一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其包括：機(jī)臺、繃網(wǎng)組件、掩模板載臺、掩模外框載臺、運動導(dǎo)軌、激光斜切裝置、激光焊接裝置，同一設(shè)備體系集中了掩模板的制作與組裝，集成方式能縮短掩模板組件的制程，能有效保證成品金屬掩模板的精度，本發(fā)明提供的金屬掩模板組件組裝設(shè)備能夠切割出開口側(cè)壁為傾斜面的掩模板并形成掩模板組件，所述掩模板的開口截面為梯形結(jié)構(gòu)，其能夠避免掩模板在蒸鍍沉積有機(jī)材料時產(chǎn)生蒸鍍效應(yīng)。
【專利說明】一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于機(jī)械設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備。
[0002]
【背景技術(shù)】
[0003]有機(jī)發(fā)光顯示器(Organic Light-Emitting D1de,簡稱0LED)是下一代的顯示技術(shù)，與目前使用的液晶顯示器(Liquid Crystal Display，簡稱IXD)顯示技術(shù)相比,具有可視角大，色彩艷麗，功耗低等優(yōu)點，會逐漸替代目前主流的液晶顯示技術(shù)。
[0004]在OLED顯示器面板的制作過程中，其中有機(jī)層的沉積會使用到金屬掩模板組件，圖1所示為采用掩模板組件蒸鍍有機(jī)材料的示意圖。金屬掩模板組件由金屬掩模板10及掩模外框11構(gòu)成，金屬掩模板10由于比較薄，在蒸鍍前會通過相關(guān)工藝固定在掩模外框11上，圖2所示為金屬掩模板固定在掩模外框11上的平面示意圖。蒸鍍時，金屬掩模板10借助掩模外框11固定在支撐臺12上,蒸鍍源13中的有機(jī)材料通過蒸發(fā)擴(kuò)散至掩模板10下方，掩模板10上在一定的位置設(shè)置有開口 100，有機(jī)材料通過開口 100沉積在沉積基板14上對應(yīng)的位置處，形成有機(jī)沉積層。
[0005]在技術(shù)要求上，有機(jī)沉積層的沉積質(zhì)量對后期產(chǎn)品質(zhì)量有非常大的影響，而有機(jī)沉積層的沉積質(zhì)量與金屬掩模板的開口質(zhì)量、開口位置精度緊密相關(guān)，其中金屬掩模板的開口位置精度除了由開口制作過程決定以外，還與金屬掩模板10組裝到掩模外框11上形成金屬掩模組件的過程直接掛鉤。
[0006]圖3所示是申請?zhí)枮?01110079282.5的中國專利申請文件公開的一種金屬掩模板組裝機(jī)，所述組裝機(jī)包括:機(jī)架31 ;繃網(wǎng)組件32，所述繃網(wǎng)組件設(shè)置在機(jī)架上用于繃?yán)饘傺谀０澹粶y量單元33，所述測量單元可移動地設(shè)置在所述機(jī)架上用于測量金屬掩模板；和控制單元，所述控制單元用于控制測量單元對金屬掩模板的測量和繃網(wǎng)組件對金屬掩模板的繃?yán)腋鶕?jù)從測量單元接收的測量信號調(diào)節(jié)繃網(wǎng)組件對金屬掩模板的繃?yán)?。然而采用該設(shè)備進(jìn)行金屬掩模板組裝時，未被裝載在繃網(wǎng)組件上的金屬掩模板由于中間無支撐而容易出現(xiàn)折痕(導(dǎo)致金屬掩模板直接報廢)；另外，在該專利申請文件中，掩模外框的位置調(diào)節(jié)比較困難，不利于掩模板的焊接組裝。
[0007]基于此，業(yè)界希望設(shè)計出一種功能更強大的組裝設(shè)備，能夠較好的滿足高質(zhì)量金屬掩模板組件的組裝。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0008]有鑒于此，本發(fā)明提供了一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備，以更好的滿足金屬掩模板高精度組裝的要求。
[0009]本發(fā)明所提供了一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其包括:機(jī)臺，所述機(jī)臺作為所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備的支撐基臺；繃網(wǎng)組件，所述繃網(wǎng)組件固定安裝在所述機(jī)臺上，其上設(shè)置有若干夾持機(jī)構(gòu)，所述金屬掩模板側(cè)邊可通過所述繃網(wǎng)組件的夾持機(jī)構(gòu)夾持并繃?yán)_(dá)到表面平整；掩模板載臺，所述掩模板載臺用于承載未經(jīng)所述繃網(wǎng)組件繃?yán)慕饘傺谀０迤?，所述掩模板載臺包括掩模支撐板和支撐板驅(qū)動裝置，所述掩模支撐板在所述支撐板驅(qū)動裝置的驅(qū)動下可以在垂直方向上運動，從而調(diào)整所述掩模支撐板上表面相對所述繃網(wǎng)組件夾持面所在位置；掩模外框載臺，所述掩模外框載臺用于承載掩模外框，所述掩模外框用于固定所述金屬掩模板，所述掩模外框載臺能夠調(diào)整所述掩模外框的的水平高度；運動導(dǎo)軌，所述運動導(dǎo)軌包括X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌以及Z軸導(dǎo)軌，所述Y軸導(dǎo)軌直接或間接的固定安裝在所述機(jī)臺上，所述X軸導(dǎo)軌設(shè)置在所述Y軸導(dǎo)軌上，且可在所述Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行Y軸方向的運動，所述Z軸導(dǎo)軌設(shè)置在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌可以在X軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X軸方向的運動；激光焊接裝置，所述激光焊接裝置直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上，可隨Z軸導(dǎo)軌在所述X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X、Y軸向的運動，也可以在Z軸導(dǎo)軌上做Z軸方向的運動，所述激光焊接裝置包括一激光焊接頭，所述金屬掩模板通過所述激光焊接頭發(fā)射的激光焊接固定在所述掩模外框上。
[0010]進(jìn)一步，本發(fā)明的掩模外框載臺包括:基架、調(diào)平機(jī)構(gòu)以及外框承載板，所述基架由底板及設(shè)置在所述底板上的側(cè)板構(gòu)成，用于安裝所述調(diào)平機(jī)構(gòu)；所述調(diào)平機(jī)構(gòu)由若干個垂直設(shè)置在所述基架底板上的電動執(zhí)行器及設(shè)置在每個電動執(zhí)行器上方的調(diào)平板構(gòu)成；所述外框承載板設(shè)置在所述調(diào)平機(jī)構(gòu)的調(diào)平板上方，通過配合調(diào)節(jié)所述調(diào)平機(jī)構(gòu)的所述電動執(zhí)行器可以調(diào)整所述外框承載板的水平位置，所述外框承載板用于直接承載所述掩模外框。
[0011]為了便于掩模外框的裝載在所述掩模外框載臺上，所述掩模外框載臺還包括頂起機(jī)構(gòu)，所述頂起機(jī)構(gòu)由至少4個垂直設(shè)置在所述基架上的升降驅(qū)動裝置與至少2個水平設(shè)置在所述升降驅(qū)動裝置上方的頂板構(gòu)成，所述頂板通過所述升降驅(qū)動裝置的運動完成上升或下降動作，所述調(diào)平機(jī)構(gòu)的外框承載板上表面設(shè)置有與所述頂起機(jī)構(gòu)的頂板相適應(yīng)的凹陷結(jié)構(gòu)，使得所述頂板下降到最低點時，所述頂板的上表面不高于所述外框承載板的上表面。
[0012]進(jìn)一步，所述掩模外框載臺還包括定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)由定位塊及氣缸組件構(gòu)成，所述定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述外框承載板或所述頂起機(jī)構(gòu)的頂板上，所述掩模外框通過所述定位機(jī)構(gòu)定位在所述外框承載板上的確定位置，從而保證掩模板組件組裝過程的穩(wěn)定性。
[0013]為強化本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的自動化程度，本發(fā)明所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括控制單元，所述控制單元用于控制所述繃網(wǎng)組件對所述金屬掩模板的繃?yán)?、所述運動導(dǎo)軌的運動路徑、所述掩模板載臺支撐板驅(qū)動裝置動作、所述掩模外框載臺的調(diào)整動作以及所述激光焊接裝置的焊接方式。
[0014]進(jìn)一步，本發(fā)明所涉及的繃網(wǎng)組件包括四組夾持機(jī)構(gòu)以及用于安裝夾持機(jī)構(gòu)的安裝座，所述安裝座上設(shè)有安裝軌道，所述夾持機(jī)構(gòu)底部設(shè)置有運行滑塊，所述四組夾持裝置通過所述運行滑塊安裝于所述安裝座的所述安裝軌道上。
[0015]進(jìn)一步，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括橫梁和X/Z軸平板，所述橫梁通過設(shè)置在兩端的滑塊一安裝在Y軸導(dǎo)軌上，所述X軸導(dǎo)軌安裝在所述橫梁上，所述X/Z軸平板通過滑塊二安裝在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌安裝在所述X/Z軸平板上，所述激光斜切裝置的支撐機(jī)構(gòu)通過滑塊三安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上。
[0016]進(jìn)一步，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括Y軸導(dǎo)軌支撐，所述Y軸導(dǎo)軌支撐直接安裝在所述機(jī)臺上，所述Y軸導(dǎo)軌安裝在所述Y軸導(dǎo)軌支撐上，所述Y軸導(dǎo)軌通過所述Y軸導(dǎo)軌支撐間接的固定安裝在所述機(jī)臺上。
[0017]為了便于監(jiān)控掩模板開口的開口質(zhì)量，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括機(jī)器視覺組件及平整度測量組件，所述機(jī)器視覺組件及平整度測量組件安裝在所述滑塊三上。所述機(jī)器視覺組件用于抓取所述金屬掩模板上開口的形貌并配合軌道運動測量掩模板上需測量區(qū)域的尺寸，所述機(jī)器視覺組件可以是高精度的CXD相機(jī)；所述平整度測量組件用于測量金屬掩模板表面的平整狀況，可以采用高精度的高度傳感器作為平整度測量組件。
[0018]進(jìn)一步，構(gòu)成所述掩模板載臺的所述支撐板驅(qū)動裝置由電機(jī)驅(qū)動，電機(jī)通過絲杠驅(qū)動設(shè)置在所述支撐板驅(qū)動裝置上方的所述掩模支撐板在垂直方向上運動。
[0019]進(jìn)一步，構(gòu)成所述掩模板載臺的所述掩模支撐板上表面為玻璃平板，所述玻璃平板下部設(shè)置有光源，作為一種優(yōu)選方式，玻璃平板為毛玻璃，設(shè)置在毛玻璃下方的光源為均勻分布的燈帶。
[0020]進(jìn)一步，本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備還設(shè)置有一邊料切除機(jī)構(gòu)，邊料切除機(jī)構(gòu)可以設(shè)置在滑塊三上，受控制系統(tǒng)控制，以實現(xiàn)對焊接后的掩模組件的掩模外框的外圍金屬片材的切除，邊料切除機(jī)構(gòu)可以是激光切割頭，也可以是可以實現(xiàn)金屬片材切割的刀具。
[0021]進(jìn)一步，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括掩模外框上料機(jī)構(gòu)，所述上料傳送平臺可在Y軸方向上運動，所述掩模外框放置在所述上料支撐平臺上，由所述上料傳送平臺夾持并傳送至所述掩模外框載臺上方。
[0022]另外，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括碎屑收集裝置，其設(shè)置在所述基臺內(nèi)部，用于收集組裝過程中產(chǎn)生的碎屑，及時的碎屑收集處理，防止掩模板制作過程中碎屑對設(shè)備正常運行產(chǎn)生影響，例如，碎屑掉在運行軌道上會影響軌道運行精度。
[0023]由于本發(fā)明的金屬掩模板組件組裝設(shè)備具有較高精度要求，其要求機(jī)臺具有較高穩(wěn)定性，本發(fā)明中，所述機(jī)臺包括花崗石平臺和基座，所述花崗石平臺安裝在所述基座上，所述基座與支撐基地接觸。
[0024]本發(fā)明中金屬掩模板組件組裝設(shè)備的各構(gòu)成部件均能單獨控制，在同一控制系統(tǒng)中，通過配合控制各構(gòu)成部件，金屬掩模板能夠保證較高的焊接精度。
[0025]本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)及優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實踐了解到。
[0026]
【專利附圖】
【附圖說明】
[0027]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從下面結(jié)合附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
圖1所示為采用掩模板蒸鍍有機(jī)材料的示意圖；
圖2所示為掩模板的平面示意圖；
圖3所示為一種現(xiàn)有技術(shù)的金屬掩模板組裝機(jī)示意圖；
圖4為本發(fā)明所提供的金屬掩模板組件組裝設(shè)備一種實施例立體示意； 圖5為本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的前視圖；
圖6所述為本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備俯視圖；
圖7為激光焊接裝置裝配裝配在運動導(dǎo)軌上的立體圖；
圖8所示為繃網(wǎng)組件、掩模板載臺與掩模外框載臺裝配在機(jī)臺上的示意圖；
圖9所示為構(gòu)成本網(wǎng)組件的夾持機(jī)構(gòu)一種實施例示意圖；
圖10為掩模板載臺一種實施例意圖；
圖11為掩模外框載臺一種實施例示意圖；
圖12為掩模外框載臺裝載掩模外框的一種實施例示意圖；
圖13為圖15中I部分放大示意圖；
圖14為掩模板載臺與掩模外框載臺配合的示意圖；
圖15為金屬掩模板待夾持狀態(tài)示意圖；
圖16為金屬掩模板經(jīng)繃網(wǎng)組件夾持繃緊的狀態(tài)示意圖；
圖17為通過繃網(wǎng)組件繃?yán)饘傺谀０宓氖疽鈭D；
圖18為將金屬掩模板焊接到掩模外框的狀態(tài)示意圖；
圖19為焊接在掩模外框上的金屬掩模板切割外邊的狀態(tài)示意圖；
圖20為組裝成型的金屬掩模組件處于檢測狀態(tài)的示意圖；
圖21為設(shè)置有上料機(jī)構(gòu)的金屬掩模板組件組裝設(shè)備示意圖圖22為上料機(jī)構(gòu)的立體不意圖；
圖23為構(gòu)成上料機(jī)構(gòu)的的上料支撐平臺的立體示意圖；
圖24為圖23中II部分的放大示意圖；
圖25為將掩模外框裝載到上料支撐平臺的過程示意圖；
圖26為構(gòu)成上料機(jī)構(gòu)的的上料傳送平臺的立體示意圖。
[0028]圖中，
10為金屬掩模板，100為掩模板開口，11為掩模板固定的掩模外框，12為支撐臺，13為蒸鍍源，14為沉積基板；
51為機(jī)臺，511為構(gòu)成機(jī)臺51的花崗石平臺，512為構(gòu)成機(jī)臺51的基座，52為繃網(wǎng)組件，521為構(gòu)成繃網(wǎng)組件52的夾持機(jī)構(gòu)，5211為夾持機(jī)構(gòu)521的夾頭，5212為夾持機(jī)構(gòu)521的底板，5213為夾持機(jī)構(gòu)521的夾頭引軌，5214為夾持機(jī)構(gòu)521的電機(jī)，5215為夾持機(jī)構(gòu)521的底板滑塊，5216為夾持機(jī)構(gòu)521的拉力傳感器，5217為夾持機(jī)構(gòu)521的電機(jī)運動限位機(jī)構(gòu)，522為安裝夾持機(jī)構(gòu)521的安裝座，523為安裝在安裝座522上的安裝導(dǎo)軌，53為運動導(dǎo)軌，531為構(gòu)成運動導(dǎo)軌53的X軸導(dǎo)軌，532為構(gòu)成運動導(dǎo)軌53的Y軸導(dǎo)軌，533為構(gòu)成運動導(dǎo)軌53的Z軸導(dǎo)軌，55為Y軸導(dǎo)軌支撐，56碎屑收集裝置，57為掩模板載臺，571為構(gòu)成掩模板載臺57的掩模支撐板,572為構(gòu)成掩模板載臺的支撐板驅(qū)動裝置,5721為電機(jī)，5722為絲杠，58為掩模外框載臺，581為構(gòu)成掩模外框載臺58的基架，5811為構(gòu)成基架581的底板，5812為構(gòu)成基架581的側(cè)板，582為構(gòu)成掩模外框載臺58的調(diào)平機(jī)構(gòu)，5821為構(gòu)成調(diào)平機(jī)構(gòu)582的電動執(zhí)行器，5822為構(gòu)成調(diào)平機(jī)構(gòu)582的調(diào)平板，5823為調(diào)平導(dǎo)向裝置，583為構(gòu)成掩模外框載臺58的外框承載板,584為構(gòu)成掩模外框載臺58的定位機(jī)構(gòu),5841為構(gòu)成定位機(jī)構(gòu)584的頂緊氣缸,5842為構(gòu)成定位機(jī)構(gòu)584的定位快,585為構(gòu)成掩模外框載臺58的頂起機(jī)構(gòu)，5851為構(gòu)成頂起機(jī)構(gòu)585的升降驅(qū)動裝置，5852為構(gòu)成頂起機(jī)構(gòu)585的頂板，5853為頂起導(dǎo)向裝置，586為設(shè)置在掩模外框載臺58上的遮擋布，59為上料機(jī)構(gòu)，591為上料支撐平臺，5911為上料支撐平臺基架，5912為上料支撐平臺底座，5913為上料支撐平臺滑動組件，5914為上料支撐平臺導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，5915為上料支撐平臺定位機(jī)構(gòu)，592為上料傳送平臺，5921為傳送平臺夾持頭，5922為傳送平臺基架，5923傳送平臺連桿，5924為傳送平臺橫梁，5925為傳送平臺運動滑塊，14a為導(dǎo)向滑動機(jī)構(gòu)；
71為X軸導(dǎo)軌固定橫梁，72為設(shè)置在橫梁71兩端的滑塊一，73為直線電機(jī)；
91為X/Z軸平板，92為設(shè)置在X/Z軸平板91上的滑塊二，93為安裝在Z軸導(dǎo)軌533上滑塊三，94為機(jī)器視覺組件，95為平整度測量組件，96為激光焊接裝置，97為X軸拖鏈，98為固定拖鏈的拖鏈固定板，99為步進(jìn)電機(jī)；
190為邊料切除機(jī)構(gòu)。
[0029]
【具體實施方式】
[0030]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對本發(fā)明的限制。
[0031]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“上”、“下”、“側(cè)邊”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0032]在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“聯(lián)接”、“連通”、“相連”、“連接”、“配合”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連；“配合”可以是面與面的配合，也可以是點與面或線與面的配合，也包括孔軸的配合，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0033]本發(fā)明所提供的金屬掩模板組件組裝設(shè)備一種實施例立體示意圖如圖4所示，其包括:機(jī)臺51，機(jī)臺51作為所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備的支撐基臺；繃網(wǎng)組件52，繃網(wǎng)組件52固定安裝在機(jī)臺51上，繃網(wǎng)組件52上設(shè)置有若干夾持機(jī)構(gòu)521，金屬掩模板10的側(cè)邊可通過繃網(wǎng)組件52的夾持機(jī)構(gòu)521夾持并繃?yán)_(dá)到表面平整；掩模板載臺57，掩模板載臺57用于承載未經(jīng)繃網(wǎng)組件52繃?yán)慕饘傺谀０迤模谀０遢d臺57包括掩模支撐板571和支撐板驅(qū)動裝置572，掩模支撐板571在支撐板驅(qū)動裝置572的驅(qū)動下可以在垂直方向上運動，從而調(diào)整掩模支撐板571上表面相對繃網(wǎng)組件52夾持面所在位置；掩模外框載臺58,掩模外框載臺58用于承載掩模外框11,掩模外框11用于固定金屬掩模板10,掩模外框載臺58能夠調(diào)整掩模外框11的水平高度；運動導(dǎo)軌53，運動導(dǎo)軌53包括X軸導(dǎo)軌531、Y軸導(dǎo)軌532以及Z軸導(dǎo)軌533，Y軸導(dǎo)軌532直接或間接的固定安裝在機(jī)臺51上，X軸導(dǎo)軌設(shè)置在Y軸導(dǎo)軌532上，且可在Y軸導(dǎo)軌532上進(jìn)行Y軸方向的運動，Z軸導(dǎo)軌533設(shè)置在X軸導(dǎo)軌531上，Z軸導(dǎo)軌533可以在X軸導(dǎo)軌531上進(jìn)行X軸方向的運動；金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括激光焊接裝置96，激光焊接裝置96直接或間接安裝在Z軸導(dǎo)軌533上，可隨Z軸導(dǎo)軌533在X軸導(dǎo)軌531、Y軸導(dǎo)軌532上進(jìn)行Χ、Υ軸方向的運動，也可以在Z軸導(dǎo)軌533上做Z軸方向的運動，激光焊接裝置96包括一激光焊接頭，金屬掩模板10通過激光焊接裝置96的激光焊接頭發(fā)射的激光焊接固定在掩模外框11上。圖5、圖6所述為本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的前視圖及俯視圖，結(jié)合圖4、圖5及圖6，可以更好的展示本實施例金屬掩模板組件組裝設(shè)備的整體結(jié)構(gòu)。
[0034]以下是對本實施例相關(guān)機(jī)構(gòu)作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0035]圖7所示為激光焊接裝置裝配在運動導(dǎo)軌上的立體示意圖。本實施例中，金屬掩模板組件組裝設(shè)備包括橫梁71和X/Z軸平板91，橫梁71通過設(shè)置在兩端的滑塊一 72 (見圖6中所示)安裝在Y軸導(dǎo)軌532上，X軸導(dǎo)軌531安裝在橫梁71上，X/Z軸平板91通過滑塊二 92安裝在X軸導(dǎo)軌531上，Z軸導(dǎo)軌533安裝在X/Z軸平板91上。激光焊接裝置96安裝在滑塊三93上，滑塊三93可滑動的安裝在Z軸導(dǎo)軌533上。
[0036]在本發(fā)明的一些實施例中，構(gòu)成運行導(dǎo)軌53的X軸導(dǎo)軌531及Z軸導(dǎo)軌533都至少各包含一條導(dǎo)軌，如圖7所示實施例中，X軸導(dǎo)軌531和Z軸導(dǎo)軌533均包含兩條平行設(shè)置的導(dǎo)軌。另外，在本發(fā)明中，構(gòu)成運行導(dǎo)軌53的X軸導(dǎo)軌531、Y軸導(dǎo)軌532及Z軸導(dǎo)軌533的運行均通過設(shè)置在導(dǎo)軌側(cè)邊的電機(jī)實現(xiàn)。如圖6所示，橫梁71在Y軸方向的運動通過設(shè)置在Y軸導(dǎo)軌532側(cè)邊的直線電機(jī)73的控制實現(xiàn)；如圖7所示，X/Z軸平板91上設(shè)置有步進(jìn)電機(jī)99，以控制滑塊三93在Z軸方向的運動。
[0037]在本發(fā)明中，由于軌道運動會帶動各種導(dǎo)線的運動，故在一些特定區(qū)域設(shè)置有放置導(dǎo)線的拖鏈，以防止導(dǎo)線對設(shè)備的運行帶來不必要干擾或者防止設(shè)備的運動繞斷導(dǎo)線引起事故，如圖7所示，橫梁71上方設(shè)置有X軸拖鏈97及固定拖鏈的拖鏈固定板98。
[0038]在本實施例中，金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括Y軸導(dǎo)軌支撐55，如圖4、圖5所示，Y軸導(dǎo)軌支撐55直接安裝在機(jī)臺51上，Y軸導(dǎo)軌532安裝在Y軸導(dǎo)軌支撐55上，Y軸導(dǎo)軌532通過Y軸導(dǎo)軌支撐55間接的固定安裝在機(jī)臺51上。
[0039]圖8所示為繃網(wǎng)組件、掩模板載臺與掩模外框載臺裝配在機(jī)臺上的示意圖，繃網(wǎng)組件52固定安裝在機(jī)臺51上，其設(shè)置在掩模板載臺57與掩模外框載臺58的外圍，本實施例中，繃網(wǎng)組件52包括四組夾持機(jī)構(gòu)以及用于安裝夾持機(jī)構(gòu)521的安裝座522，每組夾持機(jī)構(gòu)包含若干夾持機(jī)構(gòu)521，安裝座522上設(shè)有安裝軌道523，夾持機(jī)構(gòu)521底部設(shè)置有與安裝軌道523匹配的運行滑塊(即圖9中5215)，夾持機(jī)構(gòu)521通過設(shè)置在底部的運行滑塊5215可在安裝軌道523上滑動。本實施例中，四組夾持機(jī)構(gòu)521以及安裝座522在機(jī)臺51上呈對稱設(shè)置，具體如圖8所示，四組安裝在安裝座522上夾持機(jī)構(gòu)521分別設(shè)置在矩形的4個邊上。
[0040]如圖8中所示，繃網(wǎng)組件52 —對邊的兩組夾持機(jī)構(gòu)均含3個夾持機(jī)構(gòu)521，另一對邊的兩組夾持機(jī)構(gòu)中的每組夾持機(jī)構(gòu)均含4個夾持機(jī)構(gòu)521 ;在另一具體的實施例中(無視圖)，一對邊的兩組夾持機(jī)構(gòu)中的每組夾持機(jī)構(gòu)均含7個夾持機(jī)構(gòu)521，另一對邊的兩組夾持機(jī)構(gòu)中的每組夾持機(jī)構(gòu)均含8個夾持機(jī)構(gòu)521。在實際應(yīng)用中，繃網(wǎng)組件52的每組夾持機(jī)構(gòu)中的每組夾持機(jī)構(gòu)包含夾持機(jī)構(gòu)521的數(shù)量一般為I?10個，具體數(shù)量根據(jù)金屬掩模板10的尺寸確定，在金屬掩模板10尺寸比較大時，每組夾持機(jī)構(gòu)包含夾持機(jī)構(gòu)521的數(shù)量可以超過10個；另外，在本發(fā)明的一些實施例中，構(gòu)成繃網(wǎng)組件52的每一個夾持機(jī)構(gòu)521可通過固定機(jī)構(gòu)固定在安裝軌道523上確定位置(圖中未示出)。
[0041]另外，在一些實施例中考慮到安裝的穩(wěn)定性，每個安裝座522上至少設(shè)置有2條安裝軌道523，圖8中所示每個安裝座522上即有2條安裝軌道523。
[0042]圖9所示是夾持機(jī)構(gòu)521的一種實施例示意圖，夾持機(jī)構(gòu)521包含夾頭5211、底板5212、夾頭引軌5213、電機(jī)5214、底板滑塊5215，夾頭引軌5213固定設(shè)置在底板5212上，夾頭5211下端通過與夾頭引軌5213相匹配的滑塊(圖中未標(biāo)識)滑動的設(shè)置在夾頭引軌5213上，夾持機(jī)構(gòu)整體通過設(shè)置在底板5212下部的底板滑塊5215與繃網(wǎng)組件52的安裝座522上安裝軌道523相匹配。夾頭5211在電機(jī)5214的帶動下可在夾頭引軌5213上往返運動；另外，夾頭5211自身通過氣缸驅(qū)動實現(xiàn)夾緊與放松動作。構(gòu)成繃網(wǎng)組件的夾持機(jī)構(gòu)通過夾頭5211夾緊金屬掩模板10后通過電機(jī)5214實現(xiàn)金屬掩模板的繃緊。在本發(fā)明的一些實施例中，底板5212上設(shè)置有若干個螺紋通孔，與之匹配的設(shè)置有若干長度合適的螺桿，通過旋轉(zhuǎn)螺桿可以實現(xiàn)螺桿與安裝座522上表面頂緊，從而實現(xiàn)每一個夾持機(jī)構(gòu)521固定在安裝軌道523上某一確定位置(圖中未示出)。
[0043]在本發(fā)明的一些實施例中，為便于繃網(wǎng)組件52的控制，夾持機(jī)構(gòu)521的電機(jī)5214與夾頭5211之間還可以設(shè)置有拉力傳感器5216和電機(jī)運動限位機(jī)構(gòu)5217。
[0044]圖10所不為掩模板載臺一種實施例不意圖,掩模板載臺57包括掩模支撐板571和支撐板驅(qū)動裝置572，掩模支撐板571的上表面為玻璃平板，玻璃平板下部設(shè)置有光源(圖中未示出)，構(gòu)成掩模板載臺57的支撐板驅(qū)動裝置572由電機(jī)5721驅(qū)動，電機(jī)5721通過絲杠5722驅(qū)動設(shè)置在支撐板驅(qū)動裝置上572方的掩模支撐板571在垂直方向上運動。作為一種比較好的實施方式，掩模支撐板571的上表面的玻璃平板為毛玻璃，設(shè)置在其下方的光源為均勻設(shè)置的燈帶，從而比較好的保證從掩模支撐板571上方發(fā)射的光線均勻一致。
[0045]圖11為掩模外框載臺一種實施例示意圖，本實施例中，基架581、調(diào)平機(jī)構(gòu)582以及外框承載板583構(gòu)成掩模外框載臺58的基本結(jié)構(gòu)(掩模外框載臺可僅由此三部分構(gòu)成)。在掩模外框載臺的另一些實施例中，掩模外框載臺58還可以包括定位機(jī)構(gòu)584和頂起機(jī)構(gòu)585，圖12所示為掩模外框載臺通過頂起機(jī)構(gòu)裝載掩模外框的一種實施例示意圖，圖13為圖12中I部分放大示意圖。以下是結(jié)合圖11、圖12、圖13，對掩模外框載臺58結(jié)構(gòu)的詳細(xì)描述。
[0046]所述基架581由底板5811及設(shè)置在底板5811上的側(cè)板5812構(gòu)成，其用于安裝調(diào)平機(jī)構(gòu)582 ;調(diào)平機(jī)構(gòu)582由4個垂直設(shè)置在所述基架底板5811上的電動執(zhí)行器5821及設(shè)置在每個電動執(zhí)行器5821上方的調(diào)平板5822構(gòu)成；外框承載板583設(shè)置在調(diào)平機(jī)構(gòu)582的調(diào)平板5822上方，通過配合調(diào)節(jié)調(diào)平機(jī)構(gòu)582的電動執(zhí)行器5821可以調(diào)整設(shè)置在調(diào)平板5822上方外框承載板583的水平位置,外框承載板583用于直接承載掩模外框11。在本發(fā)明一些實施例中，構(gòu)成調(diào)平機(jī)構(gòu)582的電動執(zhí)行器5821通過浮動接頭(圖中未示出)與調(diào)平板5822連接，電動執(zhí)行器5821為調(diào)平機(jī)構(gòu)582提供動力，調(diào)平板5822作為調(diào)平機(jī)構(gòu)582的外接口 ；每個電動執(zhí)行器5821兩側(cè)還均設(shè)置有一個調(diào)平導(dǎo)向裝置5823，通過電動執(zhí)行器5821兩側(cè)調(diào)平導(dǎo)向裝置5823的配合作用，可以有效的控制調(diào)平機(jī)構(gòu)582上調(diào)平板5822的
向。
[0047]為了便于掩模外框11裝載在掩模外框載臺58上,掩模外框載臺58設(shè)置有頂起機(jī)構(gòu)585，頂起機(jī)構(gòu)585由4個垂直設(shè)置在基架581上的升降驅(qū)動裝置5851與2個水平設(shè)置在升降驅(qū)動裝置5851上方的頂板5852構(gòu)成，頂板5852通過升降驅(qū)動裝置5851的運動完成上升或下降動作，外框承載板583上設(shè)置有與頂起機(jī)構(gòu)585相配合的通孔結(jié)構(gòu)，外框承載板583上表面設(shè)置有與頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5852相適應(yīng)的凹陷結(jié)構(gòu)，使得頂板5852下降到最低點時，頂板5852的上表面不高于外框承載板583的上表面,如圖11所不。另外，構(gòu)成頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5852需要在垂直方向上進(jìn)行運動，即升降驅(qū)動裝置5851只能驅(qū)動頂板5852在垂直方向上運動，為了使頂起機(jī)構(gòu)585能夠按預(yù)設(shè)路徑運動，頂起機(jī)構(gòu)585的每一個升降驅(qū)動裝置5851側(cè)邊配套設(shè)置有頂起導(dǎo)向裝置5853，頂起機(jī)構(gòu)585的升降驅(qū)動裝置5851的上端通過浮動接頭(圖中未示出)與頂板5852連接。
[0048]掩模外框載臺58還包括定位機(jī)構(gòu)584，定位機(jī)構(gòu)由氣缸組件5841及定位塊5842構(gòu)成，定位機(jī)構(gòu)584設(shè)置在外框承載板583或頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5851上，掩模外框11通過定位機(jī)構(gòu)584放置在外框承載板583上的確定位置，從而保證掩模板組件組裝過程的穩(wěn)定性。如圖11、12所示，外框承載板的583的兩相鄰邊各設(shè)置有兩個氣缸組件5841，在沒有設(shè)置氣缸組件5841另兩相鄰邊均設(shè)置有定位塊5842，本實施例中，定位塊5842為長條狀結(jié)構(gòu)，設(shè)置在外框承載板583或頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5852上。掩模外框11置于外框承載板583上后,定位機(jī)構(gòu)584的氣缸組件5841對掩模外框11提供一定的壓力，使得掩模外框11頂緊定位機(jī)構(gòu)585的定位塊5852,從而達(dá)到定位機(jī)構(gòu)585對掩模外框11固定，使得掩模外框11放置在外框承載板583上的確定位置。
[0049]在本發(fā)明中，頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5852通過升降驅(qū)動裝置5851的運動做上升或下降動作，從而實現(xiàn)置于頂板5852上方的掩模外框11裝載到載臺的外框承載板583上?？紤]到頂起機(jī)構(gòu)585的作用本質(zhì)，作為本發(fā)明的另一些實施例，本發(fā)明中頂起機(jī)構(gòu)585可以包括超過4個升降驅(qū)動裝置5851或超過2個水平設(shè)置在升降驅(qū)動裝置5851上方的頂板5852，升降驅(qū)動裝置5851可以采用氣缸或電缸驅(qū)動。在本發(fā)明的另一些實施例中，由于掩模外框11的尺寸較大，調(diào)平機(jī)構(gòu)43采用的電動執(zhí)行器的數(shù)量亦可以超過4個。
[0050]本發(fā)明中，頂起機(jī)構(gòu)585的升降驅(qū)動裝置5851與頂板5852之間、調(diào)平機(jī)構(gòu)582的電動執(zhí)行器5821與調(diào)平板5822之間均采用浮動接頭，活動結(jié)構(gòu)的接頭有利于機(jī)械調(diào)節(jié)過程。
[0051]為了更好的理解本發(fā)明中掩模外框載臺58的工作方式，以下對掩模外框載臺的工作方法作詳細(xì)的描述。
[0052]本發(fā)明所涉及掩模外框載臺的調(diào)整方法，其包括以下步驟:
a、掩模外框裝載步驟，如圖12中所示，頂起機(jī)構(gòu)585的升降驅(qū)動裝置5851驅(qū)動頂板5852上升，到達(dá)合適位置后，將掩模外框11放置在頂板5852上方，升降驅(qū)動裝置5851驅(qū)動頂板5852下降，使得掩模外框11由所述外框承載板583支撐；
b、掩模外框定位步驟，通過調(diào)整定位機(jī)構(gòu)584，即通過氣缸5841的動作，使得掩模外框11頂緊在定位機(jī)構(gòu)584的定位塊5842上，從而到達(dá)硬質(zhì)框架11定位在外框承載板44上的確定位置；
C、掩模外框調(diào)平步驟，通過配合調(diào)節(jié)調(diào)平結(jié)構(gòu)582的電動執(zhí)行器5821，使得掩模外框11處于一定的高度位置，并且掩模外框11的上表面具有較好的平整度。
[0053]圖14所示為掩模板載臺與掩模外框載臺配合的示意圖，掩模板載臺57設(shè)置在掩模外框載臺58的內(nèi)部，在掩模外框載臺58內(nèi)部還設(shè)置有活動的遮擋布586，遮擋布586可通過調(diào)節(jié)后覆蓋在掩模支撐板571上方，形成對掩模支撐板571的保護(hù)。
[0054]在本發(fā)明的實施例中，為強化本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的自動化程度，金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括控制單元(圖中未示出)，控制單元用于控制控制繃網(wǎng)組件52對金屬掩模板10的繃?yán)⑦\動導(dǎo)軌53的運動路徑、掩模板載臺57的支撐板驅(qū)動裝置572的動作、掩模外框載臺58的調(diào)整動作以及激光焊接裝置96的焊接方式等；另外，本發(fā)明中運動導(dǎo)軌53的運動均與高精密光柵尺相配合，以達(dá)到高精度控制的效果。
[0055]為了便于監(jiān)控掩模板開口的開口質(zhì)量，金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括機(jī)器視覺組件94及平整度測量組件95，如圖7所示，機(jī)器視覺組件94及平整度測量組件95安裝在滑塊三93上，機(jī)器視覺組件94用于抓取所述金屬掩模板上開口的形貌并配合軌道運動測量掩模板上需測量區(qū)域的尺寸，機(jī)器視覺組件94可以是高分辨率的CCD相機(jī)，機(jī)器視覺組件94使用過程中，根據(jù)需求可在掩模支撐板571內(nèi)部光源的輔助下完成；平整度測量組件95可以是高精度高度傳感器。在本發(fā)明中，控制單元亦可以根據(jù)機(jī)器視覺組件94及平整度測量組件95的測量結(jié)果進(jìn)行調(diào)節(jié)金屬掩模板10的繃網(wǎng)組件52及其他機(jī)構(gòu)。
[0056]另外，本實施例中的激光焊接裝置96直接固定在滑塊三93上，在本發(fā)明的其它一些實施例中，機(jī)器視覺組件94、平整度測量組件95及激光焊接裝置96通過其它連接機(jī)構(gòu)間接的安裝在滑塊三93上(圖中未示出)。
[0057]另外本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備還設(shè)置有一邊料切除機(jī)構(gòu)，裝配圖中未示出，邊料切除機(jī)構(gòu)可以設(shè)置在滑塊93上，受控制系統(tǒng)控制，以實現(xiàn)對焊接后的掩模組件的掩模外框11的外圍金屬片材的切除，邊料切除機(jī)構(gòu)可以是激光切割頭，也可以是可以實現(xiàn)金屬片材切割的刀具。
[0058]本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括碎屑收集裝置56，其設(shè)置在所述基臺內(nèi)部，用于收集組裝過程中產(chǎn)生的各種碎屑，及時的碎屑收集處理，防止掩模板制作過程中碎屑對設(shè)備正常運行產(chǎn)生影響，例如，碎屑掉在運行軌道53上會影響軌道運行精度。碎屑收集裝置56內(nèi)可設(shè)置吸附設(shè)備。
[0059]由于本發(fā)明的金屬掩模板組件組裝設(shè)備具有較高精度要求，其要求機(jī)臺51具有較高穩(wěn)定性，如圖4、圖5所示，本發(fā)明中機(jī)臺51包括花崗石平臺511和基座512，花崗石平臺511安裝在基座512上，基座512為鋼架機(jī)構(gòu)，基座512直接或者通過腳墊間接與支撐基地接觸。
[0060]另外，本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括激光發(fā)生器、顯示器、指令輸入等機(jī)構(gòu)，以形成一個完整組裝系統(tǒng)。
[0061]為了便于對本發(fā)明的理解，以下實施例揭示了本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的使用方法。
[0062]圖15所示為金屬掩模板10處于待夾持狀態(tài)示意圖，將金屬掩模板10放置在掩模板載臺57的掩模支撐板571上方，利用支撐板驅(qū)動裝置572調(diào)整掩模支撐板571上表面相對繃網(wǎng)組件52夾持面所在位置，具體來講，即電機(jī)5721驅(qū)動絲杠5722調(diào)整掩模支撐板571位置高度，使得置于掩模支撐板571上方的金屬片材邊緣比較容易設(shè)置在繃網(wǎng)組件52夾持機(jī)構(gòu)521的夾頭5211內(nèi)。
[0063]圖16所示為金屬掩模板經(jīng)繃網(wǎng)組件夾持繃緊的狀態(tài)示意圖，夾頭5211通過氣缸驅(qū)動實現(xiàn)對金屬片材邊緣的夾持；降低掩模支撐板571位置高度(防止影響后續(xù)金屬片材的繃?yán)?；通過夾持機(jī)構(gòu)521的電機(jī)5214驅(qū)動，繃網(wǎng)組件52的夾持機(jī)構(gòu)配合將金屬片材繃?yán)狡秸?。圖17所示為通過繃網(wǎng)組件繃?yán)饘傺谀０宓氖疽鈭D，掩模板10在繃網(wǎng)組件52的繃?yán)聦崿F(xiàn)表面張緊拉平。
[0064]圖18為將金屬掩模板焊接到掩模外框的狀態(tài)示意圖，金屬掩模板10通過激光焊接裝置96發(fā)射的激光焊接在掩模外框11上，在激光焊接固定金屬掩模板時，設(shè)置在掩模外框載臺58上的掩模外框11上表面在調(diào)平機(jī)構(gòu)582的調(diào)整下緊貼經(jīng)繃網(wǎng)組件52繃緊的金屬掩模板10的下表面(掩模外框11頂緊金屬掩模板10)，激光焊接裝置96在機(jī)器的控制單元下按照一定焊接方式將金屬掩模板10焊接固定在掩模外框11上，在金屬掩模板10焊接固定在掩模外框11的過程中，調(diào)節(jié)遮擋布586，使得遮擋布586覆蓋在掩模支撐板571上方，形成對掩模支撐板571的保護(hù)。
[0065]圖19展示的是焊接在掩模外框上的金屬掩模板切割外邊的狀態(tài)示意圖，如圖所示，邊料切除機(jī)構(gòu)190為激光切割頭，激光切割頭190對金屬掩模板10留在掩模外框11外圍區(qū)域進(jìn)行切除，從而形成金屬掩模板組件。
[0066]圖20為組裝成型的金屬掩模組件處于檢測狀態(tài)的示意圖，在本步驟中，配合運動軌道53的運動采用機(jī)器視覺組件94對金屬掩模板10上開口的形貌、區(qū)域尺寸、位置精度等金屬掩模板10上X-Y平面上的參數(shù)進(jìn)行測量，采用平整度測量組件95對金屬掩模板10的板面下垂量進(jìn)行測量，在對開口區(qū)域相關(guān)參數(shù)進(jìn)行測量時，可以撤掉覆蓋在掩模板載臺57的掩模支撐板571上方的遮擋布586并打開設(shè)置在掩模支撐板571的內(nèi)部光源。
[0067]以上揭示的本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的使用方法旨在加強對本發(fā)明的理解，本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的實際使用并不局限如此。例如，在將具有開口圖形的金屬掩模板10焊接固定在掩模外框11上之前一般會增加金屬掩模板表面參數(shù)的測量環(huán)節(jié)，即在將金屬掩模板10焊接固定在掩模外框11上之前，需要先采用機(jī)器視覺組件94和平整度測量組件95對繃緊的金屬掩模板10的開口質(zhì)量、開口位置精度、板面的下垂量等關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行測量。將得到的結(jié)果與產(chǎn)品要求做對比，若開口質(zhì)量存在問題，則報廢該金屬掩模板，若金屬掩模板的開口位置精度或著板面的下垂量不符合規(guī)定值范圍，可以通過配合調(diào)節(jié)繃網(wǎng)組件52以及掩模外框載臺58的調(diào)平機(jī)構(gòu)582，在相關(guān)參數(shù)達(dá)到規(guī)定值范圍時，再將金屬掩模板10焊接固定到掩模外框11上。
[0068]由于掩模外框11 一般都具有較大質(zhì)量，完全由人工搬移到掩模外框載臺58上難度比較大，故本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的一些實施例中設(shè)置有上料機(jī)構(gòu)59，上料機(jī)構(gòu)59用于掩模外框11的搬運，即將掩模外框11由機(jī)臺外部傳送至掩模外框載臺58上,其一種實施例整體示意圖如圖21所示
為便于對本發(fā)明中上料機(jī)構(gòu)的理解，圖22提供了一種上料機(jī)構(gòu)的示意圖，上料機(jī)構(gòu)59由上料支撐平臺591及上料傳送平臺592構(gòu)成，上料傳送平臺592可在Y軸方向上運動，掩模外框11放置在上料支撐平臺591上，由上料傳送平臺592夾持并傳送至掩模外框載臺58上方，以下作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0069]圖23為構(gòu)成上料機(jī)構(gòu)的的上料支撐平臺的立體示意圖，上料支撐平臺591包括:上料支撐平臺基架5911、上料支撐平臺底座5912、上料支撐平臺滑動組件5913、上料支撐平臺導(dǎo)向機(jī)構(gòu)5914、上料支撐平臺定位機(jī)構(gòu)5915。圖24為圖23中II部分的放大示意圖，結(jié)合圖21、圖22、圖23、圖24所示，上料支撐平臺基架5911的結(jié)構(gòu)與繃網(wǎng)組件52結(jié)構(gòu)相適應(yīng)，本實施例中，上料支撐平臺基架5911的內(nèi)部為全鏤空結(jié)構(gòu)，不會對繃網(wǎng)組件52的運行帶來干擾；上料支撐平臺基架5911的底部設(shè)置有上料支撐平臺底座5912，上料支撐平臺591通過上料支撐平臺底座5912設(shè)置在機(jī)臺51上；上料支撐平臺滑動組件5913由若干鋼珠滾輪按一定分布方式構(gòu)成，其分布方式與掩模外框11的外形相適應(yīng)，在其他一些實施例中，滾輪鋼珠可以用其它起相同作用的零件替換；如圖所示，上料支撐平臺導(dǎo)向機(jī)構(gòu)5914設(shè)置在上料支撐平臺基架5911的兩側(cè)，其與掩模外框11的外形相適應(yīng)，在一些實施例中，為便于掩模外框11的裝載，上料支撐平臺導(dǎo)向機(jī)構(gòu)5914的內(nèi)側(cè)還設(shè)置有導(dǎo)向滑動機(jī)構(gòu)14a，導(dǎo)向滑動機(jī)構(gòu)14a可以是滾珠；上料支撐平臺定位機(jī)構(gòu)5915設(shè)置在上料支撐平臺基架5911上，通過支撐平臺定位機(jī)構(gòu)5915使得掩模外框11裝載在上料支撐平臺591上的確定位置。
[0070]圖25所示為將掩模外框裝載到上料支撐平臺的過程示意圖，按如圖所示的箭頭方向裝載掩模外框11，掩模外框11由上料支撐平臺導(dǎo)向機(jī)構(gòu)5914導(dǎo)向,在上料支撐平臺滑動組件5913上滑動直至一端接觸上料支撐平臺定位機(jī)構(gòu)5915，即完成在上料支撐平臺591上的裝載。在本發(fā)明的一些實施例中，上料支撐平臺導(dǎo)向機(jī)構(gòu)5914可在垂直于導(dǎo)向方向的方向上(即圖中所示X軸方向上)進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，從而適應(yīng)不同寬度尺寸掩模外框的裝載。
[0071]圖26為構(gòu)成上料機(jī)構(gòu)的的上料傳送平臺的立體示意圖，上料傳送平臺592包括:傳送平臺夾持頭5921、傳送平臺基架5922、傳送平臺連桿5923、傳送平臺橫梁5924、傳送平臺運動滑塊5925。傳送平臺夾持頭5921用于夾持掩模外框11，并能將掩模外框11提高至一定位置，具體而言，傳送平臺夾持頭5921夾持掩模外框11后，將掩模外框11提起，使得掩模外框11的下表面離開上料支撐平臺591，傳送平臺夾持頭5921通過電動或氣動控制；本實施例中上料傳送平臺592包括4個傳送平臺夾持頭5921，4個傳送平臺夾持頭5921分散的設(shè)置在傳送平臺基架5922上；傳送平臺基架5922通過傳送平臺連桿5923鏈接在傳送平臺橫梁5924，傳送平臺橫梁5924兩端設(shè)置有傳送平臺運動滑塊5925，傳送平臺運動滑塊5925可在Y軸導(dǎo)軌532上滑動。
[0072]結(jié)合以上實施例，將掩模外框裝載到掩模外框載臺58上的流程為:
a、待裝載的掩模外框11在裝載到上料支撐平臺591上特定位置，如圖25所示；
b、控制上料傳送平臺592，傳送平臺夾持頭5921夾持掩模外框11并將掩模外框11提起離開上料支撐平臺591 ；
C、通過手動推送或電動控制，上料傳送平臺592在Y軸導(dǎo)軌532上滑動到掩模外框載臺58上方；
d、掩模外框載臺頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5852在升降驅(qū)動裝置5851的驅(qū)動下上升至一定高度(接觸或靠近掩模外框11的下表面);
e、釋放傳送平臺夾持頭5921，頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5852在升降驅(qū)動裝置5851的驅(qū)動下下降，使得掩模外框11由外框承載板583支撐，并將上料傳送平臺592移到Y(jié)軸導(dǎo)軌端部附近。
[0073]以上是將掩模外框裝載到掩模外框載臺58上的流程，組裝完畢后的掩模板組件亦可以通過以上流程的逆過程實現(xiàn)掩模板組件的卸載。
[0074]作為集成設(shè)備，本發(fā)明集成了金屬掩模板的繃網(wǎng)、焊接、測量、邊料切除等功能，合理的配置保證了在金屬掩模板的組裝過程中，金屬掩模板不宜出現(xiàn)折痕，能夠減少人為因素帶來的報廢，可有效保證成品金屬掩模板的質(zhì)量。
[0075]本發(fā)明中任何提及“ 一個實施例”、“實施例”、“示意性實施例”等意指結(jié)合該實施例描述的具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點包含于本發(fā)明的至少一個實施例中。在本說明書各處的該示意性表述不一定指的是相同的實施例。而且，當(dāng)結(jié)合任何實施例描述具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點時，所主張的是，結(jié)合其他的實施例實現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點均落在本領(lǐng)域技術(shù)人員的范圍之內(nèi)。
[0076]盡管參照本發(fā)明的多個示意性實施例對本發(fā)明的【具體實施方式】進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計出多種其他的改進(jìn)和實施例，這些改進(jìn)和實施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會脫離本發(fā)明的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其包括: 機(jī)臺，所述機(jī)臺作為所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備的支撐基臺； 繃網(wǎng)組件，所述繃網(wǎng)組件固定安裝在所述機(jī)臺上，其上設(shè)置有若干夾持機(jī)構(gòu)，所述金屬掩模板側(cè)邊可通過所述繃網(wǎng)組件的夾持機(jī)構(gòu)夾持并繃?yán)_(dá)到表面平整； 掩模板載臺，所述掩模板載臺用于承載未經(jīng)所述繃網(wǎng)組件繃?yán)慕饘傺谀０迤模鲅谀０遢d臺包括掩模支撐板和支撐板驅(qū)動裝置，所述掩模支撐板在所述支撐板驅(qū)動裝置的驅(qū)動下可以在垂直方向上運動，從而調(diào)整所述掩模支撐板上表面相對所述繃網(wǎng)組件夾持面所在位置； 掩模外框載臺，所述掩模外框載臺用于承載掩模外框，所述掩模外框用于固定所述金屬掩模板，所述掩模外框載臺能夠調(diào)整所述掩模外框的的水平高度； 運動導(dǎo)軌，所述運動導(dǎo)軌包括X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌以及Z軸導(dǎo)軌，所述Y軸導(dǎo)軌直接或間接的固定安裝在所述機(jī)臺上，所述X軸導(dǎo)軌設(shè)置在所述Y軸導(dǎo)軌上，且可在所述Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行Y軸方向的運動，所述Z軸導(dǎo)軌設(shè)置在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌可以在所述X軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X軸方向的運動； 激光焊接裝置，所述激光焊接裝置直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上，可隨Z軸導(dǎo)軌在所述X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行Χ、γ軸方向的運動，也可以在Z軸導(dǎo)軌上做Z軸方向的運動，所述激光焊接裝置包括一激光焊接頭，所述金屬掩模板通過所述激光焊接頭發(fā)射的激光焊接固定在所述掩模外框上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述掩模外框載臺包括:基架、調(diào)平機(jī)構(gòu)以及外框承載板，所述基架由底板及設(shè)置在所述底板上的側(cè)板構(gòu)成，用于安裝所述調(diào)平機(jī)構(gòu)；所述調(diào)平機(jī)構(gòu)由若干個垂直設(shè)置在所述基架底板上的電動執(zhí)行器及設(shè)置在每個電動執(zhí)行器上方的調(diào)平板構(gòu)成；所述外框承載板設(shè)置在所述調(diào)平機(jī)構(gòu)的調(diào)平板上方，通過配合調(diào)節(jié)所述調(diào)平機(jī)構(gòu)的所述電動執(zhí)行器可以調(diào)整所述外框承載板的水平位置，所述外框承載板用于直接承載所述掩模外框。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述掩模外框載臺還包括頂起機(jī)構(gòu)，所述頂起機(jī)構(gòu)由至少4個垂直設(shè)置在所述基架上的升降驅(qū)動裝置與至少2個水平設(shè)置在所述升降驅(qū)動裝置上方的頂板構(gòu)成，所述頂板通過所述升降驅(qū)動裝置的運動完成上升或下降動作，所述調(diào)平機(jī)構(gòu)的外框承載板上表面設(shè)置有與所述頂起機(jī)構(gòu)的頂板相適應(yīng)的凹陷結(jié)構(gòu)，使得所述頂板下降到最低點時，所述頂板的上表面不高于所述外框承載板的上表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述掩模外框載臺還包括定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)由定位塊及氣缸組件構(gòu)成，所述定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述外框承載板或所述頂起機(jī)構(gòu)的頂板上，所述掩模外框通過所述定位機(jī)構(gòu)放置在所述外框承載板上的確定位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括控制單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述繃網(wǎng)組件包括四組夾持機(jī)構(gòu)以及用于安裝夾持機(jī)構(gòu)的安裝座，所述安裝座上設(shè)有安裝軌道，所述夾持機(jī)構(gòu)底部設(shè)置有運行滑塊，所述四組夾持裝置通過所述運行滑塊安裝于所述安裝座的所述安裝軌道上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括橫梁和X/Z軸平板，所述橫梁通過設(shè)置在所述橫梁兩端的滑塊一安裝在所述Y軸導(dǎo)軌上，所述X軸導(dǎo)軌安裝在所述橫梁上，所述X/Z軸平板通過滑塊二安裝在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌安裝在所述X/Z軸平板上，所述激光焊接裝置的支撐機(jī)構(gòu)通過滑塊三安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括Y軸導(dǎo)軌支撐，所述Y軸導(dǎo)軌支撐直接安裝在所述機(jī)臺上，所述Y軸導(dǎo)軌安裝在所述Y軸導(dǎo)軌支撐上，所述Y軸導(dǎo)軌通過所述Y軸導(dǎo)軌支撐間接的固定安裝在所述機(jī)臺上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括機(jī)器視覺組件及平整度測量組件，所述機(jī)器視覺組件及所述平整度測量組件安裝在所述滑塊三上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1、2、8或9所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，構(gòu)成所述掩模板載臺的所述支撐板驅(qū)動裝置由電機(jī)驅(qū)動，電機(jī)通過絲杠驅(qū)動設(shè)置在所述支撐板驅(qū)動裝置上方的所述掩模支撐板在垂直方向上運動，構(gòu)成所述掩模板載臺的所述掩模支撐板上表面為玻璃平板，所述玻璃平板下部設(shè)置有光源。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還設(shè)置有一邊料切除機(jī)構(gòu)，所述邊料切除機(jī)構(gòu)設(shè)置在滑塊三上，以實現(xiàn)對焊接后的掩模組件的所述掩模外框的外圍金屬片材的切除，所述邊料切除機(jī)構(gòu)為激光切割頭或刀具。
12.根據(jù)權(quán)利要求1、2、8或9所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括掩模外框上料機(jī)構(gòu)。
【文檔編號】C23C14/04GK104294213SQ201410501854
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年9月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月27日
【發(fā)明者】魏志凌, 孫杰, 張璞 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司