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      一種表面滲鉬+沉積氮化鈦的新型電極材料及其制備方法

      文檔序號:3295925閱讀:352來源:國知局
      一種表面滲鉬+沉積氮化鈦的新型電極材料及其制備方法
      【專利摘要】本發(fā)明公開一種表面滲鉬+沉積氮化鈦的新型電極材料及其制備方法,利用等離子表面合金化和多弧離子鍍復合處理技術,首先在鐵基材料表面滲入合金元素鉬,形成呈冶金結合的含鉬滲層,然后利用濺射鍍進行沉積氮化鈦,以形成一種表面滲鉬+沉積氮化鈦的新型電極材料。本發(fā)明采用量大面廣價格低廉的鋼鐵材料作為電極材料,具有加工性能好、導電性好、強度高、成本低的優(yōu)點。表面經(jīng)過滲鉬和沉積氮化鈦處理后具有耐腐蝕、耐磨、強度和硬度高、電阻率較小、結合力強的優(yōu)點。能大幅度提高電極的比能量與比功率,接觸電阻保持恒定,電能消耗穩(wěn)定并且較小。
      【專利說明】一種表面滲鉬+沉積氮化鈦的新型電極材料及其制備方法
      【技術領域】
      [0001]本發(fā)明屬于表面工程【技術領域】,具體是一種表面滲鑰+沉積氮化鈦的新型電極材料及其制備方法。
      【背景技術】
      [0002]在熔鹽電解工業(yè)生產(chǎn)中,電解用的電極材料應具有良好的導電、導熱性,較強的抗腐蝕和抗氧化性,良好的電化學穩(wěn)定性,優(yōu)良的機械性能、原材料來源廣泛,加工性能好,價格低廉等優(yōu)點。熔鹽電解的電極材料有金屬及其合金、碳素和石墨、氧化物陶瓷及高熔點金屬化合物。金屬及其合金電極材料(比如碳鋼),雖然有良好強度、塑性、可加工性、成本較低,但是在使用中不耐腐蝕,且電能消耗大,壽命較短;不銹鋼和金屬鈦電極雖然有耐腐蝕、強度高等優(yōu)點,但是在一定的陽極電位下,容易在表面產(chǎn)生一層致密的鈍化膜,這類鈍化膜的導電性極差;石墨電極材料,不宜用于含氧離子的熔鹽電解質中,因為此時碳陽極將遭受電化學氧化而消耗,給生產(chǎn)過程帶來不利影響。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0003]本發(fā)明的目的是為克服現(xiàn)有技術的不足,而提供一種表面滲鑰+沉積氮化鈦的新型電極材料。這種新型電極材料具有表面導電性好、耐腐蝕性強、薄膜與基體結合力好的特點。
      [0004]實現(xiàn)本發(fā)明目的的技術方案
      一種表面滲鑰+沉積氮化鈦的新型電極材料,利用等離子表面合金化和多弧離子鍍復合處理技術,首先在鐵基材料表面滲入合金元素鑰,形成呈冶金結合的含鑰滲層,然后利用濺射鍍進行沉積氮化鈦,以形成 一種表面滲鑰+沉積氮化鈦的新型電極材料。
      [0005]具體工藝步驟如下:
      (1)對基體材料進行表面處理,使其表面粗糙度Ra為0.5~2um ;
      (2)用活化液、腐蝕液、凈化液、清洗液等依次清洗表面,再放入超聲波儀器中清洗半小時以上,并烘干;
      (3)用等離子輝光放電設備進行滲鑰:在真空室內(nèi)設置兩個高壓電源,公共陽極和分別兩個陰極,純鑰板作為提供欲滲的鑰原子,稱為源極,并與被滲鐵基材料分別放置在這兩個陰極上,抽真空到極限后,充入少量氬氣,調(diào)節(jié)源極電壓和被滲鐵基材料電壓,分別進行離子轟擊,10~30min,之后逐步提高源極和被滲鐵基材料電壓到工作電壓,升溫到工作溫度后保溫一段時間,完成滲鑰過程,最后緩慢冷卻到室溫;
      (4)將經(jīng)過滲鑰鐵基材料放入電弧離子鍍沉積設備中,調(diào)節(jié)負偏壓、弧電流、工作總氣壓、氬氣和氮氣的流量比、沉積溫度、沉積時間工藝參數(shù)進行表面沉積氮化鈦工藝,最后獲得沉積氮化鈦+滲鑰+鐵基組織的新型電極材料。
      [0006]步驟(1)所述基體材料為鋼鐵材料。
      [0007]步驟(3)所述滲鑰工藝參數(shù)為:源極電壓-800~1100V,工件電壓-300~-600V,極間距10~50 mm,氬氣工作氣壓20~60 Pa,保溫溫度800~1200°C,保溫時間2~8h ;保溫結束后,將試樣隨爐緩冷至室溫,可獲得20~80 um的合金化層。
      [0008]步驟(4 )所述沉積使用的電源為電弧離子鍍或磁控濺射電源或射頻濺射電源。
      [0009]步驟(4)所述電弧離子鍍工藝參數(shù)為:本底真空度10_4~10_3Pa,通入氬氣至
      0.1~20 Pa,用-500~-1000V的偏壓清洗試樣10~30min ;沉積溫度為室溫~400°C,沉積氣壓0.5~10Pa,沉積偏壓-100~-300V,沉積時間0.5~2h,氬氣和氮氣的流量比1:
      2~1:9。
      [0010]本發(fā)明的創(chuàng)新點是:采用量大面廣價格低廉的鋼鐵材料作為電極材料,具有加工性能好、導電性好、強度高、成本低的優(yōu)點。表面經(jīng)過滲鑰和沉積氮化鈦處理后具有耐腐蝕、耐磨、強度和硬度高、電阻率較小、結合力強的優(yōu)點。能大幅度提高電極的比能量與比功率,接觸電阻保持恒定,電能消耗穩(wěn)定并且較小。
      【具體實施方式】
      [0011]以下通過具體的實例來進一步說明本發(fā)明。
      [0012]所用基材為20鋼,尺寸為100 mmX25 mmX8 mm (長X寬X厚),試樣經(jīng)過打磨拋光表面粗糙度Ra=0.8um;滲鑰源極為板狀,其尺寸為:100 mmX50 mmX5 mm(長X寬X厚),純度為99.9 % ;工作氣體為純度99.99%的氬氣,反應氣體為純度99.99%的氮氣。
      [0013]將被處理基材用不同型號的水磨砂子打磨,并拋光,再用超聲波清洗干凈并烘干,將被處理基材放入型號為DGLT-15型多功能離子化學熱處理爐中,源極鑰板居中,被處理基材分別置于源極鑰板兩側,抽真空至設備極限真空度1.2Pa后,充入少量氬氣至15Pa,調(diào)節(jié)源極和工件電壓進行離子轟擊,IOmin后逐步調(diào)節(jié)源極電壓、被處理基材電壓、工作氣壓、工作溫度、工作時間工藝參數(shù)進行等離子滲鑰工藝,工作溫度用型號為ST200-A紅外測溫儀進行測定,保溫結束后,試樣隨爐緩冷至室溫。
      [0014]滲鑰工藝參數(shù)為:源極電壓-900~-950V,被處理基材電壓-500~-550V,極間距25 mm,氬氣工作氣壓30 Pa,保溫溫度1000 °C,保溫時間4 h。
      [0015]滲鑰后,再將滲鑰基材放入TSU-650超高真空磁控濺射及離子鍍沉積設備中,抽真空度至10_3Pa,充入少量氬氣至2Pa,調(diào)節(jié)偏壓至-900V進行清洗,清洗30min后調(diào)節(jié)偏壓、弧電流、工作總氣壓、氬氣和氮氣的流量比、沉積溫度、沉積時間等工藝參數(shù)進行表面沉積氮化鈦處理。試驗結束后,隨爐冷卻至室溫,獲得表面滲鑰+沉積氮化鈦的新型電極材料。
      [0016]電弧離子鍍工藝參數(shù)為:沉積溫度250°C,沉積氣壓0.8Pa,沉積偏壓-300V,沉積時間I h,弧電流85A,氬氣和氮氣流量比1:8。
      [0017]產(chǎn)品經(jīng)測試,表面經(jīng)過滲鑰和沉積氮化鈦處理后的電極材料耐腐蝕、耐磨強度強,硬度高、電阻率小。
      【權利要求】
      1.一種表面滲鑰+沉積氮化鈦的新型電極材料的制備方法,其特征是:包括如下步驟: (1)對基體材料進行表面處理,使其表面粗糙度Ra為0.5~2um ; (2)用活化液、腐蝕液、凈化液、清洗液等依次清洗表面,再放入超聲波儀器中清洗半小時以上,并烘干; (3)用等離子輝光放電設備進行滲鑰:在真空室內(nèi)設置兩個高壓電源,公共陽極和分別兩個陰極,純鑰板作為提供欲滲的鑰原子,稱為源極,并與被滲鐵基材料分別放置在這兩個陰極上,抽真空到極限后,充入少量氬氣,調(diào)節(jié)源極電壓和被滲鐵基材料電壓,分別進行離子轟擊,10~30min,之后逐步提高源極和被滲鐵基材料電壓到工作電壓,升溫到工作溫度后保溫一段時間,完成滲鑰過程,最后緩慢冷卻到室溫; (4)將經(jīng)過滲鑰鐵基材料放入電弧離子鍍沉積設備中,調(diào)節(jié)負偏壓、弧電流、工作總氣壓、氬氣和氮氣的流量比、沉積溫度、沉積時間工藝參數(shù)進行表面沉積氮化鈦工藝,最后獲得沉積氮化鈦+滲鑰+鐵基組織的新型電極材料。
      2.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征是:步驟(1)所述基體材料為鋼鐵材料。
      3.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征是:步驟(3)所述滲鑰工藝參數(shù)為:源極電壓-800~110(^,工件電壓-300~-60(^,極間距10~50 _,氬氣工作氣壓20~60 Pa,保溫溫度800~1200°C,保溫時間2~8 h ;保溫結束后,將試樣隨爐緩冷至室溫,可獲得20~80 um的合金化層。
      4.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征是:步驟(4)所述沉積使用的電源為電弧離子鍍或磁控濺射電源或射頻濺射`電源。
      5.根據(jù)權利要求1所述的制備方法,其特征是:步驟(4)所述電弧離子鍍工藝參數(shù)為:本底真空度10-4~10_3Pa,通入氬氣至0.1~20 Pa,用-500~-1000V的偏壓清洗試樣10~30min ;沉積溫度為室溫~400°C,沉積氣壓0.5~10Pa,沉積偏壓-100~-300V,沉積時間0.5~2h,氬氣和氮氣的流量比1:2~1:9。
      6.用權利要求1-5之一所述的制備方法制備的表面滲鑰+沉積氮化鈦的新型電極材料。
      【文檔編號】C23C28/00GK103628060SQ201310572541
      【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年11月15日 優(yōu)先權日:2013年11月15日
      【發(fā)明者】高原, 吳煒欽, 王成磊, 張焱, 韋文竹, 陸小會, 張光耀 申請人:桂林電子科技大學
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