專利名稱：易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)靶裝置，尤其涉及一種易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置。
背景技術(shù)：
目前生產(chǎn)鍍膜玻璃的設(shè)備中大多采用平面濺射陰極靶材，其工作原理是將需鍍膜的玻璃送入真空鍍膜室內(nèi)，真空鍍膜室內(nèi)通入一定量的高純工藝氣體一如氧氣、氮氣或氬氣，在電磁場及游離電子的作用下工藝氣體形成帶正電的等離子體，等離子體在載有高負(fù)電壓的陰極的吸引下，在磁場的控制下，按照一定的軌跡和力度轟擊固定安裝在真空鍍膜室內(nèi)的平面陰極靶材上的鍍膜用材料，鍍膜材料被氣體分子碰撞出來，按照一定方向沉積在玻璃上形成一定厚度的膜層。但是，現(xiàn)有的裝置間距固定，無法適應(yīng)不同型號長度的靶材組件替換使用，同時， 會導(dǎo)致靶材安裝位置出現(xiàn)間隙，影響加工效果和使用壽命。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的以上問題，提供一種易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置。為實現(xiàn)本實用新型的目的易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置，包括有加工箱體，所述的加工箱體底部設(shè)置有底板，其特征在于所述底板的一側(cè)安裝有驅(qū)動端頭組件，所述底板的另一側(cè)安裝有水電端頭組件；所述驅(qū)動端頭組件與水電端頭組件的工作銜接端中安裝有靶材組件。進(jìn)一步地，上述的易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置，其中，所述的驅(qū)動端頭組件與水電端頭組件的工作銜接端均設(shè)置有伸縮式軸用擋圈。更進(jìn)一步地，上述的易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置，其中，所述水電端頭組件的輸出端設(shè)置有獨立的導(dǎo)電桿與水輸送管。再進(jìn)一步地，上述的易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置，其中，所述的驅(qū)動端頭組件與底板的銜接端設(shè)置基座合件；所述水電端頭組件與底板的銜接端亦設(shè)置有基座合件。采用本實用新型技術(shù)方案，通過有伸縮式軸用擋圈的存在，可以有效控制驅(qū)動端頭組件與水電端頭組件之間的靶材組件安裝間距。由此，能夠有效適應(yīng)各種規(guī)格程度不同靶材組件進(jìn)行安裝。同時，亦可以通過調(diào)整間距，令靶材組件安裝到位，提升其使用壽命。本實用新型的目的、優(yōu)點和特點，將通過下面優(yōu)先實施例的非限制性說明進(jìn)行圖示和解釋，這些實施例是參照附圖僅作為例子給出的。

圖1是易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置的構(gòu)造示意圖。
具體實施方式
[0012]如圖1所示的易換靶材組件5式旋轉(zhuǎn)靶裝置，包括有加工箱體1，該加工箱體1底部設(shè)置有底板2，其特別之處在于本實用新型所采用的底板2 —側(cè)安裝有驅(qū)動端頭組件3。 與之對應(yīng)的是，在底板2的另一側(cè)安裝有水電端頭組件4。所述驅(qū)動端頭組件3與水電端頭組件4的工作銜接端中安裝有靶材組件5。結(jié)合本實用新型一較佳的實施方式來看，為了適應(yīng)不同長度和型號的靶材組件5 能夠令其穩(wěn)固安裝在驅(qū)動端頭組件3與水電端頭組件4的工作銜接端中，在驅(qū)動端頭組件 3與水電端頭組件4的工作銜接端均設(shè)置有伸縮式軸用擋圈6。這樣，在實際使用時，可以調(diào)整伸縮式軸用擋圈6的伸縮長短，配合靶材組件5的安裝。進(jìn)一步來看，考慮到能夠?qū)崿F(xiàn)裝配人員的組裝便捷，水電端頭組件4的輸出端設(shè)置有獨立的導(dǎo)電桿7與水輸送管8。由此，免去以往水電混合結(jié)構(gòu)過于復(fù)雜，容易出現(xiàn)漏水或是漏電的缺陷。再進(jìn)一步來看，為了提升驅(qū)動端頭組件3與水電端頭組件4與加工箱體1上的底板2的連接穩(wěn)定程度，在驅(qū)動端頭組件3與底板2的銜接端設(shè)置基座合件9。同樣的，在水電端頭組件4與底板2的銜接端亦設(shè)置有基座合件9。通過上述的文字表述并結(jié)合附圖可以看出，采用本實用新型后，通過有伸縮式軸用擋圈的存在，可以有效控制驅(qū)動端頭組件與水電端頭組件之間的靶材組件安裝間距。由此，能夠有效適應(yīng)各種規(guī)格程度不同靶材組件進(jìn)行安裝。同時，亦可以通過調(diào)整間距，令靶材組件安裝到位，提升其使用壽命。當(dāng)然，以上僅是本實用新型的具體應(yīng)用范例，對本實用新型的保護(hù)范圍不構(gòu)成任何限制。除上述實施例外，本實用新型還可以有其它實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實用新型所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置，包括有加工箱體，所述的加工箱體底部設(shè)置有底板，其特征在于所述底板的一側(cè)安裝有驅(qū)動端頭組件，所述底板的另一側(cè)安裝有水電端頭組件； 所述驅(qū)動端頭組件與水電端頭組件的工作銜接端中安裝有靶材組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置，其特征在于所述的驅(qū)動端頭組件與水電端頭組件的工作銜接端均設(shè)置有伸縮式軸用擋圈。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置，其特征在于所述水電端頭組件的輸出端設(shè)置有獨立的導(dǎo)電桿與水輸送管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置，其特征在于所述的驅(qū)動端頭組件與底板的銜接端設(shè)置基座合件；所述水電端頭組件與底板的銜接端亦設(shè)置有基座合件。
專利摘要本實用新型涉及一種易換靶材組件式旋轉(zhuǎn)靶裝置，包括有加工箱體，加工箱體底部設(shè)置有底板，其特點是底板的一側(cè)安裝有驅(qū)動端頭組件，底板的另一側(cè)安裝有水電端頭組件。同時，驅(qū)動端頭組件與水電端頭組件的工作銜接端中安裝有靶材組件。通過有伸縮式軸用擋圈的存在，可以有效控制驅(qū)動端頭組件與水電端頭組件之間的靶材組件安裝間距。由此，能夠有效適應(yīng)各種規(guī)格程度不同靶材組件進(jìn)行安裝。亦可以通過調(diào)整間距，令靶材組件安裝到位，提升其使用壽命。
文檔編號C23C14/34GK202201958SQ201120222618
公開日2012年4月25日 申請日期2011年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月28日
發(fā)明者黃峰 申請人:黃峰