一種磨削碳化硅晶體端面的裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型屬于新材料加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體提供了一種磨削碳化硅晶體端面的裝置，該裝置包括基座，所述的基座上設(shè)置有晶體定位油缸和砂輪修整定位油缸，所述基座兩側(cè)還設(shè)置有支撐板，所述的支撐板上活動連接有晶體安裝定位平板；采用這種結(jié)構(gòu)的裝置，可同時磨削多塊晶體且自帶砂輪修磨裝置，在晶體自動磨削過程中隨時可以進(jìn)行砂輪的修整。節(jié)省了裝夾時間、減輕了操作者的勞動強度、提高了生產(chǎn)效率及設(shè)備利用率、降低了加工成本、提升了企業(yè)效益。
【專利說明】一種磨削碳化硅晶體端面的裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于新材料晶體加工領(lǐng)域，具體涉及一種高效磨削碳化硅(SiC)晶體端面的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]碳化硅(SiC)晶體具有擊穿電壓高、熱導(dǎo)率高、電子飽和電子率高等優(yōu)良的物理化學(xué)性質(zhì)以及與硅集成電路工藝兼容等特點，成為國際上新材料、微電子和光電子領(lǐng)域的研究熱點。
[0003]碳化硅生長成型時由于溫度及各種因素的影響故長成后的厚度不一凹凸無規(guī)律，在加工端面時只能單塊晶體磨削，每塊晶體獨立裝夾，輔助加工時間較長，且操作者勞動強度大。又因晶體磨削面較小，機(jī)床大部分處于空行程狀態(tài)，加工效率較低、成本高；而經(jīng)過一段時間磨削加工后，需要對砂輪進(jìn)行修整，此時則需要將把晶體卸下，安裝砂輪修整器對砂輪進(jìn)行修整，修整后還需要重新對其進(jìn)行定位，工藝繁瑣且導(dǎo)致后續(xù)加工精度降低。
[0004]為了克服上述制備工藝和設(shè)備存在的不足，需要研發(fā)一種新的磨削碳化硅晶體端面的裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足和空白，本實用新型的發(fā)明人提供了一種磨削碳化硅晶體端面的裝置，該裝置包括基座，所述的基座上設(shè)置有晶體定位油缸和砂輪修整定位油缸，所述基座兩側(cè)還設(shè)置有支撐板，所述的支撐板上活動連接有晶體安裝定位平板；其中所述的晶體定位油缸并聯(lián)在同一油路上，所述的砂輪修整定位油缸單獨連接在另一油路上，采用這種結(jié)構(gòu)的裝置，可同時磨削多塊晶體且自帶砂輪修磨裝置，在晶體自動磨削過程中隨時可以進(jìn)行砂輪的修整。節(jié)省了裝夾時間、減輕了操作者的勞動強度、提高了生產(chǎn)效率及設(shè)備利用率、降低了加工成本、提升了企業(yè)效益。
[0006]本實用新型的具體技術(shù)方案如下:
[0007]發(fā)明人提供了一種磨削碳化硅晶體端面的裝置，包括基座，所述的基座上設(shè)置有晶體定位油缸和砂輪修整定位油缸，所述基座兩側(cè)還設(shè)置有支撐板，所述的支撐板上活動連接有晶體安裝定位平板。
[0008]為了達(dá)到最好的效果，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)必須把砂輪修整定位油缸設(shè)置在基座的中心位置，將晶體定位油缸均勻的散布于砂輪修整定位油缸周圍，這樣就可以方便的實現(xiàn)晶體定位油缸與砂輪修整定位油缸的同步定位，同時實現(xiàn)同一個砂輪同時磨削多個晶體的端面，且可以方便的對磨削砂輪進(jìn)行修整。
[0009]一般而言，在晶體的端面磨削時，一般需要將晶體直接粘結(jié)在鐵墊塊上，利用這一原理，發(fā)明人在晶體定位油缸頂端設(shè)置有磁力吸盤，這樣就可以利用磁力吸盤將鐵墊塊吸住，進(jìn)而將晶體固定在定位油缸頂端上。
[0010]為了達(dá)到更好的效果，所述的晶體定位油缸并聯(lián)在同一油路上，所述的砂輪修整定位油缸單獨連接在另一油路上，這樣將晶體固定在定位油缸頂端后，可以控制油缸壓力將晶體頂升，在頂升前，需要將晶體安裝定位平板連接到支撐板上從而提供一個定位的基準(zhǔn)面，但是因晶體的凹凸尺寸不一、凹凸無規(guī)律，頂升開始后某一晶體的頂端可能率先到達(dá)基準(zhǔn)面，此時該晶體下部的油缸到位，其他晶體所在的油缸會繼續(xù)上升，直至所有晶體全部到位，由于油路還在繼續(xù)供油，油缸壓力會繼續(xù)上升，發(fā)明人進(jìn)一步優(yōu)化后，為了避免油缸壓力過大而損傷晶體，在晶體定位油缸的主油路上安裝有壓力傳感器和電磁閥，當(dāng)主油路壓力達(dá)到設(shè)定值時，壓力傳感器送出信號控制電磁閥自動斷開，由于每個定位油缸上都安裝有液控自鎖緊裝置，這樣油路斷開后各個油缸便可自動鎖緊；另外，由于砂輪修整定位油缸是單獨連接在另一油路上，可以單獨的控制其頂升高度，這樣可實現(xiàn)晶體加工、砂輪修整同時進(jìn)行，也可實現(xiàn)對砂輪單獨進(jìn)行修整，既可以與晶體定位油缸同步定位，可在所有的晶體定位油缸定位后再自行定位調(diào)整。
[0011]當(dāng)所有的晶體頂端全部到位后，即可利用砂輪對其端面進(jìn)行磨削實現(xiàn)了一次磨削多塊晶體的目標(biāo)，但由于晶體的凹凸尺寸不一、凹凸無規(guī)律，在磨削過程中可以先把磨平的晶體取下來，其余未磨好的繼續(xù)加工，這樣就不需要進(jìn)行二次定位，提高了工作的效果和所得晶體的品質(zhì)；磨削過程中，砂輪會被進(jìn)一步的磨損，此時只需要控制砂輪修整定位油缸升起到指定高度，使砂輪經(jīng)過油缸頂端設(shè)置的砂輪修整裝置即可對砂輪進(jìn)行修整，一般選取的砂輪修整裝置選自常規(guī)的修整裝置；修整后的砂輪即可對晶體繼續(xù)進(jìn)行磨削；這樣同樣不需要對砂輪與晶體進(jìn)行二次裝夾定位，保證了整個加工過程的連續(xù)性，除此之外，當(dāng)所有晶體頂端均被開始磨削之后，砂輪修整定位油缸的高度會高于其他晶體定位油缸，此時可以通過砂輪修整定位油缸單獨控制其升降，避免損壞砂輪。
[0012]所述的晶體安裝定位平板通過快速鏈接銷固定在基座兩側(cè)的支撐板上，對碳化硅晶體的上端面進(jìn)行準(zhǔn)確的定位。
[0013]最佳的配置方式為基座中心設(shè)置砂輪修整定位油缸，用于安裝砂輪修整裝置，在其周圍呈正方形或圓形分布晶體定位油缸，這樣可以達(dá)到最佳的磨削效果；除了這一最佳配置方案外，其他方案也必須保證砂輪修整定位油缸和晶體定位油缸均位于基座水平面上。
[0014]綜上所述，采用這種結(jié)構(gòu)的磨削裝置，可同時磨削多塊晶體且自帶砂輪修磨裝置，在晶體自動磨削過程中隨時可以進(jìn)行砂輪的修整。節(jié)省了裝夾時間、減輕了操作者的勞動強度、提高了生產(chǎn)效率及設(shè)備利用率、降低了加工成本、提升了企業(yè)效益。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為本實用新型所述實施例1中磨削裝置基座的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2為本實用新型所述圖1中A-A剖視示意圖；
[0017]圖3為本實用新型所述磨削裝置中晶體安裝定位平板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖4為本實用新型所述磨削裝置中晶體安裝定位平板的剖視示意圖；
[0019]圖5為本實用新型所述磨削裝置安裝好晶體安裝定位平板后內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖中1-4和6-9為晶體定位油缸，5為砂輪修整定位油缸，10為支撐板，11為基座，12為晶體安裝定位平板，13為磁力吸盤?！揪唧w實施方式】
[0021]一種磨削碳化硅晶體端面的裝置，包括基座11，所述的基座11上設(shè)置有晶體定位油缸1-4和6-9，和砂輪修整定位油，5，所述基座11兩側(cè)還設(shè)置有支撐板10，所述的支撐板10上活動連接有晶體安裝定位平板12 ；
[0022]其中所述的晶體定位油缸頂端設(shè)置有磁力吸盤13 ；
[0023]所述的晶體安裝定位平板12通過快速鏈接銷固定在基座11兩側(cè)的支撐板10上；
[0024]所述的基座中心設(shè)置砂輪修整定位油缸5，在其周圍呈正方形均勻分布有晶體定位油缸1-4和6-9 ；
[0025]所述的晶體定位油缸并聯(lián)在同一油路上，所述的砂輪修整定位油缸單獨連接在另一油路上；
[0026]所述晶體定位油缸1-4和6-9的主供油管路上設(shè)置有壓力傳感器和電磁閥，每個定位油缸均安裝有液控自鎖緊裝置，這樣當(dāng)主油路壓力達(dá)到設(shè)定值時，壓力傳感器送出信號控制電磁閥自動斷開，斷開后由于每個油缸上都安裝有液控自鎖緊裝置，可以使各個油缸便可自動鎖緊。
[0027]利用該裝置磨削晶體端面的方法:
[0028]將待磨削晶體通過磁力吸盤固定在晶體定位油缸頂端，將晶體安裝定位平板12通過快速鏈接銷固定在基座11兩側(cè)的支撐板10上，之后開始定位，同時對砂輪修整裝置所在的砂輪修整定位油缸5同步定位，定位結(jié)束后即可進(jìn)行晶體的磨削，磨削的同時對砂輪也進(jìn)行了修整，在磨削過程中可以先把磨平的晶體取下來，其余未磨好的繼續(xù)加工。
【權(quán)利要求】
1.一種磨削碳化硅晶體端面的裝置，包括基座(11)，其特征在于:所述的基座(11)上設(shè)置有晶體定位油缸和砂輪修整定位油缸(5)，所述基座(11)兩側(cè)還設(shè)置有支撐板(10)，所述的支撐板(10)上活動連接有晶體安裝定位平板(12)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于:所述的晶體定位油缸頂端設(shè)置有磁力吸盤(13)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于:所述的晶體安裝定位平板(12)通過快速鏈接銷固定在基座兩側(cè)的支撐板(10)上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于:所述的基座(11)中心設(shè)置砂輪修整定位油缸(5)，在其周圍呈正方形或圓形均勻分布有晶體定位油缸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于:所述的晶體定位油缸并聯(lián)在同一油路上，所述的砂輪修整定位油缸單獨連接在另一油路上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于:所述晶體定位油缸的主供油管路上設(shè)置有壓力傳感器和電磁閥；每個定位油缸的供油管路上均安裝有液控自鎖緊裝置。
【文檔編號】B24B7/16GK203650165SQ201420046844
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2014年1月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月24日
【發(fā)明者】張健, 柏文文, 任啟磊, 高輝, 高玉強 申請人:山東天岳先進(jìn)材料科技有限公司