)試取向?qū)邮前慈缦路绞綀?zhí)行的。首先，將上面形成了取向?qū)拥幕逶O(shè)置在蒸汽發(fā)生器上。這里，安裝基板以使基板具有預(yù)定傾角，例如40° 50°的傾角，從而能夠容易觀測(cè)到蒸汽等。來自蒸汽發(fā)生器的蒸餾水被加熱到預(yù)定溫度，例如80°C 100°C的溫度以產(chǎn)生蒸汽。結(jié)果是，在基板的取向?qū)由闲纬烧羝Ｓ檬褂谜叩娜庋刍蛘咧T如照相機(jī)的設(shè)備從對(duì)面觀測(cè)具有蒸汽的基板的非均勻性， 例如變色、亮度差異和凝聚，從而測(cè)試取向?qū)拥木鶆蛐?。通過該取向?qū)訙y(cè)試，可以測(cè)試到取向?qū)拥奈⑿∪毕莼蛘唠s質(zhì)導(dǎo)致的污染。在本實(shí)施方式中，在研磨工序之后執(zhí)行取向?qū)訙y(cè)試。但是，也可以在研磨工序之前執(zhí)行取向?qū)訙y(cè)
試ο如圖4所示，在經(jīng)歷過取向?qū)訙y(cè)試的陣列基板上形成襯墊料以維持恒定的單元間隙。將密封劑涂到濾色器基板的外邊緣上。然后，利用壓力將濾色器基板和陣列基板彼此貼附(S106，S107，S108)。襯墊料可以是通過分散實(shí)現(xiàn)的球狀襯墊料，或者是通過構(gòu)圖實(shí)現(xiàn)的柱狀襯墊料。濾色器基板和陣列基板分別形成在大面積母基板上。即，多個(gè)面板區(qū)域被分配給大面積母基板，并且薄膜晶體管(TFT)和濾色器層形成在每一面板區(qū)域上。因此，為了生產(chǎn)單個(gè)的IXD面板，必須切割母基板以進(jìn)行處理(S109)。然后，通過LC注入口將液晶注入到每一個(gè)經(jīng)處理的IXD面板中，并且密封該LC注入口從而形成LC層。然后，對(duì)每一 IXD面板進(jìn)行測(cè)試，以制造IXD面板(Si 10，Sill).這里，通過利用壓力差的真空注入法注入液晶。根據(jù)真空注入法，將從大面積母基板分離的LCD面板的LC注入口浸入容器中，該容器設(shè)置在真空腔室中且包含液晶，然后改變腔室內(nèi)的真空度，從而液晶因IXD面板內(nèi)外的壓力差而注入到IXD面板中。一旦液晶充滿了 IXD面板，就密封該LC注入口，以形成IXD面板的LC層。在利用真空注入法在IXD面板中形成LC層的情況中，密封圖案是部分敞開的，以用作LC注入口。但是，上述真空注入法可能存在以下問題。首先，在LCD面板中填充液晶需要很長(zhǎng)時(shí)間。一般來說，彼此貼附的LCD面板在幾百cm2的面積上具有幾μ m的間隙。因此，即使應(yīng)用利用壓力差的真空注入法，每單位時(shí)間注入的液晶量也是非常少的。例如，在制造約15英寸的LCD面板的情況中，在LCD面板中填充液晶需要大約8個(gè)小時(shí)。這么長(zhǎng)的時(shí)間會(huì)降低生產(chǎn)率。此外，隨著LCD面板越來越大， 在LCD面板中填充液晶要花更長(zhǎng)的時(shí)間，并且在填充時(shí)會(huì)產(chǎn)生次品。其次，消耗的液晶量很大。一般來說，注入到LCD面板中的液晶量要比容器中容納的液晶量少得多。而且，一旦液晶暴露在空氣或者特定氣體中，液晶就因和特定氣體反應(yīng)而劣化。即使容器中容納的液晶用來填充多塊LCD面板，也會(huì)導(dǎo)致填充之后剩下的大量液晶被丟棄。因?yàn)榘嘿F的液晶被丟棄，所以LCD面板的成本很高。這會(huì)降低價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力。為了克服真空注入法的問題，可以采用滴注法。如圖5所示，在取向?qū)訙y(cè)試610 之后，用密封劑在濾色器基板上形成預(yù)定的密封圖案，和在陣列基板上形成液晶層(S106'，S107')。
根據(jù)滴注法，通過在排列有多個(gè)陣列基板的大面積第一母基板或者排列有多個(gè)濾色器基板的第二母基板的圖像顯示區(qū)域上滴注和分配液晶，然后通過利用壓力將第一和第二母基板彼此貼附到一起，將液晶均勻地施加到圖像顯示區(qū)域的全部部分上，從而形成LC層。在通過滴注法在IXD面板上形成LC層的情況中，為了防止液晶漏到圖像顯示區(qū)域外面，需要將密封圖案實(shí)現(xiàn)為封閉圖案，以包圍像素區(qū)域的外邊緣。根據(jù)滴注法，滴注液晶花費(fèi)的時(shí)間比真空注入法要短。此外，即使LCD面板變大， 也可以非常快地形成LC層。此外，只在基板上滴注所需量的液晶。這樣，可以防止真空注入法中丟棄昂貴液晶導(dǎo)致的LCD面板的高成本。從而提高了價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力。然后，將上面滴有液晶且涂布了密封劑的第一和第二母基板彼此對(duì)準(zhǔn)，然后利用壓力通過密封劑將它們貼附到一起。滴注的液晶均勻分配到LCD面板的整個(gè)部分上 (S108')。通過這些工序，在其間插入了 LC層的貼附的第一和第二母基板上形成了多個(gè) LCD面板。將這些玻璃基板切割成多個(gè)LCD面板，檢查每塊分離的LCD面板，從而制造液晶顯示器(S109'，SllO')。上述實(shí)施方式和優(yōu)點(diǎn)僅僅是范例，不對(duì)本公開構(gòu)成限制。這些內(nèi)容可以很容易地應(yīng)用到其它類型的裝置中。說明書是說明性的，不限制權(quán)利要求的范圍。很多供選方案、修改和變更對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來說都是顯而易見的。這里描述的例示性實(shí)施例的特征、結(jié)構(gòu)、 方法和其它特點(diǎn)可以通過各種方式組合，以獲得另外的和/或供選擇的例示性實(shí)施例。因?yàn)楫?dāng)前特征在不脫離其本質(zhì)的情況下可以表現(xiàn)為幾種形式，所以應(yīng)該理解的是，除非另有說明，上述實(shí)施例不局限于前述說明的任何細(xì)節(jié)，而是應(yīng)該廣義地理解為由權(quán)利要求限定的范圍，因此所有落在權(quán)利要求范圍內(nèi)的變化和修改，或者該范圍內(nèi)的等價(jià)物都包含在權(quán)利要求的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種研磨方法，包括將上面形成有取向?qū)拥幕逖b載在工作臺(tái)上；通過在和期望預(yù)傾角的形成方向相反的方向上旋轉(zhuǎn)第一研磨輥，在取向?qū)由蠄?zhí)行初級(jí)研磨工序，所述第一研磨輥上卷繞有第一研磨布；和通過在期望預(yù)傾角的形成方向上旋轉(zhuǎn)第二研磨輥，在初級(jí)研磨后的取向?qū)由蠄?zhí)行次級(jí)研磨工序，所述第二研磨輥上卷繞有第二研磨布。
2.權(quán)利要求1所述的方法，其中通過移動(dòng)上面裝載有基板的工作臺(tái)和第一研磨輥中的至少一個(gè)，執(zhí)行所述初級(jí)研磨工序。
3.權(quán)利要求1所述的方法，其中通過移動(dòng)上面裝載有基板的工作臺(tái)和第二研磨輥中的至少一個(gè)，執(zhí)行所述次級(jí)研磨工序。
4.權(quán)利要求1所述的方法，其中所述第一研磨布和第二研磨布的毛被配置為相對(duì)于第一研磨輥和第二研磨輥的旋轉(zhuǎn)軸的垂直方向朝左側(cè)、右側(cè)和中間之一傾斜。
5.權(quán)利要求4所述的方法，其中所述毛在左右方向上具有5° 37°的傾角。
6.一種制造液晶顯示器的方法，包括提供其上具有多個(gè)陣列基板的母基板和其上具有多個(gè)濾色器基板的母基板； 對(duì)陣列基板執(zhí)行陣列工序，對(duì)濾色器基板執(zhí)行濾色器工序； 在經(jīng)歷過陣列工序和濾色器工序的母基板的每個(gè)表面上形成取向?qū)樱?通過在和期望預(yù)傾角的形成方向相反的方向上旋轉(zhuǎn)第一研磨輥，在取向?qū)由蠄?zhí)行初級(jí)研磨工序，所述第一研磨輥上卷繞有第一研磨布；通過在期望預(yù)傾角的形成方向上旋轉(zhuǎn)第二研磨輥，在初級(jí)研磨后的取向?qū)由蠄?zhí)行次級(jí)研磨工序，所述第二研磨輥上卷繞有第二研磨布； 將經(jīng)歷過研磨工序的一對(duì)母基板彼此貼附；和將貼附的母基板切割成多個(gè)單位LCD面板。
7.權(quán)利要求6所述的方法，其中形成取向?qū)拥牟襟E包括 在母基板上沉積由有機(jī)聚合物形成的取向材料；將取向材料初步干燥到60V 80°C的溫度；和在80°C 200°C的溫度下硬化所述取向材料。
8.權(quán)利要求6所述的方法，其中通過移動(dòng)上面裝載有母基板的工作臺(tái)和第一研磨輥中的至少一個(gè)，執(zhí)行所述初級(jí)研磨工序。
9.權(quán)利要求6所述的方法，其中通過移動(dòng)上面裝載有母基板的工作臺(tái)和第二研磨輥中的至少一個(gè)，執(zhí)行所述次級(jí)研磨工序。
10.權(quán)利要求6所述的方法，其中所述第一研磨布和第二研磨布的毛被配置為相對(duì)于第一研磨輥和第二研磨輥的旋轉(zhuǎn)軸的垂直方向朝左側(cè)、右側(cè)和中間之一傾斜。
11.權(quán)利要求10所述的方法，其中所述毛在左右方向上具有5° 37°的傾角。
12.權(quán)利要求6所述的方法，其中將液晶滴到經(jīng)歷過研磨工序且上面具有陣列基板和濾色器基板的母基板中的一個(gè)上，將密封劑涂到另一母基板上。
13.權(quán)利要求12所述的方法，其中將上面滴過液晶的母基板貼附到上面涂過密封劑的母基板上。
14.權(quán)利要求6所述的方法，其中將襯墊料形成在經(jīng)歷過研磨工序且上面具有陣列基板和濾色器基板的母基板中的一個(gè)上，將密封劑涂到另一母基板上。
15.權(quán)利要求14所述的方法，其中將上面形成了襯墊料的母基板貼附到上面涂過密封劑的母基板上。
16.權(quán)利要求15所述的方法，其中將貼附的母基板切割成多個(gè)LCD面板，并將液晶注入到LCD面板中。
全文摘要
公開了一種研磨方法和利用該方法制造液晶顯示器(LCD)的方法。該研磨方法能夠減少例如柱狀襯墊料的高臺(tái)階圖案導(dǎo)致的向錯(cuò)和研磨拖尾。該研磨方法包括將上面形成有取向?qū)拥幕逖b載在工作臺(tái)上；通過在和期望預(yù)傾角的形成方向相反的方向上旋轉(zhuǎn)第一研磨輥，在取向?qū)由蠄?zhí)行初級(jí)研磨工序，該第一研磨輥上卷繞有第一研磨布；和通過在期望預(yù)傾角的形成方向上旋轉(zhuǎn)第二研磨輥，在初級(jí)研磨后的取向?qū)由蠄?zhí)行次級(jí)研磨工序，該第二研磨輥上卷繞有第二研磨布。
文檔編號(hào)B24B37/00GK102452037SQ201110329888
公開日2012年5月16日 申請(qǐng)日期2011年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月21日
發(fā)明者盧韶穎, 孫庚模, 樸承烈, 李宰源, 金圣基, 金鎮(zhèn)必 申請(qǐng)人:樂金顯示有限公司