一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及薄膜太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前沉積設(shè)備在發(fā)生故障或者正常PM時(shí)，在4人同時(shí)手動作業(yè)情況下，完全開啟或關(guān)閉多個(gè)腔室的上蓋需要花費(fèi)至少數(shù)個(gè)小時(shí)時(shí)間，加上故障處理或PM時(shí)間及復(fù)機(jī)時(shí)間，整個(gè)過程耗時(shí)更多，嚴(yán)重影響生產(chǎn)產(chǎn)能，人員工作量大，無法很好的正常作息，人力成本高。而較常用的起吊上蓋的方式雖然能夠減輕勞動強(qiáng)度，但工人維修非常不便。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的技術(shù)目的在于提供一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，解決開關(guān)蓋體費(fèi)時(shí)費(fèi)力、效率低下的問題。
[0004]本實(shí)用新型的具體技術(shù)方案如下:一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，包括真空腔體和設(shè)于所述真空腔體上的腔體蓋板，還包括設(shè)于所述真空腔體與所述腔體蓋板之間的連接合頁、用于配合所述連接合頁將所述腔體蓋板翻起或回落的開合裝置、用于調(diào)節(jié)所述真空腔體內(nèi)氣壓的抽送氣裝置和用于監(jiān)測所述真空腔體氣壓的真空計(jì)，通過所述真空計(jì)的氣壓監(jiān)測控制所述抽送氣裝置從而控制所述開合裝置。
[0005]作為優(yōu)選，所述開合裝置包括設(shè)于所述腔體蓋板上的連接筋、固定連接于所述連接筋的固定片、安裝在所述固定片上且連接于所述連接筋的伸縮氣缸和鉸接于所述固定片的活動支撐桿。
[0006]作為優(yōu)選，所述連接筋上設(shè)有若干處用于與所述固定片固定連接的固定部和若干處用于與所述伸縮氣缸活動連接的拉動部。
[0007]作為優(yōu)選，所述連接筋上具有用于設(shè)置所述拉動部的拉動區(qū)域，所述拉動區(qū)域?yàn)樗鲞B接筋的中心至所述連接筋的遠(yuǎn)離所述連接合頁的端部。
[0008]作為優(yōu)選，所述真空腔體和/或所述腔體蓋板上設(shè)有用于緩和開合時(shí)的相互摩擦與撞擊的緩沖墊圈和用于使所述真空腔體被隔絕的密封圈。
[0009]作為優(yōu)選，所述真空腔體上設(shè)有用于支撐并限制所述腔體蓋板翻起時(shí)的限位支撐件。
[0010]作為優(yōu)選，所述抽送氣裝置包括與所述真空腔體連通的的尾氣泵及充氣泵，所述尾氣泵與所述充氣泵共同連接有保護(hù)氣源，所述真空腔體、所述尾氣泵、所述充氣泵及所述保護(hù)氣源之間通過循環(huán)管道相連通，循環(huán)管道上設(shè)有用于分別控制所述尾氣泵與所述保護(hù)氣源、所述充氣泵與所述保護(hù)氣源的第一控制閥、第二控制閥。
[0011]作為優(yōu)選，所述真空計(jì)包括粗側(cè)真空計(jì)與精測真空計(jì)。
[0012]作為優(yōu)選，所述真空計(jì)、所述抽送氣裝置及所述開合裝置共同連接有信號中樞，通過所述信號中樞使得所述抽送氣裝置與所述開合裝置根據(jù)所述真空計(jì)的監(jiān)測信息進(jìn)行啟停動作。
[0013]本實(shí)用新型的技術(shù)優(yōu)點(diǎn)在于所述改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便，能夠代替?zhèn)鹘y(tǒng)手動方式或吊起方式，省時(shí)省力，維修方便，大大提高了生產(chǎn)效率，降低運(yùn)維成本。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面將結(jié)合附圖，通過具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0016]見圖1，一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，包括真空腔體I和設(shè)于真空腔體I上的腔體蓋板2，還包括設(shè)于真空腔體I與腔體蓋板2之間的連接合頁3、用于配合連接合頁3將腔體蓋板2翻起或回落的開合裝置、用于調(diào)節(jié)真空腔體I內(nèi)氣壓的抽送氣裝置和用于監(jiān)測真空腔體I氣壓的真空計(jì)，通過真空計(jì)的氣壓監(jiān)測控制抽送氣裝置從而控制開合裝置。
[0017]開合裝置包括設(shè)于腔體蓋板2上的連接筋21、固定連接于連接筋21的固定片22、安裝在固定片22上且連接于連接筋21的伸縮氣缸23和鉸接于固定片22的活動支撐桿24。連接筋21上設(shè)有若干處用于與固定片22固定連接的固定部和若干處用于與伸縮氣缸23活動連接的拉動部。連接筋21上具有用于設(shè)置拉動部的拉動區(qū)域，拉動區(qū)域?yàn)檫B接筋21的中心至連接筋21的遠(yuǎn)離連接合頁3的端部。
[0018]真空腔體I和/或腔體蓋板2上設(shè)有用于緩和開合時(shí)的相互摩擦與撞擊的緩沖墊圈和用于使真空腔體I被隔絕的密封圈。真空腔體I上設(shè)有用于支撐并限制腔體蓋板2翻起時(shí)的限位支撐件25，限位支撐件25可以為活動桿，在活動桿的頂部可以設(shè)置便于抵住腔體蓋板2的支撐斜面。翻轉(zhuǎn)角度為腔體蓋板2所在平面與真空腔體I所在平面的夾角，翻轉(zhuǎn)角度的范圍為0~120°。
[0019]抽送氣裝置包括與真空腔體I連通的的尾氣泵5及充氣泵6，尾氣泵5與充氣泵6共同連接有保護(hù)氣源7，真空腔體1、尾氣泵5、充氣泵6及保護(hù)氣源7之間通過循環(huán)管道相連通，循環(huán)管道上設(shè)有用于分別控制尾氣泵5與保護(hù)氣源7、充氣泵6與保護(hù)氣源7的第一控制閥71、第二控制閥61。保護(hù)氣源7 —般為氮?dú)?，氮?dú)饪勺鳛橄♂寶怏w、防止尾氣泵5或充氣泵6內(nèi)部轉(zhuǎn)子卡死的吹掃氣體或?qū)⒄婵涨惑wI內(nèi)殘余或有害氣體、塵埃擠出的恢復(fù)氣體。
[0020]真空計(jì)包括粗側(cè)真空計(jì)4與精測真空計(jì)5。真空計(jì)、抽送氣裝置及開合裝置共同連接有信號中樞，通過信號中樞使得抽送氣裝置與開合裝置根據(jù)真空計(jì)的監(jiān)測信息進(jìn)行啟停動作。信號中樞可利用傳感器及PLC控制回路來完成。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，包括真空腔體(I)和設(shè)于所述真空腔體(I)上的腔體蓋板(2)，其特征在于:還包括設(shè)于所述真空腔體(I)與所述腔體蓋板(2)之間的連接合頁(3)、用于配合所述連接合頁(3)將所述腔體蓋板(2)翻起或回落的開合裝置、用于調(diào)節(jié)所述真空腔體(I)內(nèi)氣壓的抽送氣裝置和用于監(jiān)測所述真空腔體(I)氣壓的真空計(jì)，通過所述真空計(jì)的氣壓監(jiān)測控制所述抽送氣裝置從而控制所述開合裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，其特征在于:所述開合裝置包括設(shè)于所述腔體蓋板(2)上的連接筋(21)、固定連接于所述連接筋(21)的固定片(22)、安裝在所述固定片(22)上且連接于所述連接筋(21)的伸縮氣缸(23)和鉸接于所述固定片(22)的活動支撐桿(24)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，其特征在于:所述連接筋(21)上設(shè)有若干處用于與所述固定片(22)固定連接的固定部和若干處用于與所述伸縮氣缸(23)活動連接的拉動部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，其特征在于:所述連接筋(21)上具有用于設(shè)置所述拉動部的拉動區(qū)域，所述拉動區(qū)域?yàn)樗鲞B接筋(21)的中心至所述連接筋(21)的遠(yuǎn)離所述連接合頁(3)的端部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，其特征在于:所述真空腔體(I)和/或所述腔體蓋板(2)上設(shè)有用于緩和開合時(shí)的相互摩擦與撞擊的緩沖墊圈和用于使所述真空腔體(I)被隔絕的密封圈。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，其特征在于:所述真空腔體(I)上設(shè)有用于支撐并限制所述腔體蓋板(2 )翻起時(shí)的限位支撐件(25 )。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，其特征在于:所述抽送氣裝置包括與所述真空腔體(I)連通的的尾氣泵(5)及充氣泵(6)，所述尾氣泵(5)與所述充氣泵(6)共同連接有保護(hù)氣源(7)，所述真空腔體(1)、所述尾氣泵(5)、所述充氣泵(6)及所述保護(hù)氣源(7)之間通過循環(huán)管道相連通，循環(huán)管道上設(shè)有用于分別控制所述尾氣泵(5)與所述保護(hù)氣源(7)、所述充氣泵(6)與所述保護(hù)氣源(7)的第一控制閥(71)、第二控制閥(61)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，其特征在于:所述真空計(jì)包括粗側(cè)真空計(jì)(4)與精測真空計(jì)(5)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，其特征在于:所述真空計(jì)、所述抽送氣裝置及所述開合裝置共同連接有信號中樞，通過所述信號中樞使得所述抽送氣裝置與所述開合裝置根據(jù)所述真空計(jì)的監(jiān)測信息進(jìn)行啟停動作。
【專利摘要】一種改進(jìn)的背電極沉積設(shè)備，包括真空腔體和設(shè)于所述真空腔體上的腔體蓋板，還包括設(shè)于所述真空腔體與所述腔體蓋板之間的連接合頁、用于配合所述連接合頁將所述腔體蓋板翻起或回落的開合裝置、用于調(diào)節(jié)所述真空腔體內(nèi)氣壓的抽送氣裝置和用于監(jiān)測所述真空腔體氣壓的真空計(jì)，通過所述真空計(jì)的氣壓監(jiān)測控制所述抽送氣裝置從而控制所述開合裝置。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便，能夠代替?zhèn)鹘y(tǒng)手動方式或吊起方式，省時(shí)省力，維修方便，大大提高了生產(chǎn)效率，降低運(yùn)維成本。
【IPC分類】H01L31-18
【公開號】CN204558504
【申請?zhí)枴緾N201520170678
【發(fā)明人】屈良錢, 沈一清, 李帥鋒, 趙振國, 王飛
【申請人】浙江長興漢能光伏有限公司
【公開日】2015年8月12日
【申請日】2015年3月25日